金属有机化合物汽相淀积技术制备布拉格反射镜确定外延厚度的方法

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布拉格反射镜确定外延厚度的方法

盖红星!陈建新!邓!军!廉!鹏!俞!波!李建军!韩!军!沈光地

"北京工业大学电控学院光电子技术实验室!北京!$$$###

摘要!外延膜层厚度的精确性对垂直腔面发射激光器!5K J 3["

是十分重要的$应用传输矩阵方法分析了厚度偏差对半导体布拉格反射镜!\Z D "反射谱的影响%并利用这种影响提出了一种金属有机化合物汽相淀积!I&K 5\"

制备布拉格反射镜精确确定外延厚度的方法$据此%应用I&K 5\生长了@=$-G 5K J 3[外延片%其反射谱中心波长为@=#-G $结果表明%应用这种方法能够实现材料厚度#I&K 5\系统生长参数的定标以及为5K J 3[的材料生长提供可靠的依据$关!键!词!金属有机化合物汽相淀积!布拉格反射镜!反射谱!膜厚测定

中图分类号!&"="7;!!文献标识码!E

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