我国传感技术的现状及发展之路详解

我国传感技术的现状及发展之路详解
我国传感技术的现状及发展之路详解

我国传感技术的现状及发展之路

姓名:江禹军学号:gc432013171

【摘要】称重传感器是电子衡器的核心部件,其技术发展水平是衡量一个国家电子称重技术和电子衡器产品现代化程度的重要依据。称重传感技术是传感技术领域中的一个分支,它具有传感技术发展的所有特点.要全面认识它,必须了解和掌握我国传感技术的现状和发展之路,这对推进我国称重传感器和衡器工业的技术发展有积极的作用!

【关键词】传感技术;传感器;技术现状;发展方向

一、概述

现代信息技术的三大基础是信息的采集、传输和处理技术,即传感技术、通信技术和计算机技术,它们分别构成了信息技术系统的“感官”、“神经”和“大脑”。传感器技术是当今世界令人瞩目、迅猛发展的高新技术之一,也是当代科学发展的一个重要标志,与通信技术、计算机技术共同构成2l世纪信息产业的三大支柱。

信息采集系统的首要部件是传感器,且置于系统的最前端。如果说计算机是人类大脑的扩展,那么传感器就是人类五官的延伸。在一个现代自动检测系统中,如果没有传感器,就无法监测与控制表征生产过程中各个环节的各种参量,也就无法实现自动控制。在现代技术中,传感器实际上是现代测试技术和自动化技术的基础。因此各发达国家都将传感器技术作为本世纪重点技术加以发展,随着国内工业自动化、信息化和国防现代化水平的提高,传感器的年需求量持续增长,传感器的应用也越来越广泛,已渗透到各个专业领域,但是目前国内传感器技术的创新和新产品开发能力落后于国外先进水平,制约了我国工业自动化和信息化技术的发展。目前世界上有40多个国家的5000多个企业研制生产传感器,产品20000多种。我国研制生产的传感器共10大类,42小类,6000多个品种。传感器技术可以说无处不用,其应用比例如下:

行业类别比例行业类别比例

工业测量与控制18.1%家用电器13.7%

科学仪器11.7%医疗保健11.O%

环境保护10.O%信息处理8.们名

汽车7.3%能源5.3%

宇宙开发2.7%其它(如交通运输、海洋开发等) 12.2%

综述篇

在工业测量与控制领域,各种传感器所占比例如下:

传感器类别比例传感器类别比例

压力39%温度25%

测力与称重14%位移13%

其它9%

二、国内外传感技术的发展现状

l,我国传意技术的现状

近30年来,经过科技攻关,敏感元件与传感器的制造技术有了长足的进步,在设计、关键工艺、可靠性、产品开发等方面均有不同程度的突破与创新。如“九五”攻关完成的传感器CAD技术,可以实现传感器的全过程设计(即从工艺模拟到

核心器件设计,再到结构设计,最后到温度补偿);微机械加工技术,在国内首次实现了用微机械加工工艺批量生产压力传感器;开发出了包括力敏、磁敏、热敏、湿敏、气敏等在内的多个品种、多个规格的传感器。但在先进技术方面,我国传感器的整体水平与国外发达国家相比仍有较大差距。主要表现在:

(1)核心制造技术严重滞后于国外,产品品质勉强过关,传感器数字化、智能化、微型化己成趋势,大多数产品已变成现实,且在不断完善和更新换代,而我国的传感器虽然所涉足的研究开发领域基本与国外相差无几,但由于在某些核心制造工艺技术上还严重滞后于国外,所以差异较大,主要表现为:

1)产品的种类和规格不全,新品匮乏

我国目前传感器产品品种数为6000个左右,而国外已达20000多个,产品品种满足率远远满足不了国内传感器市场需求,从行业产品结构看,老产品比例占60%以上,新产品不足40%,高新技术类产品更少,数字化、智能化、微型化产品严重欠缺。从总体看,品种不配套、系列不全、低档产品多、高档产品少、缺乏市场竞争力。

2)制造工艺及设备落后,产品品质不好

经过多年开发,虽然在制造工艺和产品质量上均有所提高,但由于批量生产工艺的稳定性、可靠性问题没有得到根本解决,限制了其应用领域和产业的发展。有些高性能产品,不是靠工艺保证,而是靠筛选分档。从技术角度看,由于国内传感器生产工艺与工艺设备相对落后,微机械加工技术和封装技术不够先进,手工操作比较多,检测手段不规范等等,造成主要性能指标和使用寿命与国外同类产品差距较大,因此,在化工、电站、冶金、石油、环保、机械等领域重大工程中,许多高性能传感器仍依赖于进口。

3)技术含量和技术创新落后

企业自主开发与技术创新能力差。由于多种因素影响,大多企业仍以手工方式生产技术含量低或国外已停产的产品,很多新公司就是国外产品的推销商和代理商,在多数院校和研究院所中,对高技术的跟踪和对高技术附加值产品的研发能力还是可以的,但其成果以样品居多,距产业化较远,自主开发和拥有自主知识产权的科研成果不多。

(2)专业技术入力资源匮乏,产业发展后劲不足

传感器及其产业的特点之一是技术密集,由于技术密集,也自然要求人才密集。从目前国内的情况看,能够适应当今传感器技术发展需求的具有高水平的科研队伍及中青年科技专家、技术骨干、学术带头人相对缺乏,使行业技术更新换代步伐慢,产业发展后劲不足。

(3)产业的统筹规划不足,投资力度不够

在我国,虽然在“七五”、“八五”、“九五”、“十五”、“十一五”的科技攻关中均有立项,但局限性较大。目前存在的问题是重复分散、统筹规划不足、科研投资强度偏低、科研设备落后、科研和生产脱节,影响了科研成果的转化,使我国传感器产品综合实力较低。其次是由于政府重视不够,在信息技术发展的过程中,对传感器技术重要性的认识滞后于计算机技术和通讯技术,发展需求的

资源投入规模和强度太小,使传感器技术的发展速度缓慢,制约了信息技术的飞速发展。

2、发达国家传感技术的现状

国外发展传感器技术主要有两条不同途径,一条是以美国为代表的先军工后

民用,先提高后普及的路子;另一条是以日本为代表的侧重实用化和商品化,先普及后提高,由引进、消化、仿制到自行改进设计创新的路子。前者花钱多,而后者花钱少,发展速度更快。

(1)国外传感器的研究、开发、生产的应用方面发展速度很快

1)十分重视对传感器技术开发。例如:美国霍尼威尔公司的固态传感器发展中心每年用于研究设备的投资达5000万美元或更多,拥有包括计算机辅助设计、单晶生长、加工、图形发生器、同步重复照像、自动涂胶和光刻、等离子刻蚀、减射、扩散、外延、蒸镀、离子注入化学气相沉积、扫描电镜、封装和屏蔽动态测试等最先进的成套设备和生产线,并且大约每三年左右更新其中大部分仪器设备。

2)重视传感器制作工艺研究。传感器原理不难、也不保密,而最保密的是工艺,国外的传感器公司普遍不惜重金加强工艺研究,依靠工艺突破保持技术领先。

3)重视质量管理与市场分析。新产品面世,从设计理论分析到模型试验、样机性能测试、失败原因分析等均提出相应技术分析报告。在设计阶段组织质量、软件试验,产品设计工程技术人员共同对影响产品设计可靠性、可测性和可检性的各种因素进行研讨,形成保证新产品质量的最佳技术方案和质量验收文件。

(2)国外传感器的研究、开发、生产趋势

1)开发传感器新材料。陶瓷、高分子、生物、智能材料等新型材料的开发与应用,不仅扩充了传感器的各类,而且改善了传感器的性能,拓宽了传感器的应用领域。如新一代光纤传感器、超导传感器、焦平面陈列红外探测器、生物传感器、诊断传感器、智能传感器、基因传感器及模糊传感器等。

2)微结构和传感器的微型化。微电子工艺、微机械加工和超精密加工等先进制造技术在各类传感器的开发和生产中的不断普及,使传感器正在从传统的结构设计向以微机械加工技术为基础、仿真程序为工具的微结构技术方向发展。如采用微机械加工技术制作的MEMS产品(微传感器和微系统),具有划时代的微小体积、低成本、高可靠性等独特的优点。

3)传感器的多功能化。多功能体现在传感器能测量不同性质的参数,实现综合检测。例如:集成有压力、温度、湿度、流量、加速度、化学等不同功能敏感元件的传感器,能同时检测外界环境的物理特性或化学特性,进而实现对环境的多参数综合监测。

4)传感器的集成化。使传感器由单一功能、单一检测向多功能和多点检测发展。

5)传感器的智能化。近年来,智能化传感器发展开始同人工智能相结合,创造出各种基于模糊推理、人工神经网络、专家系统等人工智能技术的高度智能传感器,称为软传感器技术,它已经在家用电器方面得到利用,相信未来将会更加成熟。

6)传感器的网络化。网络传感器的开发,使测控系统主动进行信息处理以及远距离实时在线测量成为可能。

3,传感器行业市场情况分析

从上世纪80年代开始,经过三十来年的发展,现己形成了一定规模的产业格局,取得了一些骄人的成绩,主要表现在:(1)综合实力得到加强。目前我国从事传感器开发生产的单位达到2000余家,传感器行业产值每年都以10%----15%的速率增长。(2)拓宽了开发领域。研究开发领域已经由过去的少数品种扩展到光敏、热敏、力敏、电压敏、磁敏、气敏、湿敏、声敏、射线敏、离子敏,以及

各种传感器、变送器、二次仪表等多种类、多形式产品,主要产品有6000多种,热敏电阻器、可燃性气体传感器、光电二极管等十几个品种已形成一定规模的生产能力。(3)组建了黑龙江(气敏)、安徽(力敏)、陕西(电压敏)三个产业基地与企业集团。(4)已建成“传感器国家工程研究中心”和敏感技术国家重点实验室,形成了近百个院校、研究所组成的,具有较高水平的传感器骨干科研队伍。

三、我国传感技术发展的方向和方式方法

l、我固传瘩技术的发展方向

(1)向高精度方向发展。随着自动化生产程度的不断提高,对传感器技术的要求也在不断提高,必须研制出具有灵敏度高、精确度高、响应速度快、互换性好的新型传感器以确保生产自动化的可靠性。

(2)向高可靠性、宽温度范围发展。传感器的可靠性直接影响到电子设备的性能,研制高可靠性、宽温度范围的传感器将是永久性的方向,太部分传感器的工作范围都在_20℃~70℃,在军用系统中要求工作温度在—40℃~85"C.汽车、锅炉等场台对传感器的温度要求更高,而航天飞机和空间机器人甚至要求温度在.舯℃以下,200℃以上。

(3)向微功耗及无源化发展。传感器一般都是非电量向电量的转化,工作时离不开电源,开发微功耗的传感器及无源传感器是必然的发展方向。

(4)向微型化发展。特别重视MEMS基本工艺的应用技术研究和专用工艺装备开发,使这些工艺在产业化生产中应用;先进的纳米级技术的研究。纳米技术的发展,可能导致传感器研究的许多领域产生突破性进展。

(5)向多维化、多功能化和模糊识别方向发展。未来的传感器将突破零维、瞬问的单一量检测方式,在时间上实现广延,空间上实现扩张(三维),检测量实现多元,检测方式实现模糊识别。

(6)向集成化(特别是集成式微型智能传感器)发展。集成式微型智能传感器是世界范围内全新的研究课题,具有巨大的潜在价值和广阔的应用市场。

(7)向智能化数字化发展。借助于敏感元件中不同的物理结构或化学物质及其各不相同的表征方式,用单独一个传感器系统来同时实现多种传感器的功能。具体为:

化学传感器:未来发展重点是深入研究有机、无机生物类化学传感器的工作原理,提高敏感材料功能设计能力,通过灵活应用微机械加工技术、敏感膜修饰技术、微电子技术,光纤技术,生物工程技术等,可使传感器性能达到最优化。

生物传感器:生物传感器的研究是跨学科的课题,着眼于保健、环境、医药和食品工业的检测和需求。该领域的研究,将大大促进^工智能和机器人的发展。

分子侍感器:人体集各种传感器于一体,其中绝大部分为分子传感器。截止目前,真正的传感器只有在生物体内能够找到,我们可借助基因工程、生物合成分子传感器系统。采甩硬件软化、软件集成、虚拟现实、软测量等人工智能的方法和技术,在传感招技术和计算机技术的基础上。研究开发具有拟^智能特性或功能的智能化传感器。

(8)向网络化发展。传感技术与智能技术结合之后,由孤立的元器件向系统化、网络化发展,并使传感器随着无所不在的计算机网络的发展而发展,这种技术上的飞跃不仅使传感器的性能大大高,而且将带来高额的技术附加值,能够创造较大的经济效益。

2、我国传感技术;传感技术的发展方向。

我国传感技术发展的方式方法主要体现在以下几个方面:

(1)加速开发新型敏感材料:通过微电子、光电子、生物化学、信息处理等各种学科,各种新技术的互相渗透和综台利用,开发出更新式材料,研制出一批基于新型敏感村科的先进传感器。

(2)采用新的加工方法:新的加工方法如半导体的精密细微加工技术、静电封接技术、全固态封接技术等不但使传感器的性能指标得以提高,应用范围得咀扩大.还可加工出原有工艺不能制造的新型传感器。

(3)采用新的原理:随着各相关学科的发展,人们对于自然认识的不断深化,会不断发现一些新的物理效应、化学效应、生物效应等,利用这些新的效应可开发出相应的新型传感器。

(4)采用新的构思:许多古老的原理或设计,在巧妙的构思下可以产生出新的传感器。如:对热敏感的热敏电阻可做成温度传感器,也可把酶固定在电阻表面,用来检测酶反应中产生的热量,根据酶反应的专一性,就可测定酶的生物含量,从而做成各种酶热敏电阻生物传感器。

四、我国传感技术在发展中应重视的问题及采取的措施

1、加大科教投入,保证传赢器技术及其产业的可持续发展

从战略发展考虑,国家应加大传感技术的科技投入力度,同时,国家在执行投资倾斜政策时,要注意支持传感器行业的骨干企业和特色企业,通过技术改造提高档次、扩大规模;重点支持具有发展潜力的地区形成生产基地,加大技术积累和相关投入,培育出传感器产业新的经济增长点,确保可持续性。

2、加大自主电4新,提升自主知识产权程度

2l世纪传感器发展的总趋势是微型化、集成化、多功能化、智能化、网络化,传感器领域的主要技术将在现有基础上予以延伸和提高,尤其是微机械加工和纳米技术,应在现有技术基础上。在广泛吸收、消化、跟踪国外先进技术的同时,加大技术创新,努力发展专用技术、特色技术、自主知识产权技术,要以提高企业自身的创新与开发能力为突破口,采取以企业为主体、高等院校和科研院所广泛参与、利益共享、风险共担的产学研联合的机制,组织协同攻关,占领技术制高点,增强企业核心竞争力,并逐步实现自主开发、自我发展的良性循环,创造出具有自主知识产权的知名

传感器品牌。

3、通过有效方式加快专业稗技型技术人才的开发

对于任何产业来讲,要生存、要发展、要振兴、要参与国内外市场竞争并立于不败之地,从某种意义上说是入,或者说是高科技人才在起决定性作用,传感器产业也不例外。在此情况下,应大力开展人力资源开发。通过继续教育、再教育等多种方式加快培养与造就科技人才,着力培养新一代的传感技术高级技术人才。

4、走有利于待办器技术快速转化的高效运行机制

科技主管部门推动企业以抓改革、抓创新、抓质量、抓市场、抓管理为主要任务,以传感器产业发展上规模、上档次、争份额、创利润为主要目标,建立有利于传感器技术与经济紧密结合、促进其科技成果快速转化的高效运行机制,基本形成传感器产学研科技经济一体化的发展模式,努力实现传感器产业从速度数量型向质量效益型转变,以达到技术和经济双升级。创新和创业双赢的效果。

五、结论

当今,我国传感器产品及其产业化水平与国外发达国家相比还有很大的差距,而传感器技术的发展正处于转型升级的关键阶段。传感器需求量大、需求增

长速度快,由于国内传感器的发展落后于需求的增加,国内绝大部分市场,特别是高端市场被国外占领,国内传感器所占领的都是一些技术含量低、品质要求低、赢利点低的市场!面对国际市场的竞争,我国传感器行业处于非常不利的地位,甚至在某些领域出现生存危机,因此,要抓住机遇,迎接挑战,坚持走科技与产业相结合的道路,加强具有自主知识产权的新型传感器的开发,加速现有科研成果的转化和产业化,迅速提高国产传感器的全球市场占有率,是我国传感器产业自身发展的当务之急,也是我国传感技术屹立于世界先进水平的必经之路。

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MEMS传感器的现状及发展前景

M E M S传感器的现状及 发展前景 集团标准化小组:[VVOPPT-JOPP28-JPPTL98-LOPPNN]

毕 业 设 计 指 导 课 论 文 MEMS传感器的现状及发展前景 摘要:MEMS传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器,具有很多新的特性,相对传统传感器其具有更大的优势。在追求微型化的当代,其具有良好的发展前景,必将受到各个国家越来越多的重视。文章首先介绍了MEMS传感器的分类和典型应用,然后着重对几个传感器进行了介绍,最后对MEMS传感器的发展趋势与发展前景进行了分析。 关键词:MEMS传感器;加度计;陀螺仪;纳米技术;微机构;微传感器StatusandDevelopmentProspectofMEMSSensors Abstract:MEMSsensorisanewtypeofsensorwiththedevelopmentofnanotechnology.Ithasma nynewfeatures,whichhasagreatadvantageovertraditionalsensors.Inthepursuitofminia turizationofthecontemporary,itsgoodprospectsfordevelopment,willbesubjecttomorea

ndmoreattentioninvariouscountries.Firstly,theclassificationandtypicalapplicatio nofMEMSsensorareintroduced.Then,severalsensorsareintroduced.Finally,thedevelopm enttrendanddevelopmentprospectofMEMSsensorareanalyzed. Keywords:MEMSsensor;accelerometer;gyroscope;nanotechnology;micro- mechanism;micro-sensor 目录 一、引言 MEMS传感器是采用微机械加工技术制造的新型传感器,是MEMS器件的一个重要分支。1962年,第一个硅微型压力传感器的问世开创了MEMS技术的先河,MEMS技术的进步和发展促 进了传感器性能的提升。作为MEMS最重要的组成部分,MEMS传感器发展最快,一直受到各发达国家的广泛重视。美、日、英、俄等世界大国将MEMS传感器技术作为战略性的研究领域之一,纷纷制定发展计划并投入巨资进行专项研究。 随着微电子技术、集成电路技术和加工工艺的发展,MEMS传感器凭借体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成以及耐恶劣工作环境等优势,极大地促进了传感器的微型化、智能化、多功能化和网络化发展。MEMS传感器正逐步占据传感器市场,并逐渐取代传统机械传感器的主导地位,已得到消费电子产品、汽车工业、航空航天、机械、化工及医药等各领域的青睐。

生物传感器的研究现状及应用

生物传感器的研究现状及应用 生物传感器?这个熟悉但又概念模糊的名词最近不断出现在媒体报道上,生物传感器相关的研究项目陆续获得巨额的研究资助,显示出越来越受重视的前景。要掌握生命科学研究的前研信息,争取好的研究课题和资金,你怎能不了解生物传感器? 让我们来看看生物通最近的一些报道: 英国纽卡斯尔大学科学家研发了可用于检测肿瘤蛋白以及耐药性MASA细菌的微型生物传感器。该系统利用一个回旋装置来检测,类似导航系统和气袋的原理。振荡晶片的大小类似于一颗尘埃尺寸,有望可使医生诊断和监测常见类型的肿瘤,获得最佳治疗方案。该装置可以鉴定肿瘤标志物-蛋白以及其它肿瘤细胞产生的丰度不同的生物分子。该小组下一步目标是把检测系统做成一个手持式系统,更加快速方便地检测组织样品。欧共体已经拨款1200万欧元资金给该小组,以使该技术进一步完善。 苏格兰IntermediaryTechnologyInstitutes计划投资1亿2千万英镑发展“生物传感器平台(BiosensorPlatform)”——一种治疗诊断技术。作为将诊断和治疗疾病结合在一起的新兴疗法,能够在诊断的同时,提出适合不同病人的治疗方案,可以降低疾病诊断和医学临床的费用与复杂性,同时具备提供疾病发展和药品疗效成果的能力。目前该技术已被使用在某些乳癌的治疗上,只需在事前做些特殊的测试,即可根据结果决定适合的疗程。这个技术更被医学界视为未来疾病疗程的主流。 来自加州大学洛杉矶分校的研究者使用GeneFluidics开发的新型生物传感器来鉴定引起感染的特定革兰氏阴性菌,该结果表明利用微型电化学传感器芯片已经可以用于人临床样本的细菌检查。GeneFluidics'16-sensor上的芯片包被了UCLA设计的特异的遗传探针。临床样本直接加到芯片上,然后其电化学信号被多通道阅读器获取。根据传感器上信号的变化来判断尿路感染的细菌种类。从样品收集到结果仅需45分钟。比传统方法(需要2天时间)

(完整版)传感器的目前现状与发展趋势综述

传感器的目前现状与发展趋势 吴伟 1106032008 材控2班 摘要:传感器是高度自动化系统乃至现代尖端技术必不可少的一个关键组成部分。传感器技术是世界各国竞相发展的高新技术,也是进入21 世纪以来优先发展的十大顶尖技术之一。传感器技术所涉及的知识领域非常广泛,其研究和发展也越来越多地和其他学科技术的发展紧密联系。本文首先介绍了传感器的基本知识和传感器技术的发展历史。之后,综述了近几年高端前沿的光电传感器技术和生物传感器技术的主要研究状况。最后,展望了现代传感器技术的发展和应用前景。 关键词:传感器技术;传感器;研究现状;趋势 引言 当今社会的发展,是信息化社会的发展。在信息时代,人们的社会活动将主要依靠对信息资源的开发及获取、传输与处理。而传感器是获取自然领域中信息的主要途径与手段,是现代科学的中枢神经系统。它是指那些对被测对象的某一确定的信息具有感受(或响应)与检出功能,并使之按照一定规律转换成与之对应的可输出信号的元器件或装置的总称。传感器处于研究对象与测控系统的接口位置,一切科学研究和生产过程所要获取的信息都要通过它转换为容易传输和处理的电信号。如果把计算机比喻为处理和识别信息的“大脑”,把通信系统比喻为传递信息的“神经系统”,那么传感器就是感知和获取信息的“感觉器官”。 传感器技术是现代科技的前沿技术,发展迅猛,同计算机技术与通信技术一起被称为信息技术的三大支柱,许多国家已将传感器技术列为与通信技术和计算机技术同等重要的位置。现代传感器技术具有巨大的应用潜力,拥有广泛的开发空间,发展前景十分广阔。 1 传感器的基本知识

1.1 传感器的定义和组成 广义地说,传感器是指将被测量转化为可感知或定量认识的信号的传感器。从狭义方面讲,感受被测量,并按一定规律将其转化为同种或别种性质的输出信号的装置。传感器一般由敏感元件、转换元件、测量电路和辅助电源四部分组成,其中敏感元件和转换元件可能合二为一,而有的传感器不需要辅助电源。 1.2 传感器技术的基本特性 在测试过程中,要求传感器能感受到被测量的变化并将其不失真地转换成容易测量的量。被测量有两种形式:一种是稳定的,称为静态信号;一种是随着时间变化的,称为动态信号。由于输入量的状态不同,传感器的输入特性也不同,因此,传感器的基本特性一般用静态特性和动态特性来描述。衡量传感器的静态特性指标有线性度、灵敏度、迟滞、重复性、分辨率和漂移等。影响传感器的动态特性主要是传感器的固有因素,如温度传感器的热惯性等,动态特性还与传感器输入量的变化形式有关。 2 传感器技术的发展历史与回顾 传感器技术是在20世纪的中期才刚刚问世的。在那时,与计算机技术和数字控制技术相比,传感技术的发展都落后于它们,不少先进的成果仍停留在实验研究阶段,并没有投入到实际生产与广泛应用中,转化率比较低。在国外,传感器技术主要是在各国不断发展与提高的工业化浪潮下诞生的,并在早期多用于国家级项目的科研研发以及各国军事技术、航空航天领域的试验研究。然而,随着各国机械工业、电子、计算机、自动化等相关信息化产业的迅猛发展,以日本和欧美等西方国家为代表的传感器研发及其相关技术产业的发展已在国际市场中逐步占有了重要的份额。 我国从20世纪60年代开始传感技术的研究与开发,经过从“六五”到“九五”的国家攻关,在传感器研究开发、设计、制造、可靠性改进等方面获得长足的进步,初步形成了传感器研究、开发、生产和应用的体系,并在数控机床攻关中取得了一批可喜的、为世界瞩目的发明专利与工况监控系统或仪器的成果。但从总体上讲,它还不能适应我国经济与科技的迅速发展,我国不少传感器、信号

传感器技术的研究现状

传感器技术综述 Luqingsong@https://www.360docs.net/doc/d612156331.html, 摘要:本文简介了传感器技术的原理、分类和应用,以位移传感器为例概述了传感器技术的研究现状,在此基础上分析了我国传感器技术发展中存在的问题和解决方法,分析了传感器技术的发展方向。 关键词:传感器技术应用研究发展方向 1传感器 传感器是一种检测装置,一般由敏感元件、传感元件和其他辅助件组成,有时也将信号调节也转换电路、辅助电源作为传感器的组成部分。能感受到被测量的信息,并能将感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。传感器通常可以按照一系列方法进行分类。根据用途分类,传感器常以测别的物理量命名,如位移传感器、速度传感器、温度传感器、压力传感器等;根据工作原理分类,传感器可以依据工作原理进行命名,如振动传感器、磁敏传感器、生物感器等;按输出信号,可分为模拟传感器和数字传感器等;还可按照传感器的制造工艺、构成、作用形式等进行分类。[1] 随着微电子技术、微机械加工技术、光电科学以及当代生物科学等高新技术的推动下,传感器己经从过去单一功能转变为功能多样、科技含量高的新型产品。传感器技术是当前代表国家综合科研水平的重要技术,传感器技术的具体应用是传感器技术转化的重要途径和方法。其所涉及的知识领域非常广泛,研究和发展也越来越多地和其他学科技术的发展紧密联系。 2主要传感技术分类[2][5] 2.1光电传感技术 光电式传感器是以光为测量媒介、以光电器件为转换元件的传感器,它具有非接触、响应快、性能可靠等卓越特性。随着光电科技的飞速发展,光电传感器己成为光电传感器己成为各种光电检测系统中实现光电转换的关键元件,并在传感器应用中占据着重要的地位,其中在非接触式测量领域更是扮演者无法替代的角色。光电传感器工作时,光电器件负责将光能(红外辐射、可见光及紫外辐射)信号转换为电学信号。光电器件不仅结构简单、经济性好,且具有响应快、可靠性强等优势,在自动控制、智能化控制等方面应用前景十分广阔。此外,光电传感器除了对光学信号进行测量,还能够对引起光源变化的构件或其它被测量进行

压力传感器研究现状及发展趋势

压力传感器研究现状及发展趋势 传感器技术是现代测量和自动化系统的重要技术之一,从宇宙开发到海底探秘,从生产的过程控制到现代文明生活,几乎每一项技术都离不开传感器,因此,许多国家对传感器技术的发展十分重视,如日本把传感器技术列为六大核心技术(计算机、通信、激光、半导体、超导体和传感器) 之一。在各类传感器中压力传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、成本低、便于集成化的优点,可广泛用于压力、高度、加速度、液体的流量、流速、液位、压强的测量与控制。除此以外,还广泛应用于水利、地质、气象、化工、医疗卫生等方面。由于该技术是平面工艺与立体加工相结合,又便于集成化,所以可用来制成血压计、风速计、水速计、压力表、电子称以及自动报警装置等。压力传感器已成为各类传感器中技术最成熟、性能最稳定、性价比最高的一类传感器。因此对于从事现代测量与自动控制专业的技术人员必须了解和熟识国内外压力传感器的研究现状和发展趋势。 1 压力传感器的发展历程 现代压力传感器以半导体传感器的发明为标志,而半导体传感器的发展可以分为四个阶段[1 ] : (1) 发明阶段(1945 - 1960 年) :这个阶段主要是以1947 年双极性晶体管的发明为标志。此后,半导体材料的这一特性得到较广泛应用。史密斯(C.S. Smith) 与1945 发现了硅与锗的压阻效应[2 ] ,即当有外力作用于半导体材料时,其电阻将明显发生变化。依据此原理制成的压力传感器是把应变电阻片粘在金属薄膜上,即将力信号转化为

电信号进行测量。此阶段最小尺寸大约为1cm。 (2) 技术发展阶段(1960 - 1970 年) :随着硅扩散技术的发展,技术人员在硅的(001) 或(110) 晶面选择合适的晶向直接把应变电阻扩散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成较薄的硅弹性膜片,称为硅杯[3 ] 。这种形式的硅杯传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、便于集成化的优点,实现了金属- 硅共晶体,为商业化发展提供了可能。 (3) 商业化集成加工阶段(1970 - 1980 年) :在硅杯扩散理论的基础上应用了硅的各向异性的腐蚀技术,扩散硅传感器其加工工艺以硅的各项异性腐蚀技术为主,发展成为可以自动控制硅膜厚度的硅各向异性加工技术[4 ] ,主要有V 形槽法、浓硼自动中止法、阳极氧化法自动中止法和微机控制自动中止法。由于可以在多个表面同时进行腐蚀,数千个硅压力膜可以同时生产,实现了集成化的工厂加工模式,成本进一步降低。 (4) 微机械加工阶段(1980 年- 今) :上世纪末出现的纳米技术,使得微机械加工工艺成为可能。 通过微机械加工工艺可以由计算机控制加工出结构型的压力传感器,其线度可以控制在微米级范围内。利用这一技术可以加工、蚀刻微米级的沟、条、膜,使得压力传感器进入了微米阶段。 2 压力传感器国内外研究现状 从世界范围看压力传感器的发展动向主要有以下几个方向。 2. 1 光纤压力传感器[5 ]

传感器的应用现状及发展趋势-论文2011-11-16

传感器技术的研究应用现状与发展前景 传感器技术作为信息技术的三大基础之一,是当前各发达国家竞相发展的高技术是进入21 世纪以来优先发展的十大顶尖技术之一。传感器在科学技术领域、工农业生产以及日常生活中发挥着越来越重要的作用。人类社会对传感器提出的越来越高的要求是传感器技术发展的强大动力,而现代科学技术突飞猛进则提供了坚强的后盾。传感器是信息系统的源头, 在某种程度上是决定系统特性和性能指标的关键部件。本文回顾了传感器技术的发展历史,综述了近几年高端前沿的光电传感器技术和生物传感器技术的主要研究应用状况,并通过简述当前的应用实例,展望了现代传感器技术的发展和应用前景。 1.引言 传感器是将物理、化学、生物等自然科学和机械、土木、化工等工程技术中的非电信号转换成电信号的换能器。当今社会的发展是信息化社会的发展,在信息时代人们的社会活动将主要依靠对信息资源的开发及获取、传输与处理,而传感器是获取自然领域中信息的主要途径与手段,是现代科学的中枢神经系统,它是指那些对被测对象的某一确定的信息具有感受(或响应)与检出功能,并使之按照一定规律转换成与之对应的可输出信号的元器件或装置的总称。传感器处于研究对象与测控系统的接口位置一切科学研究和生产过程所要获取的信息都要通过它转换为容易传输和处理的电信号。如果把计算机比喻为处理和识别信息的大脑,把通信系统比喻为传递信息的神经系统,那么传感器就是感知和获取信息的感觉器官。传感器技术是现代科技的前沿技术,发展迅猛,同计算机技术与通信技术一起被称为信息技术的三大支柱,许多国家已将传感器技术列为与通信技术和计算机技术同等重要的位置现代传感器技术具有巨大的应用潜力拥有广泛的开发空间,发展前景十分广阔。 2.传感器的发展历史及分类 2.1传感器技术的发展历史 传感器技术是20世纪的中期才刚刚问世的,在那时与计算机技术和数字控制技术相比,传感技术的发展都落后于它们,不少先进的成果仍停留在实验研究阶段并没有投入到实际生产与广泛应用转化率比较低。在国外,传感器技术主要是在各国不断发展与提高的工业化浪潮下诞生的,并在早期多用于国家级项目

国内外传感器技术现状与未来发展趋势

《传感器原理与应用》结课论文国外传感器现状及发展趋势 学院:计算机与信息工程学院 专业:通信工程 班级:13级通信工程 学号: : 指导教师:袁博 学年学期:2016-2017学年第一学期

摘要:传感器技术是现代技术的应用具有巨大的发展潜力,通过传感器技术的应用现状,在未来发展中存在的问题和面临的挑战,传感器技术现状与发展趋势。 关键字:传感器,现状,发展趋势。 正文: 一、传感器的定义和组成 根据国家标准(GB7665—87),传感器(transduer/sensor)的定义是:能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置。 这一定义包含了以下几方面的含意:①传感器是测量装置,能完成检测任务:②它的输出旦是某一被测量,可能是物理量.也可能是化学量、生物量等;②它的输出量是某种物理量,这种量要便于传输、转换、处理、显示等,这种量可以是气、光、电物理量,但主要是电物理量;④输出输入有对应关系,且应有一定的精确程度。 关于传感器,我国曾出现过多种名称,如发送器、传送器、变送器等,它们的涵相同或相似。所以近来己逐渐趋向统一,大都使用传感器这一名称了。 但是,在我国还经常有把‘传感器”和“敏感元件”等同使用的情况。当从仪器仪表学科的角度强调是一种感受信号的装置时,称其为。传感器”:而从电子学的角度强调它是一种能感受信号的电子元件时,称其为“敏感元件”。两种

不同的提法在大多数情况下并不矛盾。例如热敏电阻,既可以称其为“温度传感器”,也可以称之为“热敏元件”。但在有些情况下则只能概括地用“传感器”一词来称谓。例如,利用压敏元件作为敏感元件,并具有质量块、弹按和阻尼等结构的加速度传感器,很难用“敏感元件%类的词称谓,而只“传感器”则更为贴切。 传感器一般由敏感元件、转换元件和转换电路三部分组成。 (1)敏感元件:它是直接感受被测量,并输出与被测量成确定关系的某一种量的元件。 是一种气体压力传感器的示意图。膜盒2的下半部与壳体l固接,上半部通过连扦与磁芯 4相连,磁芯4置于两个电感线圈3中,后者接人转换电路5。这里的膜盒就是敏感元件,其外部与大气压力尸。相通,部与被测量压力尸相通。当尸变化时.引起膜盒上半部移动,即输出相应的位移量。 (2)转换元件:敏感元件的输出就是它的输入,它把输入转换成电路参量。在图2—2中,转换元件是可变电感线圈3,它把输入的位移量转换成电感的变化。 (3)转换电路:上述电路参数接入转换电路.便可转换成电量输出。 实际上,有些传感器很简单.有些则较复杂,大多数是开环系统,也有些是带反馈的闭环系统。 最简单的传感器由一个敏感元件(兼转换元件)组成,它感受被测量时直接输出电量,如热电偶;有些传感器由敏感元件组成,没有转换电路,如压电式加

传感器技术发展现状及趋势

传感器技术发展现状及趋势 桂林航天工业学院 课程论文 题目:传感器技术发展现状及趋势 专业:工商企业管理(生产运作与质量管理) 姓名:罗并 学号:20190820Z00102 指导教师:陈少航 2019年 6月12日 传感器技术发展现状及趋势 在信息化社会,几乎没有任何一种科学技术的发展和应用能够离得开传感器和信号探 测技术的支持。生活在信息时代的人们,绝大部分的日常生活与信息资源的开发,采集, 传送和处理息息相关。分析当前信息与技术发展状态,21世纪的先进传感器必须具备小型化,智能化,多功能化和网络化等优良特征。 为了能够与信息时代信息量激增,要求捕获和处理信息的能力日益增强的技术发展趋 势保持一致,对于传感器性能指标(包括精确性,可靠性,灵敏性等)的要求越来越严格; 与此同时,传感器系统的操作友好性亦被提上了议事日程,因此还要求传感器必须配有标 准的输出模式;而传统的大体积弱功能传感器往往很难满足上述要求,所以它们已逐步被 各种不同类型的高性能微型传感器所取代;后者主要由硅材料构成,具有体积小,重量轻,反应快,灵敏度高以及成本低等优点。 目前,几乎所有的传感器都在由传统的结构化生产设计向基于计算机辅助设计(CAD) 的模拟式工程化设计转变,从而使设计者们能够在较短的时间内设计出低成本,高性能的 新型系统,这种设计手段的巨大转变在很大程度上推动着传感器系统以更快的速度向着能 够满足科技发展需求的微型化的方向发展。 智能化传感器(Smart Sensor)是20世纪80年代末出现的另外一种涉及多种学科的新 型传感器系统。此类传感器系统一经问世即刻受到科研界的普遍重视,尤其在探测器应用 领域,如分布式实时探测,网络探测和多信号探测方面一直颇受欢迎,产生的影响较大。,智能化传感器具有以下优点: (1)智能化传感器不但能够对信息进行处理,分析和调节,能够对所测的数值及其误 差进行补偿,而且还能够进行逻辑思考和结论判断,能够借助于一览表对非线性信号进行

传感器技术的应用及其发展

传感器技术的应用及其发展 摘要:传感器是新技术革命和信息社会的重要技术基础,传感器技术是实现测试与自动控制的重要环节,而测试技术与自动控制水平 高低,是衡量一个国家科学技术现代化程度的重要标志。本文列举了传感器技术在当前一些重要领域里的应用,并讲述了其发展趋势。 关键词:传感器技术应用现状发展趋势 一、引言 传感器技术是当今世界令人瞩目,迅速发展的高新技术之一,也是当代科学发展的一个重要标志,与通许技术、计算机技术共同构成21世纪信息产业的三大支柱。如果说计算机是人类大脑的扩展,那么传感器就是人类五官的延伸。因此各发达国家都将传感器技术作为本世纪重点技术加以发展。随着国内工业自动化、信息化和国防现代化的发展,传感器的年需求量持续增长。传感器的应用也越来越广泛、已渗透到各个专业领域。但是目前国内传感器技术的创新和新产品开发能力落后于国内外先进水平,制约了我国工业自动化和信息化技术的发展。 二、传感器介绍 传感器一般由敏感元件、传感元件和其他辅助件组成,有时也将信号调节与转换电路、辅助电源作为传感器的组成部分。传感器通常可以按照一系列方法进行分类。根据输入物理量的分类,传感器常以别测物理量命名,如位移传感器,速度传感器、温度传感器、压力传感器等;根据工作原理分类,传感器常可以依据工作原理进行命名,如应变式、电容式、电感式、热电式、光电传感器等;按输出信号分类,可分为模拟传感器和数字式传感器。输出量为模拟量则称为模拟式,输出量为数字式则称为数字式传感器等等。 三、主要传感器技术分类 传感器技术是当前代表国家综合科研水平的重要技术,传感器技术的具体应用是传感器技术转化的重要途径和方法。加强对传感器技术应用的研究也是了解传感器技术发展现状并对其未来发展进行预测的基础和前提。 3.1 光电传感器技术

航空新型传感器的发展现状分析

航空新型传感器的发展现状分析 微机电系统(Microelectro Mechanical Systems,MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过几十年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。目前,全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作,已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品,其中微传感器占相当大的比例。微传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的航空新型传感器。与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时,在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。本文概述国内外目前已实现的微机械传感器特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性 能和发展方向。 微机械压力传感器是最早开始研制的微机械产品,也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。从信号检测方式来看,微机械压力传感器分为压阻式和电容式两类,分别以体微机械加工技术和牺牲层技术为基础制造。从敏感膜结构来看,有圆形、方形、矩形、E形等多种结构。目前,压阻式压力传感器的精度可达 0.05%~0.01%,年稳定性达0.1%/F.S,温度误差为0.0002%,耐压可达几百兆帕,过压保护范围可达传感器量程的20倍以上,并能进行大范围下的全温补偿[1]。现阶段微机械压力传感器的 主要发展方向有以下几个方面。 (1)将敏感元件与信号处理、校准、补偿、微控制器等进行单片集成,研制智能化 的压力传感器。 这一方面,Motorala公司的YoshiiY等人在Transducer'97上报道的单片集成智能压力传感器堪称典范[2]。这种传感器在1个 SOI晶片上集成了压阻式压力传感器、温度传感器、CMOS电路、电压电流调制、8位MCU内核(68H05)、10位模/数转换(A/D)器、8位数模转换(D/A)器,2K字节EPROM、128字节RAM,启动系统ROM和用于数据通信的外围电路接口,其输出特性可以由MCU的软件进行校准和补偿,在相当宽的温度 范围内具有极高的精度和良好的线性。 (2)进一步提高压力传感器的灵敏度,实现低量程的微压传感器[3]。 这种结构以Endevco公司在1977年提出的双岛结构为代表,它可以实现应力集中从而提高了压阻式压力传感器的灵敏度,可实现10kPa以下的微压传感器。1989年复旦大学提出1种梁膜结构来实现应力集中,其结构可看作1个正面的哑铃形梁叠加在平膜

位移传感器的发展现状.doc

《材料工程检测技术》课程作业(二): 位移传感器的发展现状概述 课程: 任课老师: 学院(系): 专业: 学生姓名: 学号:

1 位移传感器 位移是指物体位置对参考点产生的偏移量,是指物体相对于某参考坐标系一点的距离的变化量,它是描述物体空间位置变化的物理量。位移传感器又称为线性传感器,是将位移转换成电量的传感器。位移传感器的发展经历了两个阶段,经典位移传感器阶段和半导体位移传感器阶段。 2 位移传感器的分类 2.1 电位器式 电位器位移传感器分为绕线电位器和非绕线电位器2种:绕线电位器一般由电阻丝烧制在绝缘骨架上,由电刷引出与滑动点电阻对应的输入变化。电刷由待测量位移部分拖动,输出与位移成正比的电阻或电压的变化;常见的非线绕式电位器位移传感器是在绝缘基片上制成各种薄膜元件,如合成膜式、金属膜式、导电塑料和导电玻璃釉电位器等。 2.2 电阻应变式 传感器是由弹性敏感元件和电阻应变片构成,当测量杆随试件产生位移时,弹性敏感元件在感受到测量杆变化而产生变形,其表面产生的应变与测量杆的位移成线性关系。这种传感器具有线性好、分辨率较高、结构简单和使用方便等特点,其位移测量范围较小,通常在0.1um-0.1mm之间,测量精度小于2% ,线性度为0.1%一0.5%。 2.3 电容式 电容传感器通过位移来改变电容两个极板之间的距离,即将位移量转换成电容变化量进行测量的。 它具有功率小、阻抗高、动态特性好、可进行非接触测量等优点;但是电容传感器存在寄生电容和分布电容,会影响测量精度,且常用的变隙式电容传感器存在测量量程小,存在非线性误差等缺点。一般使用极距变化型电容式位移传感器和面积变化型电容式位移传感器。 2.4 电感式 电感式传感器利用电磁感应将被测位移转换成线圈的自感系数和互感系数的变化,再由电路转换为电压或电流的变化量输出,实现非电量到电量的转换。

传感器技术发展现状及趋势

桂林航天工业学院 课程论文 题目:传感器技术发展现状及趋势 专业:工商企业管理(生产运作与质量管理) 姓名:罗并 学号:20130820Z00102 指导教师:陈少航 2015年6月12日 传感器技术发展现状及趋势 在信息化社会,几乎没有任何一种科学技术的发展和应用能够离得开传感器和信号探测技术的支持。生活在信息时代的人们,绝大部分的日常生活与信息资源的开发,采集,传送和处理息息相关。分析当前信息与技术发展状态,21世纪的先进传感器必须具备小型化,智能化,多功能化和网络化等优良特征。 为了能够与信息时代信息量激增,要求捕获和处理信息的能力日益增强的技术发展趋势保持一致,对于传感器性能指标(包括精确性,可靠性,灵敏性等)的要求越来越严格;与此同时,传感器系统的操作友好性亦被提上了议事日程,因此还要求传感器必须配有标准的输出模式;而传统的大体积弱功能传感器往往很难满足上述要求,所以它们已逐步被各种不同类型的高性能微型传感器所取代;后者主要由硅材料构成,具有体积小,重量轻,反应快,灵敏度高以及成本低等优点。 目前,几乎所有的传感器都在由传统的结构化生产设计向基于计算机辅助设计(CAD)的模拟式工程化设计转变,从而使设计者们能够在较短的时间内设计出低成本,高性能的新型系统,这种设计手段的巨大转变在很大程度上推动着传感器系统以更快的速度向着能够满足科技发展需求的微型化的方向发展。 智能化传感器(Smart Sensor)是20世纪80年代末出现的另外一种涉及多种学科的新型传感器系统。此类传感器系统一经问世即刻受到科研界的普遍重视,尤其在探测器应用领域,如分布式实时探测,网络探测和多信号探测方面一直颇受欢迎,产生的影响较大。,智能化传感器具有以下优点: (1)智能化传感器不但能够对信息进行处理,分析和调节,能够对所测的数值及其误差进行补偿,而且还能够进行逻辑思考和结论判断,能够借助于一览表对非线性信号进行线性化处理,借助于软件滤波器滤波数字信号。此外,还能够利用软件实现非线性补偿或其它更复杂的环境补偿,以改进测量精度。 (2)智能化传感器具有自诊断和自校准功能,可以用来检测工作环境。当工作环境临近其极限条件时,它将发出告警信号,并根据其分析器的输入信号给出相关的诊断信息。当智能化传感器由于某些内部故障而不能正常工作时,它能够借助其内部检测链路找出异常现象或出了故障的部件。 (3)智能化传感器能够完成多传感器多参数混合测量,从而进一步拓宽了其探测与应用领域,

学年论文-传感器技术的研究现状与发展趋势

山东工商学院 学年论文 题目:传感器技术的研究现状与发展趋势姓名:xxx 学号:200905xxxx 专业:电子信息工程 指导老师:xxx

传感器技术的研究现状与发展趋势 姓名 (山东工商学院信息与电子工程学院,山东烟台 264005) 摘要: 传感器是高度自动化系统乃至现代尖端技术必不可少的一个关键组成部分。传感器技术是世界各国竞相发展的高新技术,也是进入21世纪以来优先发展的十大顶尖技术之一。传感器技术所涉及的知识领域非常广泛,其研究和发展也越来越多地和其他学科技术的发展紧密联系。本文首先介绍了传感器的基本知识和传感器技术的发展历史。之后,综述了近几年高端前沿的光电传感器技术和生物传感器技术的主要研究状况。最后,展望了现代传感器技术的发展和应用前景。 关键词:传感器技术;传感器;研究现状 The Sensor Technology Current Research And Development Trend CHEN Cxxxx-xxx (School of Information and Electronic Engineering, Shandong Institute of Business and Technology, Yantai, 264005,China) Abstract:Sensor is an essential and critical component of highly automated system and cutting-edge technology. Sensor Technique is what many developed countries are competing in. It is also one of the ten top technologies with priority in the 21st century. There are a large amount of areas of knowledge involved in Sensor Technique. Meanwhile, it also has been in close relation with the advance of other fields of technologies. This paper first introduces the basic knowledge of the Sensor and the history of the Sensor Technology .Then it summarizes the main investigation on Sensor Technique of Photoelectric Sensor and Biosensor in recent years .Last,it forecasts the development and future applied fields of the modern Sensor Technology. Key words:Sensor Technique; Sensor; Current Research; trend

温度传感器的历史发展与研究现状

温度传感器的历史发展与研究现状 摘要:本文通过查阅各类文献并进行分析总结,简述了温度传感器的意义和作用,介绍了温度传感器的发展历史,列举并分析了常用温度传感器的类型,对比了国内外温度传感器设计和研究领域的现状与发展,着重阐述了国外先进的CMOS模拟集成温度传感器的主要原理。最后,文章对温度传感器的未来发展方向做出了说明。 关键词:温度传感器,IC温度传感器,CMOS集成温度传感器 一、背景介绍 1.1绪言 人们为了从外界获取信息,必须借助于感觉器官,而单靠人们自身的感觉器官,在研究自然现象和规律以及生产活动中,它们的功能就远远不够了。为适应这种情况,就需要传感器。传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并能将检测感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。[1]传感器是以一定的精度和规律把被测量转换为与之有确定关系的、便于应用的某种物理量的测量装置。它是实现自动测量和自动控制的首要环节。[2]温度是反映物体冷热状态的物理参数,它与人类生活环境有着密切关系。早在2000多年前,人类就开始为检测温度进行了各种努力,并开始使用温度传感器检测温度。[3]在人类社会中,无论工业、农业、商业、科研、国防、医学及环保等部门都与温度有着密切的关系。 [4]在工业生产自动化流程中,温度测量点一般要占全部测量点的一半左右。[5]因此,人类离不开温度传感器。传感器技术因而成为许多应用技术的基础环节,成为当今世界发达国家普遍重视并大力发展的高新技术之一,它与通信技术、计算机技术共同构成了现代信息产业的三大支柱。[6] 1.2温度传感器的发展历史和主要分类 人们研究温度测量的历史已经相当的久远了。公元1600年,伽利略研制出气体温度计。

气敏传感器的现状及发展趋势

1国内外气敏传感器的产生与发展 气敏传感器又称“气体传感器”,是指利用各种化学、物理效应将气体成分、浓度按一定规律转换成电信号输出的传感器件,是化学传感器中最活跃的一种。早在20世纪30年代人们就已发现金属氧化物具有气敏效应,而半导体气敏元件则是在60年代初期研制成功的,最先研制的ZnO薄膜元件,它是利用ZnO薄膜电阻接触的可燃性气体浓度增加而下降,实现对可燃性气体检测。继而又发现在SnO2中添加Pt或Pd等贵重金属做增感剂能提高其灵敏度[1]。 日本气体传感器经过20多年的发展,其制造技术与产品水平已提高到相当水准,由日本费加罗技术研究公司规模生产的SnO2系列气敏传感器达21种规格,广泛用于11种气体的测量。在美国,氧传感器主要用于汽车发动机空/燃比控制和家用报警器。英国电气阀门公司生产的催化燃烧型气敏传感器,德国DraegerwerkAG生产的医用薄膜型气敏传感器,瑞士CerbertlsLlmited生产的火灾报警用气敏传感器等,都是世人所熟悉的[2]。 20世纪70年代中期我国开始研制金属氧化物半导体气敏传感器和钯栅MOS场效应氢敏晶体管,并开始在家用燃气报警器和电力工业变压器油变质监测上应用。近年来我国的气敏传感器技术飞速发展,全国有30多所高等院校和研究所研究开发各种类型的气敏传感器,在工艺方面引入表面掺杂、表面覆膜以及制作表面催化反应层和修隔离层等工艺;另外新研究的AL2O3气敏材料、石英晶体和有机半导体也开始用于气敏材料。但与国外发达国家相比还有较大差距,主要体现在产品生产技术和产业化等方面。 2工作原理 气敏电阻的材料是金属氧化物,在合成材料时,通过化学计量比的偏离和杂志缺陷制成,金属氧化物半导体分N型半导体,如氧化锡、氧化锌等,P型半导体,如氧化钴、氧化铅等。为了提高某种气敏元件对某些气体成分的选择性和灵敏度,合成材料有时还掺入了钯、铂、银等催化剂。 金属氧化物在常温下是绝缘的,制成半导体后却显示气敏特性。通常器件工作在空气中,空气中的氧和二氧化氮这样的电子兼容性大的气体,接受来自半导体材料的电子而吸附负电荷,结果使N型半导体材料的表面空间电荷层区域的传导电子减少,使表面电导减小,从而使器件处于高阻状态。一旦元件与被测还原性气体接触,就会与吸附的氧起反应,将氧束缚的电子释放出来,敏感膜表面电子增加,使元件电阻减小。该类气敏元件通常工作在高温状态(200~450℃),目的是为了加速上述的氧化还原反应[3]。 例如用于家庭或工业可燃性气体的检测、简陋报警器电路中所采用的MQ-5型气敏传感器就属于可燃性气敏传感器,如图1所示。它对液化气、天然气、城市煤气等具有较高的灵敏度,而对乙醇、烟雾几乎不起反应,并且具有灵敏度高,响应速度快,稳定性好,寿命长,驱动电路简单等优点。 图1MQ-5型气敏传感器 MQ-5型气敏传感器由微型氧化铝陶瓷管、氧化锌敏感层、测量电极和加热器构成。敏感元件固定在塑料或不锈钢制成的腔体内,加热器为气敏元件提供了必要的工作条件。封装好的气敏元件有6个管脚,其中4个用于信号输出,2个用于提供加热电流。MQ-5型气敏传感器引脚排布图如图2所示,MQ-5型气敏传感器使用接线图(如图3所示)。 图2MQ-5型气敏传感器引脚排布图 图2中H-H表示加热极(如5V),A-A、B-B表示传感器敏感元件的两个极。 图3MQ-5型气敏传感器使用接线图 图3中“V”为传感器的工作电压,同时也是加热电压。当气敏传感器加热后,环境中的可燃气体浓度加大时,传感器的内阻将迅速减小,利用该特性结合分压原理,可知输出电压的值将逐渐增大,当超过设定的阀值时,可产生相应的操作。 3主要应用 近年来,气敏传感器的应用越来越广泛,其中最主要的任务是防止突发事故,提高生活质量,保障生产过程安全性。 3.1用于监控易燃气体泄漏和检测有害气体成分 气敏传感器主要用于测定气体浓度,当安装在厨房、工厂、矿山以及其它公共场所的气敏传感器检测到有害气体浓度达到一定值时,会给出相应信号,并发出声音报警,提醒人们注意。 3.2用于检测环境质量 在办公室、住宅、汽车、飞机等较密闭环境安装气敏传感器,一方面由于即使少量的有害气体也会对人体造成伤害,所以可用于检测环境质量;另一方面也可用于检测二氧化碳浓度是否超标,提醒人们注意通风换气。 3.3用于检测酒精气体浓度 陶瓷气敏传感器可用于分析酒精蒸汽的含量。当酒后驾驶员对准传感器检测口吹气时,由于其血液中含有一定的酒精成分,传感器中电阻会发生与酒精浓度成比例的变化,并显示相应数值。 3.4用于检测气味和食物原料分类 气味检测是气敏传感器未来的主流方向之一,最有潜力的应用领域是食品工业和医学,还有家住环境和舒适度的调节(下转第312页) 气敏传感器的研究现状及发展趋势 鲁珊珊1李立峰2 (1.内蒙古机电职业技术学院,内蒙古呼和浩特010018;2.内蒙古电力勘测设计院,内蒙古呼和浩特010018) 【摘要】本文以气敏传感器为研究对象,介绍了国内外气敏传感器的产生及现状,详细分析了气敏传感器的工作原理,阐述了主要应用领域,并最终依据现状总结出气敏传感器的未来发展趋势。 【关键词】气敏传感器;应用;发展趋 势 作者简介:鲁珊珊(1981.9—),女,山东潍坊人,硕士,内蒙古机电职业技术学院,教师。李立峰(1981.5—),男,山东淄博人,博士,内蒙古机电力勘测设计院。 282

浅谈温度传感器的现状与发展_严芸

【收稿日期】2006-02-16 【作者简介】 严芸(1982—),女,江苏无锡人,无锡商业职业技术学院塘山校区助教。浅谈温度传感器的现状与发展 严芸 (无锡商业职业技术学院塘山校区,江苏无锡214153) 【摘要】 文章介绍了模拟温度传感器和数字温度传感器的特点、现状及其应用,并对两者进行了比较分析。【关键词】 模拟温度传感器;DS1620;MAX6575L/H;AD7416【中图分类号】TP212.11【文献标识码】A【文章编号】1008-1151(2006)05-0038-02大众科技 DAZHONGKEJI2006年第5期(总第91期) No.5,2006 (CumulativelyNo.91) 温度是一个和人们生活环境有着密切关系的物理量,也是一种在生产、科研、生活中需要测量和控制的重要物理量,是国际单位制七个基本量之一。其测量控制一般产用各式各样形态的温度传感器。根据它们在讯号输出方式上的不同又可以分为模拟温度传感器和数字温度传感器。现将模拟温度传感器和数字温度传感器进行简单介绍。 一、模拟温度传感器 模拟温度传感器有多种输出形式(绝对温度、摄氏温度和华氏温度)以及电压偏移值。后者让组件在使用单电源的情形下就能对负温度值进行监测。模拟温度传感器的输出还可以送到比较器来产生超温指示信号,或直接送到模拟数字转换器的输入,用来显示实时温度数据(如图1)。模拟温度传感器适合需要低成本、小体积和低功耗的应用。 图1典型的模拟传感器的应用电路 另一种是温度开关或逻辑输出传感器,这种传感器会在温度超过某个默认值时输出特定的逻辑讯号。而这个触发点(限制值)可以预设,因此,这类组件让设计更加简单,成本也更低。它的典型应用如关闭系统电源,启动风扇、空调、加热器等(见图2)。 图2温度开关的典型应用 二、数字温度传感器 对于更紧密控制能力、更高精度和更大分辨率的需求带动了数字温度传感器的发展。被测温度信号从敏感元件接收的非电量到转换为微处理器可处理的数字信号,环节较多,而且模拟信号在长距离传输的过程中,受到的干扰较多,误差较大。因此,从非电量转换到数字信号,一般将其处理过程集成 在单片IC器件体内部,这样就形成了功能强大,精确的数字传感器。 (一)DS1620 美国达拉斯半导体公司生产的DS1620是经过特殊工艺而制成的集成式数字温度传感器,具有体积小、测量精度高、无需A/D转换、直接输出数字信号等特点,可在-55~+125℃之间将温度转换成对应的1位符号、8位数据的9位二进制数字,并以串行数据方式按着低位在先、高位在后的格式进行连续的数字输出,典型转换时间为200ms,分辨率为0.5℃。经过特殊的处理可使其达到0.1℃的分辨率,以满足高精度的工业测量和控制系统的需要。该传感器测量结果的读取方式有两种:一次读取9位(读到第9位时将RST置成“0”);读取2个8位字并将高7位置“0”。根据其数据输出编码格式,当第9位(符号位)MSB为 “0”时,表示被测温度为正,MSB为“1”时,则表示被测温度位负,以下是几个典型的温度值。 011111010+125℃ 000110010+25℃0000000000℃111111111-0.5℃211001110-25℃ DS1620为8脚DIP或SOIC封装形式,可工作在PC或单 片机等具有可编程功能的测温系统中,也可作为独立的测温元件而工作在无CPU的测温系统中(此时只用到其中的3个引脚)。表1为DS1620的引脚及其功能说明。 表1DS1620引脚功能 表1中,4和8之间引入5V电源电压;TH、TL分别为高温、低温越限触发端,作为温度控制系统的触发输出信号;T- COM为高、低触发信号的回差,当被测温度高于上限设定值 时,TH置“1”,而只有当被测温度降至低于下限设定值时,TL置“0”,因而形成上、 下限之间的回差,图3是三者之间的关系图。 38--

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