雷尼绍使用手册
雷尼绍中文说明书 山善（上海）贸易有限公司技术部
一. 雷尼绍测头的标定:测头标定是矫正测头球相对主轴中心线的偏差和测头的
长度误差以及探针球的半径误差。 1在以下几种情况下需要标定测头: a 第一次使用测头时。
b 测头上安装了新的探针。
c 怀疑探针弯曲或测头发生碰撞时。
d 周期性地进行标定以补偿机床的机械变化误差。
e 如果测头柄的重新定位的重复性差。
2 将已知内孔经的Master （随测头一起标定用的标准块）置于工作台且靠近
主轴的一边。
a. 如图一所示用千分表将Master 沿着X 方向拉平后水平的固定在台 面上;
b. 用千分表找正Master
标位置(将其置于G54X- Y-中）; c.在主轴上安装验棒(Testbar),移动 Z 轴并用块规测量master 的位置如
图二所示 d.使w 轴在原点位置，譬如 Testbar 长度=350.311mm
块规长度=30.00mm
此时Z轴机械坐标为-1148.291mm （图一）
（图二） e.设定标定时用的工件坐标系Z=-1148.291+(-30.0)+（-350.311）
=-1528.602mm(将其置于G54Z--)
f.执行T1M06(因为预先设定T01为测头专用)；
g.将测头安装到主轴上,擦干净测球并用千分表测量测球的跳动，如果跳
动大需要重新调整（测头柄上四个方向均有调整螺丝）；
h.测头每次安装到主轴孔内时必须一致即不能旋转180度再安装,为了避
免误差;
3.完整标定测头需要O9801、O9802及其O9803或者O9804程序 标定程序依次说明:
1．(O9801)测头长度的标定:
格式如下:
G65P9801Zz Tt;
例题:在G54工件坐标系中设置X、Y、Z的值;
O0001
G90G80G40G0
G54X0Y0
G43H01Z100. (因测头通常设定为T01,激活1号补正,定位到100mm处) G65P9832 (旋转开启测头包含主轴定位)
G65P9810Z10.F3000(保护定位移动)
G65P9801Z0T1 (Z向标定,T1表示刀补号码)
G65P9810Z100 (保护定位移动到Z100.0处)
G65P9833 (旋转关闭测头)
G28Z100. (参考点返回)
H00 (取消刀补)
M30
2(O9802)标定探针的X、Y方向偏心:
格式:
G65P9802Dd Zz
上述D是表示标准块的内径值，当使用凸台标定时要使用Zz，省略时表示用孔来标定。
以下为存储数据
00002
G90G80G40G0
G54X0Y0
G43H1Z100.
G65P9832(ON)
G65P9810Z-5.0F3000
G65P9802D50.0
G65P9810Z100.0F3000
G65P9833(OFF)
G28Z100.0
H00
M30
3 标定测头球的半径（O9803）:
格式:G65P9803Dd{Zz Ss}
备注:
D:表示环规的内径尺寸；
Z:用外圆标定时Z轴的绝对测量位置,不设定时表示用环规标定
S:工件坐标系S1到S6表示G54到G59 S101到S148表示G54.1P1到
G54.1P48
测量后数据存储在以下宏变量中:
#500=X+,X-,探针球的半径
#501=Y+,Y-,探针球的半径
O0003
G90G80G40G00
G65P9832 (旋转打开测头)
G65P9803D50.001 (在内径为50.001的环规内标定)
G65P9833 (旋转关闭测头)
M30
O0003
G90G80G40G00
G54X0Y0
G43H1Z100.
G65P9832 (旋转打开测头)
G65P9810Z-5.F3000 (保护式定位到孔内-5.0处)
G65P9803D50.001 (用内经为50.001的环规标定)
G65P9810Z100.F3000(保护式定位绝对位置为100.0处)
G65P9833 (旋转关闭测头)
G28Z100.
H00
M30
6. （O9804）标定探针球的矢量半径
注:如果要用矢量测量子程序O9821、O9822或者O9823，就必须使用该
循环来标定探针球的半径。不要用O9803这个程序来标定
G65P9804Dd[Zz Ss]
备注:
D：标定的环规内经的大小;
S：工件坐标系S1～S6（G54～G59）S101～S148（G54.1P1～G54.1P48）Z：使用外圆表示时Z轴的位置，环规标定时省略不要;
O0004
G65P9832 (旋转打开测头)
G65P9804D50.001(标定内经为50.001的环规)
G65P9833 (旋转关闭测头)
M30
O0003
G90G80G40G00
G54X0Y0
G43H1Z100.
G65P9832 (旋转打开测头)
G65P9810Z-5.F3000 (保护式定位到孔内-5.0处)
G65P9804D50.001 (用内经为50.001的环规标定)
G65P9810Z100.F3000(保护式定位绝对位置为100.0处)
G65P9833 (旋转关闭测头)
G28Z100.
H00
M30
《以上标定可以综合使用以下的任意一个程序来完成》
a.使用内孔和表面的标定方法
O0006;
0.G90 G80 G40 G0
1. G54 X35.Y0
2 G43H01Z100.0
3.G65P9832 (旋转打开测头)
4.G65P9810Z30.F3000 (保护移动到参考面上方)
5.G65P9801Z20.00T1 （标定测头长度）
6.G65P9810X0Y0 (保护移动到孔中央)
7.G65P9810Z5. (保护移动到孔里面)
8.G65P9802D50. (用孔径为50mm的孔标定)
9.G65P9804D50.001 (用孔径为50.001mm的孔标定)
10. G65P9810Z100.F3000 (保护返回到参考面上方)
11. G65P9833 (旋转关闭测头)
12.G28Z100.
H00
M30
a.使用外圆和表面的标定方法
例如也可以自己编写一个程序来标定
O0500(BLOCK CARRY)
G90G80G40G0
G54X15.Y0W0B0
G43H1Z100.
M52 (探头打开)
G4X1.
S100
M19
G65P9810Z30.F1000(保护式定位移动）
G65P9801Z0T1 （测头长度标定,Z为参考面位置,T1为激活1号刀补）
G65P9810X0Y0 (定位到X0Y0位置)
G65P9810Z-5. (定位到Z-5.0的位置)
G65P9802D20.002 (标定探针X、Y方向的偏心，D为标定物的孔径）G65P9804D20.002 (标定探针球的矢量半径，D为标定物的孔径）
/G65P9830K13. (K13多探针测头号码,K不同测量结果存储位置不一样）G65P9810Z100. (定位到Z100位置)
G00G49Z300.
M50
二.测量部分
1. 程序说明:
a.探针标定程序
O9801 :标定测头长度;
O9802 :标定探针的X和Y向偏心;
O9803 :标定探针球的半径(O9821~9823不可用)
O9804 :标定探针球的矢量半径;
b.测量循环程序
O9810:保护定位(即移动中测头碰到时机床会停止);
O9811:XYZ单一平面测量;
O9812:凸台／凹槽测量
O9814:内孔/外圆测量;
O9815:内拐角测量;
O9816:外拐角测量;
c.矢量测量循环
O9821:带角度的单一平面测量;
O9822:带角度的凸台或凹槽的测量
O9823:3点内孔或者外圆测量
d. 附加循环
O9817:测量点沿X分布的第四轴测量
O9818:测量点沿Y分布的第四轴测量(方法同上O9817)
O9819:PCD上的内孔/外圆测量
O9820:毛坯余量测量;
O9830:多探针数据存储
O9831:多探针数据调用
O9832:旋转开启测头;
O9833:旋转关闭测头;
O9834:测量XY平面内面到面之间的距离；
O9834:测量XY平面内面到面之间的距离；
O9835:SPC刀偏修正；
O9843:X或者Y平面的角度测量
2. 具体测量方法:
a. 内孔/外圆的测量(O9814):
G65P9814 Dd或者G65P9814 Dd Zz
备注:D型面的直径; Z:测量外圆或者内部有障碍的孔时Z轴的绝对位置,如果省略Z,就会假定为一个内孔循环。Rr写负数时表示内有障碍物.
表示G55 b. 凸台/凹槽的测量(O9812)
格式:
G65p9812Xx或
G65P9812Yy或
G65P9812Xx Zz或
G65P9812Yy Zz
备注:X:沿着X方向测量时测量距离;
:Y:沿着Y方向测量时测量距离;
:Z:测量凸台或者内有障碍的槽时Z的绝对位置,如果缺省Z则表示测量一个凹槽;
c.单一平面的测量（O9811）
有以下两种可能性:
1可以把平面看作一个尺寸与Tt和Hh相应的刀偏别更改;
2可以把平面看作一个基准平面位置,通过Ss和Mm调整坐标系; 格式：G65 P9811Xx 或Yy 或Zz
d.(O9815)内拐角测量;
备注:如果省略I和J，那么只出现两次测量移动,并假定拐角平行于坐标轴;
如果省略I或者J，那么出现三次测量移动并假定拐角是90度；
格式:G65 P9815Xx Yy;
e.(O9816)外拐角测量;
格式:G65 P9816 Xx Yy
f.(O9821)带角度的单一平面测定
格式：G65 P9821 Aa Dd
g.（O9822）带角度的凸台或者凹槽的测量
格式：G65 P9822 Aa Dd
h.（O9823）3点内孔或者外圆测量
格式:G65 P9823 Aa Bb Cc Dd或G65 P9823 Aa Bb Cc Dd Zz
h.（O9817）测量点沿着X分布的第四轴测量
坐标系设定S
i.（O9843）X或者Y平面的角度测量
格式：G65 P9843 Xx Dd 或者 G65P9843Yy Dd
四探针操作手册
南开大学 硅光电子学与储能实验室 Four-Point Probe Operation | 2011 四探针操作手册
四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第1章引言 (1) 1. 目的 (1) 2. 应用范围 (1) 3. 测试设备 (1) 四探针 (1) 数字电压源表 (2) 第2章原理简述 (3) 1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率： (3) 2. 薄膜方块电阻 (3) 第3章操作方法 (5) 1. 引言 (5) 2. 测试线连接方式 (5) 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南 (6) 4. 探针接触方式 (8) 5. 数据测试指南 (8) 第4章注意事项 (10) 附表 ................................................................................................................................................... I
第1章引言 1.目的 本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。 2.应用范围 测量参数：方块电阻，电阻率 测量样品：均匀薄膜，均匀薄片 方块电阻测试范围：0.01?～500M? 电阻率测试范围：10-5??cm～103??cm 样品大小：直径>1cm 精度：<±5% 3.测试设备 四探针 生产厂商： 广州四探针有限公司RTS-2型 基本指标： 间距：1±0.01mm； 针间绝缘电阻: ≥1000MΩ； 机械游移率: ≤0.3％； 探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)； 使用环境： 温度:：23±2℃； 相对湿度：≤65％； 无高频干扰； 无强光直射； 基本参数： Fsp=0.1 探针间距：1.0mm
雷尼绍CNC探头编程步骤 V01
雷尼绍探头使用介绍 第一章探头程序编程 第一节编探点程序 1.定原点，找各探点坐标值 先在UG软件里定好工件坐标系原点，然后用UG软件将需要探点的位置的点（X Y Z）找出来，记录下来，以编探点程序用。 2.编探点程序（探点程序的名字自己定如：O6666） 探点程序里面控制探头的移动需要调用两个重要的探头运算程序O9810 和O9811。探点程序格式案例：(以下是编探Z点的案例) % O6666(PROBE) G91G28Z0 G90 G0 G17 G40 G49 G69 G80 M6 T11 （探头装在 T11刀座上，换 T11 号探头到主轴上） G90 G00 G54 X-18. Y50. （快速定位到到G54坐标系中的要探点的第一个点上方） M19 (S_ ) (主轴定位，S是让主轴转一个角度，如果是探Z轴方向的点， S就不需要，如果是探侧面，就需要S，即转角度，使探头 在探各侧面时都是使用探针红宝石球的一个面测量，减小 误差） M05 M17 (open probe) （打开探头，这个指令是由接线时接到相应端口决定的） G43 Z50.H11 （建立刀长，即读取探头的长度） G90G00Z50. （探头快速下到Z50.的位置） N1(Z+ POINT1) （测第一个点的Z值） G65P9810 X-18. Y50. F3000. （安全快速定位到第一个点的X Y位置，速度为F3000.） G65P9810 Z19. （安全快速定位到第一个点上方的安全的Z位置，速度同 上，此处高度一般离下面要测的点3MM） G65P9811 Z16.08 （安全慢速到达第一个探点的Z位置，另外，此步探完点后， 会自动的返回到上一步Z19.0的位置）
四探针测电阻率实验指导书及SZT-2A四探针测试仪使用说明书
实验七四探针法测量材料的电阻率 一、实验目的 （1）熟悉四探针法测量半导体或金属材料电阻率的原理 （2）掌握四探针法测量半导体或金属材料电阻率的方法 二、实验原理 半导体材料是现代高新技术中的重要材料之一，已在微电子器件和光电子器件中得到了广泛应用。半导体材料的电阻率是半导体材料的的一个重要特性，是研究开发与实际生产应用中经常需要测量的物理参数之一，对半导体或金属材料电阻率的测量具有重要的实际意义。 直流四探针法主要用于半导体材料或金属材料等低电阻率的测量。所用的仪器示意图以及与样品的接线图如图1所示。由图1(a)可见，测试过程中四根金属探针与样品表面接触，外侧1和4两根为通电流探针，内侧2和3两根是测电压探针。由恒流源经1和4两根探针输入小电流使样品内部产生压降，同时用高阻抗的静电计、电子毫伏计或数字电压表测出其它两根探针（探针2和探针3）之间的电压V23。 a b 图1 四探针法电阻率测量原理示意图 若一块电阻率为 的均匀半导体样品，其几何尺寸相对探针间距来说可以看
作半无限大。当探针引入的点电流源的电流为I ，由于均匀导体内恒定电场的等位面为球面，则在半径为r 处等位面的面积为22r π，电流密度为 2/2j I r π= （1） 根据电流密度与电导率的关系j E σ=可得 22 22j I I E r r ρ σ πσπ= = = （2） 距离点电荷r 处的电势为 2I V r ρ π= （3） 半导体内各点的电势应为四个探针在该点所形成电势的矢量和。通过数学推导，四探针法测量电阻率的公式可表示为 123 231224133411112( )V V C r r r r I I ρπ-=--+?=? （4） 式中，1 12241334 11112( )C r r r r π-=--+为探针系数，与探针间距有关，单位为cm 。 若四探针在同一直线上，如图1(a)所示，当其探针间距均为S 时，则被测样品的电阻率为 123 2311112()222V V S S S S S I I ρππ-=- -+?=? （5） 此即常见的直流等间距四探针法测电阻率的公式。 有时为了缩小测量区域，以观察不同区域电阻率的变化，即电阻率的不均匀性，四根探针不一定都排成一直线，而可排成正方形或矩形，如图1(b)所示，此时只需改变电阻率计算公式中的探针系数C 即可。 四探针法的优点是探针与半导体样品之间不要求制备接触电极，极大地方便了对样品电阻率的测量。四探针法可测量样品沿径向分布的断面电阻率，从而可以观察电阻率的不均匀性。由于这种方法允许快速、方便、无损地测试任意形状样品的电阻率，适合于实际生产中的大批量样品测试。但由于该方法受到探针间距的限制，很难区别间距小于0.5mm 两点间电阻率的变化。 根据样品在不同电流（I ）下的电压值（V 23），还可以计算出所测样品的电阻率。
雷尼绍探头编程步骤-V01
雷尼绍探头使用介绍 1.定原点，找各探点坐标值 先在UG软件里定好工件坐标系原点，然后用UG软件将需要探点的位置的点（X Y Z）找出来，记录下来，以编探点程序用。 2.编探点程序（探点程序的名字自己定如：O6666） 探点程序里面控制探头的移动需要调用两个重要的探头运算程序O9810 和O9811。探点程序格式案例：(以下是编探Z点的案例) % O6666(PROBE) G91G28Z0 G90 G0 G17 G40 G49 G69 G80 M6 T11 （探头装在 T11刀座上，换 T11 号探头到主轴上） G90 G00 G54 X-18. Y50. （快速定位到到G54坐标系中的要探点的第一个点上方） M19 (S_ ) (主轴定位，S是让主轴转一个角度，如果是探Z轴方向的点， S就不需要，如果是探侧面，就需要S，即转角度，使探头 在探各侧面时都是使用探针红宝石球的一个面测量，减小 误差） M05 M17 (open probe) （打开探头，这个指令是由接线时接到相应端口决定的） G43 Z50.H11 （建立刀长，即读取探头的长度） G90G00Z50. （探头快速下到Z50.的位置） N1(Z+ POINT1) （测第一个点的Z值） G65P9810 X-18. Y50. F3000. （安全快速定位到第一个点的X Y位置，速度为F3000.） G65P9810 Z19. （安全快速定位到第一个点上方的安全的Z位置，速度同 上，此处高度一般离下面要测的点3MM） G65P9811 Z16.08 （安全慢速到达第一个探点的Z位置，另外，此步探完点后， 会自动的返回到上一步Z19.0的位置）
KEITHLEY四探针操作手册
南开大学硅光电子学与储能实验室四探针操作手册 Four-Point Probe Operation | 2011
四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第1章引言................................................错误!未定义书签。 1. 目的..................................................错误!未定义书签。 2. 应用范围..............................................错误!未定义书签。 3. 测试设备..............................................错误!未定义书签。 四探针............................................错误!未定义书签。 数字电压源表......................................错误!未定义书签。第2章原理简述............................................错误!未定义书签。 1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率：...............................错误!未定义书签。 2. 薄膜方块电阻..........................................错误!未定义书签。第3章操作方法............................................错误!未定义书签。 1. 引言..................................................错误!未定义书签。 2. 测试线连接方式........................................错误!未定义书签。 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南........................错误!未定义书签。 4. 探针接触方式..........................................错误!未定义书签。 5. 数据测试指南..........................................错误!未定义书签。第4章注意事项............................................错误!未定义书签。附表 .........................................................错误!未定义书签。
四探针一体机使用说明书
SZT-2A四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。 仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）以及探头修正系数， 主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为： 温度：23℃±3℃ 相对湿度：50%~70%
工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源。 二，技术参数 1，测量范围 电阻率： 10??-105?-cm 方块电阻 10??- 105?/□ 电阻 10-?- 105? 2，可测半导体材尺寸 直径：Ф15-100mm 长（或高）度：≤400mm 3，测量方位 轴向，径向均可 4，数字电压表： （1）量程：20mV,200mV,2V （2）误差：±0.5%读数±2字 （3）输入阻抗:>10?? （4）最大分辨率:10μV （5）点阵液晶显示，过载显示。 5，恒流源： （1）电流输出：共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头 修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算 后，直接显示修正后的结果。
最新四探针法测电阻率
四探针法测电阻率
实验四探针法测电阻率 1．实验目的： 学习用四探针法测量半导体材料的体电阻率和扩散薄层的电阻率及方块电阻。 2．实验内容 ①硅单晶片电阻率的测量：选不同电阻率及不同厚度的大单晶圆片，改变 条件（光照与否），对测量结果进行比较。 ②薄层电阻率的测量：对不同尺寸的单面扩散片和双面扩散片的薄层电阻 率进行测量。改变条件进行测量（与①相同），对结果进行比较。 3．实验原理：
在半导体器件的研制和生产过程中常常要对半导体单晶材料的原始电阻率和经过扩散、外延等工艺处理后的薄层电阻进行测量。测量电阻率的方法很多，有两探针法，四探针法，单探针扩展电阻法，范德堡法等，我们这里介绍的是四探针法。因为这种方法简便可行，适于批量生产，所以目前得到了广泛应用。 所谓四探针法，就是用针间距约1毫米的四根金属探针同时压在被测样品的平整表面上如图1a 所示。利用恒流源给1、4两个探针通以小电流，然后在2、3两个探针上用高输入阻抗的静电计、电位差计、电子毫伏计或数字电压表测量电压，最后根 据理论公式计算出样品的电阻率［１］ I V C 23 =ρ 式中，C 为四探针的修正系数，单位为厘米，C 的大小取决于四探针的排列方法和针距，探针的位置和间距确定以后，探针系数C 就是一个常数；V 23为2、3两探针之间的电压，单位为伏特；I 为通过样品的电流，单位为安培。 半导体材料的体电阻率和薄层电阻率的测量结果往往与式样的形状和尺寸密切相关，下面我们分两种情况来进行讨论。 ⑴ 半无限大样品情形 图1给出了四探针法测半无穷大样品电阻率的原理图，图中(a)为四探针测量电阻率的装置；(b)为半无穷大样品上探针电流的分布及等势面图形；(c)和(d)分别为正方形排列及直线排列的四探针图形。因为四探针对半导体表面的接触均为点接触，所以，对图１（b ）所示的半无穷大样品，电流I 是以探针尖为圆心呈径向放射状流入体内的。因而电流在体内所形成的等位面为图中虚线所示的半球面。于是，样品电阻率为ρ，半径为r ，间距为dr 的两个半球等位面间的电阻为 dr r dR 2 2πρ = ， 它们之间的电位差为 dr r I IdR dV 2 2πρ= =。
四探针说明书
SZT-2C 四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2C 型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。 仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）; 探头修正系数和温度值，用来监测仪器使用时的环境温度。 主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为： 使用温度：23C 士3C 相对湿度：50%~70% 工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源，二，技术参数 1，测量范围
6 电阻率：10 ??-10 6? -cm 方块电阻10 ??- 10 6?/ □ 电阻10 -? - 10 6 ? 2 ，可测半导体材尺寸 直径：①5-250mm 长（或高）度：< 400mm如配探笔可以测量任意长度） 3，测量方位 轴向，径向均可 4，数字电压表： （1）量程：20mV,200mV,2V （2）误差：±0.1%读数±2字 （3）输入阻抗:>10 ?? （4）最大分辨率:10卩V （5）点阵液晶显示，过载显示。 5，恒流源： （1）电流输出：共分10卩A,100uA,1mA,10mA,100m>六挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头修正系和 扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算 后，直接显示修正后的结果。 (2)误差：士0.5%士2字，在使用1卩A恒流电流输 出时为± 0.5%± 5字 6, 四探针测试头; (1) 探针间距: 1mm
雷尼绍测头在SIEMENS系统上的测量循环
任选输入 R2 = b 表面的角度公差例如30度±1度输入 R1 =30. R2 = 1. 示例：R2 = 5设定公差为5度 R11 =h 彼测型面尺寸的公差值祇 示例：对于尺寸50.0 mm +0.4 mm -0 mm 中间尺寸杲50.2 min 公差0.2 mm R11=O2D （对于尺寸公称尺寸是1-968 in +0,016 in -0 in中间尺寸是1.976 in 公差是0.008 in R11 = 0.008） R19^s 更i殳定的零点保直号° 该号码的零点偏置将要被更新. R19 = 0(G500) R19= 1 to R19 =4(654 至G57) R19 = 5toR19 = 99 (G505 至G599) R19= 1000(Jt* 零点偏置｝ 示仙R19 = 3. R20 = t 要被更新数值的刀具偏置号 示例；R20 = 20更新20呂刀具刀沿D1 （默认情况）的刀偏值, R20 = 20.2更 新20号刀具 刀沿D2的偏 置数值" (L981Q)
保护定位（测头融发监控） 肯转开启测头L9832 炭转关I无测头L9833 清理全局"FT参数L9800
输出变量 输出变量-表1
输出变量-表2
该偿承用来获得测头装在刀柄上时的长度、. 该律环用来获得探针的偏心值、 该循环用来获得测球的半径值 测头标定 子程序L9801 子程序L9802 子程存L9803
例1:用内部型面的完整标定 G54X35.Y0 移动到离开中心位萱以便进行长度蘇定 Z100.D01 激活刀沿D1的偏萱定位到100 mm (3+94 in) L9832 旋转开启测头(包括SPOS=0进行主轴定向) L9800 清理全哥R:1参数 R26 = 30 R9 ==3000 保护定位到参考面上方 L9810 R26 = 20,006 R20 = 20.测头长度的标定? L9801 顶面坐标为20.006 mm (7.876 in) R24 = 0 R25 = =0保护定位到中心位置。 L9810 R26 = 5. 保护定位到孔内口 L9810
四探针说明书要点
SZT-2C四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2C型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。 仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型（电阻率，方块电阻和电阻）;探头修正系数和温度值，用来监测仪器使用时的环境温度。 主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为： 使用温度：23℃±3℃ 相对湿度：50%~70%
工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源， 二，技术参数 1，测量范围 电阻率： 10??-106?-cm 方块电阻 10??- 106?/□ 电阻 10-?- 106? 2，可测半导体材尺寸 直径：Ф5-250mm 长（或高）度：≤400mm（如配探笔可以测量任意长度）3，测量方位 轴向，径向均可 4，数字电压表： （1）量程：20mV,200mV,2V （2）误差：±0.1%读数±2字 （3）输入阻抗:>10?? （4）最大分辨率:10μV （5）点阵液晶显示，过载显示。 5，恒流源： （1）电流输出：共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA六挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头 修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算 后，直接显示修正后的结果。
外发 雷尼绍测头用凯恩帝宏程序调用顺序及说明
雷尼绍测头用宏程序调用顺序及说明 测头使用步骤： 第一步：梯图编写 （2）梯图编写（M78/M79提前在COD表已经定义好，直接调用即可，选手不做；输入点X12.2触发G11.7也是系统做的，选手无需做；选手要做的就是编写M代码触发和断开输出的编写） M78对应PLC地址：R82.5 M79对应PLC地址：R82.6 （3）接线 特别注意：雷尼绍测头打开需要高电平，但凯恩帝输出信号只能是低电平. 首先凯恩帝系统输入的端子定义是X12.0\X12.1\....X15.7，分线器上面没有直接标出输入的名称而是用数字代替，1代表X12.0，2代表X12.1，3代表X12.2，依次类推...... 其次凯恩帝系统输出的端子定义是Y12.0\Y12.1\....Y15.7，继电器板上面没有直接标
出输入的名称而是用数字代替，由于采用继电器板，一个输出口要对应三个端子，1代表输出Y12.0公共端，可以是0V 也可以是24V ，1NC 代表输出Y12.0常闭，1N 代表输出Y12.0常开;2代表输出Y12.1公共端，可以是0V 也可以是24V ，2NC 代表输出Y12.1常闭，2N 代表输出Y12.1常开，依次类推......，17代表输出Y14.0公共端，接24V ，17NC 代 表输出Y14.0常闭，17N 代表输出Y14.0常开，测头开信号直接接在17N 即可 最后了解雷尼绍接线，如下图： 特别说明：雷尼绍测头开启是要输入高电平的Y14.0，但是凯恩帝系统输出均为低电平，此时如果用的普通分线器，只能通过继电器转接；但是如果用的是继电器板，就不用转接了，实际比赛用的是继电器板，所以不涉及外加继电器转接的问题。 （4）诊断
雷尼绍测头系统在西门子840D系统中的应用
雷尼绍测头系统在西门子840D系统中的应用 摘要：本文详细阐述了雷尼绍OMP60测头系统与西门子840D系统加工中心配 合实现夹具与工件测量方法，包括参数设置、测头校正和测量循环的应用。 关键词：雷尼绍测头；OMP60；在线测量；数控机床 1、引言 在加工中使用的测量探头可进一步提高产品精度和质量的保证能力，现加工 设备上使用的测量探头主要有雷尼绍、寻边器、3D测量仪三种，其中雷尼绍具有自动测量、精度高的特点，对该测头及衍生出的在线测量系统的编程应用及其扩 展应用研究和使用经验均比较缺乏，目前应用范围也相对狭窄。本文主要对高精 度测量测头的应用进行进一步研究，扩展了其应用范围及形成规范的测量程序， 提高了产品质量保证能力。 2、测量系统及原理 2.1测头系统连接 OMP60测头系统主要由刀柄、测针、测头和光学接收器组成，光学接收器主 要用于传输和处理工件检测测头与数控系统之间的信号，其用于测量工件的测头 系统连接示意图（图1）。 图1系统连接示意图 2.2 测量原理 测头的工作原理：在测头内部有一个闭合的有源电路，该电路与一个特殊的 触发机构相连接，只要触发机构产生触发动作，就会引起电路状态变化并发出声 光信号，指示测头的工作状态；触发机构产生触发动作的唯一条件是测头的测针 产生微小的摆动或向测头内部移动，当测头连接在机床主轴上并随主轴移动时， 只要测针上的触头在任意方向与工件（任何固体材料）表面接触，使测针产生微 小的摆动或移动，都会立即导致测头产生声光信号，通过电缆向外输出一个经过 光电隔离的电压变化状态信号。 3、测头标定 3.1 标定目的 安装测头至主轴前，必须在加工系统中输入测头的参数，参数包含测球半径、刀具长度、刀具号，在进行标定之前需在机床上将测头探针的跳动调至0.005mm 范围内。 使用前测头必须进行标定测量，因为测头装配在刀柄上测头探针不可能准确 地位于主轴线上且刀具长度测量也存在误差，工件测头只是机床通讯测量系统的 一个组件，系统的每一个部分都能引入一个测针触发位置与报告给机床的位置之 间的常量。如果测头未进行标定，该常量值将在测量中产生误差。标定测头就是 允许测量软件对该常量进行补偿，常量自动存储在数据块GUD6内。 以下情况需对测头进行标定 第一次使用测头系统； 1) 测头上安装新的测针； 2) 怀疑测针变形或测头发生碰撞； 3) 定期补偿机床机械变化；
一种四探针法测量粉末电导率的介绍说明
一种四探针法测量粉末电导率的介绍说明 适用范围广泛用于：Applicable scope is widely used 锂离子电池用炭复合磷酸铁锂正极材料电阻率的测量；也应用于需要采用四探针法测量的导体或半导体粉末材料的分析与检测；也常用于石墨类粉状材料电阻率的测量；广泛应用于国内外企业品质检测；研发部门，大中专院校；科研院所；及质量检测机构. 功能概述：Functional overview 1.采用高精度集成电路模块；全自动化焊接电路. 2. 4.3吋液晶显示器，薄膜按键操作，自带温度. 3.高精恒直流恒流源系统. 4.四探针法测量模式--单电测量 5.中英两种语言版本选择. 6.手动液压加压 7. 超量程报警 8.上下限设定警报功能. 9.人体工学设计 10.选购：PC软件. 原理: Principle:
一定量的粉体，在液压动力下压缩体积至设定压力值或压强，无需取出，在线测量粉体电阻、电阻率、电导率，并记录数据. 解决粉体难压片成型或压片取出测量误差. 应用说明： 1.锂离子电池用炭复合磷酸铁锂正极材料粉末电导率的测定方法中用于仲裁方法的四探针法要求 2.四点探针法测试电导率的方法 满足标准： Meet Standard 1）四点探针测试仪满足GB/T 1551、GB/T1552-1995，ASTM F84美国A.S.T.M 标准。 2）四探针法粉末测试平台依据GBT 30835-2014《锂离子电池用炭复合磷酸铁锂正极材料》中关于粉末电导率的测定方法中用于仲裁方法的四探针法要求制作. 技术参数资料Technical Parameters
步骤及流程 1.运行高度清零
雷尼绍测头使用经验总结
//优先级别：红、绿、蓝、黑 1.测头刀长 有补偿路径时需要将测头刀长设为基准刀长，且测头刀长不能虚设必须为其实际刀长。由于测头不能在对刀仪上进行对刀，要想利用已知的刀具长度进行计算，只需要在同一个基准面上进行对刀，得到的Z向原点差值即为刀长之差。 1.在刀具设置中将“对刀基准与对刀仪原点间距”和“机外对刀刀长换算参数”清零； 2.使用测头在工件表面对刀，记下机床坐标Z1； 3.换刀，用一把加工刀具在工件表面同样位置对刀记下机床坐标Z2； 4.对刀设为当前刀具刀长，并在刀具设置中记下刀长Z3 5.测头刀长=Z3-（Z2-Z1）； 一般测头比加工刀具长，所以算出的测头刀长的绝对值小于加工刀具刀长的绝对值。 在45系统T213版本的升级说明中给出了刀具参数的设置流程，有些同事只知其然，不知其所以然，其实只要理解了刀具长度的换算关系，不止一种方法可以得到测头刀长。 2.测头使用过程中常见的异常报警 1)b08-c:12位扩展输入信号暂停。可能是测头信号设置错误、接收器被遮挡、在移动过程中碰到障碍物或者电量不足。测头电量不足时，马波斯测头信号灯黄橙闪烁，雷尼绍测头蓝绿或蓝色闪烁。 2)310-0：碰触过程中没有发现任何信号。需要修正测量点位置或者增大探测距离，目前45系统中允许的最大探测距离为40mm。 3)313-100：碰触回退后信号未消除。说明回退距离太小或者搜索速度过大，两者之间的数值关系应为：回退距离=搜索速度/2+0.05。一般建议首次测量速度不小于0.4mm，45系统中默认的是两次触碰模式，即先以搜索速度碰触到工件后再回退一段距离，然后以准确测量速度进行探测，第二次触碰到的位置才会保存在测量结果中；使用单次触碰模式可以提高探测效率，但测量精度会下降，可在一些对测量精度要求不高的情况下使用。 4)311-0：测头信号异常。需要确认当前测头状态是否正确。 5)路径类型与刀具类型不符。探测路径使用的刀具必须与设备参数设置里接触式测头设置的占用刀位一致。 6)数据已经被更新，不能重复更新。检查测量点编号或者数值保存编号是否重复使用。 7)计算源数据无效，不可使用。测量计算中使用了还未探测的点或者未赋值的数值编号。 8)计算源数据不足。计算角度、中心等使用的测量点数不够。 9)尺寸超差。测量结果超出允许的误差范围，若相差数值比较异常需要仔细检查测量点的设置、属性等。 3.测头安全操作及保养 1)测头接线或拆线之前要先断掉电源，接完线后应先检查线路再给机床上电，拆掉测头模块后应在机床配置参数中退选“允许接触式测头”。 2)未经JD45Test调试的测头不能使用，调试正常后最好进加工界面确认一下测头能
雷尼绍CNC探头编程步骤V01
雷尼绍探头使用介绍 第一草探头程序编程 第一节编探点程序 1?定原点，找各探点坐标值 先在UG软件里定好工件坐标系原点，然后用UG软件将需要探点的位 置的点（X Y Z）找出来，记录下来，以编探点程序用。 2?编探点程序（探点程序的名字自己定如：06666） 探点程序里面控制探头的移动需要调用两个重要的探头运算程序09810 和09811。探点程序格式案例：（以下是编探Z点的案例） % O6666（PROBE） G91G28Z0 G90 GO G17 G40 G49 G69 G80 （快速定位到到G54坐标系中的要探点的第一个点上方） 主轴定位，S是让主轴转一个角度，如果是探Z轴方向的点, 就不需要，如 果是探侧面，就需要S,即转角度，使探头在探各侧面时都是使用探针红宝石球的一个面测量，减小 M05 M17 (open probe)（打开探头，这个指令是由接线时接到相应端口决定的） G43 Z50.H11 G90G00Z50.（建立刀长，即读取探头的长度）（探头快速下到Z50.的位置） M6 T11 （探头装在T11刀座上，换T11号探头到主轴上）G90 G00 G54 X-18. Y50. M19 (S_ ) (
N1(Z+ P0INT1) G65P9810 X-18. Y50. F3000. G65P9810 Z19.（测第一个点的Z值） （安全快速定位到第一个点的X Y位置，速度为F3000.）（安全快速定位到第一个点上方的安全的Z位置，速度同
上，此处高度一般离下面要测的点3MM） （安全慢速到达第一个探点的Z位置，另外，此步探完点后， 会自动的返回到上一步Z19.0 的位置） （#142为第一个探点的理论Z16.08与实际探得的“ Z实”的差值, 它是在0981俚面自动计算，然后传递给#142，#142 再将所得的值传递给#601，#601为第一个点Z向要补尝的值）安全快速移到安全高度Z20. 的位置） （测第二个点的Z值） （安全快速定位到第二个点的X Y位置，速度为F3000.） （安全快速定位到第二个点上方的安全的Z位置，速度同上，此处高度一般离下面要测的点3MM） （安全慢速到达第二个探点的Z位置，另外，此步探完点后，会自动的返回到上一步Z19.0的位置） 为第二个探点的理论Z16.08与实际探得的“ Z实”的差值, 它是在09811里面自动计算，然后传递给#142，#142 再将所得的值传递给#601，#601为第二个点Z向要补尝的值） 安全快速移到安全高度Z20. 的位置） N3(Z+ POINT1) G65P9810 X12.5 Y51.1 F3000. G65P9810 Z19. G65P9811 Z16.08 #603=#142 G65P9810 Z20. N4(Z+ POINT1) G65P9810 X12.2 Y49.2 F3000. G65P9810 Z16. G65P9811 Z13.73 #604=#142 G65P9810 Z35. （测第三个点的Z 值） （测第四个点的Z 值） N16(Z+ POINT1) G65P9810 X-16.5 Y-18.2 F3000. G65P9810 Z16. G65P9811 Z14.23 （测第十六个点的Z 值） G65P9811 Z16.08 #601=#142 G65P9810 Z20. N2(Z+ POINT1) G65P9810 X-16.5 Y48.3 F3000. G65P9810 Z17. G65P9811 Z14.23 #602=#142 #142 G65P9810 Z35.
SZT-2A四探针测试仪使用说明书[资料]
SZT-2A四探针测试仪使用说明书[资料] SZT-2A四探针测试仪 使用说明书一概述 SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。 仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型(电阻率，方块电阻和电阻)以及探头修正系数，主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为: 温度: 23? ?3? 相对湿度: 50%~70% 工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源。 二，技术参数 1，测量范围
5 电阻率: 10??-10?-cm 5 方块电阻 10??- 10?/? -5电阻 10?- 10 ? 2，可测半导体材尺寸 直径: Ф15-100mm 长(或高)度: ?400mm 3，测量方位 轴向，径向均可 4，数字电压表: ,1, 量程:20mV,200mV,2V ,2, 误差:?0.5%读数?2字 ,3, 输入阻抗:>10?? ,4, 最大分辨率:10μV ,5, 点阵液晶显示，过载显示。 5，恒流源: ,1, 电流输出:共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头 修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算后，直接显示修正后的结果。 ,2, 误差: ?0.5%?2字。 6,四探针测试头; (1) 探针间距: 1mm (2) 探针机械游移率: ?1.0% (3) 探针材料: 碳化钨,Ф0.5mm (4) 0-2Kg可调,最大压力约2Kg 7, 电源:
雷尼绍测头的应用
1 绪论 1.1 研究背景 随着科技、生产的快速发展，测量技术日益显著。而相当长的时间内，测量基本上是静态的，即测量对象在测量过程中不变化或没有明显变化，同时，测量大多是“离线”的，而不是“在线”的，即不是在生产制造过程中实现。比如，对于生产，离线的静态测量只能对零部件和成品分别进行检测；而对生产加工的过程则无能为力。如果能对生产制造过程加以检测，即进行所谓的“在线测量”，则不仅可以保证产品质量、增加产量，降低消耗、减少成本、提高效率，而且还可以随时监测甚至排除生产中的潜在问题，保证生产顺利进行。 国际上，上世纪60 年代后期开始，在机测量技术便引起了人们的关注。这一方面是由于科技、生产和社会发展的需要，尤其是质量和效益的挑战；另一方面则是由于传感器技术、微型计算机技术、自动控制技术和图像识别技术等的进展，为在机测量的实现提供了必要的条件。1974 年召开的第一次在机测量国际会议，进一步引起了全世界各国的普遍关注，对在机测量技术的开发与应用起了有力作用。 近年来，基于接触式、非接触式等各种测头的在机测量技术在现代工业领域被广泛应用。触发式测头在国外发展较早，技术也都相对成熟，测头的位置坐标主要通过加工设备的控制系统存储，其精度主要取决于加工设备的定位精度。因此，为了得到较高的测量精度，国内外的研究大多都是采用国外的数控系统和加工设备，比如：FANUC 数控系统等而随着国内加工设备的精度提升，此次采用北京精雕控制系统及其北京精雕高速雕刻中心来完成测头的在机测量研究。对于非接触式测量方式，激光扫描法相对成熟，比如国外大多采用FANUC 数控加工中心上配激光测头，使其附加了数控测量功能，实现了三轴机床上的在机测量。 随着加工技术的飞速发展，数控机床在生产中的应用越来越广泛。虽然机床按程序执行，但加工时间短，效率高，但工件对准、检查等辅助加工时间没有缩短，甚至占整个加工过程的1/3 以上。面对这些问题，使用Renishaw 探头不仅避免了重复编程，节省了编程和调试时间，还具有机器测量功能，保证了机床生产和操作的可靠性，保证了产品加工尺寸精度。 1.2 雷尼绍测头在机测量介绍 在数控加工过程中，有很多时间被工件的装夹找正及刀具尺寸的测量所占去。 采用工件测头系统，可在机床上快速、准确测量工件的位置，直接把测量结果反馈到数控系统中修正机床的工件坐标系。若机床具有数控转台，还可由测头自动找正工件基准面，自动
哈斯-雷尼绍测头探针系统使用指南20110214
哈斯、雷尼绍 测头探针系统使用指南 VQC雷尼绍测头模板 使用HAAS/雷尼绍测头可以简化测头程序，并且可以定制，包括5部分：主轴探头1-9，主轴探头10-18，刀具偏置，测头校验，帮助。
这包括最近发放哈斯机床探针（由雷尼绍制造）设置模板。 因为没有人知道如何使用，很多测头使用率低，并且说明书非常复杂。 哈斯VQC探针系统包括一个主轴探头，工具设置探头，探头接收和Renishaw软件（约49k ，9000宏）。 它大大简化了编程和设置和使用的探针。 创建的程序调出所需的宏子程序。 样板被分成4个种类显示。因为15个类别的限制，在VQC模板中这是一个单独的程序（O09910）。 程序文件“vqcpsmei.pgm”包括42个子程序。 附带的雷尼绍软件给有编程/探头的经验的人提供了完整的探测能力。 注：帮助是一个新的类别，显示在软件更改。 如果您已经加载规则的铣床VQC模板（VQC进入方法：MDI模式下按程序键两次，选择VQC），你可以按
Here you can see the five categories of the Probe Templates. If we select the first category (by pressing WRITE/ENTER) we get these templates (next slide): 在测头模板中可以看到5个分类。 如果我们选择第一类（按写入/回车），我们得到这些模板（下图）：
SZT-2A四探针测试仪使用说明书
SZT-2A四探针测试仪使用说明书 SZT-2A四探针测试仪 使用说明书 一概述 SZT-2A型数字式四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，即可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值。 仪器由主机，测试架等部份组成，测试结果由液晶显示器显示，同时，液晶显示器还显示测量类型(电阻率，方块电阻和电阻)以及探头修正系数，主机由开关电源，DC/DC变换器，高灵敏度电压测量部份，高稳定度恒流源，和微电脑控制系统组成。由於采用大规模集成电路，所以仪器可靠性高，测量稳定性好。 测试探头采用宝石导向轴套和高硬度钢针，定位准确，游移率小，使用寿命长。 仪器适用於半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，高等院校对半导体材料电阻性能的测试。 本仪器工作条件为: 温度: 23? ?3? 相对湿度: 50%~70% paper has produced remarkable results. By pay close attention to reform, all three business units exceeded annual targets on schedule
task. Hotel as originally planned one month in advance to achieve the annual task of Pingliang, four months ahead of the dynamic balance of revenues and expenditures year, annual operating revenue reached 10.41 million Yuan, accounting for 114% of the annual plan, achieved a net profit 工作室内应无强磁场干扰，不与高频设备共用电源。二，技术参数 1，测量范围 5 电阻率: 10??-10?-cm 5 方块电阻 10??- 10?/? -5电阻 10?- 10 ? 2，可测半导体材尺寸 直径: Ф15-100mm 长(或高)度: ?400mm 3，测量方位 轴向，径向均可 4，数字电压表: ,1, 量程:20mV,200mV,2V ,2, 误差:?0.5%读数?2字 ,3, 输入阻抗:>10?? ,4, 最大分辨率:10μV ,5, 点阵液晶显示，过载显示。 5，恒流源: ,1, 电流输出:共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可 通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头 修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算