晶体管无法进入游戏的解决方法

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材料导论碳纳米管综述

姓名:欧阳一鸣学号:2013012532 班级:高材 1313

潜在的碳纳米管场效应晶体管的模拟电路 介绍 在集成电路晶体管的指数增长摩尔定律所描述的内容持续了近一个半世纪 里。然而,2010年的国际半导体技术发展路线图预测增长将减缓到2013年底。 这主要是因为互补金属氧化物半导体(CMOS的比例正迅速接近其物理限制带来了许多障碍,如更高的亚阈值传导,栅氧化层和结泄漏增加,低输出电阻和跨导,增加热量生产。这使得半导体行业探索不同的材料和设备更加超越摩尔定律(如通过创造ITRS)。在这些材料和器件研究,碳纳米管场效应晶体管(CNFET) 已经获得了,因为它们规模小,流动性高,近弹道输运,大电流密度和较低的固有电容。自推出CNFETs该研究已主要重点对他们的数字电路使用。甚至中等规模薄流明碳纳米管(CNT的集成电路已报告了灵活塑料基板。然而,开/关比(也称为噪声余量)通常很小对于目前制造CNFETs因为存在金属碳纳米管[, 因此需要更多的调查,他们用于数字电路。与此相反,CNFETs具有更多潜在用 于高性能模拟电路,其中所述晶体管不需要充分关闭。此外,特性perform-ANCE 度量类似物或RF晶体管是更适合材料和碳纳米管的设备性能和制造tol-era nces ,也可以更轻松得的。 CNFETS础知识 场效应管的结构和MOSFE样的CNFETs 在传统的MOSFET源区和漏区是由两个重掺杂区中的硅衬底形成,并且栅极由多晶硅材料,其是绝缘的形成从基板由薄的二氧化硅层。如果电压被施加到 栅极端,下方的连续信道栅极形成用于电流流动的源极和漏极之间。 另一方面为CNFETs栅极,源极和漏极接触由像铬或钨金属与 4.5电子伏特的功函数。H是金属接触的高度,L是长度。值得一提的是,出两种类型CNFETs 即肖特基势垒和MOSFE等的,选择后者,因为它具有较高的离子/IOFF比率,过渡频率f 低的,更低的寄生电容,更好的AC性能和更高的制造可行性。在MOSTFE样的CNFE■之间的电流源和漏接触使用碳纳米管。根据贝壳的数量形成管状结构这些碳纳米管可以作为折叠见石墨烯成管状结构,可以单壁和多壁。单壁碳

参考有机场效应晶体管和研究

有机场效应晶体管的研究 摘要:有机场效应晶体管(Organic Field Effect Transistors,OFETs)是以有机半导体材料作为有源层的晶体管器件。和传统的无机半导体器件相比,由于其可应用于生产大面积柔性设备而被人们广泛的研究,在有机发光、有机光探测器、有机太阳能电池、压力传感器、有机存储设备、柔性平板显示、电子纸等众多领域具有潜在而广泛的应用前景。文中对OFET结构和工作原理做了简要介绍,之后重点讨论了最近几年来OFET中有机材料和绝缘体材料的发展状况,接着总结了OFET制备技术,最后对OFET发展面临问题及应用前景做了归纳和展望。关键词:有机半导体材料;有机场效应晶体管;迁移率;绝缘体材料;柔性面板显示 0引言 场效应晶体管( Field Effect Transistor FET)是利用电场来控制固体材料导电 性能的有源器件。由于其所具有体积小、重量轻、功耗低、热稳定性好、无二次 击穿现象以及安全工作区域宽等优点,现已成为微电子行业中的重要元件之一。 目前无机场效应晶体管已经接近小型化的自然极限,而且价格较高,在制备 大表面积器件时还存在诸多问题。因此,人们自然地想到利用有机材料作为FET 的活性材料。自1986年报道第一个有机场效应晶体管( OFET )以来,OFET研究 得到快速发展,并取得重大突破。由于OFET具有以下突出特点而受到研究人员 的高度重视:材料来源广,工作电压低,可与柔性衬底兼容,适合低温加工,适 合大批量生产和低成本,可溶液加工成膜等。从使用共扼低聚物成功地制造出第 一个有机场效应晶体管,到全有机全溶液加工的光电晶体管的诞生,这些突破性 进展对有机半导体材料的发展无论从理论上还是工业生产上都起到了巨大的推 动作用。 1器件结构、工作原理及性能评定 1. 1有机场效应晶体管基本结构 传统的有机场效应晶体管的主要包括底栅和顶栅两种结构,其中底栅和顶栅 结构又分别包括顶接触和底接触两种结构,如图1所示。

南洋理工大学材料科学与工程学院研.doc

南洋理工大学材料科学与工程学院研究领域详解学校名称: 新加坡南洋理工大学 Nanyang Technological University 所在位置:新加坡 创建时间:1991

QS排名:55 在您在材料科学与工程学院的日子里,你将会有丰富的知识和技能。我们的目标是让每个学生充分利用材料科学与工程学院的每一项资源,成为具备未来所需技能的领导者,跟着一起来了解一下该学院的研究领域吧。 一、专业纵览

你将会有:材料领域的专业知识;清晰的心灵解决任何问题;精明地传达思想和想法;燃烧激情,实现超越已知能力;在不懈的进步中怜悯。最后一个属性可以完成材料科学与工程学院教育,这就是为了达到你想要的目标而采取的行动。在材料科学与工程学院,我们将为您提供学习的机会。通过您的主动性,参与度和愿望,您可以从经验中获得最大收益。 二、学院使命和愿景 通过不同学科的广泛教育培养创意和企业家领导者成为一所以科学技术为基础的伟大的全球性大学;为了与大学的使命和愿景保持一致,材料科学与工程学院学院制定了以下使命和愿景。 十年来,教育和激励全球联系和跨学科培训的材料科学家和工程师。创造智力价值,激发基于需求的研究,并将科学和技术转化为市场。成为全球领先的材料科学与工程机构。 成为全球领先的材料科学与工程机构,十年来,教育和激励全球联系和跨学科培训的材料科学家和工程师,创造知识价值,激发基于需求的研究,并将科学和技术转化为市场。

三、研究纵览 材料科学与工程学院(材料科学与工程学院)为员工和学生提供了一个充满活力和培养的环境,以便在以下关键领域开展跨学科研究:生物材料和生物医学设备;计算材料科学;国防材料;功能材料和复合材料;可持续发展材料;纳米电子学,纳米材料和多铁学,材料科学与工程学院配备了各种类型的设备和设备,用于教学和广泛的研究用途。 以下是我们的实验室和设施:生物材料;光伏联合实验室;仿生传感器科学中心;电子空间和电子学习工作室;级表征,测试和模拟设施;无机材料表征;材料加工;纳米材料;生物医学实验室;有机材料服务实验室;太阳能燃料实验室。 四、研究领域 研究是材料科学与工程学院最重要的支柱。它将推动我们的增长数量和质量。我们强调对所有教职员工的研究,并鼓励我们的本科生在他们任职的早期参与研究课程。我们通过与世界一流机构的交流课程和联合学位课程,继续寻找

薄膜晶体管

薄膜晶体管的定义: Thin Film Transistor (薄膜场效应晶体管),是指液晶显示器上的每一液晶象素点都是由集成在其后的薄膜晶体管来驱动。从而可以做到高速度高亮度高对比度显示屏幕信息。TFT属于有源矩阵液晶显示器。 补充:TFT(ThinFilmTransistor)是指薄膜晶体管,意即每个液晶像素点都是由集成在像素点后面的薄膜晶体管来驱动,从而可以做到高速度、高亮度、高对比度显示屏幕信息,是目前最好的LCD彩色显示设备之一,其效果接近CRT显示器,是现在笔记本电脑和台式机上的主流显示设备。TFT的每个像素点都是由集成在自身上的TFT来控制,是有源像素点。因此,不但速度可以极大提高,而且对比度和亮度也大大提高了,同时分辨率也达到了很高水平。 TFT ( Thin film Transistor,薄膜晶体管)屏幕,它也是目前中高端彩屏手机中普遍采用的屏幕,分65536 色及26 万色,1600万色三种,其显示效果非常出色。 平板显示器种类: 经过二十多年的研究、竞争、发展,平板显示器已进入角色,成为新世纪显示器的主流产品,目前竞争最激烈的平板显示器有四个品种: 1、场致发射平板显示器(FED); 2、等离子体平板显示器(PDP); 3、有机薄膜电致发光器(OEL); 4、薄膜晶体管液晶平板显示器(TFT-LCD)。 场发射平板显示器原理类似于CRT,CRT只有一支到三支电子枪,最多六支,而场发射显示器是采用电子枪阵列(电子发射微尖阵列,如金刚石膜尖锥),分辨率为VGA(640×480×3)的显示器需要92.16万个性能均匀一致的电子发射微尖,材料工艺都需要突破。目前美国和法国有小批量的小尺寸的显示屏生产,用于国防军工,离工业化、商业化还很远。 等离子体发光显示是通过微小的真空放电腔内的等离子放电激发腔内的发光材 料形成的,发光效应低和功耗大是它的缺点(仅1.2lm/W,而灯用发光效率达80lm/ W以上,6瓦/每平方英寸显示面积),但在102~152cm对角线的大屏幕显示领域有很强的竞争优势。业内专家分析认为,CRT、LCD和数字微镜(DMD)3种投影显示器可以与PDP竞争,从目前大屏幕电视机市场来看,CRT投影电视价格比PDP便宜,是PDP最有力的竞争对手,但亮度和清晰度不如PDP,LCD和DMD投影的象素和价格目前还缺乏竞争优势。尽管彩色PDP在像质、显示面积和容量等方面有了明显提高,但其发光效率、发光亮度、对比度还达不到直观式彩色电视机的要求,最重要的是其价格还不能被广大家用消费者所接受,这在一定程度上制约了彩色PDP 市场拓展。目前主要在公众媒体展示场合应用开始普遍起来。 半导体发光二极管(LED)的显示方案由于GaN蓝色发光二极管的研制成功,从而一举获得了超大屏幕视频显示器市场的绝对控制权,但是这种显示器只适合做户外大型显示,在中小屏幕的视频显示器也没有它的市场。 显示器产业的专家一直期望有机薄膜电致发光材料能提供真正的象纸一样薄的 显示器。有机薄膜电致发光真正的又轻又薄,低功耗广视角,高响应速度(亚微妙)

并五苯有机薄膜晶体管的制备

并五苯有机薄膜晶体管的制备 作为半导体材料中的佼佼者,基于pentacene的OTFT器件有着较高的载流子迁移率,并且有研究者已经发现基于pentacene的OTFT对水蒸气、某些气体正戊醇蒸气都有着很好的响应能力。实验采用基于pentacene作为器件的有机层,价格低廉的PMMA为绝缘层,Au作为源漏电极。OTFT制作工艺流程如图4-1所示。所用的设备主要包括超声波清洗器、匀胶机、OLED-V型有机多功能高真空成膜设备和微控数显电热板,型号为LadTech EH35B。 基板清洗绝缘层成膜 退火处理 器件测试 有机层成膜 源漏电极 图4-1OTFT制作工艺流程图 4.1.1基片清洗 实验中采用的衬底为玻璃基片,定制的玻璃基片已经溅射有ITO薄膜,上面残留有很多污渍,平整度和洁净度都较低,对OTFT器件整体性能有着极其重要的影响,所以需要对玻璃基片进行清洗。本论文中所制备的OTFT器件的尺寸为3.1cm×3.1cm,如图4-2所示,中间部分为溅射的ITO薄膜作为栅极,黑色的部分为利用掩膜版制备的源漏电极。

图4-2实验室制备有机薄膜晶体管结构示意图 主要清洗步骤如下: (1)首先选择高度平整的已刻蚀有栅极ITO玻璃基片,利用沾有清洗剂的无尘布擦洗基片,然后在清洗剂溶液中超声10min。 (2)取出装有玻璃基片的清洗架,在丙酮溶液中超声10min,再用沾有丙酮溶液的无尘布擦洗基片,然后在去离子水中超声10min。 (3)取出装有玻璃基片的清洗架,用去离子水冲洗,最后在无水乙醇中超声清洗10min后。清洗后用高纯氮气吹干基片。 4.1.2绝缘层薄膜制备 本实验制备的OTFT器件为底栅底接触型结构,典型器件结构如图4-3所示,首先制备绝缘层。PMMA具有良好的热稳定性,高电阻率,尤其可采用工艺简单的旋涂法成膜。Puigdollers等人采用不同的绝缘层(PMMA和SiO2)制备了OTFT器件,观察到基于PMMA为绝缘层的晶体管性能优于以SiO2为绝缘层的晶体管性能,有着更高的迁移率,发现是由于PMMA表面比SiO2更有利于形成大的薄膜颗粒。实验中,首先PMMA溶解于氯仿中,配成浓度为7%wt的溶液,将配置好的溶液的小玻璃瓶放在磁力搅拌器底盘的正中间,搅拌12个小时。如图所示KW-4A旋涂仪器,首先将匀胶机低转速设定为400rpm,旋转时间为5s,高转速设置为2000rmp,旋转时间为1min。将基片置于旋转载物台上,启动机械泵后,然后将PMMA溶液滴涂在基片上旋涂,先以低速运转,使溶液摊开,然后自动变到高速运转成薄膜。然后在150℃温度下,将器件退火1h。经过测试,PMMA厚度为520nm,绝缘层介电常数为5.1nF/cm2。

碳纳米管在场发射显示器中的应用及影响

碳纳米管在场发射显示器中的应用及影响 陈凯 06006311 前言: 显示技术作为多学科交叉的综合技术,已经渗透到当今民用和军用的各个领域,发挥着重要的作用。尤其在以网络和无线通讯为标志的信息时代,上下“信息高速公路”均需以显示器作为平台,因而对显示技术的期望值更高。显示技术的产业化将在信息时代得到进一步的发展,并将创造更大的社会财富。 在阴极射线管(CRT)、薄膜晶体管液晶(LCD)、等离子体(PDP)、有机电致发光等诸多显示器件中,CRT器件目前最为成熟,在全球市场上占据主导地位,它具有高亮度、高分辨率、全视角等优点,人们已广泛接受了其色彩和画质,因而它也成为人们衡量其他显示质量的一个无形标准。但CRT存在着体积庞大、笨重、功耗高等缺点。如何保留CRT的色彩与画质,并使CRT数字化、薄型化是科技界与产业界十分关注的问题。而场致发射显示器(FED),则因为其发光原理上与CRT较为相似,故在是唯一的图像质量可与CRT相媲美的平板显示器,最符合电视特性,并且更易制备出较大显示面积。 然而,经过多年的努力,商品化的场发射显示器仍然难以进于市场。究其原因,在于就场发射显示器的关键技术:阴极电子发射材料而言,传统的尖锥冷阴极加工工艺复杂,使得成品率难以提高,成本很难降低。而碳纳米管阴极的出现,为这一显示技术提供了新的突破点。 一、FED显示器的原理及结构 场发射电极理论最早是在1928年由R.H.Eowler与L.W.Nordheim共同提出,不过真正以半导体制程技术研发出场发射电极组件,开启运用场发射电子做为显示器技术,则是在1968年由C.A.Spindt提出,随后吸引后续的研究者投入研发。 其工作原理是:众多的阴极发射体以阵列状排列,每一个像素对应于一个或若干个发射体。在强电场作用下,阴极材料表面势垒高度降低,势垒宽度变窄,阴极发射体中的电子通过隧道效应穿透势垒发射到真空中,并轰击阳极上的荧光粉层而发光。 其基本结构如图1所示,主要由平面电子源场发射阵列(阴极)、栅极和阳极荧光屏构成,再加上辅助部分如消气剂、绝缘支柱,最后真空封装构成。阴阳两极采用透明导电膜(通常是ITO),其上涂敷荧光粉。阳极、阴极和栅极由各自的引线电极与外围的驱动电路相连。阴极和栅极互相垂直,利用栅极和阴极实现矩阵选址。每个阴极和栅极的交叉点对应于—个像素点。固定阳极电压,调节栅极电压,当两种叠加电场超过材料的阈值电场时,阴极的微尖发射,该像素被点亮,否则像素点被截止不发光。 以此,FED利用平面冷电子源代替热阴极的电子源,节省庞大的电子枪空间。同

国产5nm碳纳米管研究新突破

国产5nm 碳纳米管研究新突破 北京大学信息科学技术学院彭练矛-张志勇课题组在碳 纳米管电子学领域进行了十多年的研究,发展了一整高性能碳纳米管CMOS 晶体管的无掺杂制备方法,通过控制电极功函数来控制晶体管的极性。集成电路发展的基本方式在于晶体管的尺寸缩减,从而性能和集成度,得到更快功能更复杂的芯片。目前主流CMOS 技术即将发展到10 纳米技术节点,后续发展将受到来自物理规律和制造成本的限制,很难继续提升,“摩尔定律”可能面临终结。20 多年来,科学界和产业界一直在探索各种新材料和新原理的晶体管技术,以望替代硅基CMOS 技术。但是到目前为止,并没有机构能够实现10 纳米的新型CMOS 器件,而且也没有新型器件能够在性能上真正超过最好的硅基CMOS 器件。碳纳米管被认为是构建亚10 纳米晶体管的理想材料,其原子量级的管径保证了器件具有优异的栅极静电控制能力,更容易克服短沟道效应;超高的载流子迁移率则保证器件具有更高的性能和更低的功耗。理论研究表明碳管器件相对于硅基器件来说具有5-10 倍的速度和功耗优势,有望满足后摩尔时代集成电路的发展需求。但是已实现的最小碳纳米管CMOS 器件仅停滞在20nm 栅长(2014 年IBM ),而且性能远远低于预期。 北京大学信息科学技术学院彭练矛-张志勇课题组在碳纳米

管电子学领域进行了十多年的研究,发展了一整高性能碳纳 米管 CMOS 晶体管的无掺杂制备方法,通过控制电极功函 数来控制晶体管的极性。 彭练矛教授(左)和张志勇教授 (右) 5nm 技术节点实现突破近年来, 该课题组通过优化器件结构 和制备工艺,首次实现了栅长为 10 纳米的碳纳米管顶栅 CMOS 场效应晶体管(对应于 5纳米技术节点),P 型和n 型器件的亚阈值摆幅( subthreshold swing, SS )均为 70 mV/DEC 。器件性能不仅远远超过已发表的所有碳纳米管器 件,并且更低的工作电压(0.4V )下,P 型和n 型晶体管性 能均超过了目前最好的( Intel 公司的 14 纳米节点)硅基 CMOS 器件在 0.7V 电压下工作的性能。 特别碳管 CMOS 晶 体管本征门延时达到了 0.062Ps ,相当于 14 纳米硅基 CMOS 器件( 0.22Ps )的 1/3 。图 1:10 纳米栅长碳纳米管 CMOS 器件。 A : n 型和 P 型器件截面图和栅堆垛层截面图; P 型和 n 型碳管器件的转移曲线以及与硅基 CMOS 器件 (Intel, 14nm, 22nm )的对比。D:碳管器件的本征门延时与 14nm 硅基 CMOS 对比。课题组进一步探索 5nm 栅长(对 应3 纳米技术节点)的碳管晶体管。采用常规结构制备的栅 长为 5 纳米的碳管晶体管容易遭受短沟道效应和源漏直接隧 穿电流影响,即使采用超薄的高 k 栅介质(等效氧化层厚度 0.8纳米),器件也不能有效地关断,SS 一般大于 课题组采用石墨烯作为碳管晶体管的源漏接触,有效地抑制B-C: 100mV/Dec 。

碳纳米管器件原理和应用

碳纳米管器件原理和 应用 姓名:郭天凯 专业:应用物理 学号:2012437019

摘要: 纳米材料被誉为是21 世纪的重要材料,它将构成未来智能社会的四大支柱之一。碳纳米管在纳米材料中最富有代表性,并且是性能最优异的材料。碳纳米管具有独特的结构形态和优异的电学、力学等性能,碳纳米管的独特结构和优异的物理力学性能使它成为纳米科技领域中构筑纳尺度器件和系统的重要基础,为纳米科技领域的创新提供着持续强劲的原动力。碳纳米管在各种应用领域中的巨大应用前景,包括高强度复合材料、微机械、信息存储、纳米电子器件、平板场致发射显示器以及碳纳米管微操作等,碳纳米管独特的结构和优良性能使其在纳米技术和纳米电子学领域扮演着愈来愈重要的角色,本文综述了碳纳米管器件的原理和应用。 关键词:碳纳米管器件、场效应管、单电子晶体管、电磁屏蔽复合材料、聚合物基吸波复合材料、超电容器电极材料、储氢材料、催化剂载体 正文: 一、碳纳米管器件的制备原理 碳纳米管的生长和制备是场致发射显示器研制中关键的一个环节。目前,人们可以利用激光轰击法、化学汽相沉积法、辉光放电法、直流电弧放电法、气体燃烧法、催化剂高温热解法等多种方法制备碳纳米管。在这些技术当中,直流电弧放电法的生产工艺简单,可以大批量生产。虽然目前已经有很多种制备碳纳米管的方法,但是碳纳米管的大量制备仍然是以电弧放电法和高温催化热解法为主。其中电弧

放电法可以获得具有较高程度石墨化结构的碳纳米管,十分适用于理论研究的需要。C.Journet等人采用电弧法的工艺过程如下:在氩气气氛下,利用阴阳两个电极之间的大量放电现象来实现碳纳米管材料的生长。阴极是一个长约100mm、直径大约6mm的石墨棒,上面刻蚀了一个4mm深、3.5mm直径大小的孔洞,利用金属催化剂和石墨粉末的混合物进行填充。利用大约为100A的高电流来产生电弧放电,通过不断移动阳极,同时保持阴极和阳极之间的间距为常数(大约为 3mm)来实现的。典型的生长时间为2min。从SEM的结果看,存在着大量的、相互缠绕的碳纤维材料均匀地分布在至少为几个平方毫米的衬底表面上,碳纳米管的直径为10~20nm,而两个缠绕点之间的平均距离在几个微米左右,但是看不出碳纳米管的顶端。估计碳纳米管的产量在百分之八十左右。 碳纳米管的电学性能,单壁碳纳米管既可表现为金属性,又可表现为半导体性;电子在碳纳米管中可实现弹道式传输,无电子散射发生,无能量损失;碳纳米管的通流能力可以达到109? 1010A/cm2,并在较高的温度下稳定地存在而没有电迁移现象;碳纳米管的电流传输具有螺旋特征,使其磁场分布主要集中在碳管的内部;碳纳米管的场发射特性具有相对低的开启电压和阈值电压、良好的场发射稳定性和长的发射周期;碳纳米管的微波介电特性使其表现出较强的宽带微波吸收性能。碳纳米管的力学性能,比重为钢的1/6,强度为钢的100 倍,杨氏模量可达1000 GPa,比金刚石高好几倍,弹性模量可达 1 TPa;具有高弹性,高的韧性;通过材料的响应,直接把电能转化为机械能。

场效应晶体管

场效应晶体管中英文介绍(field-effect transistor,缩写:FET) 场效应晶体管是一种通过电场效应控制电流的电子元件。它依靠电场去控制导电沟道形状,因此能控制半导体材料中某种类型载流子的沟道的导电性。场效应晶体管有时被称为单极性晶体管,以它的单载流子型作用对比双极性晶体管(bipolar junction transistors,缩写:BJT)。尽管由于半导体材料的限制,以及曾经双极性晶体管比场效应晶体管容易制造,场效应晶体管比双极性晶体管要晚造出,但场效应晶体管的概念却比双极性晶体管早。 历史 场效应晶体管于1925年由Julius Edgar Lilienfeld和于1934年由Oskar Heil分别发明,但是实用的器件一直到1952年才被制造出来(结型场效应管,Junction-FET,JFET)。1960年Dawan Kahng发明了金属氧化物半导体场效应晶体管(Metal-Oxide-Semiconductor Field-effect transistor, MOSFET),从而大部分代替了JFET,对电子行业的发展有着深远的意义。 基本信息 场效应管是多数电荷载体的设备。该装置由一个活跃的信道,通过该多数载流子,电子或空穴,从源到流向漏极。源极和漏极端子导体被连接到半导体通过欧姆接触。的通道的导电性的栅极和源极端子之间施加的电位是一个函数。 FET的三个端子是: 源极(S),通过其中的多数载流子输入通道。进入该通道,在S点的常规的电流被指定由IS。漏极(D),通过其中的多数载流子离开的通道。常规电流在D通道进入指定的ID。漏源电压VDS。 栅极(G),调制的通道的导电性的端子。通过施加电压至G,一个可以控制的ID。 场效应晶体管的类型 在耗尽模式的FET下,漏和源可能被掺杂成不同类型至沟道。或者在提高模式下的FET,它们可能被掺杂成相似类型。场效应晶体管根据绝缘沟道和栅的不同方法而区分。FET的类型有: DEPFET(Depleted FET)是一种在完全耗尽基底上制造,同时用为一个感应器、放大器和记忆极的FET。它可以用作图像(光子)感应器。 DGMOFET(Dual-gate MOSFET)是一种有两个栅极的MOSFET。 DNAFET是一种用作生物感应器的特殊FET,它通过用单链DNA分子制成的栅极去检测相配的DNA链。 FREDFET(Fast Recovery Epitaxial Diode FET)是一种用于提供非常快的重启(关闭)体二极管的特殊FET。 HEMT(高电子迁移率晶体管,High Electron Mobility Transistor),也被称为HFET(异质结场效应晶体管,heterostructure FET),是运用带隙工程在三重半导体例如AlGaAs中制造的。完全耗尽宽带隙造成了栅极和体之间的绝缘。 IGBT(Insulated-Gate Bipolar Transistor)是一种用于电力控制的器件。它和类双极主导电沟道的MOSFET的结构类似。它们一般用于漏源电压范围在200-3000伏的运行。功率MOSFET仍然被选择为漏源电压在1到200伏时的器件.

晶体管实现数字逻辑的方法

晶体管级的数字设计 CMOS实现逻辑电路(次要,可简略带过): 1.与非门电路 下图是2输入端CMOS与非门电路,其中包括两个串联的N沟道增强型MOS管和两个并联的P沟道增强型MOS管。每个输入端连到一个N沟道和一个P沟道MOS管的栅极。当输入端A、B中只要有一个为低电平时,就会使与它相连的NMOS管截止,与它相连的PMOS 管导通,输出为高电平;仅当A、B全为高电平时,才会使两个串联的NMOS管都导通,使两个并联的PMOS管都截止,输出为低电平。 因此,这种电路具有与非的逻辑功能,即 n个输入端的与非门必须有n个NMOS管串联和n个PMOS管并联。 2.或非门电路 下图是2输入端CMOS或非门电路。其中包括两个并联的N沟道增强型MOS管和两个串联的P沟道增强型MOS管。 当输入端A、B中只要有一个为高电平时,就会使与它相连的NMOS管导通,与它相连的PMOS管截止,输出为低电平;仅当A、B全为低电平时,两个并联NMOS管都截止,两个串联的PMOS管都导通,输出为高电平。 因此,这种电路具有或非的逻辑功能,其逻辑表达式为 显然,n个输入端的或非门必须有n个NMOS管并联和n个PMOS管并联。

比较CMOS与非门和或非门可知,与非门的工作管是彼此串联的,其输出电压随管子个数的增加而增加;或非门则相反,工作管彼此并联,对输出电压不致有明显的影响。因而或非门用得较多。 3.异或门电路 上图为CMOS异或门电路。它由一级或非门和一级与或非门组成。或非门的输出。而与或非门的输出L即为输入A、B的异或 如在异或门的后面增加一级反相器就构成异或非门,由于具有的功能,因而称为同或门。异成门和同或门的逻辑符号如下图所示。

薄膜晶体管-调研报告

“薄膜晶体管的制备及电学参数”调研报告 (青岛大学物理科学学院,应用物理系) 摘要:20世纪平板显示技术的出现,把人类带入了信息社会,人类社会从此发生了质的飞跃。而平板显示的核心元件就是薄膜晶体管TFT(nlin Film Transistor),一种在掺杂硅片或玻璃基底上通过薄膜工艺制作的场效应晶体管器件。将半导体氧化物作为有源层来制作TFT用于平板显示中,不仅能获得较高迁移率,器件性能优越,而且制造工艺简单、低温下可以获得,显示出了巨大的应用前景。本文综述了薄膜材料的制备方法,薄膜晶体管的发展历程与应用以及其结构、工作原理和测试表征方法。 关键词:薄膜材料,薄膜晶体管,制备,表征方法 Abstract:In the 20th century,the emergence of the flat panel display technology has brought human beings into the information society.Since then the human society happened a qualitative leap.The core component of flat panel display is the thin film transistor(TFT),it is a field effect transistor device produced by thin film technology on the doped-silicon or glass.If we use the semiconductor oxide as the active layer,not only we can get a higher mobility,bu also the device performance call be enhanced.And the manufacturing process is simple,low temperatures also can be obtained,which shows a great prospect.The preparation method of thin film materials is reviewed in this paper, the development and application of thin film transistor and its structure, working principle and test method are characterized, Keywords: Thin film materials, thin film transistor, manufacture, characterization methods 前言 薄膜材料是指厚度介于单原子分子到几毫米间的薄金属或有机物层。当固体或液体的一维线性尺度远远小于它的其他二维尺度时,我们称这样的固体或液体为膜。薄膜材料具有良好的韧性、防潮性和热封性能,应用非常广泛。例如:双向拉伸聚丙烯薄膜(BOPP)、低密度聚乙烯薄膜(LDPE)、聚酯薄膜(PET)、镀铝薄膜、半导体氧化物薄膜等等。近几年来,以氧化锌、氧化铟、氧化锡等半导体氧化物及其合金为有源层的透明薄膜晶体管备受关注,并已取得了突破性进展。这些氧化物是优异的光电材料,具有高光学透过率、生长温度低、击穿电压高、电子迁移率高等优点,从而可以获得更好、成本更低的薄膜晶体管,并且也为新型薄膜晶体管的发展带来了契机。氧化物薄膜晶体管作为极具发展潜力的新型薄膜晶体管,具备了许多传统TFT无法比拟的优点,但是也存在诸多问题有待进一步解决。例如,如何解决外界环境对器件性能的影响,优化工艺从而降低成本,如何制作出性能优越、具有实用价值的器件等,这些都是现在研究面临的问题。本文的主要调研对象,包括氧化锌以及有机薄膜作为有源层的薄膜晶体管。 薄膜晶体管的发展历程 1925年,Julius Edger Lilienfeld首次提出结型场效应晶体管(Field

碳纳米管多沟道场效应晶体管研究-中国学位与研究生教育信息网

附件2 论文中英文摘要 作者姓名:陈长鑫 论文题目:碳纳米管多沟道场效应晶体管研究 作者简介:陈长鑫,男,1978年11月出生,2004年03月师从于上海交通大学“长江学者”张亚非教授,于2007年12月获博士学位。 中文摘要 随着传统的硅技术发展接近极限,寻找替代硅的材料已迫在眉睫。单壁碳纳米管(SWCNT)因其独特的一维纳米结构和优异的物理、化学、机械等特性,被认为是构筑下一代集成电路的理想候选材料。它最重要的应用之一是用来制作碳纳米管场效应晶体管(CNTFET)。SWCNT在制作FET上具有诸多的优越性:载流子可实现弹道传输;无悬键的表面使高K栅介质层的使用不会引起载流子迁移率的退化;对称的导带和价带有利于高性能互补电路的实现;直接带隙结构使得在同一材料平台上集成电子和光电子器件成为可能。相比传统的MOSFET, CNTFET具有尺寸小、速度快、功耗低等优势,有望在后硅CMOS时代作为硅基器件的替代品或有益补充以维持电子工业的持续发展。 目前,CNTFET研究已取得许多进展(Changxin Chen, Yafei Zhang, The Open Nanoscience Journal, 2007,1:13-18;被邀综述文章),但要实现其应用仍需克服多项关键问题。其一,已有研究大都只使用单根SWCNT作为沟道来制作CNTFET,这使制得的器件存在许多不足,如:最大输出电流和跨导有限,不足以驱动电路中下级的逻辑门和互联线;可靠性和稳定性低,唯一的SWCNT沟道一旦损坏器件将失效,且器件间一致性也差;无法实现沟道宽度的横向缩放。沟道结构的改进受制于常规方法制备的SWCNT往往相互缠结、随机取向、包含金属和半导体两种属性,需要探寻合适的器件结构设计和制作技术来实现。其二,碳纳米管(CNT)与金属电极间牢固、低电阻接触的形成一直是CNT器件制作中的一个难点,阻碍了高器件性能的获得。寻求改善接触性能及工艺可靠性和可重复性好的方法对高性能CNT器件和电路的构筑具有至关重要的作用。其三,一维半导体性SWCNT与金属电极的接触表现出不同于传统块体半导体/金属接触的新特性,需要被深入研究以加以控制和利用。 针对上述关键问题,本论文提出和发展了一种使用分散、定向的SWCNT阵列作为器件沟道的多沟道CNTFET(MC-CNTFET),并发明一种超声纳米焊接技术将SWCNT两端焊到金属电极上以改善它们间的接触。论文对MC-CNTFET的器件结构、制作技术、特性及SWCNT 沟道数的影响等开展了深入系统的研究,研究了超声纳米焊接的工艺、界面特性及其对接触、器件性能的改善等,制得了高性能的MC-CNTFET。论文还研究了不同金属接触电极对MC-CNTFET类型的影响以及使用高、低功函数的非对称金属分别作为漏、源极时FET的光电特性及应用。在此基础上,对MC-CNTFET的电路应用进行了探索。论文的主要研究内容和成果如下:

伽马射线辐照对有机场效应晶体管性能的影响研究

γ射线辐照对有机场效应晶体管性能的影响研究 黄小发张济鹏 (兰州大学核科学与技术学院兰州 730107) 摘要:通过制备有机场效应晶体管并对晶体管在γ射线下进行辐照,研究辐照对不同栅压下场效应管输出特性曲线的影响,以及辐照对场效应管转移特性曲线的影响。实验证明辐照使场效应管的阈值电压负向漂移,辐照时非零栅源电压引起的场效应管输出特性变化明显大于零栅源电压情况。 关键词:有机场效应管;制备;辐照;阈值电压漂移 1.实验 1.1有机场效应晶体管制备 以高掺杂五族元素的硅作为衬底,即作为n型杂质,硅衬底表面的SiO2厚度为1025nm。本实验在上述衬底上通过真空蒸发方法镀一层酞菁铜(CuPc)薄膜,再在酞菁铜膜上镀一层金(Au)作为源级和漏极,SiO2层作为栅极,制成有机场效应晶体管,下面详述实验过程: 1.1.1Si_n+衬底的清洁处理 将Si_n+衬底先后放入丙酮和乙醇溶液中清洗,然后用去离子水洗净,再经超声处理10~20分钟,之后用氮气(N2)吹干,放入烤箱中烘干。配制浓硫酸与双氧水的浓度比为3:1的腐蚀液(H2SO4:H2O2=3:1),将烘干后的衬底放入腐蚀液中40分钟,达到去油污的目的。对衬底进行OTS处理,OTS是有机低介电常数材料十八烷基三氧硅烷,可以修饰SiO2表面,提高器件的场效应迁移率,同时降低器件的漏电流。 1.1.2真空蒸镀酞菁铜 作为第一个被报道的有机半导体酞菁类化合物是一种性能优越的有机小分子半导体材料,因为这类化合物具有二维共轭结构,分子间的π?π相互作用很大,这对于提高场效应迁移率非常有利,另外它还具有良好的热稳定性和易真空蒸镀成膜的特性,所以酞菁类化合物是制备有机薄膜晶体管良好的半导体材料,而其中又以酞菁铜最为常用,关于酞菁铜作为有源层的有机薄膜晶体管已有大量的报道。本实验选用酞菁铜蒸镀得到有机场效应晶体管。

CNT结构、性能、现状

CNT研究背景和意义 自从1991年日本NEC的电镜专家Iijima首先用高分辨透射电镜(HRTEM)发现了具有纳米尺寸的多壁碳纳米管(MWNT)]1[,这种结构由长约1 um、直径4-30 nm的多层石墨管构成。1993年又发现了单臂碳纳米管(SWNT)]2[以来,碳纳米管(CNT)作为一种新型的纳米材料,以其独特的物理、化学特征,重要的基础研究意义及在分子电子器件和复合材料等众多领域的潜在应用价值,而引起了世界各国科学家的极大关注,成为纳米材料领域研究的一个新热点。对它的应用研究主要集中在复合材料、氢气存储、电子器件、电池、超级电容器、场发射显示器、量子导线模板、电子枪及传感器和显微镜探头等领域,已经取得许多重要进展]53[ 。 1、结构 碳纳米管(carbon nanotubes,CNTs),又称巴基管(buckytube),属于富勒碳系,是一维量子材料,是在C60不断深入研究中发现的。碳纳米管是由单层或多层石墨片围绕同一中心轴按一定的螺旋角卷曲而成的无缝纳米级管结构,两端通常被由五元环和七元环参与形成的半球形大富勒烯分子封住,每层纳米管的管壁是一个由碳原子通过sp2杂化与周围3个碳原子完全键合后所构成的六边形网络平面所围成的圆]6[。 碳纳米管根据碳管壁中碳原子层的数目可以分为单壁碳纳米管和多壁碳纳米管两大类。Iijima]7[和IBM公司的Bethune]8[等分别采用Fe和Co作为催化剂掺杂在石墨电极中,用电弧放电法各自独立合成出单壁碳纳米管(SWNT),它由单层石墨卷成柱状无缝管而形成(见图1),是结构完美的单分子材料,因合成条件的不同碳纳米管的管径可控制在0.7-3nm,长度可达1-50um]9[;多壁碳纳米管(MWNT)是由多个不同直径的单壁碳纳米管同轴卷曲而成,层数从2-50不等,层间距一般为0.34 nm且层与层之间排列无序,通常多壁管直径为2-30 nm,长度为0.1-50um]10[。观测发现多数碳纳米管在两端是闭合的,研究表明碳纳米管端口的帽状部分很容易出现五边环或七边环结构且弯曲率较大,当出现五元环时

碳纳米管性质及应用

碳纳米管性质及应用 摘要:碳纳米管的发现是现代科学界的重大发现之一。由于碳纳米管具有特殊的 导电性能、力学性质及物理化学性质等,故其在许多领域具有其广阔的应用前景,自问世以来即引起广泛关注。目前,国内外有许多科学家对碳纳米管进行研究,科研成果颇丰。本文简单综述碳纳米管的基本性质及应用。 关键词:碳纳米管;结构;制备;性质;应用 1 碳纳米管的发现 1991年,日本NEC科学家Lijima在制取C60的阴极结疤中首次采用高分辨隧道电子显微镜(HRTEM)发现一种外径为515nm、内径213nm、仅由两层同轴类石墨圆柱面叠合而成的碳结构。进一步的分析表明,这种管完全由碳原子构成,并看成是由单层石墨六角网面以其上某一方向为轴,卷曲360°而形成的无缝中空管。相邻管子之间的距离约为0.34nm,与石墨中碳原子层与层之间的距离0.335nm相近,所以这种结构一般被称为碳纳米管,这是继C60之后发现的碳的又一同素异形体,是碳团簇领域的又一重大科研成果[1]。 2 碳纳米管的结构 碳纳米管(CNT)又名巴基管,是一种具有特殊结构(径向尺寸为纳米量级,轴向尺寸为微米量级、管子两端基本上都封口)的一维量子材料。它是由单层或多层石墨片围绕中心轴按一定的螺旋角卷绕而成的无缝、中空的“微管”,每层由一个碳原子通过sp2杂化与周围3个碳原子完全键合后所构成的六边形组成的圆柱面。根据形成条件的不同,碳纳米管存在多壁碳纳米管(MWNTs)和单壁碳纳米管(SWNTs) 两种形式。MWNTs一般由几层到几十层石墨片同轴卷绕构成,层间间距为0.34nm左右,其典型的直径和长度分别为 2-30nm0.1-50μm.SWNTs由单层石墨片同轴卷绕构成,其侧面由碳原子六边形排列组成,两端由碳原子的五边形封顶。管径一般从10-20nm,长度一般可达数十微米,甚至长达20cm[2]。 3碳纳米管的制备 碳纳米管的合成技术主要有:电弧法、激光烧蚀(蒸发)法、催化裂解或催化化学气相沉积法(CCVD),以及在各种合成技术基础上产生的定向控制生长法等。 3.1电弧法利用石墨电极放电获得碳纳米管是各种合成技术中研究得最早的一种。研究者在优化电弧放电法制取碳纳米管方面做了大量的工作.T. W. Ebbeseo在He保护介质中石墨电弧放电,首次使碳纳米管的合成达到了克量级。为减少相互缠绕的碳纳米管在阴极上的烧结,D.T.Collbert将石墨阴极与水冷铜阴极座连接,大大减少了碳纳米管缺陷。C. Journet等在阳极中填人石墨粉末和铱的混合物,实现了SWNTs的大量制备。研究发现,铁组金属、一些稀土金属和铂族元素或以单个金属或以二金属混合物均能催化SWNTs合成。 近年来,人们除通过调节电流、电压,改变气压及流速,改变电极组成,改进电极进给方式等优化电弧放电工艺外,还通过改变打弧介质,简化电弧装置。 综上所述,电弧法在制备碳纳米管的过程中通过改变电弧放电条件、催化剂、电极尺寸、进料方式、极间距离以及原料种类等手段而日渐成熟。电弧法得到的碳纳米管形直,壁簿(多壁甚至单壁).但产率偏低,电弧放电过程难以控制,制备

碳纳米管场效应晶体管设计

第24卷 第10期 电子测量与仪器学报 Vol. 24 No. 10 2010年10月 JOURNAL OF ELECTRONIC MEASUREMENT AND INSTRUMENT · 969 · 本文于2010年8月收到。 * 基金项目: 安徽省自然科学基金(编号: 090414199)资助项目; 中央高校基本科研业务费专项资金(编号:2010HGZY0004, 2010HGXJ0224)资助项目。 DOI: 10.3724/SP.J.1187.2010.00969 碳纳米管场效应晶体管设计与应用* 许高斌1,2 陈 兴1,2 周 琪3 王 鹏1,2 (1. 安徽省微电子机械系统工程技术研究中心, 合肥 230009; 2. 合肥工业大学电子科学与应用物理学院, 合肥 230009; 3. 合肥工业大学材料科学与工程学院, 合肥 230009) 摘 要: 碳纳米管具有一些独特的电学性质, 在纳米电子学有很好的应用前景。随着纳米技术的发展, 新的工艺技术也随之产生。纳米器件的“由下至上”制作工艺, 是在纳米技术和纳米材料的基础之上发展起来的, 在新工艺基础之上, 可以利用纳米管、纳米线的性质制作成各种新的电子器件。由于碳纳米管可以和硅在电子电路中扮演同样的角色, 随着基于碳纳米管的纳米电路研究的深入发展, 电子学将在真正意义上从微电子时代进入纳电子时代。从分析碳纳米管分立场效应晶体管典型结构特点入手, 分析阐述了碳纳米管构建的典型纳米逻辑电路结构特征及碳纳米管在柔性纳米集成电路方面的应用。 关键词: 碳纳米管;场效应晶体管;纳米逻辑门电路;柔性纳米集成电路;纳米电子学 中图分类号: O484 文献标识码: A 国家标准学科分类代码: 430.4030 Design and application of carbon nanotube FETs Xu Gaobin 1,2 Chen Xing 1,2 Zhou Qi 3 Wang Peng 1,2 (1. Micro Electromechanical System Research Center of Engineering and Technology of Anhui Province, Hefei 230009, China; 2. School of Electronic Science & Applied Physics, Hefei 230009, China; 3. School of Materials Science and Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China) Abstract: Carbon nanotube has many extraordinary electrical properties and extensive application foreground on nano electronics. With the development of nanotechnology, new process technique is generated. And the bottom-up fabri-cation process is developed based on nano technique and nano materials, then various new electron devices is constructed by using the properties of nanotubes and nanowires. Since the CNTs can act same roles in electronic circuit as Si material, and with the profound development of research of nano-ICs based on CNTs, the electronics will turn into the nanoelec-tronic era truly from the microelectronic era. In this paper, the feature of typical structure of nano electronic devices based on CNTs, CNTs field effect transistor (FET), is discussed, the characteristic of typical structure of logic-gate circuits based on CNT-FETs is represented, and the application of CNTs on flexible nano ICs is also described. Keywords: carbon nanotube; FETs; nano logic-gate circuit; flexible nano-ICs; Nano electronics 1 引 言 自1991年S. Iijima 发现碳纳米管后[1] , 由于其独特的物理、化学性质及其机械性能, 具有径向量子效应、超大比表面面积、千兆赫兹的固有振荡频率等特点[2] , 碳纳米管(carbon nanotubes, CNTs)引起了人们的极大关注。从结构上来说, CNTs 可以分为单 壁碳纳米管(single-walled carbon nanotube, SWCNT)和多壁碳纳米管(multi-walled carbon nanotube, MWCNT)。SWCNT 是单层的, 其直径在1~5 nm; MWCNT 大约有50层, 内径在1.5~15 nm, 外径在2.5~30 nm 。MWCNT 由于结构上存在缺陷, 其纳结构在稳定性上不如SWCNT 结构。碳纳米管具有一些独特的电学性质[3], 可制备出金属性和半导体性

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