刚柔结构仿尾鳍压电双晶片无阀泵的实验研究

合集下载

一种无阀压电微泵的研究

一种无阀压电微泵的研究

微 流体系统 由于体积 小 , 操作 简单 及安 装方 便 , 已广 泛 应 用 于 疾 病 诊 断 、 物 筛 选 和 环 境 监 测 等 领 药 域_ ] 】 。微 泵作 为构 成 微流体 系统 的重 要 部件 , 到 受
人 们 的普遍 关 注 。 自 2 0世纪 8) (年代 初 S t[ mi 首 s 先 报道 了一 种压 电 蠕 动 微泵 以来 , 内外 学 者 围 绕 国 微 泵 开展 了大 量 的研 究 工作 。按 工 作 原 理 可 将 微 泵分 为机械 式微 泵 和非 机械 式微 泵 ] 。机械 式 微
维普资讯
第2卷第6 8 期 20年1月 06 2

电 J 亏


Vo 8 No 6 L2 .
De .2 6 c 00
P EZOEIE 1 CTE : (TR1 &. CS AC(USI ) TI ) (OP CS 、
文章 编 号 :0 42 7 (0 6 0 6 80 1 0 4 4 20 )60 6 —3

种 无 阀压 电微 泵 的 研 究
王 海 宁 , 大付 , 照 新 , 长 春 , 兴 崔 耿 刘 陈
( 围 科 学 院 电子 学研 究 所传 感 技 术 国 家 重点 蛮 验 窀 , 京 1 0 8 ) 中 北 o 0 0
摘 要 : 绍 了一 种适 用 于微 流 体 系 统 的 尤 阀 做 泵 。该 微 泵 利 用 聚 二 甲基 硅 氧烷 ( DMS 作 为 泵膜 , 用 硅 各 介 P ) 利 向异 性 腐 蚀 形 成 扩 散 口/ 1结 构 , 利 用 压 电 双 晶 片 作 为 驱 动 部 件 。该 微 泵 的 制 作 工 艺 简 单 , 用 寿 命 长 , 有 喷7 1 并 使 具 良好 的 液 体 驱 动 性 能 。对 于 使 用 1 n 长 的 压 电 双 晶 片作 为 驱 动 器 的 压 电无 阀微 泵 , 1 0V、OHz 占 空 比 为 1 5r 1 a 在 0 6 、

基于有限元的双晶片式压电微夹钳的设计【开题报告】

基于有限元的双晶片式压电微夹钳的设计【开题报告】

毕业论文开题报告机械设计制造及其自动化基于有限元的双晶片式压电微夹钳的设计一、选题的背景与意义微夹钳具有钳指张合量与夹持力准确,控制系统简单,可靠性高的优点。

高精端行业(如航空航天、生物技术等)中,传统的夹持装置难以满足其研发、生产需要,此时,微夹钳成了必需品。

压电式微夹钳由于压电陶瓷执行器具有体积小、刚度大、不发热、无噪声等优点,可应用于微操作、微装配领域,其可以作为微操作机器人的手臂,具有高精确度的特征,可广泛的应用于各种高精端行业的产品生产过程中。

压电式微夹钳按结构方式可分为柔性铰链式和双晶片式两种,柔性铰链式压电微夹钳夹持力大,而双晶片式压电微夹钳张合量大,但是目前这两种微夹钳都存在结构复杂、电极线引出不方便等不足。

在当今对微夹持技术高需求的情况下,设计结构简单、便于电极线引出的微夹钳,必能推动微夹钳技术的发展,为科技研发、产品生产的进步做出贡献。

二、研究的基本内容与拟解决的主要问题2.1研究的基本内容利用压电陶瓷晶片,根据逆压电效应和悬臂梁理论,采用有限元分析法设计一种由压电陶瓷执行器驱动的、张合量为250 µm的双晶片式压电陶瓷微夹钳。

并要求该微夹钳具有结构简单,便于电极线引出的优点。

通过该设计,了解压电微夹钳的应用领域,掌握双晶片式压电微夹钳的设计过程,进而掌握零、部件的一般设计过程。

2.2拟解决的主要问题1)设计压电微夹钳的结构,保证其结构简单,且便于电极线引出;2)根据设计的结构,确定各零件的几何尺寸;3)基于所确定的微夹钳的几何尺寸,采用有限元分析法,确定微夹钳的张合量同驱动电压的关系、夹持力同张合量的关系以及最大夹持重量;三、研究的方法与技术路线在查阅国内外大量文献后,根据任务书要求,对微夹钳进行造型设计,根据结果设计微夹钳结构参数,然后在Pro/E中建模,并将模型调入有限元分析软件(ANSYS)中进行有限元分析,结合解析法,得出微夹钳的张合量同驱动电压的关系、夹持力同张合量的关系以及最大夹持重量。

无阀压电泵的流固耦合仿真及试验验证

无阀压电泵的流固耦合仿真及试验验证

2 . I n s t i t u t e o f Pr e c i s i o n Ma c h i n e r y, Z h e j i a n g No r ma l U n i v e r s i t y, J i n h u a 3 2 1 0 0 4 ,C h i n a )
*C0 r j r g s p 0 n 西 2 g a u t h o r,E - ma i l : g j l i u @ l u. e d u . c n
Abs t r a c t :The s t r uc t ur a l s of t wa r e AN SYS a nd t he{ l ui d s of t wa r e ANSYS CFX.we r e u s e d t o s i mul a t e t he s t r u c t u r a l — f l u i d c ou pl i n g of a v a l v e l e s s pi e z oe l e c t r i c pu mp a n d t o r e s e a r c h i t s o ut pu t pe r f o r ma nc e . Thr e e d i f f e r e nt ki n ds o f va l ve l e s s pu mp s,t he pu mp wi t h mi dd l e i nl e t ,t he pump wi t h mi d dl e ou t l e t
v e r i f i c a t i o n o n v a l v e l e s s p i e z o e l e c t r i c p u mp
Z ENG Pi n g ,LI Li — a n ,XU Fe n g ,L I U Gu o — j u n ¨ ,W EN J i a n — mi n g ( 1 . Co l l e ge o f Me c h a n i c a l S c i e n c e a n d En gi n e e r i n g,J i l i n Un i v e r s i t y,Ch a n g c h u n 1 3 0 0 2 2,Ch i n a;

双晶片两主动阀式压电泵的设计及试验

双晶片两主动阀式压电泵的设计及试验

3
3. 1
主动阀压电泵性能测试
主动阀压电泵试验测试系统 主动阀压电泵的试验测试系统首先是根据双
Actuation sequences of piezoelectric pump with two active valves
增刊 2
程光明, 等: 双晶片两主动阀式压电泵的设计及试验
317
晶片压电振子对信号类型及加载电压的要求, 其 次是根据主动阀泵控制方法的要求不同搭建的。 主动阀压电泵试验测试控制系统如图 5。信号发 生器模板在 LABVIEW 程序中通过 G 语言编写 ; D/ A 转换采用美国 NI 公司生产的 P CI 6229 数 据板卡来实现, 该板卡安装在计算机主板上, 可通 过 L abVIEW 程序控制输出多种模拟或数字电压 信号。功率放大器为 H PV 系列压电陶瓷驱动电 源, 输出电压幅值 150 V 。另有日本横河 7058 功 率放大器两台, 输出电压幅值 75 V 。
在泵腔振子电压为 75 V, 阀腔压电振子工作 在 120 V 电压下, 双向泵水时 , 两主动阀式压电泵 在两个方向上的频率 流量特性曲线如图 8。 在低频( < 30 H z) 时候, 呈现脉动工作状态, 流量不稳定。观 察工作频率在 30~ 170 H z 时, 40 H z 的流量达到最大为 180 m L/ min, 在整体上 随着频率的上升 , 流量呈下降的趋势。主要是因 为频率上升, 压电振子位移变形减小, 不能有效地 开关阀口 , 这主要与双晶片压电振子的频率响应 特性有关。同样由于进出口阀的不完全对称 , 看 到正向流量比反向流量略高。
Fig. 8 Variation of flow when the pump is working at dif ferent frequencies

半球缺阻流体无阀压电泵的实验验证

半球缺阻流体无阀压电泵的实验验证



词: 无 阀压 电泵 ; 半球缺 ; 流阻 ; 有 限 元 法
文献 标 识 码 : A d o i : 1 0 . 3 7 8 8 / OP E. 2 0 1 4 2 2 0 1 . 0 0 7 6
中图 分 类 号 : TH3 8; TN3 8 4
Ex pe r i me nt a l v e r i f i c a t i o n o n v a l v e — l e s s pi e z o e l e c t r i c pu mp wi t h h e mi s ph e r e — s e g me n t b l u f f - b o d y
Z H ANG J i a n — h u i , CA( )Bi n g — x i n , CH EN Da o — g e n , J I J i n g 。 。 。 , HU ANG J u n
( 1 . St a t e Ke y Lab o r at o r y 0厂M e c h a n i c s a n d Co n t r o l o f Me c h a n i c a l S t r u c t u r e s ,
*CD r r g 0
g a u t h o r,E - ma i l : z h a n g j h ( n u a a. e d u . c n
Ab s t r a c t :A v a l ve — l e s s pi e z o e l e c t r i c pu mp w i t h a H e mi s p he r e — s e gm e n t Bl u f f — b o dy(H SBB ) w a s d e — s i gn e d b y us i ng a p i e z o e l e c t r i c bi mo r p h a s e xc i t i n g s ou r c e . T he s t r u c t u r e a n d wor ki ng p r i nc i p l e o f t h e p i e z o e l e c t r i c p um p we r e a na l y z e d t he o r e t i c a l l y, t he n t he f i ni t e e l e me n t s of t wa r e wa s e mp l o ye d i n s i m— ul a t i n g t he f l ow f i e l d s o f t he pu m p. T he t he o r e t i c a l a n a l y s i s s h ow t h a t t he p o s i t i v e a nd ne ga t i v e f l o w r e s i s t a n c e s o f t he pu mp a r e u n e q ua l ,S O t he HS BBs c a n b e u s e d a s n o — mo % ng pa r t s i n t he pu m p. Fi — n a l l y, a s a m pl e p um p ba s e d o n t h e HS BB wa s f a b r i c a t e d a n d a s e r i e s o f H SBBs wi t h d i f f e r e n t r a d i us e s

非对称波纹腔底无阀压电泵的研究

非对称波纹腔底无阀压电泵的研究

北京工业大学工学硕士学位论文此外国际上有很多国家和地区的研究者相继做了很多有关于压电泵方面的研究。

1999年新加坡南洋理工大学的Y.H.Mu,N.P.HungandK.A.Ngoi等人研制了一种带有扩张n/收缩口的压电泵“”(图1-6)。

图1.6新加坡南洋理工大学研制的压电泵Figurel-6Valve-l∞spiczoclcctricpumpbyY.H.M1LN.P.HungandkA.Ngoi英国南安普顿大学的MichaelKoch制作了基于德国的T.Gerlach的微四方锥形流管无阀压电泵技术并采用了厚压电片的一种新型无阀压电泵“”(图1.7)。

图ITMichaelKoch无阀压电泵FigureI-7Vhlved∞spiezoclectricpumpbyMichadKoch新加坡南洋理工大学的阮南忠博士在锥形流管无阀压电泵的创新和基于MEMS技术的锥形流管无阀泵做了大量研究。

他提出了一种基于PCB电路板技术制作的无阀泵(图1-8),并分别用锥形流管无阀泵的机理和蠕动无阀泵的机理实现了这种泵,对这种泵进行了数值模拟和仿真的研究。

他还对所提出的一种脉冲带宽调制的微泵进行了数值仿真。

2002年,他又制作了基于MF.MS技术采用了一种新型阀的复合压电泵“。

埘(图卜9)。

图I-8阮南忠PCB电路板无阀泵Figure1-8Valve-1器spumpOnPCBbyNam-TmngNguyen图1-9新型阀复合压电泵Figure1-9Complexpiezoelectricpumpwithnovelvalve2001年美国国家航空宇航局(NASA)利用压电陶瓷片可以产生行波的原理来构造压电泵“”1(图卜10)。

由于环形压电陶瓷片可以形成行波构造成行波旋转型超声电机,行波型电机是通过激励压电陶瓷片使定子形成行波,从而驱动转子旋转。

在形成行波时,由于波峰波谷的存在,正好形成了多重封闭腔,因此可以利用形成的封闭腔传送液体。

压电双晶片驱动的压电微泵的研究

压电双晶片驱动的压电微泵的研究
第 2 9卷 第 3期 2007年 6月
压 电 与 声 光 PIEZ0ELECTECTRICS 8L ACOUSTOOPTICS
文 章 编 号 :1004—2474(2007)03—0302—03
维普资讯
V o1.29 N o.3 Jun.2007
的压 缩 比进 而提 高 微 泵 的性 能 ,很 多 学 者 利 用硅 自 停 止腐 蚀工 艺 制 作 厚 度 仅 10 1TI的 硅 薄 膜 作 为 泵 膜 ,但 硅泵膜 的加 工成 本 高 ,且极 易破 裂 ,从 而使 得 微泵 的加 工 费用 昂贵 同 时难 于获得 较 高 的成 品率 。
W AN G Hai-ning ,CUI D a_fu ,G ENG Zhao-xin ,CH EN Xing (Institute of Electronics,Chinese Academy of Science,Beijing 100080 China)
Abstract:A piezoelectric micropump based on M EM S technology is presented.Polydimethylsiloxane(PDM S) is utilized to form the diaphragm ,two passive check valves are formed by anisotropic etching of bulk silicon,and a piezoelectric bim orph is used as the actuator. The displacem ent of the PZT bim orph and the cham ber volum e change are analyzed, and the flow rate is m easured. W hen a 100 V ,20 H z square wave signal is applied, the piezoelectric micropump reaches its maximum flow rate,317 ̄L/min.The result shows that the piezoelectric micropump is easy to fabricate and has a good perform ance to propel liquids.

仿尾鳍压电双晶片无阀泵的模拟与试验

仿尾鳍压电双晶片无阀泵的模拟与试验

压 电 陶 瓷 片可 以产 生行 波 的 原理 构 造 了超 声 泵[ 。 6 ] 另外 , 利用 结 构 的弯 曲振 动驱 动 流体 流 动也 被各 国
学者 广 泛研究 [9, 大都 是针 对推 动气体 流 动的研 73但 -
究。
20 0 8年 , 巴西 学者Ro r .Prs gei F i a和本 研究 o e
献 E O 的研 究 , 的性 能 有较 大的提 高 。 是压 电叠 l3 泵 但
堆 需 要专 门 的预压力 施 加装置 , 结构 相对 复杂 。
本 文分 析 了巡游 速度 最快 的金枪 鱼 的尾鳍摆 动
特点 。 以压 电双 晶片作 为激励 源 , 泵的尾 鳍部分 设 将
胡 笑 奇 , 张 建 辉 , 黄 毅
( 京航 空 航 天 大 学 精 密 驱 动 研 究 所 南 摘要 南 京 ,2 0 1 ) 10 6
通 过模 仿 金 枪 鱼 的鱼 体 结 构 , 泵 振 子 的 摆 动 端 设 计 成 柔 性 小 翼 , 得 振 子 摆 动 更 接 近 于 真 实 鱼 尾 的摆 动 。 将 使
小组 同时进 行 了利用 鱼 的尾 鳍摆 动原理 进行 液体 驱 动 的研 究 。文献 E o l ] l — 1 利用双 晶 片结构 弯 曲振动 ,
使 振 子 的端 部形 成 类 似 鱼尾 的摆动 , 动 液体 形 成 驱 单 向 流动 。 了提高振 子端 部 的振幅 , 电 片被布 置 为 压 在 振 子 的摆 动 端部 , 端部 振幅 可达 0 1 . 5mm, 的流 泵 量 为 1 0mL/ n 0 mi。由于P T被 放置在端 部 , Z 振子 尾 鳍 部 分的 刚度较 大 , 与 鱼类 的柔性尾 鳍大 相径庭 。 这 虽 然端 部振 幅 提高 了 , 泵水 能力 仍然不 强 。同时 , 本
  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
叶片的端 部产 生稳定 的气 流 。2 0 0 8年 , 巴西 学 者进
对 柔性 尾长 变化 时 压差 极 值 与 振 子振 型 的对 比 , 揭
示 柔性 尾长 对泵 性 能 的影 响 规 律 , 并 对 柔性 尾 鳍 压
电梁 和等截 面梁 的振 动 的不一致 性作 进一 步分 析 。
1 摆 动 振 子 的 工作 原 理 及 结 构
考虑 到这 一点 。
值仿 真 。Hu等 通过 研究 真 实 鱼 体 的结 构 , 发现 在 振子 的端部 配置 柔性尾 鳍 可大 幅度提 高仿 尾鳍振 子 的泵水 性能 , 研 制 了压 电叠 堆 驱动 的仿 尾 鳍摆 动
比, 具有更易于微小型化、 效率高 、 流动脉动小、 无 回流 等 优 势 , 而仿 尾 鳍 振 子 端 部 的 柔 性 尾 鳍 结 构 是 高 效 泵 水 的 关
键 部 件 。首 先 , 通过 无 流量 的压 差 测 量 法 测 得 了柔 性 尾 长 在 2 ~1 8 mm 范 围 内 压 差 峰 值 随频 率 的 变 化 关 系 ; 其次, 利 用 激 光 多 普 勒 测 振 仪 测 得 了摆 动 振 子 在 水 中 的振 动 模 态 , 与 压 差 实 验 结 果 进 行 了对 比分 析 , 确 定 了 压 差 峰 值 与 振 子 振 型 的对 应 关 系 ; 最后, 通 过 对 振 子 的分 解 , 讨 论 了 柔 性 尾 鳍 与 振 子 主 体 部 分 的耦 合 关 系 , 解 释 了 最 佳 工 作 振
鱼 在水 中依 靠尾 鳍 的摆动 产生 的推力 而 向前游
动, 若 将鱼 的头 部 固定 , 尾 鳍 的摆 动 必然推 动 着尾部
行 了利用 压 电双 晶片 的弯 曲振 动驱 动液体 研 究 ] , 并 尝试将 其应 用于 医用 L E D灯 的冷 却 , 振 子端 部振
幅可达 0 .1 5 mm, 泵 的 流量 为 1 0 0 mL / ai r n 。
型 在 振 子 主 体 部 分 二 阶弯 振 附 近 波 动 的现 象 。结 果 表 明 : 摆 动 振 子 工 作 在 近 似 无 限水 域 中 , 前 3阶 弯 振 均 可 测 得 压差 ; 柔性尾长为 4 mm 和 6 mm 时 , 压 差 达 到最 大 值 5 5 mm; 不 同柔 性 尾 长 的 摆 动 振 子 取得 最 大 压 差 时 的 工 作 频
致 。胡 笑奇 等[ 1 1 - 1 2 ] 对 压 电双 晶片振 子 的末端 配置柔
性尾 鳍 , 并研究 了柔 性尾鳍长度变 化对压 电叠 堆驱动 变截 面振子 的影 响 , 发现泵 的性能 对柔性 尾鳍 的结构 较 为敏感 , 且端部振 幅 的变化规律 与等截面梁 不同 。 将 鱼类 的运动形态 映射到机械结 构上 , 则 表现为
两个 晶片 的收缩 和 伸 长形 成 压 电振 子 的 弯 曲振 动 ,
同样 可 以驱动 流体形 成单 向流 动 。具有 高速 巡游速
度 的鱼类 , 其尾 部都 有 明显 的尾 柄结 构 , 即尾 鳍和躯 干部有 明显 的结 合 部 分 , 且 相 对 于躯 干 部 尾 鳍 的 质 量和厚 度 较小 , 因此 在 做 鱼 尾 的仿 生 研 究 时 应 充分
第 3 5卷第 3 期
2 0 1 5年 6月
振动 、 测 试 与 诊 断
J o u r n a l o f Vi b r a t i o n. Me a s u r e me n t& Di a g n o s i s
Vo l | 3 5 No . 3
J u n .2 0 1 5
刚柔 结 构 仿 尾 鳍 压 电双 晶 片无 阀泵 的实 验研 究
胡 笑 奇 。 , 方雅 敏 , 张 蕊 华 , 叶 晓平 , 陈小元 , 吕永 昌
( 1 . 丽 水 学 院工 程 与设 计 学 院 丽水 , 3 2 3 0 0 0 ) ( 2 . 南 京 航 空 航 天 大 学 机 械 结 构 力 学 与 控 制 国 家 重 点 实 验 室 南 京 , 2 1 0 0 1 6 ) 摘 要 利 用 结 构 的摆 动 振 动 驱 动 流 体 单 向流 动 , 和传 统 的 利 用 结 构 的 不 对称 性形 成 泵 功 能 的无 阀 流 体 驱 动 原 理 相
率, 在无柔性尾鳍振子的二阶弯振模态频率附近波动。
关键 词 压 电双 晶 片 ; 尾鳍结构 ; 无 阀泵 ;弱耦 合
中 图分 类 号 TH3 8
ห้องสมุดไป่ตู้
泵, 所 得结论 和文 献 [ 1 0 ] 对 柔 性 水 翼 的研 究 结 果 一
引 言
1 9 9 3年 , S t e me 等口 提 出利 用 结 构 不 对称 性 形 成泵水 功 能 的流 阻 差 型无 阀泵 , 解 决 了有 阀微 泵 的
结 构的振动模态 。笔者拟在 已有研究 的基础 上 , 通过
泵 阀接触磨 损污 染 、 泵 阀跟 随性 差等 问题 , 但 由于工 作原 理 的原 因 , 该 类泵 流 动 脉 动 大 , 回流现 象 严 重 , 效率低 。利用结 构 的摆动 振动 驱动 流体能 够从 原理 上避 免 回流现象 , 且结 构 简 单 , 易 于微 小 型 化 , 早 已 被研 究者 们所关 注 。Yo o等_ 2 ] 对 不 同材料 的摆 动振 子进 行 了理论分 析 和实验 研究 。杨 兴等 利 用摆 动 驱动 的原 理 , 设 计 了低功耗 、 体 积小 的压 电风扇 。千 学著 等 利 用压 电 陶瓷 片激 发 出高 阶谐 振 模 态 , 在
周 围的流体 向着 相 反 于 鱼游 动 趋 势 的 方 向 流动 , 如
图 1 所 示 。根据 这 一 自然 现 象 , 利 用 压 电振 子 上下
Hu a n g等 _ 7 ] 对摆 动 振 子 与 流体 之 问 的 相 互 作 用 进
行 了流体 动力 学原 理 解 析 , 推 导 了驱 动 频 率 和 泵 流 量 之 间 的关 系式 , 进 行 了基 于 F L UE NT 软件 的数
相关文档
最新文档