精密微加工硅传感器和变送器PXM409系列
美控自动 单晶硅差压变送器使用说明书
杭州美控自动化技术有限公司更多资讯请扫二维码服务电话：400-152-1718杭州美控自动化技术有限公司第1版单晶硅差压变送器使用说明书U-SYL2051-S-MKCN1前言●感谢您购买本公司产品。
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版本U-SYL2051-S-MKCN1第一版2020年7月目录第一章特点 (1)第二章用途及行业 (2)第三章产品概述 (3)3.1性能参数 (3)3.2结构特性 (4)3.3组件图 (5)3.4HART通讯连接图 (5)3.5外形尺寸 (6)3.6配件 (6)第四章按键功能概述 (9)4.1按键模式说明 (9)第五章按键功能 (10)5.1输入操作码 (10)5.1.1操作码及对应功能 (10)5.1.2操作码输入方法 (10)5.2设置单位 (11)5.3设置量程下限 (12)5.4设置量程上限 (14)5.5设置阻尼 (14)5.6主变量调零（清零）功能 (14)5.7设置输出特性 (15)5.8零点迁移与量程迁移[调零和调满] (16)5.9显示变量设置 (16)第六章恢复出厂设置 (18)第一章特点第一章特点■采用先进的单晶硅差压传感器■宽量程覆盖0-0.2kPa～3MPa■两线制，4～20mA模拟输出，HART®协议数字通讯■智能LCD液晶表头带背光■兼有远传和本地零点、量程调整■品种齐全，精度高，稳定性好■抗变频干扰能力强■高静压、高过载保障■专利双过载保护膜片设计■防雷保护电路设计第二章用途及行业第二章用途及行业石油、化工、冶金、电力、食品、造纸、医药、机械制造、科学实验和航空军用等行业的过程控制领域。
压力传感器,带高速USB输出接口,可直接连接到计算机上
压力传感器PXM409-USBH系列[MISSING IMAGE: 压力传感器 | PXM409-USBH系列, 压力传感器 | PXM409-USBH系列 ][MISSING IMAGE: , ][MISSING IMAGE: , ]压力传感器•U 读取速率高达1000个读数/秒•采用微加工硅传感元件•包含316L不锈钢接液部件•高达±0.08%的BSL精度•拥有出色的长期稳定性•和USB 2.0及更低版本兼容•配备标准USB连接器端子•达到冲击和振动等级•具有二层安全壳，坚固耐用••产品描述表压和绝对压力型号25 mb～345 bar真空和复合量程型号25 mb～1 bar大气压力和差压量程型号规格:精度： 0.08% BSL（综合线性度、滞后性和重复性）分辨率：高达5.5个有效数字温度补偿（补偿范围内）：量程：量程 > 350 mb： ±0.5%量程≤ 350 mb： ±1.0%零点：量程 > 350 mb ±0.5%量程≤ 350 mb ±1.0%最低电气隔离度：100 MΩ @ 50 Vdc外壳到传感器压力循环：2 MΩ @ 50 V dc外壳到输出端子长期稳定性（1年）：至少100万次模数转换：典型值为满量程的±0.1%冲击： 24位振动： 50 g，11 mS半正弦波冲击，横轴及纵轴带宽： 5-2000-5 Hz，30分钟周期，曲线L，Mil-Spec 810，图514-2-2，纵轴及横轴功耗：通常为DC～1000次更新/秒(±3%)CE合规性： 0.35 W（典型）环保等级：符合工业级辐射抗干扰标准EN61326二次安全壳的真空和压力： IP6525～350 mb：1～70 bar：达到70 bar100～350 bar：达到200 bar二次安全壳的绝对压力：达到1000 bar350 mb～70 bar：100～350 bar：达到400 bar接液部件：达到1000 bar重量： 316L不锈钢过压表压： 200 g (7 oz)25 mb：70 mb： 10倍量程170 mb～250 bar： 6倍量程350 bar： 4倍量程过压绝对压力：最大1000 b350 mb绝对压力：1～250 bar绝对压力： 6倍量程350 bar绝对压力： 4倍量程工作温度范围：最大1000 bar补偿温度： -40～85°C (-40～185°F)量程 > 350 mb：量程≤ 350 mb： -29～85°C (-20～185°F)。
敏芯MSP40微硅压力传感器
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MEMSensing Microsystems Co., Ltd
关于温度补偿
图七显示了 MSP40 系列产品中比较典型 的压力特性曲线（在不同温度下）：
度的拉伸应力。处于膜边缘的压敏电阻， 由于压敏效应（即应力引起电阻变化），将 拉伸应力转换为电阻的改变。基于压敏器 件的原理，压敏电阻效应本身就是随温度 变化而不同的。虽然通过惠斯通电桥式的 对称结构，芯片可以自身抵消大部分的受 温度引起的误差，但是其它的某些误差， 例如在平面结构定义的时候电阻本身相对 于膜片位置的不对称性，都会引起大幅度 的压敏电阻不对称性，导致了最终电桥输 出随着温度变化而引起的误差，或者是传 递曲线中的非线性特征。
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管脚号 符号
1
‐VOUT,1
2
+VS
3
+VOUT
4
5
GND
6
‐VOUT,2
定义 输出电压负端子 1 输入电压正端子 输出电压正端子 空 输入电压负端子 输出电压负端子 2
其对应内部电路图如图一所示：
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2
图一 未补偿压力传感器电路 （双负电压输出端子类型）
单位：毫米
图五 GDR 型封装机械尺寸与外观图
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MEMSensing Microsystems Co., Ltd
omegaPX409系列微加工硅复合压力量程传感器
omegaPX409系列微加工硅复合压力量程传感器产品特点∙±0.08% BSL的高精度，包括线性度、滞后性及重复性∙广泛的温度补偿范围：-29 ~ 85°C (-20 ~ 185°F)∙出色的温度性能跨度：在补偿范围内为±0.5%∙含5测量点NIST 可溯源校准∙全不锈钢接液部件∙响应时间短∙具有固态可靠性和稳定性∙最小400%的耐受压力∙mV/V、电压或电流输出产品描述OMEGA的PX409系列高精度传感器双向表压量程型号具有全不锈钢接液部件和焊接结构以及出色的温度补偿，非常适合用于恶劣的工业环境中。
复合压力传感器可提供5种量程，可测量正、负表压，并提供相应的双向输出（±10 mV/V、±5 Vdc及4 ~ 20 mA，环境设置为12 mA）。
可提供±10 inH2O ~ ±15 psi的量程。
规格:输出：毫伏：对于真空为0 ~ 10mV/V，对于复合压力为±10 mV/V放大电压：对于真空为0 ~ 5 Vdc，对于复合压力为±5 Vdc电流环路： 4 ~ 20mA（复合压力为 0 psig时为12 mA）电源要求：毫伏： 5 ~ 10 Vdc (2 mA @ 10 Vdc)放大电压： 10 ~ 30 Vdc @ 10 mA电流环路： 9 ~ 30 Vdc [最大环路电阻 = (Vs-9) x 50]；[温度高于105°C (229°F)时为9 ~ 20 Vdc] 遵循CE的规定：满足工业辐射和抗干扰标准EN61326精度（综合线性度、滞后性和重复性）：最大值为±0.08% BSL，仅可正向校准，电气连接器向上零点平衡：通常为满量程的±0.5%，最大值为1%（对于1 psi及以下量程，通常为1%，最大值为2%）跨距设置：通常为满量程的±0.5%，最大值为1%（对于1 psi及以下量程，通常为1%，最大值为2%）工作温度范围： -45 ~ 121°C (-49 ~ 250°F)[对电压或电流输出为-45 ~ 115°C(-49 ~ 240°F)]补偿温度：量程> 5 psi： -29 ~ 85°C(-20 ~ 185°F)量程≤ 5 psi： -17 ~ 85°C(0 ~ 185°F)零点热效应（在补偿范围内压力为0 psig时）：量程> 5 psi：量程的±0.5%量程≤ 5 psi：量程的±1.0%跨距热效应（在补偿范围内）：量程> 5 psi：量程的±0.5%量程≤ 5 psi：量程的±1.0%长期稳定性（1 年）：通常为满量程的±0.1%冲击： 50 g，11 ms半正弦波冲击，纵轴及横轴振动： 5-2000-5 Hz，30分钟的周期，曲线L，军用标准Mil-Spec 810图514-2-2，纵轴及横轴响应时间： <1 ms带宽： DC ~ 1 kHz（常规）耐受压力（正向）：10 inH2O：满量程的10倍1 psi：满量程的6倍2.5 psi及更高：满量程的4倍（负向为4倍或1个大气压，以较大值为准）破裂压力：10 inH2O ~ 15 psi： 1,000 psi15及更高： 3,000 psi电气终端：PX409：一体化2 m (6')电缆PX419：微型DINPX429：扭锁式PX459： M12对接连接器：PX419： CX5302（内含）PX429： PT06F10-6S（单独销售）环境保护：PX409： IP67PX419，PX429以及PX459： IP65接液部件： 316不锈钢压力端口： ¼-18 NPT外螺纹校准：配备5测量点校准证书（对于复合压力量程仅限于正数读数）重量： 115 ~ 200 g (4 ~ 7 oz)，取决于配置。
OMEGA压力传感器和Pt100传感器在制冷剂研发测试中的应用案例
制冷剂，又称冷媒、致冷剂、雪种，是各种热机中借以完成能量转化的媒介物质。
这些物质通常以可逆的相变（如气-液相变）来增大功率。
如蒸汽引擎中的蒸汽、制冷机中的雪种等等。
客户挑战客户研发制冷剂，测试介质通常都是各种低温环境下的液体。
因为是研发阶段，测试的准确度和稳定性是客户极为看重的要素。
由于测试需要，会将测试装置整体放入烘箱中烘烤加热，因此传感器本身还需要有一定的耐温需求。
即传感器除了在接触介质的低温端需要精准稳定地测量以外，接液部件外的部分还需要在持续高温烘烤下保持稳定，不影响测试结果。
OMEGA解决方案客户测试过程中，需要同时应用测量温度和压力的传感器，以采集实验过程中被测制冷剂的相关数据。
OMEGA为客户提供的PX409系列压力传感器，尺寸小，精度高达0.08%，可以适用的被测介质温度范围宽，完美契合客户对于低温状态下的测量需求。
同时，传感器在出厂时也做了宽量程的温度补偿，非接液部件也使用了不锈钢的壳体和PFA绝缘层的信号线，足够在烘箱条件下长期使用。
由于客户的试验通常为持续性的长时间试验，对热响应性能要求不高，但对于测温精度及稳定性要求很高。
基于此，OMEGA还为客户专门配置了高精度的Pt100温度传感器。
达到IEC 60751 A级、1/3 B级甚至1/10 B级精度的传感器，不仅稳定性优秀，也进一步提升了试验中的测试精度。
客户在使用PX409高精度压力传感器，以及Pt100传感器后反馈，测试数据精度相较之前明显上升，并且传感器在长时间置于烘箱中试验时，从未出现过信号不稳定或者信号中断等问题，极大地保证了试验的持续性，让客户的研发试验效率得到了进一步提升。
UNRESTRICTED。
变送器精度要求
变送器精度要求传感器的种类繁多，如高静压压力变送器、扩散硅压力变送器、智能压力/差压变送器、法兰式液位变送器等。
但应用最为广泛的是高静压压力变送器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。
下面我们主要介绍这类传感器。
在了解高静压压力变送器时，我们首先认识一下高静压压力变送器。
JY-HP3851型是我公司引进国外先进技术和设备生产的新型变送器，关键原材料，元器件和零部件均源自进口，整机经过严格组装和测试，该产品具有设计原理先进、品种规格齐全、安装使用简便等特点。
由于该机型外观上完全融合了目前国内最为流行，并被广泛使用的两种变送器（罗斯蒙特3051与横河EJA）的结构优点，让使用者有耳目一新的感觉，同时与传统的1151、CECC等系列产品在安装上可直接替换，有很强的通用性和替代能力。
为适合国内自动化水平的不断提高和发展，该系列产品除设计小巧精致外，更推出具有HART 现场总线协议的智能化功能。
压力1扩散硅压力变送器原理及应用工作原理被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上（不锈钢或陶瓷），使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。
2智能压力/差压变送器JY1151/3351系列智能压力/差压变送器是我公司引进国外先进技术和设备设计制造的新型智能仪表。
关键元器件和零部件均采用进口，整机经过严格测试后出厂。
采用微处理器技术进行温度特性和非线性补偿，从而大幅度提高仪表测量精度，改善温度特性，扩展了量程比，增添了智能组态功能，进一步满足了工业现场对现场仪表高可靠、高稳定要求。
具有设计原理先进，产品质量可靠，品种规格齐全，安装使用简便,可以 1151 变送器直接互换等特点。
在3351系列智能压力/差压变送器中应用数字技术，除了确保仪表的高可靠性和其它优越性外控制室之间的远程数字化连接，实现控制室对单元仪态。
3法兰式液位变送器法兰式液位变送器具有测量准确，使用方便的优点。
博克斯荧光法溶氧仪说明书
◆仪器的接线部分详见接线图，用户电源容量必须满足正 常使用仪器的要求。
变送器安装注意事项： ◆避免变送器受阳光直射、避免变送器发生震动； ◆应将变送器安装在稍高于操作者平视位置，便于操作者 ◆浏览面板或进行控制操作； ◆为变送器箱体的开启和维护留出足够的空间。
主视图
侧视图
背视图 安装紧固
方式一：变送器背后有三个定位孔，尺寸如“背视图”所示，其中上 面的孔用于悬挂，下面两个孔用于螺栓固定。
方式二：变送器可以在专用滑轨上安装，用卡扣固定。
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传感器安装
荧光法溶解氧说明书 V4.00
支架浸入式安装（池壁）
1、在池壁适当位置固定支架托。 （支架托固定尺寸图见附录 2）
维护
变送器维护...........................32 传感器维护...........................32
常见问题 附录 1 附录 2
常见问题.............................33 水中饱和溶解氧浓度表.................35 支架托固定尺寸图.....................36
技术规格 变送器参数...........................6 传感器参数...........................6 Nhomakorabea安装
注意事项.............................7 变送器安装...........................8 传感器安装...........................9 电气连接.............................11
Omega PX409 高精度双向压力传感器说明书
HIGH ACCURACYTRANSDUCERS MICRO-MACHINEDSILICON COMPOUND PRESSURE RANGESCompound Pressure RangesmV/V, Voltage or Current OutputsU High Accuracy±0.08% BSL Includes Linearity, Hysteresis, and Repeatability U Broad Temperature Compensated Range -29 to 85°C (-20 to 185°F)U Premium Temperature Performance Span: ±0.5% OverCompensated Range U 5-Point NIST Traceable Calibration Included U All Stainless Steel Wetted PartsU Fast Response Time U Solid State Reliability and StabilityU 400% Proof Pressure MinimumOmega’s PX409 Series highaccuracy transducers bi-directional gage pressure range models have all stainless steel wetted parts and welded construction and premium temperature compensation which makes them suitable for use in tough industrial environments. Compound range transducers are available in 5 ranges whichmeasure positive and negative gage pressure and give a corresponding bi-directional outputs of ±10 mV/V, ±5 Vdc and 4 to 20 mA with ambient set at 12 mA. Ranges are available from ±10 inH 2O to ±15 psi.SPECIFICATIONSOutput:Millivolt: ±10 mV/V for compound A mplified Voltage: ±5 Vdc for compoundCurrent Loop: 4 to 20 mA(12 mA at 0 psig on compound ranges)Power Requirements:Millivolt: 5 to 10 Vdc (2 mA @ 10 Vdc) Amplified Voltage: 10 to 30 Vdc @ 10 mACurrent Loop: 9 to 30 Vdc [max loop res = [(Vs-9) x 50][9 to 20 Vdc above 105°C (229°F)]CE Compliant: Meets industrial emission and immunity standard EN61326Accuracy (Combined Linearity, Hysteresis and Repeatability): ±0.08% BSL max, calibrated inpositive direction only, with electrical connector upZero Balance: ±0.5% FS typical 1% max (1% typical, 2% max for ranges 1 psi and below)Span Setting: ±0.5% FS typical 1% max (1% typical, 2% max for ranges 1 psi and below)Operating Temperature Range: -45 to 121°C (-49 to 250°F) [-45 to 115°C (-49 to 240°F) for voltage or current outputs]Compensated Temperature: Ranges >5 psi: -29 to 85°C (-20 to 185°F)Ranges ≤5 psi: -17 to 85°C (0 to 185°F)Thermal Effects Zero (@ 0 psig Over Compensated Range): Ranges >5 psi: ±0.5% span Ranges ≤5 psi: ±1.0% spanThermal Effects Span (Over Compensated Range):Ranges >5 psi: ±0.5% span Ranges ≤5 psi: ±1.0% span Long Term Stability (1-Year): ±0.1% FS typicalShock: 50 g, 11 mS half sine, vertical and horizontal axisVibration: 5-2000-5 Hz, 30 minute cycle, Curve L, Mil-Spec 810 figure 514-2-2, vertical and horizontal axis Response Time: <1 msBandwidth: DC to 1 kHz typicalProof Pressure (positive direction): 10 inH 2O: 10 times full scale 1 psi: 6 times full scale2.5 psi and Higher: 4 times full scale (Negative direction 4 times or1 atmosphere whichever is greater)Burst Pressure:10 inH 2O to 15 psi: 1000 psi Electrical Termination:PX409: Integral 2 m (6') cable PX419: mini DIN PX429: Twist-lock PX459: M12Mating Connectors:PX419: CX5302 (included)PX429: PT06F10-6S (sold separately)Environmental Protection: PX409: IP67PX419, PX429 and PX459: IP65Wetted Parts: 316 SSPressure Port: 1⁄4-18 NPT male Calibration: Comes with 5-point calibration certificate (positivereadings only for compound ranges)Weight: 115 to 200 g (4 to 7 oz) depending upon configurationIP67 rated PX409-015CGV ±15 psi range shown actual size.IP65 rated PX419-001CGI ±1 psi bi-directional range shown actual size.PX409 SeriesCable style.mini DIN style.N o w A v a i l a b l e w i t h M 12 C o n n e ct o rProduct LabelHex 22 (0.87) AF¼-18 NPTCustom Models Available!smaller than actual size.Cablestyle.mini DINstyle.* To order cable version with 1⁄2 NPT conduit fitting, specify model PX409C, no extra cost.** To order with 0 to10 Vdc output change “5V” to “10V” in model number, no extra cost. Metric threads and ranges also available.Ordering Examples: PX409-015CGV, cable termination, ±15 psig range, ±10 mV/V output.PX419-001CG5V, mini DIN termination, ±1 psi range, ±5 Vdc, 0 volts @ 0 pressure output.PX429 TWIST LOCK PINOUTPX419 and PX459 PIN OUTPX409 and PX409C CABLE CONNECTIONPX409-015CGVPX429-001CGVPX419-001CGI。
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精密微加工硅传感器和变送器PXM409系列
产品特点
∙含5测量点机构可溯源校准
∙可提供表压、复合压力、绝对压力、真空及气压量程
∙全不锈钢焊接结构
∙316不锈钢接液部件
∙出色的温度性能
∙广泛的补偿温度范围
∙具有二层安全壳，坚固耐用
产品描述
PXM409系列采用微加工压阻硅元件提供高精度，而且其全不锈钢接液部件可实现产品的耐用性和优异的化学相容性。
PXM409系列在补偿范围内的高精度及非常高的热补偿（通常为 0.7%）性能使其非常适合于要求带有极低热漂移的坚固耐用高精度传感器的科学或工业应用使用。
该产品可用于测试台、实验室测验、引擎测试、地面试验站及其他要求配备耐用的精密传感器的工业应用。
其标准精度为 0.08%的高工业级精度。
其模块化结构可实现大多数型号的快速交付（一般最多只需2周）。
提供的型号包括表压（相对压力）、复合压力、绝对压力、真空（负压）及气压量程。
规格:
精度：标配为满量程的±0.08%，BSL、综合线性度、滞后性及重复性（复合压力量程仅可正向校准）工作温度：
mV/V输出： -45 ~ 121°C (-49 ~ 250°F)
放大输出： -45 ~ 115°C (-49 ~ 239°F)
补偿温度范围：
25 ~ 350 mb： -18 ~ 85°C(0 ~ 185°F)
1 ~ 350 bar： -29 ~ 85°C(-20 ~ 185°F)
热精度：补偿温度范围内的跨距漂移%
25 ~ 350 mb:
零点：最大±1.0%
跨距：最大±1.0%
1 ~ 350 bar:
零点：最大±0.50%
跨距：最大±0.50%
遵循ROHS规定
外壳和终端之间的最小隔离： 100 MΩ @ 50 Vdc
压力循环：至少 100 万次
长期稳定性（1 年）：通常为满量程的±0.1%
冲击： 50 g，11 ms半正弦波冲击，纵轴及横轴
振动： 5-2000-5 Hz，30分钟的周期，曲线L，军用标准Mil-Spec 810 图514-2-2，纵轴及横轴带宽： DC ~ 1 kHz（常规）
响应时间： <1 ms
遵循CE的规定：工业级
辐射： IEC550022 B类
静电放电抗扰度： IEC1000-4-2
电磁场抗扰度： IEC61000-4-3
EFT抗扰度： IEC61000-4-4
浪涌抗扰度： IEC61000-4-5
传导射频： IEC610000-4-6
工频磁场： IEC61000-4-8
环境保护：
PXM409： IP67
PXM419：表压为IP65级，绝对压力为IP67级
PXM459：表压为IP65级，绝对压力为IP67级
耐受表压／真空／复合压力：
25 mb： 10倍量程
70 mb： 6倍量程
170 mb ~ 100 bar： 4倍量程
175 ~ 350 bar：最大为500 bar
耐受绝对压力：
350 mb ~ 100 bar： 4 倍量程
175 ~ 350 bar：最大为500 bar
二层安全壳；
表压／真空／复合压力：
25 ~ 350 mb：可达70 bar
1 ~ 70 bar：可达200 bar
100 ~ 350 bar：可达700 bar
绝对压力／气压：
350 mb：可达70 bar
1 ~ 70 bar（包括气压量程）可达200 bar
100 ~ 350 bar：可达700 bar
接液部件： 316L不锈钢
电气终端
PXM409： 2 m (6.6') 电缆
PXM419：带对接连接器的微型DIN
PXM459： M12 4针
压力端口： G¼标配
重量： 115 ~ 200 g，取决于配置
电气输出：
mV/V输出：
输出： 10 mV/V，比率式
电源电压： 5 ~ 10 Vdc(5 mA @ 10 Vdc)
零点平衡：
量程 >170 mb：通常为±0.5%（最大值为 1%）
量程≤ 170 mb：通常为±1%（最大值为 2%）
跨距设置：
量程 >170 mb：通常为±0.5%（最大值为 1%）
量程≤ 170 mb：通常为±1%（最大值为 2%）
输入／输出电阻： 5000 Ω ±20%
电压输出：
输出： 0 ~ 10 Vdc
电源电压： 15 ~ 30 Vdc @ 10 mA（±10 Vdc或复合压力）
零点平衡：
量程>170 mb：通常为±0.5%（最大值为1%）
量程≤ 170 mb：通常为±1%（最大值为2%）
跨距设置：
量程>170 mb：通常为±0.5%（最大值为1%）
量程≤ 170 mb：通常为±1%（最大值为2%）
电流输出：
输出： 4 ~ 20 mA（复合压力为0时为12 mA）
电源电压： 9 ~ 30 Vdc（温度高于105°C时为9 ~ 20 Vdc），最大环路电阻 = (Vs-9) x 50 O 零点平衡：
量程>170 mb：通常为±0.5%（最大值为1%）
量程≤ 170 mb：通常为±1%（最大值为2%）跨距设置：
量程>170 mb：通常为±0.5%（最大值为1%）量程≤ 170 mb：通常为±1%（最大值为2%）。