无尘室等级标准

无尘室等级标准
无尘室等级标准

半导体工业是极精密的工业,当我们把计算机拆开之后,在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作,制造的过程必须在无尘室内进行,集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资,多因为需要一个无尘室。

所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。由于奈米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5μm,例如,1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5μm,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2μm(尘粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75颗/立方英?),1级在0.1μm(尘粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35颗/立方英?)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

为保持无尘室的洁净度,进出的人员有一定的穿著规定;10000与100000级,必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩;1000级(含)以上,需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住,并带上手套和面罩,下表为无尘室清洁度的定义:

尘粒数/立方英

级数0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm

1 35 7.5 3 1 N/A

10 350 75 30 10 N/A

100 N/A 750 300 100 N/A

1000 N/A N/A N/A 1000 7

10000 N/A N/A N/A 10000 70

100000 N/A N/A N/A 100000 700

4.1 環境介紹及溫溼度條件:

4.1.1 無塵室是以美國聯邦標準做為分級的規範,外層無塵室,內層無塵室,防焊無塵室,CAM無塵室等級為10K級.壓合無塵室0.5um的微粒為10K級,5um 微粒為100K級。

4.1.2 無塵室溫度規定22±2℃,濕度規定55±5%。由溫濕度記錄儀記錄,各現場單位負責更換記錄紙和保存資料.其精確度由品保部定期校驗.

4.1.3 無塵室內部保持正壓,出風口風速0.3-0.5m/s,防止外面空氣進入無塵室.

4.1.4 10K級無塵室0.5um的微粒不大於10000顆/ ft3,5um微粒不大於70顆/ ft

100K級無塵室0.5um的微粒不大於100000顆/ ft3,,5um微粒不大於700顆/ ft

4.1 環境介紹及溫溼度條件:

4.1.1 無塵室是以美國聯邦標準做為分級的規範,外層無塵室,內層無塵室,防焊無塵室,CAM無塵室等級為10K級.壓合無塵室0.5um的微粒為10K級,5um 微粒為100K級。

4.1.2 無塵室溫度規定22±2℃,濕度規定55±5%。由溫濕度記錄儀記錄,各現場單位負責更換記錄紙和保存資料.其精確度由品保部定期校驗.

4.1.3 無塵室內部保持正壓,出風口風速0.3-0.5m/s,防止外面空氣進入無塵室.

4.1.4 10K級無塵室0.5um的微粒不大於10000顆/ ft3,5um微粒不大於70顆/ ft

100K級無塵室0.5um的微粒不大於100000顆/ ft3,,5um微粒不大於700顆/ ft

4.3 操作注意事項:

4.3.1 人員進入無塵室,一律穿著連身式無塵衣,並換無塵鞋。

4.3.2 無塵衣穿著一律在更衣室進行。

4.3.3 嚴禁操作人員戴戒指、手錶等手飾.。

4.3.4 在無塵室內嚴禁脫掉無塵衣,或捲起衣袖,脫帽。

4.3.6 無塵室作業人員接觸pcb時一律佩帶手套,每週一﹑四更換,作業過程中如有損壞或污染立即更換。

4.4 進出物的管制及要求:

4.4.1 嚴禁攜帶食物、飲料及私入紙類進入無塵室。

4.4.2 基板的拿取,操作人員要戴無塵手套。

4.4.3 自冷藏室取出的乾膜置於常溫中,使表面上附著的水份消失後使用。

4.4.4 板子以外的器材及工具和工作人員須由AIR SHOWER空氣浴進出。

4.5 管制區的環境要求:

4.5.1 打掃時包括衣室及空氣浴均需徹底清潔拖把。

最全无尘室等级标准

最全无尘室洁净等级标准 洁净室等级标准(国内和国外标准对比) ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级 ISO分级大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度(颗/m3) 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm ISO1级10 2 ISO2级100 24 10 4 ISO3级1000 237 102 35 8 ISO4级10000 2370 1020 352 83 ISO5级100000 23700 10200 3520 832 29 ISO6级1000000 237000 102000 35200 8320 293 ISO7级352000 83200 2930 ISO8级3520000 832000 29300 ISO9级35200000 8320000 293000 《药品生产质量管理规范》(1992年修订) 洁净级别活粒数/立方米活微生物数/立方米 ≥0.5μm ≥5μm 100 级≤3,500 0 ≤5 10,000 级≤350,000 ≤2,000 ≤100 100,000级≤3,500,000 ≤20,000 ≤500 洁净手术部洁净用房等级标准 等级沉降(浮游)细菌最大平均浓度表面最大染菌密度空气洁净度级别 手术区周边区手术区周边区 I 0.2个/30minΦ90皿(5个/ m3)0.4个/30minΦ90皿(10个/ m3)5个/cm2 100级1000级 II 0.75个/30minΦ90皿(25个/ m3)1.5个/30minΦ90皿(50个/ m3)5个/cm2 1000级10000级 III 2个/30minΦ90皿(75个/ m3)4个/30minΦ90皿(150个/ m3)5个/cm2 10000级100000级 IV 5个/30min,Φ90皿(175个/ m3)5个/cm2 300000级

最全无尘车间标准要求

无尘车间等级标准 无尘车间洁净度等级标准ISO14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控 环境中空气无尘车间洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)0.1um ~0.5um 范围内累计分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um ~0.5um )、超微粒子(<0.1um )和宏粒子(>5.0um )。 空气无尘车间洁净度分级标准:ISO14644-1(国际标准) 空气无尘车间洁净度分级标准:GB/T16292-1996(中国标准) 空气洁净 度等级(N) 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子) 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1.0um 5.0um ISO Class1 10 2 ISO Class2 100 24 10 4 ISO Class3 1,000 237 102 35 8 ISO Class4 10,000 2,370 1,020 352 83 ISO Class5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29 ISO Class6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293 ISO Class7 352,000 83,200 2,930 ISO Class8 3,520,000 832,000 29,300 ISO Class9 35,200,000 8,320,000 293,000 注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平 粒径、数值 无尘车间洁净度级 别 尘埃最大允许数/立方米 微生物做大允许数 ≥0.5um ≥5.0um 游浮菌/立方米 沉降菌/皿 100级 3,500 0 5 1,000级 35,000 200 50 10,000级 350,000 2,000 100 100,000级 3,500,000 20,000 500 300,000级 10,500,000 60,000 5

(完整word版)无尘车间洁净度标准

无尘车间洁净度如何确定详细分析 一、净化车间的规格 净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是,伴随着洁净化程度的不断提高,美国联邦规格进行了改版,其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为No209E,名称也进行了变更。No.209E 的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3,把X表示成级别,同时加上米制M的意思,表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格No.209B,表8表示的是美国联邦规格No.209E。在日本,相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10X个,用Y表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。 表8, 美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类

* 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的,并不表示实际的粒径分布值。 ** 针对中间级别的浓度上限值,用如下的公式进行计算。 粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2,其中,M : SI单位里的级别名称,D : 粒径(um) ***国际单位(Systeme International d’Unites的缩写) 图1 ,209E的洁净度级别(图略)图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。 ()内数值是用English unit 表示级别。 图2 ,JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度 表9,JIS B 9920主要内容 三、不同用途所要求的洁净度 如前所述,净化间的级别一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同,形成必要的级别是不一样的。例如,在半导体制造工厂等里边,根据作业内容,要求有M1(10)—M5.5(1000)的净化间。而且,在制药工厂里,根据产品的纯度、作业工序,需有从M3.5到M6.5(100,000)范围广泛的级别不等净化间。因此说,各种产业所需要的净化间,其要求的洁净度是不同的。就一般级别而言,表11可以作为参考。 表11,各产业所要求的净化间级别一览

洁净室环境监测项目及要求

审批及颁发/APPROV AL & ISSUANCE 会审/COLLECTIVE REVIEW 分发/DISTRIBUTION 一、目的/PURPOSE 明确洁净级别的范围,规范洁净室环境监测,确保生产环境达到要求。

二、范围/SCOPE 适用于车间及微生物室洁净室照度、温度、相对湿度、换气次数、风速、压差、悬浮粒子数、沉降菌、浮游菌、表面微生物、高效过滤器完整性测试等项目的监测管理。 三、职责/RESPONSIBILITY 1 质量保证部 1.1 负责本规程制订。 1.2 及时处理超警戒限/行动限监测结果。 1.3 审核趋势分析数据,及时发现不良趋势。 1.4 审查该SOP的执行情况。 2 质量控制部 2.1 负责培训环境监测取样人员。 2.2 负责取样、测试样品及记录监测结果。 2.3 负责日常环境监测记录的归档管理。 2.4 负责风速、换气次数、高效过滤器的完整性测试、悬浮粒子、沉降菌、浮游菌、表面微生物监测及记录。 2.5 参与处理超警戒限度/行动限度监测结果。 3 各车间 3.1 配合质量控制部的取样工作。 3.2 负责温度、相对湿度、压差监测及记录。 3.3 及时处理超警戒限度/纠偏限度监测结果。 3.4根据监测数据进行趋势分析。 四、术语/GLOSSARY 1 洁净区(室): 需要对环境中尘粒及微生物数量进行控制的房间(区域),其建筑结构、装备及其使用应当能够减少该区域内污染物的引入、产生和滞留。 2 洁净度: 洁净环境单位体积空气中含大于或等于某一粒径的悬浮粒子的允许统计数。

3 洁净区分四个级别: A级:高风险操作区。如灌装区、放置胶塞桶和与无菌制剂直接接触的敞口包装容器的区域及无菌装配或连接操作的区域,应当用单向流操作台(罩)维持该区的环境状态。单向流系统在其工作区域必须均匀送风,风速为0.36-0.54m/s(指导值)。应当有数据证明单向流的状态并经过验证。在密闭的隔离操作器或手套箱内,可使用较低的风速。 B级:指无菌配制和灌装等高风险操作A级洁净区所处的背景区域。 C级:指无菌药品生产过程中重要程度较低操作步骤的洁净区。 D级:指无菌药品生产过程中重要程度较低操作步骤的洁净区和非无菌原料药精制、干燥、粉碎、包装等生产操作的暴露环境。 4 单向流: 指空气朝着同一个方向,以稳定均匀的方式和足够的速率流动。单向流能持续清除关键操作区域的颗粒。 5 动态: 指生产设备按预定的工艺模式运行并有规定数量的操作人员在现场操作的状态。 6 静态: 指所有生产设备均已安装就绪,但没有生产活动且无操作人员在场的状态。 7 警戒限度: 系统的关键参数超出正常范围,但未达到纠偏限度,需要引起警觉,可能需要采取纠正措施的限度标准。 8 纠偏限度: 系统的关键参数超出该限度,需要进行调查并采取纠正措施的限度标准。 五、内容/CONTENT 1 洁净室监测的项目: 照度、温度、相对湿度、风速、换气次数、压差、悬浮粒子、沉降菌、浮游菌、表面微生物、高效过滤器的完整性测试。 2 日常环境监测的标准、频次

无尘室等级

无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。 使用者在开无尘室的等级给供货商时,有以下几个小技巧。 首先是等级定义的模式如下: Class X (at Y μm ) 其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子: Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) Class 100(0.2μm , 0.5μm ) Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) 在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。 第二个技巧是规定无尘室的状态,例如: Class X (at Y μm ),At-rest 供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。

第三个技巧是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如: Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built 这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时,依然有足够的微粒控制能力。

洁净区环境监控管理规程

1目的 规范洁净区环境监控管理,确保洁净区的环境符合GMP要求。 2范围 适用于各生产车间的洁净区的监控。 3职责 QA负责各车间洁净区的环境监控。 4内容 4.1定义 4.1.1静态 4.1.1.1静态a:洁净室(区)在净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下,生产工艺设备已安装,洁净室(区)内没有生产人员的状态。 4.1.1.2静态b:洁净室(区)在生产操作全部结束,生产操作人员撤离现场并经过20min自净后。 4.1.2动态:洁净室(区)已处于正常生产状态,设备在指定的方式下进行,并且有指定的人员按照规范操作。 4.2测试项目、标准及频次 4.2.1风速、风量及换气次数 4.2.1.1风速测试:A级区进行风速测试,检测频次:每个月一次。 4.2.1.2风量及换气次数测试:A级区外的其它区域测量风量及换气次数。检测频次:至少每年一次。 4.2.1.3标准 a.A级区风速:层流系统在其工作区域必须均匀送风,风速为0.36-0.54m/s。 b.换气次数:B级洁净室换气次数n≥50次/h,C级洁净室换气次数n≥25次/h,D级洁净室换气次数n≥15次/h。 4.2.2流型 4.2.2.1检测区域:A级区,检测频次:至少每年一次。 4.2.2.2标准:应为层流 4.2.3压差 4.2.3.1检测频次:正常投产时每天一次。 4.2.3.2标准

a.洁净区与非洁净区之间、不同等级洁净区之间的压差应不低于10帕斯卡。 b.相同洁净度等级不同功能的操作间之间应保持适当的压差梯度,以防止污染和交叉污染。 4.2.4温度、相对湿度 4.2.4.1检测频次:正常投产时每天一次。 4.2.4.2标准:温度18-26℃,相对湿度45-65%。 4.2.5高效过滤器检漏 4.2. 5.1检测频次:A级区每半年用尘埃粒子计数扫描巡检法进行一次过滤器完整性测试,每年用气溶胶法进行一次过滤器完整性测试;B级、C级区每年用气溶胶法进行一次过滤器完整性测试,D级区每年用尘埃粒子计数扫描巡检法进行一次过滤器完整性测试。新更换高效过滤器要进行完整性测试。悬浮粒子检测结果异常,调查怀疑高效泄漏的可进行完整性测试。 4.2. 5.2标准:气溶胶法泄漏率应≤0.03%。(气溶胶法需外协检测) 4.2.6空气悬浮粒子 4.2.6.1灌装间A级区每批一次在线监测;B级区每个月进行一次动态监测,所有房间每3个月进行一次静态监测;C级区每2个月进行一次监测,动、静态不限;D级区每3个月进行一次静态监测,特殊情况下可进行动态监测。 4.2.6.2标准 各级别空气悬浮粒子标准规定

无尘车间标准等级的划分

无尘车间标准等级的划分 无尘车间的等级说明 首先是无尘车间标准等级定义如下: Class X (at Y μm ) 其中X是无尘车间的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0。5μm 等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。以下是几个例子: Class1 (0。1μm, 0。2μm , 0。5μm) Class 100(0。2μm , 0。5μm ) Class 100(0。1μm,0.2μm , 0.5μm ) 在Classes 100 (M3。5) and Greater (Class 100,1000,10000.。。.),一般看一个粒径即可.在Classes Less than 100 (M3。5)(Class 10,1。.。. ),一般要看多几个粒径. 第二个是规定无尘车间的状态,例如: Class X (at Y μm ),At-rest 第三个是自订微粒浓度上限,一般在As—built时无尘车间都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如: Class 10000 (0。3 μm <= 10000),As-built Class 10000 (0。5 μm 〈= 1000),As-built 这样做的目的是确保无尘车间在Operational状态时,依然有足够的微粒控制能力。

以下两个表是Fed—Std—209E的等级定义,和ISO—14644的等级定义。Fed—Std-209E洁净度定义

比较以上两表我们可看出 1。209E的公制和英制两套标准,虽然有公式做互换,但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表,徒然造成混淆 2.在两表中0.5mm几乎出现在每一个等级定义中,表示粒径0。5mm的粒子非常具有代表性 3.在洁净度的分类上,不管是在高洁净度,或是低洁净度,ISO-14644的范围比209E都来的广,因此具有未来性 无尘车间等级标准划分 洁净度等级标准ISO14644根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)0。1um~0.5um 范围内累计分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0。1um~0.5um)、超微粒子(<0。1um)和宏粒子(>5。0um)。 空气洁净度分级标准:ISO14644—1(国际标准)

空气洁净度等级标准及规范相关

2,ISO1644的ISO5相当于系列的100级(≥μm粒子,≤颗/升,或100颗/ft3,或3530颗/m3)3,洁净度等级在100级以下者(1000,10000级等)通常用μm粒径考核的居多; 4,随着微电子技术的发展,洁净度等级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小(见表),对粒子检测仪器的要求当然也越来越高,对洁净室设计和施工方而言,在验收时,可能不止用一个粒径(如μm)而要用到更多的粒径,如μm μm甚至μm。

空气洁净度 空气洁净度 1.空气洁净度和级别 空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度。通常空气中含尘浓度低则空气洁净度高,含尘浓度高则空气洁净度低。按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级,就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。 洁净度标准的制定 以前有关国家都各自制定自己的标准,但基本上都是参照美国标准FS-209的各版进行,仅单位制及命名方法有所变换或改变。在命名上基本可分为两类:一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命名,这种命名方法以美国FS-209A~E版为代表,其规定粒径为μm,以空气中≥μm 粒径的粒子浓度采用英制pc/ft3直接命名,如标准中的100级,表示空气中≥μm 粒径的粒子浓度为100pc/ft3直接命名,即每立方英尺的空气中≥μm粒径的粒子数量为100个,(我们平时使用的是国际单位,即通常所指的是每立方米的空气中所含≥μm粒径的粒子数量,因为1立方米≈35.2立方英尺,所以我们看到标准中100级对应≥μm粒径的粒子数量不是100个,而是3520个,就是这个道理)。 二是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数以10n表示,按指数n 命名空气洁净度的等级,这种命名方法以日本JISB9920为代表,其规定粒径为μm,以空气中≥μm粒径的粒子浓度(采用国标单位制)10n pc/m3命名为n级,如该标准2级,其表示≥μm粒径的粒子浓度为100 pc/m3,即102pc/m3。俄罗斯的标准亦基本上采用此种命名方法。 现在国际标准ISO14644-1已发布实施,美国标准FS-2009E亦于2001年11月宣布停止使用。 按国际标准,空气中悬浮粒子洁净度等级以序数N命名,各种被考虑粒径D 的最大允许浓度Cn可用公式确定:

洁净无尘室之定义标准和设备要求

精心整理 洁净无尘室之定义(一)洁净室之定义(供大家参考)洁净室(CleanRoom),亦称为无尘室或清净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件特性。湿度,。 (二)以下仅就209D 如M1、,尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。 (三)洁净室控管之项目1.能除去空气中飘游之微尘粒子。2.能防止微尘粒子之产生。 3.温度和湿度之控制。 4.压力之调节。 5.有害气体之排除。 6.结构物与隔间之气密性。 7.静电之防制。8.电磁干扰预防。9.安全因素之考虑。10.节能之考量。 (四)洁净室之分类1.乱流式(TurbulentFlow):空气由空调箱经风管与洁净室内之空气

过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往 线形,此 。其 (2) ULPA 装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。(2)洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,

洁净区环境监测管理规定

1.目的: 洁净区是药品生产及药品微生物检测的重要场所,为确保药品生产及检测环境符合要求,因此需要对洁净区(室)、层流工作台环境进行定期监测。 2.适用范围: 适用于洁净区(室)、层流工作台环境的监测。 3.职责: 质量管理部QA、QC以及生产人员对本规定的实施负责。 4.内容: 4.1 区域划分: D级,口服液体和口服固体制剂的暴露工序区域;C级,主要用于物料微生物检测背景区域;A级,微生物检测暴露操作区域; 4.2 监测项目:尘埃粒子数、微生物、温度、相对湿度、换气次数、压差、照度; 4.3 测试方法依据:悬浮粒子测试方法按国家标准GB/T 16292-2010及ISO14644-1执行,沉降菌测试按国家标准GB/T 16294-2010执行,浮游菌测试按国家标准GB/T 16293-2010执行;灯检区照度应在3000LX,其他工作区域不低于300LX。 2000 ~ 4.4 监测状态:压差、温、湿度的监测应动态测试,换气次数、尘埃粒子和微生物在静态条件下测试;照度每班需检查灯管是否完整,如发现灯管损坏或更坏需仪器检测。 4.5 洁净区空调系统,在非生产班次时,空调系统作值班运行,使室内保持正压并防止结露; 4.6 各项指标监测工具、标准、监测点及监测周期见表1; 4.7 空气洁净度超过标准时的纠正措施 4.7.1 当空气洁净度中的悬浮粒子数量超过规定的标准时,由质量部联合设备部查明原因,如果换气次数和风速均正常,则可通过进行洁净环境重新清洁,按要求净化至少半小时,依法测定,应符合规定;如属过滤器问题,由设备部对初效、中效过滤器进行处理或更换高效过滤器; 4.7.2 当微生物数量超标时,则必须对此区域进行重新进行清洁,然后重新监测,测试结果应符合规定。 4.7.3 若仍旧不符合规定,则彻底调查分析原因,并采取措施经过重新监测合格后方可继续使用或生产。 4.7.4 若相对湿度及压差不符合要求,由设备部对空气净化系统进行调整,确保符合规定要求。 4.8 当生产间断10天以上,必须在生产前对洁净室进行清洁消毒,并监测悬浮粒子及微生物,应符合规定。

各行业无尘室及洁净度特点

各行业无尘室及洁净度特点 电子制造业: 随着计算机、微电子和信息技术的发展,推动了电子制造业的飞速发展,也带动了洁净室技术的发展,同时对洁净室的设计提出了更高的要求,电子制造业的无尘车间设计是一项综合的技术,只有充分了解电子制造业的无尘车间设计特点,做到设计合理,才能让电子制造产业的产品次品率降低,提高生产效率。 电子制造业洁净室的特点: 洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。 1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)。 2、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。 3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值: (1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。 (2)保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。 (3)电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项最大值:保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量;根据热,湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量;向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量。 生物制造业: 生物制药工厂的特点: 1、生物制药工厂不仅设备费用高、生产工艺复杂、洁净级别和无菌的要求高,而且对生产人员的素质有严格的要求。 2、在生产过程中会出现潜在的生物危害,主要有感染危险,死菌体或死细胞及成分或代谢对人体和其他生物致毒性、致敏性和其他生物学反应,产品的致毒性、致敏性和其他生物学反应,环境效应。 洁净区: 需要对环境中尘粒及微生物污染进行控制的房间(区域),其建筑结构、装备及其使用均具有防止该区域内污染物的引入、产生和滞留的功能。 气锁间: 设置于两个或数个房间之间(如不同洁净度级别的房间之间)的具有两扇或多扇门的隔离空间。设置气锁间的目的是在人员或物料出入其间时,对气流进

洁净室环境监测项目与要求内容

审批及颁发/APPROVAL & ISSUANCE 会审/COLLECTIVE REVIEW 分发/DISTRIBUTION 一、目的/PURPOSE 明确洁净级别的围,规洁净室环境监测,确保生产环境达到要求。 二、围/SCOPE 适用于车间及微生物室洁净室照度、温度、相对湿度、换气次数、风速、压差、悬浮粒子数、沉降菌、浮游菌、表面微生物、高效过滤器完整性测试等项目的监测管理。

三、职责/RESPONSIBILITY 1 质量保证部 1.1 负责本规程制订。 1.2 及时处理超警戒限/行动限监测结果。 1.3 审核趋势分析数据,及时发现不良趋势。 1.4 审查该SOP的执行情况。 2 质量控制部 2.1 负责培训环境监测取样人员。 2.2 负责取样、测试样品及记录监测结果。 2.3 负责日常环境监测记录的归档管理。 2.4 负责风速、换气次数、高效过滤器的完整性测试、悬浮粒子、沉降菌、浮游菌、表面微生物监测及记录。 2.5 参与处理超警戒限度/行动限度监测结果。 3 各车间 3.1 配合质量控制部的取样工作。 3.2 负责温度、相对湿度、压差监测及记录。 3.3 及时处理超警戒限度/纠偏限度监测结果。 3.4根据监测数据进行趋势分析。 四、术语/GLOSSARY 1 洁净区(室): 需要对环境中尘粒及微生物数量进行控制的房间(区域),其建筑结构、装备及其使用应当能够减少该区域污染物的引入、产生和滞留。 2 洁净度: 洁净环境单位体积空气中含大于或等于某一粒径的悬浮粒子的允许统计数。 3 洁净区分四个级别: A级:高风险操作区。如灌装区、放置胶塞桶和与无菌制剂直接接触的敞口包装容器的区域及无菌装配或连接操作的区域,应当用单向流操作台(罩)维持该区的环境状态。单向流系统在其工作区域必须均匀送风,风速为0.36-0.54m/s(指导值)。应当有数据证明单向流的状态并经过验证。在密闭的隔离操作器或手套箱,可使用较低的风速。 B级:指无菌配制和灌装等高风险操作A级洁净区所处的背景区域。

制药厂洁净室洁净区环境监测各类问题汇总解答

制药厂洁净室洁净区环境监测各类问题汇总解答 1.问:纯化水系统和注射用水系统,用紫外线定期消毒等是否就可以了?若不行,应该用什么方法? 答:《药品生产质量管理规(2010年修订)》要求企业应对纯化水、注射用水管道进行清洗消毒,而没有强制要求消毒的方式方法。紫外线消毒效果的影响因素较多,如紫外线波长、强度、照射时间、水层厚度等,不易控制,可作为消毒的辅助手段。 纯化水系统和注射用水的消毒有多重方式,例如:纯化水系统可采用巴氏消毒或纯蒸汽灭菌,注射用水可采用纯蒸汽灭菌或过热水灭菌等。而紫外线仅仅是辅助的方式,可以延长消毒周期,但其效果十分有限。 企业可以根据自身的设备情况以及消毒周期来确定具体的消毒和灭菌方式,并对其进行充分的验证。但一般情况下,不建议纯化水系统和注射用水系统仅仅采用紫外线定期消毒这一种方式。 2.问,洁净区监控,半球型摄像头每次清洗清洁不干净,而且死角清洗不等,非常不卫生环保,请问有什好的清洁方法? 答:针对洁净区洁净室专业研发生产的洁净区专用摄像头,洁净区专用摄像头是维远泰克针对洁净区、无尘车间的特殊使用环境,专门为药厂、电子厂、医院手术室、食品厂等的洁净区/无菌室/无尘车间开发的专用网络摄像头。该摄像头可以无缝嵌入彩钢板安装,纯平圆形外表面与彩钢板平齐,无卫生死角,易清洁易消毒。 该摄像头可对关键工序、关键岗位进行24小时的定点监控。摄像头与维远泰克OPCMES软件结合使用可实现洁净区监测报警事件与视频片段关联。洁净

区作为制药企业的生产场所,对环境、着装、人员流动等有严格的规定和要求。通过单个半球型摄像头无法全面的监控洁净室人员的操作,更无法对重要设备的运行状态、操作过程进行实时定点监控。如何实现洁净区远程非现场的重点岗位、关键设备的定点实时监控? 要实现洁净区操作间的多点监控,现有技术条件下,需要增加洁净室的监控摄像头的数量。半球型摄像头安装于天花板,安装位置过高,清理不方便,同时存在卫生死角,加大了洁净室清洁和验收的工作量。 洁净区嵌入式专用摄像头解决了该项难题。洁净区嵌入式专用摄像头安装于洁净区彩钢板墙体上,通过嵌入彩钢板的方式安装,安装高度距离天花板约40-60cm。该摄像头平面为纯平面板,嵌入彩钢板后,摄像头平面与彩钢板平面平齐,在利用墙擦清洁墙面的同时实现了摄像头的清洁。同时,摄像头的纯平面板零卫生死角,不存在清理不到位的情况。 3.问:药品生产企业洁净厂房空气洁净度环境参数的监测标准与依据是什么?《药品生产质量管理规(2010年修订)》未明确规定洁净室的技术标准,例如:换气次数、温度、湿度等,那么第三方在对洁净室进行洁净度级别检测确认时应采用何种标准? 答:《药品生产质量管理规(2010年修订)》第四十二条规定:"厂房应当有适当的照明、温度、湿度和通风,确保生产和储存的产品质量以及相关设备性能不会直接或间接地受到影响"。企业应结合产品和工艺特点确定洁净区的温度和湿度围。 关于洁净室技术标准,我国有多个国标均有所涉及,如:《医药工业洁净厂房设计规》(GB50457-2008)、《洁净室施工及验收规》(GB 50591-2010)

洁净区洁净度标准

表面粒子和悬浮粒子都是尘埃粒子,沉降菌和浮游菌都是微生物。不同的名字,只是因为测量方法的不同而区分出来的。当然,你也可以这样理解:悬浮粒子就是悬浮在空气中的尘埃粒子;表面粒子就是附着在设备表面的尘埃粒子;对沉降菌和浮游菌也可以这样理解。 GMP中对微生物的检测方法推荐如下:对微生物进行动态监测,评估无菌生产的微生物状况。监测方法有沉降菌法、定量空气浮游菌采样法和表面取样法(如棉签擦拭法和接触碟法)等。 粒子检测一般都是检测的悬浮粒子。 尘埃粒子计数器的上限如何确定? 首先要有一个校正过的参照尘埃粒子计数器,调节稀释空气流量,使参照尘埃粒子计数器的显示浓度分别为被测计数器推荐最大浓度的150%、100%、90%、85%、65%及50%,对应于每个参照计数器的计数浓度记下被测计数器的显示浓度。将参照尘埃粒子计数器的显示浓度看成真实浓度,被测计数器的显示浓度应在真实浓度的±5%以上。 在一定的风量下,测量粒子浓度;将粒子浓度均匀下调或稀释,重复测定粒子浓度。若已知稀释比,对比几次测量结果;不知道稀释比的情况下,当粒径分布的形状向小粒子方向偏移时,表明此时测试粒子的浓度高于计数器浓度上限。

洁净区洁净度标准1 洁净区洁净度标准 1洁净室必须维持一定的相对正压,不同等级的洁净室之间的压强不小于5Pa;洁净区与非洁净区之间的压强以不小于10Pa,以防止低级洁净室空气逆流到高级洁净室; 2温度宜保持18~26℃,相对湿度45~65% 3如下图: 洁净度级别潜伏粒子最大允许数/立方米微生物最大允许数 ≥0.5чm ≥5чm 浮游菌/立方米沉降菌/皿 100级3,500 0 5 1 1万级350,000 2,000 100 3 10万级3,500,000 20,000 500 10 30万级10,500,000 60,000 1,000 15 100级洁净区标准(按尘粒数目和微生物数目来定义的): 尘粒最大允许数(每立方米): 大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500个,大或等于5微米的粒子数0个; 微生物最大允许数: 浮游菌数不得超过5个每立方米:, 沉降菌数不得超过1个每培养皿. 1万级洁净区标准(按尘粒数目和微生物数目来定义的): 尘粒最大允许数(每立方米): 大或等于0.5微米的粒子数不得超过350000个,大或等于5微米的粒子数不得超过2000个; 微生物最大允许数: 浮游菌数不得超过100个每立方米:, 沉降菌数不得超过3个每培养皿. 10万级洁净区标准(按尘粒数目和微生物数目来定义的): 尘粒最大允许数(每立方米): 大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个,大或等于5微米的粒子数不得超过20000个; 微生物最大允许数: 浮游菌数不得超过500个每立方米:, 沉降菌数不得超过10个每培养皿. 30万级洁净区标准(按尘粒数目和微生物数目来定义的): 尘粒最大允许数(每立方米): 大或等于0.5微米的粒子数不得超过10500000个,大或等于5微米的粒子数不得超过60000个; 微生物最大允许数: 浮游菌数不得超过1000个每立方米:, 沉降菌数不得超过15个每培养皿.

洁净厂房检测项目及标准

第三方洁净厂房检测机构普遍要求要有全面的洁净相关检测能力,可为药品GMP车间、电子无尘车间、食品药品包装材料车间、无菌医疗器械车间、医院洁净手术室、生物普遍实验室、保健食品GMP车间、化妆品/消车间、动物实验室、兽药GMP车间、饮用桶装水车间等提供第三方检测、调试、咨询等服务。 检测项目是:风速风量、换气次数、温湿度、压差、悬浮粒子、浮游菌、沉降菌、噪声、照度等。 检测范围一般包括:环境等级评定、工程验收检测,包括食品、保健品、化妆品、桶装水、牛奶生产车间、电子产品产车间、GMP车间、医院手术室、动物实验室、生物安全实验室、生物安全柜、超净工作台、无尘车间、无菌车间等。 具体的标准是:(1) 《洁净厂房设计规范》GB50073-2001。 (2)《医院洁净手术部建筑技术规范》GB 50333-2002。 (3)《生物安全实验室建筑技术规范》GB 50346-2004。 (4)《洁净室施工及验收规范》GB 50591-2010。 (5)《医药工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法》GB/T 16292-2010。

(6)《医药工业洁净室(区)浮游菌的测试方法》GB/T 16293-2010。 (7)《医药工业洁净室(区)沉降菌的测试方法》GB/T 16294-2010。 检测机构,这里给大家推荐--河南德和检测技术有限公司,这是一家从事第三方检测的专业机构,公司取得了河南省质量技术监督局颁发的CMA《检验检测机构资质认定证书》,证书编号为:181603100359。同时公司还具备室内空气(甲醛、苯、TVOC等)、洁净厂房、医院手术室、ICU病房等共计63项指标的检验检测资质和能力。

无尘车间的等级是如何划分的

无尘车间的等级是如何划分的 发布者:admin 发布时间:2011-7-27 阅读:147次【字体:大中小】 无尘车间即净化车间,净化车间,亦称为无尘室或洁净室。它是污染控制的基础。没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。 洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘车间可以分为以下几个级别: 1级这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求为亚微米。 10级这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。 100级很多人认为,这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。 1000级这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。 10000级万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。 100000级十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间。 介绍东莞无尘车间装修材料的选择是什么?

无尘车间概念解说 无尘车间等级划分及应用

无尘车间概念解说无尘车间等级划分及应用安徽人和介绍无尘车间和洁净室的概念,无尘车间等级划分如下:一:净化车间(无尘车间)的定义: 净化车间,亦称为无尘室或洁净室。它是污染控制的基础。没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。 洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘车间可以分为以下几个级别: 二:无尘车间等级划分: 1级:这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的精确要求为亚微米。 10级:这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。 100级:很多人认为,这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌

制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。 1000级:这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。 10000级:万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。 100000级:十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间。

洁净室的测试及验收标准1

洁净室的测试及验收标准 控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。 在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数: 1、测试状态的确定 2、空气中粒子的浓度 3、气流的风速和单向性(对单向气流而言) 4、风量和换气次数 5、最终过滤器的整体性 6、空气温度和湿度 7、洁净室的密闭性 8、洁净室表面的洁净度 测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。 空气粒子浓度的检测 洁净度级别 洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的最大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。 空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的最大允许浓度确定的。 在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和最常见值D的粒子最大允许浓度 洁净度级别表示实例 ISO 4级;静态;给定粒径0.5微米(352粒子/m3)。 ISO 5级;静态;给定粒径0.5微米(3520粒子/m3);5.0微米(29粒子/m3)。 因此,在测试具体的洁净室的相应洁净度级别时,不需要检测如上表所示的该级别的所有粒子粒径。而只要检测为该种洁净室给定的粒子粒径。

洁净室环境监测项目及要求

文件名称File Name Environmental Monitoring ItemsAnd Requirements of Clean Room File Number SMP-A004024-08 生效日期Effective Date 2018-10-01 有效期至 Expiry Date 2021-09-30 审批及颁发/APPROV AL & ISSUANCE 部门签名日期起草质量控制部 审核质量控制部质量保证部 批准质量负责人 颁发质量保证部 会审/COLLECTIVE REVIEW 部门签名日期部门签名日期/ / / 分发/DISTRIBUTION Copy-1 Copy-2Copy-3Copy-4Copy-5 101车间102车间103车间201车间202车间Copy-6Copy-7Copy-8Copy-9Copy-10 301车间302车间303车间质量控制部现场监控组Copy-11 Copy-12 Copy-13 Copy-14 / 微生物组质量保证部生产部焦作车间/

文件名称File Name Environmental Monitoring ItemsAnd Requirements of Clean Room File Number SMP-A004024-08 生效日期Effective Date 2018-10-01 有效期至 Expiry Date 2021-09-30 一、目的/PURPOSE 明确洁净级别的范围,规范洁净室环境监测,确保生产环境达到要求。 二、范围/SCOPE 适用于车间及微生物室洁净室照度、温度、相对湿度、换气次数、风速、压差、悬浮粒子数、沉降菌、浮游菌、表面微生物、高效过滤器完整性测试等项目的监测管理。 三、职责/RESPONSIBILITY 1 质量保证部 1.1 负责本规程制订。 1.2 及时处理超警戒限/行动限监测结果。 1.3 审核趋势分析数据,及时发现不良趋势。 1.4 审查该SOP的执行情况。 2 质量控制部 2.1 负责培训环境监测取样人员。 2.2 负责取样、测试样品及记录监测结果。 2.3 负责日常环境监测记录的归档管理。 2.4 负责风速、换气次数、高效过滤器的完整性测试、悬浮粒子、沉降菌、浮游菌、表面微生物监测及记录。 2.5 参与处理超警戒限度/行动限度监测结果。 3 各车间 3.1 配合质量控制部的取样工作。 3.2 负责温度、相对湿度、压差监测及记录。 3.3 及时处理超警戒限度/纠偏限度监测结果。 3.4根据监测数据进行趋势分析。

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