单晶炉热场清洁与安装

单晶炉热场清洁与安装

单晶炉热场清洁与安装

⼀、⽬的：

清除炉内杂物、规范热场的安装，提⾼产品质量。

⼆、范围：

单晶炉的热场的清扫和安装。

三、职责：班长负责当班期间组织⽣产，组长监督⼯艺操作⼈员对热场的安全安装。

四、作业内容：4.1、热场的清洁：

4.1.1 ⼯作服必须洁净。⼯作服及物品如果不洁净会给清扫作业及后续的⼯序带来沾污；

4.1.2 所⽤物品必须洁净、摆放整齐。物品的齐全及整齐摆放能减少不必要的时间浪费；

4.1.3、内容：

4.1.3.1 清炉时须戴好⼝罩和帽⼦，穿好⼯作服

4.1.3.2 ⽤吸尘设备吸去附在副室、炉盖筒壁上的氧化物并⽤丝光⽑⼱蘸少许⽆⽔⼄醇擦

净，最后⽤⽆尘纸蘸少许⽆⽔⼄醇擦⼀遍。4.1.3.3 取出埚底硅料

4.1.3.3.1 戴好耐⾼温⼿套和准备好钳⼦；

4.1.3.3.2 ⽤钳⼦夹住⽯英埚的上端部分提起，使其松动；

4.1.3.3.2 戴好耐⾼温⼿套将⽯英坩埚和埚底料全部带出放⼊不锈

钢⼩车上；4.1.3.3.3 ⽤⼯具操作时注意别磕碰坏⽯墨件，炉内温度⾼⼩⼼烫伤⼈⾝体及⾐服，应⼩

⼼取埚底料，应避免埚底从热场的缝隙掉下杂物；4.1.3.3.4 待⽯英坩埚和埚底料冷却后，放⼊指定的箱⼦并做好编号4.1.3.4 按⼀定顺序取出热场的⽯墨器件，顺序如下：导流筒→热屏⽀撑环→上保温罩

→三瓣埚→坩埚底盘→中保温罩→⽯墨中轴→加热器→下保温罩和底盘（如下图）

→→

取导流筒取热屏⽀撑环

→→

取上保温罩取三瓣埚

→→

取坩埚底盘取中保温罩

→→取⽯墨中轴取加热器

→取保温罩取底盘4.1.3.5 ⽤吸尘设备清洁⽯墨器件：

4.1.3.

5.1 待⽯墨器件冷却后，⽤吸尘设备吸去⽯墨器件上的氧化物。沟槽及接⼝等吸附挥发物较多的部位要⽤砂布认真打磨。

4.1.3.

5.2 清洁加热器时先⽤氧化铝砂布打磨加热器的内外表⾯及夹缝的氧化物。

4.1.3.

5.3 检查⽯墨器件上是否有硅蒸⽓沉积引起的凸出物，如有⽤打磨机去除，并⽤吸尘设备清除⼲净。

4.1.3.6 检查⽯墨器件有⽆缺损、裂缝及使⽤的炉数，如有缺损、裂缝或使⽤炉数已达到规定的数量，需根据实际情况及时调换新的已锻烧过的⽯墨器件。4.1.3.7 清除真空管道内的氧化物：⽤⽑刷和吸尘器清扫抽⽓管道内的挥发物，吸尘器管

必须伸⼊管道底部以便将管道内的挥发物彻底吸尽；4.1.3.7．1 拆除球阀与主室真空管连接部位，⽤不锈钢清洁

球擦净管道内的氧化物，并⽤吸尘设备清除⼲

净。4.1.3.7.2 ⽤酒精擦净球阀与真空管道接⼝处，并检查O 型密封圈是否损坏，如有损坏必须更换。注意在安装球阀与真空管道时，要保证螺丝受⼒均匀，防⽌螺丝不紧引起漏⽓。4.1.3.8 清理除尘筒：

4.1.3.8.1、⽤专⽤⼯具除尘筒螺栓，取出罐盖和过滤⽹。打开除尘筒前确认真空泵球

阀和真空泵电源在关闭状态，否则在清理过程中会向炉内倒吸⽓，造成炉内污染；4.1.3.8.2、⽤⽑刷和吸尘器仔细清扫过滤⽹及除尘筒内的氧化物；

4.1.3.8.3、⽤沾酒精的纸擦拭除尘筒和密封部件；

4.1.3.8.4、将清扫后的过滤⽹缓慢放进除尘筒；

4.1.3.8.5、将除尘筒盖密封圈擦净，盖好除尘筒盖并⽤专⽤⼯具拧紧螺栓；

4.1.3.8.6、清洁除尘筒表⾯卫⽣；

4.2、热场的安装：

4.2.1 安装前需检查：

4.2.1.1 热场的所有⽯墨器件必须是经过锻烧合格⽅可使⽤。

4.2.1.2 检查主室底座的清洁度，确定电极柱周围及坩埚轴端⾯上没有⽯英、⽯墨碳毡及

硅粉颗粒。4.2.2 底盘安装：

4.2.2.1 将热场底盘放在主室底座上，底盘安装须平稳。

4.2.2.2 底盘边缘与主室底座内壁的距离应相等。

4.2.2.3 底盘上的电极孔、中⼼孔要与主室底座的孔对应、对正。4.2.3 装电极柱：

4.2.3.1 装电极柱：装电极柱时不宜太紧，否则容易涨裂引起电极打⽕。

4.2.3.2 装电极柱时要检查两个电极柱是否在同⼀⽔平⾯上。4.2.4 装⽯英环：

在装⽯英环时，先⽤吸尘设备吸除电极周围的粉状杂物。确保⽯英环在电极和底盘之间起到绝缘作⽤。4.2.5 装⽯墨加热器：

4.2.

5.1 安装加热器时，电极螺丝必须拧紧，加热器与电极的接触部分须垫碳箔，否则会引起放电、打⽕事故。

4.2.

5.2 必须注意的是，每次清炉时电极螺丝先松掉后再拧紧。以防硅蒸汽进⼊电极螺丝和加热器脚之间的缝隙使之粘住⽆法拆卸。4.2.5.3 检查加热器上⼝是否处于同⼀⽔平⾯。4.2.6 安装⽯墨中轴连接杆：

安装连杆时，紧固连杆的螺丝必须加垫⽚，连杆上下左右晃动的间隙⼩于1mm。连接杆必须处于正中⼼位置。4.2.7 安装⽯墨埚托、三瓣埚：

4.2.7.1 埚托安装须平稳，下降坩埚轴⾄最低位置时距离加热器脚应不少于2cm。

4.2.7.2 埚托与三瓣埚装配时必须紧密配合（装配时主要检查三瓣埚的底部与埚托是否因加⼯误差造成⾼度不⼀致，装配不紧密）4.2.7.3 下降并转动坩埚轴，检查托⾝上⼝与加热器上⼝是否在

同⼀平⾯。如不在同⼀平⾯，检查连杆的锥度与下轴的锥度配合

是否紧密，如不紧密须修正连杆的锥度或由设备维修⼈员检修下

轴调节下轴的垂直度。4.2.7.4 当三瓣埚上⼝和加热器上⼝在同⼀平⾯时,将此时的埚位记录在运⾏记录本上。

4.2.7.5 检查三瓣埚与加热器之间的间隙是否均匀(三瓣埚与加

热器之间的间隙相差应⼩于3mm)。4.2.8 装保温筒:

4.2.8.1 保温筒必须平稳地安装在底盘⽌⼝上,并须检查保温筒与加热器之间的间隙是均匀。

4.2.8.2 ⽤丝光⽑⼱或⽆尘纸蘸少许⽆⽔⼄醇擦净主室底座与主室接触的密封部位。

4.2.8.3 转回主室直⾄主室上的导向孔对准导向柱为⽌。

4.2.8.4 按下控制⾯板上”下降”按钮,使主室平稳地停在底座上。

4.2.9 对准温度信号孔:

保温筒上的温度信号孔必须和主室炉筒温度信号孔对正，如不对正可旋转保温筒调节。4.2.10 装上保温罩：

上保温罩必须平稳地装在保温筒上,所有⽌⼝必须到位。