表面轮廓测量仪各型号对比分析

表面轮廓测量仪各型号对比分析

表面光度仪

非接触式轮廓曲线的设计与优异的用白色光轴向色差领先的技术优势。又称彩色共焦技术，符合ISO和ASTM标准。该技术测量一个物理波长直接关系到一个特定的高度，而无需使用任何复杂的算法。这将确保所有的表面测量结果的准确性。样品的反射率不会产生什么影响，无需进行频繁的校准，而且测量参数的变化也不会产生影响。利用光栅扫描时，表面光度仪可以进行2D和3D测量，可以对于应用提供灵活的测量解决方案

仪器

P3/自动表面粗糙度测量

特点：低廉、纳米至微米表面粗糙度测量（ISO 25178）、全自动的触摸屏、紧凑的设计

Jr25光学轮廓仪/便携式功能

特点：重量低于5.5Kg、封装27cm×14cm、XY轴方向25mm×25mm、便携式、非接触式3D测量能力PS50光学轮廓仪/低廉

尺寸紧凑、XY轴方向50mm×50mm、可升级取代光笔和激光分析器、价格实惠、技术领先

ST400光学轮廓仪/Nanovea标准

XY轴方向150mm×150m、多种选择、宽敞的平台区域为独特的样品尺寸所设计、图像模式识别

HS1000光学轮廓仪/高速自动检查

应用

特点：

基底Jr25 PS50 ST400 ST500 HS1000

XY轴行程25mm 50mm 150mm 400×400mm 400×600mm

Z轴30mm 30mm 60mm 50mm 50mm

XY轴最大速度20mm/s 20mm/s 20mm/s 200mm/s 1m/s

尺寸20×30×17 38×33×43 69×68×51 78×78×76 130×120×185

旋转阶段N/A N/A 可选可选可选

光学成像变焦N/A N/A 可选可选可选

最大样品重量N/A 8Kg 12Kg 8Kg 8Kg

定制可选N/A 可选可选可选

线型传感器（高速）纳米微米宏

测量范围mm 0.2 0.95 3.9

工作距离mm 5.3 18.5 41

垂直分辨率20 80 320

线长mm 0.96 1.91 4.78

横向分辨率 1 2 5

间距μm 5 10 25

点数192 192 192

光圈数值0.7 0.55 0.33

选项：

光笔

Nanovea光笔不受样品反射率的影响。变化无需样品制备，并拥有先进测量高表面角度的能力。能够进行大的Z范围的测量。测量任何材质：透明/不透明，镜面/扩散，抛光/粗糙。快速分析划伤，压痕和磨损在3D 精密光学下的结果。为不同的的动态垂直测量选择大的笔。优良垂直和空间分辨率

可选择大的光笔、无需制备样品、高表面角度的能力、可测量任何样品表面

AFM模块

AFM对于确定测量范围是很有效的。提供了快速从光学轮廓仪测量的被选择区域移动到的AFM三维测量在较高的水平和垂直分辨率的使用能力。AFM测量是无损的，不需要样品制备。AFM的设计容易记住使用并且与市场上最简单探测进行交流。AFM要分开安装，并提供一个友好的安装避免缆线缠绕，在显微镜安装在AFM上是一个问题。标准模式：静力（接触）、恒力、恒定高度。扩展模式：动态力（断续接触等）：恒振幅，恒定高度、静力：力调制模式，扩展电阻。动态力：相衬，磁力，静电力。

扫描区域可达110μm、Z范围可达22μm、XY分辨率可达0.15nm、Z分辨率可达0.027nm

光学成像

视频变焦相机提供通过现场摄像机视图来衡量选择一个区域的可用性，相机补偿到光学笔在Nanovea 3D 软件校准的距离下。在11.42毫米到1.77毫米对角线场中完成手动或电动变焦能力。在软件中可以使用视频选择功能视频选项将允许用户绘制围绕一种测量过的特点，取表面的图像和合并多个图像创建表面的大图片。增加相机选项时，包含了模式识别软件。

显微成像

该转塔显微镜含有选择的显微镜的所有功能，如偏光器和分析器幻灯片。转塔显微镜可配最多5个显微镜物镜，从5倍到100倍，图像可以最多放大4000倍。当需要高的细节层次转塔显微镜可以用来解决任何表面的小的特征。