扩散考题

扩散试题

考试时间：40分钟姓名：班次：

1、每台扩散炉有几个炉管？每个炉管有几个温区？待机温度是

多少？

2、扩散石英舟有多少个槽？放多少槽假片？

3、方块电阻检测每炉需抽检几片？每片测几个点？

4、二厂扩散的方块电阻目标值是多少？范围是多少？

5、扩散插片需要用到什么工具？插片时的注意事项？

6、扩散卸片后卸在洗磷花篮时，扩散面的方向？

7、扩散工艺需要使用的气体有哪些？

8、POCl3是无色无味的液体么？

9、当发现POCl3发生泄漏时，应该做出怎样的第一反应？

10、目前扩散运行工艺，是在多高的温度下进行扩散的，

600-700℃？800-900℃？1000℃以上？

11、扩散插卸片不需要更换PVC手套，可持续使用直至损坏，对

吗？

12、硅片进入炉管，靠近炉尾的是硅片上边缘还是下边缘？

13、硅片进行完扩散工艺后，会在storage上面冷却一段时间，问

冷却时间约为多少？5min？10min？12min？

14、扩散后硅片部分出现烧焦问题如何处理？

15、扩散的目的？

16、POCl3液态源扩散方法的优点？

17、扩散反应原理？

18、影响方块电阻测量的因素？

19、运行扩散工艺的七个步骤？

20、源瓶温度控制的范围？

21、清洗石英制品用到的化学药品？

22、方阻异常时该怎样处理？

23、上舟后是否需要调整石英舟在slider上的位置？

24、卸片顺序？

25、未扩散硅片是P型硅还是N型硅？

26、硅片在石英舟的线痕方向垂直于地面吗？

27、扩散后硅片卸在洗磷花篮的线痕方向与地面平行吗？

28、单面扩散扩散的是制绒面还是非制绒面？

29、金属物品可以放在插卸片工作台上吗？

30、清洗石英舟需要酸洗多长时间？