(微电子器件与IC设计基础第二版)_刘刚 等编著习题解_7

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微电 器件与IC设计基础第 版 第七章

微电子器件_刘刚前三章课后答案

课后习题答案 1.1 为什么经典物理无法准确描述电子的状态?在量子力学 中又是用什么方法来描述的? 解:在经典物理中,粒子和波是被区分的。然而,电子和光子是微观粒子,具有波粒二象性。因此,经典物理无法准确描述电子的状态。 在量子力学中,粒子具有波粒二象性,其能量和动量是通过这样一个常数来与物质波的频率ω和波矢建立联系的,即 c h p h E ====υω υ 上述等式的左边描述的是粒子的能量和动量,右边描述的则是粒子波动性的频率ω和波矢。 1.2 量子力学中用什么来描述波函数的时空变化规律? 解:波函数ψ是空间和时间的复函数。与经典物理不同的是,它描述的不是实在的物理量的波动,而是粒子在空间的概率分布,是一种几率波。如果用()t r ,ψ表示粒子的德布洛意波的振幅,以()()()t r t r t r ,,,2 ψψψ*=表示波的强度,那么,t 时刻在r 附近的小体积元z y x ???中检测到粒子的概率正比于()z y x t r ???2,ψ。

1.3 试从能带的角度说明导体、半导体和绝缘体在导电性能上的差异。 解:如图1.3所示,从能带的观点 来看,半导体和绝缘体都存在着禁 带,绝缘体因其禁带宽度较大 (6~7eV),室温下本征激发的载流子 近乎为零,所以绝缘体室温下不能 导电。半导体禁带宽度较小,只有1~2eV ,室温下已经有一定数量的电子从价带激发到导带。所以半导体在室温下就有一定的导电能力。而导体没有禁带,导带与价带重迭在一起,或者存在半满带,因此室温下导体就具有良好的导电能力。 1.4 为什么说本征载流子浓度与温度有关? 解:本征半导体中所有载流子都来源于价带电子的本征激发。由此产生的载流子称为本征载流子。本征激发过程中电子和空穴是同时出现的,数量相等,i n p n ==00。对于某一确定的半导体材料,其本征载流子浓度为kT E V C i g e N N p n n ==002 式中,N C ,N V 以及Eg 都是随着温度变化的,所以,本征载流子浓度也是随着温度变化的。 1.5 什么是施主杂质能级?什么是受主杂质能级?它们有何异同?

微电子器件__刘刚前三章课后答案(DOC)

课后习题答案 1.1 为什么经典物理无法准确描述电子的状态?在量子力学 中又是用什么方法来描述的? 解:在经典物理中,粒子和波是被区分的。然而,电子和光子是微观粒子,具有波粒二象性。因此,经典物理无法准确描述电子的状态。 在量子力学中,粒子具有波粒二象性,其能量和动量是通过这样一个常数来与物质波的频率ω和波矢k 建立联系的,即 k n c h p h E ====υ ω υ 上述等式的左边描述的是粒子的能量和动量,右边描述的则是粒子波动性的频率ω和波矢k 。 1.2 量子力学中用什么来描述波函数的时空变化规律? 解:波函数ψ是空间和时间的复函数。与经典物理不同的是,它描述的不是实在的物理量的波动,而是粒子在空间的概率分布,是一种几率波。如果用()t r ,ψ表示粒子的德布洛意波的振幅,以 ()()()t r t r t r ,,,2 ψψψ*=表示波的强度,那么,t 时刻在r 附近的小体 积元z y x ???中检测到粒子的概率正比于()z y x t r ???2,ψ。

1.3 试从能带的角度说明导体、半导体和绝缘体在导电性能上的差异。 解:如图1.3所示,从能带的观点来看,半导体和绝缘体都存在着禁带,绝缘体因其禁带宽度较大(6~7eV),室温下本征激发的载流子近乎为零,所以绝缘体室温下不 能导电。半导体禁带宽度较小,只有1~2eV ,室温下已经有一定数量的电子从价带激发到导带。所以半导体在室温下就有一定的导电能力。而导体没有禁带,导带与价带重迭在一起,或者存在半满带,因此室温下导体就具有良好的导电能力。 1.4 为什么说本征载流子浓度与温度有关? 解:本征半导体中所有载流子都来源于价带电子的本征激发。由此产生的载流子称为本征载流子。本征激发过程中电子和空穴是同时出现的,数量相等,i n p n ==00。对于某一确定的半导体材料,其本征载流子浓度为kT E V C i g e N N p n n ==002 式中,N C ,N V 以及Eg 都是随着温度变化的,所以,本征载流子浓度也是随着温度变化的。 1.5 什么是施主杂质能级?什么是受主杂质能级?它们有何异同?

微电子器件与IC设计基础第二版第1章习题

第一章 思考题: 1.1简单解释原子能级和晶体能带之间的联系和区别。 答:在孤立原子中,原子核外面的电子受到这个原子核所带正电荷的作用,按其能量的大小分布在不同的电子轨道上绕核运转。 原子中不同轨道上电子能量的大小 用彼此有一定间隔的横线段组成的 能级图来表示(见图1.1b)。能级的 位置越高,表示该能级上电子的能量 就越大。原子结合成晶体后,一个原 子核外的电子除了受到这个原子核 所带正电荷以及核外电子所带负电 荷的作用以外,还要受到这个原子周 围其它原子所带正负电荷的作用。也 就是说,晶体中的电子是在原子核的 正电荷形成的周期性势场中作如图 1.1(a)中箭头所示的共有化运动。 正因为如此,原来描述孤立原子中电 子能量大小的能级就被分裂成为一 系列彼此相距很近的准连续的能级, 其形状好似一条条反映电子能量大小的带子,故称之为能带,见图1.1(b)。 1.2以硅为例,解释什么是施主杂质和施主能级?什么是受主杂质和受主能级? 答:以硅为例,见图1.2(a), 如果在单晶硅中掺入Ⅴ族元素 的杂质磷(P+),磷原子()P将 取代Ⅳ族的硅(Si)原子的位置 而成为所谓的施主杂质。因为 磷原子外层有五个价电子,它 和周围的四个硅原子形成共价 键后还多出一个电子,这个多 余的电子受到磷原子核的微弱 束缚力而绕着该原子核做一定 半径的圆周运动,它只需要吸 收很小的能量(百分之几个电 子伏特)就能挣脱磷原子核的 束缚而成为可以在整个晶体中 运动的准自由电子,原来的磷 原子则成为了磷离子()+P,称 之为正电中心。从电子能量大小的观点来看,导带底能量E C表示导带中速度为零的电子所

微电子器件基础题13页word文档

“微电子器件”课程复习题 一、填空题 1、若某突变PN 结的P 型区的掺杂浓度为163 A 1.510cm N -=?,则室温下该区的平衡多子浓度p p0与平衡少子浓度n p0分别为( )和( )。 2、在PN 结的空间电荷区中,P 区一侧带(负)电荷,N 区一侧带(正)电荷。内建电场的方向是从(N )区指向(P )区。 3、当采用耗尽近似时,N 型耗尽区中的泊松方程为( )。由此方程可以看出,掺杂浓度越高,则内建电场的斜率越( )。 4、PN 结的掺杂浓度越高,则势垒区的长度就越(短),内建电场的最大值就越(大),内建电势V bi 就越(大),反向饱和电流I 0就越(小),势垒 电容C T 就越( ),雪崩击穿电压就越(低)。 5、硅突变结内建电势V bi 可表为( ),在室温下的典型值为 (0.8)伏特。 6、当对PN 结外加正向电压时,其势垒区宽度会(减小),势垒区的势垒 高度会(降低)。 7、当对PN 结外加反向电压时,其势垒区宽度会(变宽),势垒区的势垒 高度会(增高)。 8、在P 型中性区与耗尽区的边界上,少子浓度n p 与外加电压V 之间的关 系可表示为( )。若P 型区的掺杂浓度173A 1.510cm N -=?,外加电压V = 0.52V ,则P 型区与耗尽区边界上的少子浓度n p 为( )。 9、当对PN 结外加正向电压时,中性区与耗尽区边界上的少子浓度比该处的平衡少子浓度(高);当对PN 结外加反向电压时,中性区与耗尽区边界上的少子浓度比该处的平衡少子浓度(低)。 10、PN 结的正向电流由(空穴扩散Jdp )电流、(电子扩散电流Jdn )电流和(势垒区复合电流Jr )电流三部分所组成。 11、PN 结的正向电流很大,是因为正向电流的电荷来源是(多子);PN 结的反向电流很小,是因为反向电流的电荷来源是(少子)。 12、当对PN 结外加正向电压时,由N 区注入P 区的非平衡电子一边向前扩散,一边(复合)。每经过一个扩散长度的距离,非平衡电子浓度降到原来的( )。 13、PN 结扩散电流的表达式为( )。这个表达式在正 向电压下可简化为( ),在反向电压下可简化为( )。 14、在PN 结的正向电流中,当电压较低时,以(复合)电流为主;当电 压较高时,以(扩散)电流为主。 15、薄基区二极管是指PN 结的某一个或两个中性区的长度小于(少子扩 散长度)。在薄基区二极管中,少子浓度的分布近似为(线性)。

清华大学半导体器件张莉期末考题

发信人: smallsheep (final examination), 信区: Pretest 标题: 微电子器件 发信站: 自由空间 (Mon Jun 20 10:27:10 2005), 站内 填空: 一,已知af,aR,和IES,求Ics=____(互易关系) 二.bjtA和bjtB。一个集电极是N-,一个集电极是N+ 问: 哪个饱和压降大___, 那个early电压大___ 那个容易电流集边___. 哪个容易穿通电压大_____ 哪个容易击穿BVCBO.____, 三.发射结扩散电容应该包括那几个时间常数的影响 简答: 1.β和ft对Ic的特性有很大的相似之处,比如在小电流段都随Ic的减小而减小,在大电流段都随Ic的增大而减小。请解释原因 2.总结一下NN+结的作用。 大题: 1.对于杂质浓度分布为NAB(x)=NAB(0)exp(-λx/WB)的分布,用moll-rose方法推出基区少子分布和渡越时间。 2.给了WB,WE,和其它一堆参数,求β,a,hef.... 求IB,Ic, 求π模型参数,gm,go,gu.. 3.画图,上升时间t0,t1’,t2’三点处的能带图,和少子分布图 总体来说很简单。好像很多人都很得意,ft! 发信人: willow (我要我的自由), 信区: Pretest 标题: 半导体器件-张莉 发信站: 自由空间 (Wed Jun 23 21:38:40 2004), 站内 A卷 1。以下那些是由热载流子效应引起的。。。 。。。6个选项,待补充。。。 2。何谓准静态近似 3。为了加快电路开关时间参数应如何选取 。。。参数,电容,fT,beita,待补充 4。CE律的参数变化, Vt,xSiO2,N,结深 按照参数的变化规律下列效应将如何变化 (1)掺杂浓度N引起:...5种效应,待补充。。。//sigh,我把N弄反了,5个空全错

832微电子器件考试大纲详细

考试科目832微电子器件考试形式笔试(闭卷) 考试时间180分钟考试总分150分 一、总体要求 主要考察学生掌握“微电子器件”的基本知识、基本理论的情况,以及用这些基本知识和基本理论分析问题和解决问题的能力。 二、内容 1.半导体器件基本方程 1)半导体器件基本方程的物理意义 2)一维形式的半导体器件基本方程 3)基本方程的主要简化形式 2.PN结 1)突变结与线性缓变结的定义 2)PN结空间电荷区的形成

4)耗尽区宽度、内建电场与内建电势的计算5)正向及反向电压下PN结中的载流子运动情况6)PN结的能带图 7)PN结的少子分布图 8) PN结的直流伏安特性 9)PN结反向饱和电流的计算及影响因素 10)薄基区二极管的特点

11)大注入效应 12)PN结雪崩击穿的机理、雪崩击穿电压的计算及影响因素、齐纳击穿的机理及特点、热击穿的机理13)PN结势垒电容与扩散电容的定义、计算与特点 14)PN结的交流小信号参数与等效电路 15)PN结的开关特性与少子存储效应

2)基区输运系数与发射结注入效率的定义及计算 3)共基极与共发射极直流电流放大系数的定义及计算 4)基区渡越时间的概念及计算 5)缓变基区晶体管的特点 6)小电流时电流放大系数的下降 7)发射区重掺杂效应 8)晶体管的直流电流电压方程、晶体管的直流输出特性曲线图

9)基区宽度调变效应 10)晶体管各种反向电流的定义与测量 11)晶体管各种击穿电压的定义与测量、基区穿通效应12)方块电阻的概念及计算

13)晶体管的小信号参数 14)晶体管的电流放大系数与频率的关系、组成晶体管信号延迟时间的四个主要时间常数、高频晶体管特征频率的定义、计算与测量、影响特征频率的主要因素

微电子器件 课程基本要求

微电子器件 钟智勇 办公室:<微电子楼>217室 电话:83201440 E mail: zzy@https://www.360docs.net/doc/d07137305.html, -mail:zzy@uestc edu cn 8:00--10:00 周二晚上8:00 答疑时间:周二晚上 答疑时间:

教材与参考书 1、教材与参考书 教材: 教材 微电子器件(第3版),陈星弼,张庆中,2011年 参考书 参考书: 1.半导体器件基础,B.L.Anderson, R.L.Anderson, 清华大学出版社,2008年 2.半导体器件基础,Robert F. Pierret, 电子工业出版社,2004年 2半导体器件基础Robert F Pierret电子工业出版社 3.集成电路器件电子学(第三版),Richard S. Muller,电子工业出版社, 2004年 4.半导体器件物理与工艺(第二版),施敏,苏州大学出版社,2002年 5.半导体物理与器件(第三版),Donald A. Neamen, 清华大学出版社, 2003年 6. Physics of Semiconductor Devices( 3th Edition), S M Sze, Wiley- Interscience, 2007

2、学时、成绩构成与考核 总学时数:72学时 其中课堂讲授:60学时,实验:12 学时 成绩构成: 70分期中考试:分平时:10分实验:10 期末考试:70 分、期中考试:10分、平时:10 分、实验:10 分考试形式:闭卷考试

3、课程要求 1、网上只公布教材的标准课件与参阅资料,请做好笔记! 网址:网络学堂:http://222.197.183.243/wlxt/course.aspx?courseid=0311下载密码i 下载密码:micro 2、请带计算器与作业本上课! 请带计算器与作业本上课! 3、鼓励学生学习,以下情况加分(最高加分为5分): 鼓励学生学习以下情况加分(最高加分为 3.1 完成调研作业并在期末做presentation(ppt)者 3.2 在黑板上完成课堂练习者 3.3 指出教材错误及对教学/教材提出建设性意见者

微电子技术前沿复习(带答案的哦)

微电子前沿复习提纲 看一些微电子技术发展的知识 1.请给出下列英文缩写的英文全文,并译出中文: CPLD: Complex Programmable Logic Device复杂可编程逻辑器件 FPGA: Field-Programmable Gate Array 现场可编程门阵列 GAL:generic array logic 通用阵列逻辑 LUT: Look-Up-Table 显示查找表 IP: Intellectual Property 知识产权 SoC: System on Chip 片上系统 2.试述AGC BJT器件实现AGC特性的工作原理; 试说明为什么 AGC BJT的工作频率范围受限? AGC 即自动增益控制(Automatic Gain Control) ? AGC BJT器件实现AGC特性的工作原理:当输入增加时,输出会同时增加,我们 可利用双极型晶体管的大注入效应和大电流下的基区扩展--kirk效应,衰减增益, 使放大系数降低,则达到了稳定输出的目的。 ?工作频率范围受限原因: 1) 、自动增益控制特性与频率特性是相矛盾,实现AGC需要基区展宽,而器件 的工作频率与基区宽度的平方成反比,要实现大范围的自动增益控制,要求 宽基区,使得工作频率范围受限。 2) 、实现AGC要求基区大注入,基区掺杂浓度低时,易于发生大注入效应,而基 区掺杂浓度动愈低,器件高频噪声愈差,使得工作频率范围受限。 3.为什么双栅MOSFET具有良好的超高频(UHF)特性? 双栅MOSFET结构如图: 1) 、双栅MOS的端口 Gl靠近源极,对应的基区宽度短,加高频信号,称信号栅,可以实现超高频。 G2靠近漏极,对应的基区宽度较宽,有良好的AGC性能,加固定偏置或AGC电压,作增益控制栅。 2) 、它通过第二个栅极G2交流接地, 可在第一个栅极G1和漏极D之间起到有效的 静电屏蔽作用, 从而使得栅极与漏极之间的反馈电容(是Miller电容)大大减小,则 提高了频率。 4.为什么硅栅、耐熔金属栅能实现源漏自对准,而铝栅不行?实现

电子科技大学《微电子器件》课程重点与难点

重点与难点 第1章半导体器件基本方程 一般来说要从原始形式的半导体器件基本方程出发来求解析解是极其困难的,通常需要先对方程在一定的具体条件下采用某些假设来加以简化,然后再来求其近似解。随着半导体器件的尺寸不断缩小,建立新解析模型的工作也越来越困难,一些假设受到了更大的限制并变得更为复杂。简化的原则是既要使计算变得容易,又要能保证达到足够的精确度。如果把计算的容易度与精确度的乘积作为优值的话,那么从某种意义上来说,对半导体器件的分析问题,就是不断地寻找具有更高优值的简化方法。要向学生反复解释,任何方法都是近似的,关键是看其精确程度和难易程度。此外,有些近似方法在某些条件下能够采用,但在另外的条件下就不能采用,这会在后面的内容中具体体现出来。 第2章PN结 第2.1节PN结的平衡状态 本节的重点是PN结空间电荷区的形成、内建电势的推导与计算、耗尽区宽度的推导与计算。 本节的难点是对耗尽近似的理解。要向学生强调多子浓度与少子浓度相差极其巨大,从而有助于理解耗尽近似的概念,即所谓耗尽,是指“耗尽区”中的载流子浓度与平衡多子浓度或掺杂浓度相比可以忽略。

第2.2节PN结的直流电流电压方程 本节的重点是对PN结扩散电流的推导。讲课时应该先作定性介绍,让学生先在大脑中建立起物理图象,然后再作定量的数学推导。当PN结上无外加电压时,多子的扩散趋势正好被高度为qV bi的势垒所阻挡,电流为零。外加正向电压时,降低了的势垒无法阻止载流子的扩散,于是构成了流过PN结的正向电流。正向电流的电荷来源是P区空穴和N区电子,它们都是多子,所以正向电流很大。外加反向电压时,由于势垒增高,多子的扩散变得更困难。应当注意,“势垒增高”是对多子而言的,对各区的少子来说,情况恰好相反,它们遇到了更深的势阱,因此反而更容易被拉到对方区域去,从而构成流过PN结的反向电流。反向电流的电荷来源是少子,所以反向电流很小。 本节的难点是对有外加电压时势垒区两旁载流子的运动方式的理解、以及电子(空穴)电流向空穴(电子)电流的转化。 第2.3节准费米能级与大注入效应 本节的重点是PN结在外加正向电压和反向电压时的能带图、大注入条件及大注入条件下的PN结电流公式。 本节的难点是大注入条件下自建场的形成原因。要向学生说明,大注入自建场的推导与前面进行过的非均匀掺杂内建场的推导在本质上是相同的,都是令多子电流密度方程为零而解出电场,这也是分析微电子器件时的一种常用方法。 第2.4节PN结的击穿 本节的重点是利用雪崩击穿临界电场和通过查曲线来求得雪崩击穿电压的方法,以及PN结的实际结构(高阻区的厚度和结深)对击穿电压的影响,这些都是实际工程中的常见问题。

新人教版四年级语文上册-单元期中期末专项练习-第八组达标检测B卷及答案

第八组达标测试卷 一、基础达标。(共43分) 1.在加点字的正确读音下画“——”。(6分) 潜.入深海(qián qiǎn) 筛.选(shān shāi) 烹. 调(pēng hēng) 例.如(lì liè) 盐碱.(jiǎn xián) 储. 存(cǔ chǔ) 崭.新(zhǎn zhàn) 船舶.(bō bó) 凌. 空(lín líng) 提供.(gōng gòng) 奇迹.(jī jì) 楷模. (mú mó) 2.比一比,再组词。(4分) ?????赖( )懒( ) ?????辐( )副( ) ?????舶( )泊( ) ?????综( )棕( ) 3.正确书写词语。(8分) 4.连一连。(8分) 5.还原下面广告中的成语,找出改动的字画圈,把正确的字写在括

号里。(3分) 服装广告:百衣百顺()蚊香广告:默默无蚊() 磁化杯广告:有杯无患() 摩托车广告:骑乐无穷() 淋浴器广告:湿出有名() 软件广告:无网不胜() 6.用正确的关联词填空。(4分) (1)科学家们提出,鸟类()和恐龙有亲缘关系,()很可能 就是一种小型恐龙的后裔。 (2)()食用,太空归来的这些特殊乘客()有很多用武之地 呢! (3)电脑根据这些气象资料,为主人提供一个()节能()舒 适的家居环境。 (4)()太空蔬菜走进了千家万户,()我们餐桌上的菜肴更 丰富了。 7.句子训练。(10分) (1)我国科学家在辽宁西部首次发现了保存有羽毛印痕的恐龙化石。 (缩句) ________________________________________________________ (2)靠什么呼风唤雨呢?靠的是现代科学技术。(仿写) ________________________________________________________ (3)满天的星星在夜空中闪烁着光芒。(改为比喻句) ________________________________________________________ (4)我走上阳台。我去看爸爸养的金鱼。(合成一句话)

(完整word版)微电子器件与IC设计基础_第2版,刘刚,陈涛,课后答案.doc

课后习题答案 1.1 为什么经典物理无法准确描述电子的状态?在量子力学中又是用什么方法来描述的? 解:在经典物理中,粒子和波是被区分的。然而,电子和光子是微观粒子,具有波粒二象性。因此,经典物理无法准确描述电子的状态。 在量子力学中,粒子具有波粒二象性,其能量和动量是通过这样一个常数来与物质波的频率和波矢 k 建立联系的,即 E h h p n k c 上述等式的左边描述的是粒子的能量和动量,右边描述的则是粒子波动性的频率和波矢k。 1.2量子力学中用什么来描述波函数的时空变化规律? 解:波函数是空间和时间的复函数。与经典物理不同的是,它描述的不是实在的物理量 的波动,而是粒子在空间的概率分布,是一种几率波。如果用r , t 表示粒子的德布洛意 r ,t 2 r , t 表示波的强度,那么,t 时刻在 r 附近的小体积元 波的振幅,以r ,t x y z 中检测到粒子的概率正比于 2 r ,t x y z 。 1.3 试从能带的角度说明导体、半导体和绝缘体在导电性能上的差异。 解:如图 1.3 所示,从能带的观点来看,半导体和 绝缘体都存在着禁带,绝缘体因其禁带宽度较大 (6~7eV) ,室温下本征激发的载流子近乎为零,所 以绝缘体室温下不能导电。半导体禁带宽度较小, 只有1~2eV ,室温下已经有一定数量的电子从价 带激发到导带。所以半导体在室温下就有一定的 导电能力。而导体没有禁带,导带与价带重迭在 一起,或者存在半满带,因此室温下导体就具有 良好的导电能力。 1.4 为什么说本征载流子浓度与温度有关? 解:本征半导体中所有载流子都来源于价带电子的本征激发。由此产生的载流子称为本征载流子。本征激发过程中电子和空穴是同时出现的,数量相等,n0 p0 n i。对于某一确定 的半导体材料,其本征载流子浓度为 2 n0 p0 N C N V e E g kT n i 式中, N C,N V以及 Eg 都是随着温度变化的,所以,本征载流子浓度也是随着温度变化的。

最新微电子器件基础题

微电子器件基础题

“微电子器件”课程复习题 一、填空题 1、若某突变PN 结的P 型区的掺杂浓度为163A 1.510cm N -=?,则室温下该区的平衡多子浓度p p0与平衡少子浓度n p0分别为( )和( )。 2、在PN 结的空间电荷区中,P 区一侧带(负)电荷,N 区一侧带(正)电 荷。内建电场的方向是从(N )区指向(P )区。 3、当采用耗尽近似时,N 型耗尽区中的泊松方程为( )。由此方程可以看出,掺杂浓度越高,则内建电场的斜率越( )。 4、PN 结的掺杂浓度越高,则势垒区的长度就越(短),内建电场的最大值就 越(大),内建电势V bi 就越(大),反向饱和电流I 0就越(小),势垒电容C T 就越( ),雪崩击穿电压就越(低)。 5、硅突变结内建电势V bi 可表为( ),在室温下的典型值为(0.8)伏 特。 6、当对PN 结外加正向电压时,其势垒区宽度会(减小),势垒区的势垒高度 会(降低)。 7、当对PN 结外加反向电压时,其势垒区宽度会(变宽),势垒区的势垒高度 会(增高)。 8、在P 型中性区与耗尽区的边界上,少子浓度n p 与外加电压V 之间的关系可 表示为( )。若P 型区的掺杂浓度173 A 1.510cm N -=?,外加电压V = 0.52V ,则P 型区与耗尽区边界上的少子浓度n p 为( )。 9、当对PN 结外加正向电压时,中性区与耗尽区边界上的少子浓度比该处的平 衡少子浓度(高);当对PN 结外加反向电压时,中性区与耗尽区边界上的少子浓度比该处的平衡少子浓度(低)。 10、PN 结的正向电流由(空穴扩散Jdp )电流、(电子扩散电流Jdn )电流和 (势垒区复合电流Jr )电流三部分所组成。 11、PN 结的正向电流很大,是因为正向电流的电荷来源是(多子);PN 结的 反向电流很小,是因为反向电流的电荷来源是(少子)。 12、当对PN 结外加正向电压时,由N 区注入P 区的非平衡电子一边向前扩散,一边(复合)。每经过一个扩散长度的距离,非平衡电子浓度降到原来的( )。 13、PN 结扩散电流的表达式为( )。这个表达式在正向电压下可简 化为( ),在反向电压下可简化为( )。 14、在PN 结的正向电流中,当电压较低时,以(复合)电流为主;当电压较 高时,以(扩散)电流为主。 15、薄基区二极管是指PN 结的某一个或两个中性区的长度小于(少子扩散长 度)。在薄基区二极管中,少子浓度的分布近似为(线性)。 16、小注入条件是指注入某区边界附近的(非平衡少子)浓度远小于该区的 (平衡多子)浓度,因此该区总的多子浓度中的(非平衡)多子浓度可以忽略。 17、大注入条件是指注入某区边界附近的(非平衡少子)浓度远大于该区的 (平衡多子)浓度,因此该区总的多子浓度中的(平衡)多子浓度可以忽略。

微电子器件工艺

《微电子器件工艺》课程设计报告 班级:电子09-2 学号: 0906040206 姓名:高春旭 指导教师:白立春

N阱硅栅结构的CMOS集成电工艺设计 一.基本要求 设计如下电路的工艺流程 (1)设计上图所示电路的生产工艺流程: (2)每一具体步骤需要画出剖面图; (3)每一个步骤都要求说明,例如进行掺杂时,是采用扩散还是离子注入,需要 解释原因,又如刻蚀,采用的是干法刻蚀,还是湿法刻蚀,这类问题都须详细说明. (4)在设计时,要考虑隔离,衬底选择等问题. (5)要求不少于5页,字迹工整,画图清楚. 二、设计的具体实现 2.1 工艺概述 n阱工艺为了实现与LSI的主流工艺增强型/耗层型(E/D)的完全兼容,n 阱CMOS工艺得到了重视和发展。它采用E/D NMOS的相同的p型衬底材料制备NMOS器件,采用离子注入形成的n阱制备PMOS器件,采用沟道离子注入调整两种沟遭器件的阈值电压。 n阱CMOS工艺与p阱CMOS工艺相比有许多明显的优点。首先是与E/D NMOS工艺完全兼容,因此,可以直接利用已经高度发展的NMOS 工艺技术;其次是制备在轻掺杂衬底上的NMOS的性能得到了最佳化--保持了高的电子迁移率,低的体效应系数,低的n+结的寄生电容,降低了漏结势垒区的电场强度,从而降低了电子碰撞电离所产生的电流等。这个优点对动态CMOS电路,如时钟CMOS电路,多米诺电路等的性能改进尤其明显。

这是因为在这些动态电路中仅采用很少数目的PMOS器件,大多数器件是NMOS 型。另外由于电子迁移率较高,因而n阱的寄生电阻较低;碰撞电离的主要来源—电子碰撞电离所产生的衬底电流,在n阱CMOS中通过较低寄生电阻的衬底流走。而在p阱CMOS中通过p阱较高的横向电阻泄放,故产生的寄生衬底电压在n阱CMOS中比p阱要小。在n阱CMOS中寄生的纵向双极型晶体管是PNP型,其发射极电流增益较低,n阱CMOS结构中产生可控硅锁定效应的几率较p阱为低。由于n阱 CMOS的结构的工艺步骤较p阱CMOS简化,也有利于提高集成密度.例如由于磷在场氧化时,在n阱表面的分凝效应,就可以取消对PMOS的场注入和隔离环。杂质分凝的概念:杂质在固体-液体界面上的分凝作用 ~ 再结晶层中杂质的含量决定于固溶度→ 制造合金结(突变结);杂质在固体-固体界面上也存在分凝作用 ~ 例如,对Si/SiO2界面:硼的分凝系数约为3/10,磷的分凝系数约为10/1;这就是说,掺硼的Si经过热氧化以后, Si表面的硼浓度将减小,而掺磷的Si 经过热氧化以后, Si表面的磷浓度将增高)。 n阱CMOS基本结构中含有许多性能良好的功能器件,对于实现系统集成及接口电路也非常有利。图A (a)和(b)是p阱和n阱CMOS结构的示意图。 N阱硅栅CMOS IC的剖面图 N离子注入 2.2 现在COMS工艺多采用的双阱工艺制作步骤主要表现为以下几个步骤:

微电子前沿复习(带答案)

微电子技术前沿复习提纲 1.请给出下列英文缩写的英文全文,并译出中文: CPLD: Complex Programmable Logic Device复杂可编程逻辑器件 FPGA: Field-Programmable Gate Array 现场可编程门阵列 GAL:generic array logic 通用阵列逻辑 LUT: Look-Up-Table 显示查找表 IP: Intellectual Property 知识产权 SoC: System on Chip 片上系统 2.试述AGC BJT器件实现AGC特性的工作原理; 试说明为什么 AGC BJT的工作频率范围受限? AGC 即自动增益控制(Automatic Gain Control) ? AGC BJT器件实现AGC特性的工作原理:当输入增加时,输出会同时增加,我们 可利用双极型晶体管的大注入效应和大电流下的基区扩展--kirk效应,衰减增益, 使放大系数降低,则达到了稳定输出的目的。 ?工作频率范围受限原因: 1) 、自动增益控制特性与频率特性是相矛盾,实现AGC需要基区展宽,而器件 的工作频率与基区宽度的平方成反比,要实现大范围的自动增益控制,要求 宽基区,使得工作频率范围受限。 2) 、实现AGC要求基区大注入,基区掺杂浓度低时,易于发生大注入效应,而基 区掺杂浓度动愈低,器件高频噪声愈差,使得工作频率范围受限。 3.为什么双栅MOSFET具有良好的超高频(UHF)特性? 双栅MOSFET结构如图: 1) 、双栅MOS的端口 Gl靠近源极,对应的基区宽度短,加高频信号,称信号栅,可以实现超高频。 G2靠近漏极,对应的基区宽度较宽,有良好的AGC性能,加固定偏置或AGC电压,作增益控制栅。 2) 、它通过第二个栅极G2交流接地, 可在第一个栅极G1和漏极D之间起到有效的 静电屏蔽作用, 从而使得栅极与漏极之间的反馈电容(是Miller电容)大大减小,则 提高了频率。 4.为什么硅栅、耐熔金属栅能实现源漏自对准,而铝栅不行?实现 源漏自对准的目的是什么?

微电子器件课程复习题

1、若某突变PN 结的P 型区的掺杂浓度为163A 1.510cm N -=?,则室温下该区的平衡多子浓度p p0与平 衡少子浓度n p0分别为(316105.1-?=cm N A )和(314105.1-?=cm N A )。 2、在PN 结的空间电荷区中,P 区一侧带(负)电荷,N 区一侧带(正)电荷。建电场的方向是从(N ) 区指向(P )区。[发生漂移运动,空穴向P 区,电子向N 区] 3、当采用耗尽近似时,N 型耗尽区中的泊松方程为(D S E u q dx d ε=→ )。由此方程可以看出,掺杂浓度越高,则建电场的斜率越(大)。 4、PN 结的掺杂浓度越高,则势垒区的长度就越(小),建电场的最大值就越(大),建电势V bi 就越 (大),反向饱和电流I 0就越(小)[P20],势垒电容C T 就越( 大 ),雪崩击穿电压就越(小)。 5、硅突变结建电势V bi 可表为(2ln i D A bi n N N q KT v =)P9,在室温下的典型值为(0.8)伏特。 6、当对PN 结外加正向电压时,其势垒区宽度会(减小),势垒区的势垒高度会(降低)。 7、当对PN 结外加反向电压时,其势垒区宽度会(增大),势垒区的势垒高度会(提高)。 8、在P 型中性区与耗尽区的边界上,少子浓度n p 与外加电压V 之间的关系可表示为()exp()(0KT qv p p p n x n =-)P18。若P 型区的掺杂浓度173A 1.510cm N -=?,外加电压V = 0.52V ,则P 型区与耗尽区边界上的少子浓度n p 为(3251035.7-?cm )。 9、当对PN 结外加正向电压时,中性区与耗尽区边界上的少子浓度比该处的平衡少子浓度(大);当对 PN 结外加反向电压时,中性区与耗尽区边界上的少子浓度比该处的平衡少子浓度(小)。 10、PN 结的正向电流由(空穴扩散)电流、(电子扩散)电流和(势垒区复合)电流三部分所组成。 11、PN 结的正向电流很大,是因为正向电流的电荷来源是(多子);PN 结的反向电流很小,是因为反 向电流的电荷来源是(少子)。 12、当对PN 结外加正向电压时,由N 区注入P 区的非平衡电子一边向前扩散,一边(复合)。每经过一个扩散长度的距离,非平衡电子浓度降到原来的(e 分之一)。 13、PN 结扩散电流的表达式为(]1)[exp(0-=+=KT qv dn dp d I J J J )。这个表达式在正向电压下可简化为()exp(0KT qv d J J =),在反向电压下可简化为(J J d -=)。 14、在PN 结的正向电流中,当电压较低时,以(势垒区复合)电流为主;当电压较高时,以(扩散) 电流为主。 15、薄基区二极管是指PN 结的某一个或两个中性区的长度小于(该区的少子扩散长度)。在薄基区二 极管中,少子浓度的分布近似为(线性分布)。 16、小注入条件是指注入某区边界附近的(非平衡少子)浓度远小于该区的(平衡多子)浓度,因此该 区总的多子浓度中的(非平衡)多子浓度可以忽略。 17、大注入条件是指注入某区边界附近的(非平衡少子)浓度远大于该区的(平衡多子)浓度,因此该 区总的多子浓度中的(平衡)多子浓度可以忽略。 18、势垒电容反映的是PN 结的(微分)电荷随外加电压的变化率。PN 结的掺杂浓度越高,则势垒电容 就越( 大 );外加反向电压越高,则势垒电容就越( 小 )。P44 19、扩散电容反映的是PN 结的(非平衡载流子)电荷随外加电压的变化率。正向电流越大,则扩散电容

电子科技大学微电子器件习题

第二章PN结 填空题 1、若某突变PN结的P型区的掺杂浓度为N A=1.5×1016cm-3,则室温下该区的平衡多子浓度p p0与平衡少子浓度n p0分别为()和()。 2、在PN结的空间电荷区中,P区一侧带()电荷,N区一侧带()电荷。内建电场的方向是从()区指向()区。 3、当采用耗尽近似时,N型耗尽区中的泊松方程为()。由此方程可以看出,掺杂浓度越高,则内建电场的斜率越()。 4、PN结的掺杂浓度越高,则势垒区的长度就越(),内建电场的最大值就越(),内建电势V bi就越(),反向饱和电流I0就越(),势垒电容C T就越(),雪崩击穿电压就越()。 5、硅突变结内建电势V bi可表为(),在室温下的典型值为()伏特。 6、当对PN结外加正向电压时,其势垒区宽度会(),势垒区的势垒高度会()。 7、当对PN结外加反向电压时,其势垒区宽度会(),势垒区的势垒高度会()。 8、在P型中性区与耗尽区的边界上,少子浓度n p与外加电压V之间的关系可表示为()。若P型区的掺杂浓度N A=1.5×1017cm-3,外加电压V= 0.52V,则P型区与耗尽区边界上的少子浓度n p为()。 9、当对PN结外加正向电压时,中性区与耗尽区边界上的少子浓度比该处的平衡少子浓度();当对PN结外加反向电压时,中性区与耗尽区边界上的少子浓度比该处的平衡少子浓度()。 10、PN结的正向电流由()电流、()电流和()电流三部分所组成。 11、PN结的正向电流很大,是因为正向电流的电荷来源是();PN结的反向电流很小,是因为反向电流的电荷来源是()。 12、当对PN结外加正向电压时,由N区注入P区的非平衡电子一边向前扩散,一边()。每经过一个扩散长度的距离,非平衡电子浓度降到原来的()。 13、PN结扩散电流的表达式为()。这个表达式在正向电压下可简化为(),在反向电压下可简化为()。 14、在PN结的正向电流中,当电压较低时,以()电流为主;当电压较高时,以()电流为主。 15、薄基区二极管是指PN结的某一个或两个中性区的长度小于()。在薄基区二极管中,少子浓度的分布近似为()。 16、小注入条件是指注入某区边界附近的()浓度远小于该区的()浓度,因此该区总的多子浓度中的()多子浓度可以忽略。 17、大注入条件是指注入某区边界附近的()浓度远大于该区的()浓度,因此该区总的多子浓度中的()多子浓度可以忽略。 18、势垒电容反映的是PN结的()电荷随外加电压的变化率。PN 结的掺杂浓度越高,则势垒电容就越();外加反向电压越高,则势垒电容就越()。 19、扩散电容反映的是PN结的()电荷随外加电压的变化率。正向电流越大,则扩散电容就越();少子寿命越长,则扩散电容就越()。 20、在PN结开关管中,在外加电压从正向变为反向后的一段时间内,会出现一个较大

半导体物理(微电子器件基础 )知识点总结

第一章 ●能带论:单电子近似法研究晶体中电子状态的理论 ●金刚石结构:两个面心立方按体对角线平移四分之一闪锌矿 ●纤锌矿:两类原子各自组成的六方排列的双原子层堆积而成(001)面ABAB顺序堆积●禁带宽度:导带底与价带顶之间的距离脱离共价键所需最低能量 ●本征激发:价带电子激发成倒带电子的过程 ●有效质量(意义):概括了半导体内的势场作用,使解决半导体内电子在外力作用下运 动规律时,可以不涉及半导体内部势场作用 ●空穴:价带中空着的状态看成是带正电的粒子 ●准连续能级:由于N很大,每个能带的能级基本上可以看成是连续的 ●重空穴带:有效质量较大的空穴组成的价带 ●窄禁带半导体:原子序数较高的化合物 ●导带:电子部分占满的能带,电子可以吸收能量跃迁到未被占据的能级 ●价带:被价电子占满的满带 ●满带:电子占满能级 ●半导体合金:IV族元素任意比例熔合 ●能谷:导带极小值 ●本征半导体:完全不含杂质且无晶格缺陷的纯净半导体 ●应变半导体:经过赝晶生长生成的半导体 ●赝晶生长:晶格失配通过合金层的应变得到补偿或调节,获得无界面失配位错的合金层 的生长模式 ●直接带隙半导体材料就是导带最小值(导带底)和满带最大值在k空间中同一位置 ●间接带隙半导体材料导带最小值(导带底)和满带最大值在k空间中不同位置 ●允带:允许电子能量存在的能量范围. ●同质多象体:一种物质能以两种或两种以上不同的晶体结构存在的现象 第二章 ●替位杂质:杂质原子取代晶格原子而位于晶格点处。 ●间隙杂质:杂质原子位于晶格的间隙位置。 ●杂质浓度:单位体积中的杂质原子数。 ●施主(N型)杂质:释放束缚电子,并成为不可动正电荷中心的杂质。 ●受主(P型)杂质:释放束缚空穴,并成为不可动负电荷中心的杂质。

微电子技术概论期末试题

《微电子技术概论》期末复习题 试卷结构: 填空题40分,40个空,每空1分, 选择题30分,15道题,每题2分, 问答题30分,5道题,每题6分 填空题 1.微电子学是以实现电路和系统的集成为目的的。 2.微电子学中实现的电路和系统又称为集成电路和集成系统,是微小化的。 3.集成电路封装的类型非常多样化。按管壳的材料可以分为金属封装、陶瓷封装和塑料封装。 4.材料按其导电性能的差异可以分为三类:导体、半导体和绝缘体。 5. 迁移率是载流子在电场作用下运动速度的快慢的量度。 6.PN 结的最基本性质之一就是其具有单向导电性。 7.根据不同的击穿机理,PN 结击穿主要分为雪崩击穿和隧道击穿这两种电击穿。 8.隧道击穿主要取决于空间电荷区中的最大电场。 9. PN结电容效应是PN结的一个基本特性。 10.PN结总的电容应该包括势垒电容和扩散电容之和。 11.在正常使用条件下,晶体管的发射结加正向小电压,称为正向偏置,集电结加反向大电压,称为反向偏置。 12.晶体管的直流特性曲线是指晶体管的输入和输出电流-电压关系曲线, 13.晶体管的直流特性曲线可以分为三个区域:放大区,饱和区,截止区。 14.晶体管在满足一定条件时,它可以工作在放大、饱和、截止三个区域中。 15.双极型晶体管可以作为放大晶体管,也可以作为开关来使用,在电路中得到了大量的应用。 16. 一般情况下开关管的工作电压为 5V ,放大管的工作电压为 20V 。 17. 在N 型半导体中电子是多子,空穴是少子; 18. 在P 型半导体中空穴是多子,电子是少子。 19. 所谓模拟信号,是指幅度随时间连续变化的信号。 20. 收音机、收录机、音响设备及电视机中接收、放大的音频信号、电视信号是模拟信号。 21. 所谓数字信号,指在时间上和幅度上离散取值的信号。 22. 计算机中运行的信号是脉冲信号,但这些脉冲信号均代表着确切的数字,因而又叫做数字信号。 23. 半导体集成电路是采用半导体工艺技术,在硅基片上制作包括电阻、电容、二极

微电子器件复习题

一、填空题 1.突变PN 结低掺杂侧的掺杂浓度越高,则势垒区的长度就越 小 ,建电场的最 大值越 大 ,建电势V bi 就越 大 ,反向饱和电流I 0就越 小 , 势垒电容C T 就越 大 ,雪崩击穿电压就越 小 。P27 2.在PN 结的空间电荷区中,P 区一侧带 负 电荷,N 区一侧带 正 电 荷。建电场的方向是从 N 区指向 P 区。 3.当采用耗尽近似时,N 型耗尽区中的泊松方程为 。由此方程可以看出,掺 杂浓度越高,则建电场的斜率越 大 。 4.若某突变PN 结的P 型区的掺杂浓度为183A 1.510cm N -=?,则室温下该区的平 衡多子浓度p p0与平衡少子浓度n p0分别为 和 。 5.某硅突变PN 结的153D N 1.510cm -=?,31810.51N -?=cm A ,则室温下n0n0p0n p p 、、和p0n 的分别为 、 、 和 , 当外加0.5V 正向电压时的p p ()n x -和 n n ()p x 分别为 、 ,建电 势为 。 6.当对PN 结外加正向电压时,中性区与耗尽区边界上的少子浓度比该处的平衡少子浓 度 大 ;当对PN 结外加反向电压时,中性区与耗尽区边界上的少子浓度比该处 的平衡少子浓度 小 。 7.PN 结的正向电流很大,是因为正向电流的电荷来源是 多子 ;PN 结的反向电 流很小,是因为反向电流的电荷来源是 少子 。 8.PN 结的正向电流由 空穴扩散电流 电流、 电子扩散电流 电流和 势垒区复和电流 电流三部分所组成。 9.PN 结的直流电流电压方程的分布为 。 10.薄基区二极管是指PN 结的某一个或两个中性区的长度小于 该区的少子扩散长 度 。在薄基区二极管中,少子浓度的分布近似为 线性 ;薄基区二极 管相对厚基区二极管来说,其它参数都相同,则PN 结电流会 大的多 。 11.小注入条件是指注入某区边界附近的 非平衡少子 浓度远小于该区的 平衡多子 浓度。 12.大注入条件是指注入某区边界附近的 非平衡少子 浓度远大于该区的 平衡多子 浓度。 13.势垒电容反映的是PN 结的 微分 电荷随外加电压的变化率。PN 结的掺杂浓 度越高,则势垒电容就越 大 ;外加反向电压越高,则势垒电容就越 小 。 14.扩散电容的物理含义为中性区中 非平衡载流子 随外加电压的变化率;外加 正向电压越高,则势垒电容就越 大 。

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