光电检测原理与技术课程设计光学准直系统
光电检测原理与技术 课程教学大纲

光电检测原理与技术课程教学大纲一、课程的基本信息适应对象:本科,电子科学与技术课程代码:25D02127学时分配:36赋予学分:2先修课程:电路分析、模拟电子线路、数字电子线路、单片机原理、物理光学与应用光学、光电技术与器件、激光原理与技术后续课程:二、课程性质与任务本课程是面向电子科学与技术类专业学生的一门选修专业技术课,具有较强理论性和应用性。
本课程以光电测试方法和传感技术为主线,以激光测试技术为重点,较全面地介绍在光学量和非光学量的测试中所涉及的基本理论、主要测量原理、方法、仪器组成,以及主要技术特点等内容;为学生能独立构造测控系统,顺利开展相关课程设计和毕业设计提供必备知识。
三、教学目的与要求使学生通过本课程的学习,了解光电检测这一技术领域的概貌和应用前景,初步掌握构建光电检测系统所需基础知识和方法,为今后解决工程实际测试问题打下基础。
四、教学内容与安排绪论(2学时)教学内容:1、光电测试技术概述2、关于测量的基本知识说明与要求:了解光电测试技术及相关测量的基本知识。
第一章 光辐射体与光辐射探测器件(2学时)教学内容:1、辐射度学与光度学基础2、光辐射体3、光辐射探测器件说明与要求:对光辐射体和光辐射探测器件有基本的了解。
第二章 基本光学量测试技术(6学时)教学内容:1、光电系统对准与调焦技术2、焦距与顶焦距的测量3、星点检测4、分辨率测试技术5、刀口阴影法检验6、光学传递函数测试技术说明与要求:对基本光学量测试技术有一个基本的了解。
第三章 色度和光度测试技术(4学时)教学内容:1、色度学基本概念和实验定律2、CIE色度计算方法3、色度的测试方法和应用4、像面照度均匀性测试技术5、光学系统透过率测试技术6、光学系统杂光系数的测量说明与要求:了解色度和光度测试技术的基本内容与有关工作原理。
第四章 激光测试技术(6学时)教学内容:1、激光概述2、激光准直技术及应用3、激光多普勒测速技术4、激光测距技术说明与要求:了解激光测试技术的基本内容与有关工作原理。
光电检测课程设计

光电检测课程设计一、课程目标知识目标:1. 让学生掌握光电检测的基本原理,理解光电效应、光电器件的工作原理及其在检测技术中的应用。
2. 使学生了解不同类型的光电传感器及其特性,能够分析其在实际工程中的应用场景。
3. 引导学生掌握光电检测系统的构建方法,学会进行简单的光电检测系统设计和分析。
技能目标:1. 培养学生运用光电传感器进行数据采集和处理的能力,提高实际操作技能。
2. 培养学生运用所学知识解决实际光电检测问题的能力,提高创新意识和实践能力。
3. 提高学生的团队协作能力,学会在团队中分工合作,共同完成项目任务。
情感态度价值观目标:1. 培养学生对光电检测技术的兴趣,激发学习热情,形成主动学习的态度。
2. 培养学生具有严谨的科学态度和良好的实验习惯,注重实验数据的真实性和准确性。
3. 引导学生关注光电检测技术在生产、生活和社会发展中的应用,认识光电检测技术对社会进步的重要性。
课程性质:本课程为高二年级物理选修课程,结合物理知识和实践操作,注重培养学生的实际应用能力。
学生特点:高二年级学生具有一定的物理基础,思维活跃,好奇心强,具备一定的自主学习能力。
教学要求:结合学生特点和课程性质,注重理论与实践相结合,通过项目式教学,提高学生的实际操作能力和解决问题的能力。
将课程目标分解为具体的学习成果,便于教学设计和评估。
二、教学内容1. 光电检测基本原理:光电效应、光电器件原理、光电传感器工作原理。
教材章节:第二章光电检测技术基础2. 光电传感器类型及特性:光敏二极管、光敏三极管、光电池、光电管、光电倍增管等。
教材章节:第三章光电器件及其特性3. 光电检测系统构建:系统设计原理、传感器选型、信号处理与分析、应用案例。
教材章节:第四章光电检测系统设计与应用4. 实践操作:光电传感器数据采集、处理与分析,实际应用场景下的检测项目实施。
教材章节:第五章实践操作与案例分析5. 创新设计:结合所学知识,开展小组项目,设计并实现一个简单的光电检测系统。
光电系统课程设计

光电系统课程设计一、教学目标本章节的教学目标是让学生掌握光电系统的基本原理和应用,培养学生对光电技术的兴趣和好奇心,提高学生的实验操作能力和科学思维能力。
具体来说,知识目标包括了解光电系统的基本组成、工作原理和应用领域;技能目标包括能够使用光电设备进行实验操作,分析实验数据并得出结论;情感态度价值观目标包括培养学生对科学探究的热爱,增强学生对光电技术的自信心和责任感。
二、教学内容本章节的教学内容主要包括光电系统的基本原理、光电设备的组成和操作、光电技术的应用等。
具体来说,教学大纲如下:1.光电系统的基本原理:介绍光电效应、光电器件的工作原理等;2.光电设备的组成和操作:介绍光电设备的结构、功能和使用方法;3.光电技术的应用:介绍光电技术在各个领域的应用案例。
三、教学方法为了实现教学目标,本章节将采用多种教学方法相结合的方式进行教学。
包括讲授法、实验法、讨论法等。
具体来说:1.讲授法:通过讲解光电系统的基本原理和应用,帮助学生建立理论知识框架;2.实验法:通过实验操作和数据分析,培养学生对光电技术的实践能力和科学思维;3.讨论法:通过小组讨论和问题解答,激发学生的学习兴趣和主动性。
四、教学资源为了支持教学内容和教学方法的实施,本章节将准备以下教学资源:1.教材:选用光电系统相关教材,提供理论知识的学习材料;2.实验设备:准备光电实验设备,供学生进行实验操作;3.多媒体资料:提供光电系统相关视频、图片等多媒体资料,丰富学生的学习体验。
五、教学评估本章节的教学评估将采用多种方式进行,以全面、客观地评估学生的学习成果。
具体包括以下几个方面:1.平时表现:评估学生在课堂上的参与度、提问回答等情况,以考察学生的学习态度和积极性;2.作业:布置相关的作业,评估学生的理解和掌握程度;3.实验报告:评估学生在实验过程中的操作技能和数据分析能力;4.考试:设置期末考试,全面考察学生对光电系统知识的掌握和应用能力。
六、教学安排本章节的教学安排将根据学生的作息时间和兴趣爱好进行合理规划。
光电检测技术课程设计

光电检测技术 课程设计一、课程目标知识目标:1. 让学生掌握光电检测技术的基本原理,理解光电效应、光电器件的工作机制及其在检测中的应用;2. 使学生了解不同类型的光电传感器及其特点,能根据实际需求选择合适的光电传感器;3. 引导学生掌握光电检测系统中的信号处理方法,了解相关检测电路的设计与实现。
技能目标:1. 培养学生运用光电检测技术解决实际问题的能力,能进行简单的光电检测系统设计;2. 提高学生动手实践能力,能正确操作光电传感器及相关检测设备,进行数据采集和处理;3. 培养学生团队协作和沟通能力,能在小组合作中共同完成光电检测系统的设计与调试。
情感态度价值观目标:1. 培养学生对光电检测技术及其应用的兴趣,激发创新意识,提高学习积极性;2. 增强学生的环保意识,了解光电检测技术在环保、节能等领域的重要作用;3. 引导学生树立正确的价值观,认识到光电检测技术在国家经济发展和国防建设中的地位和作用。
课程性质:本课程为高二年级物理选修课程,结合物理知识和实际应用,注重理论与实践相结合。
学生特点:高二学生在物理知识方面具备一定基础,具有较强的逻辑思维能力和动手实践能力,对新技术和新设备充满好奇心。
教学要求:结合学生特点,注重启发式教学,提高学生的主动学习能力;注重实践操作,培养学生的实际操作能力和问题解决能力。
通过本课程的学习,使学生能够将光电检测技术应用于实际生活和工作中,为我国光电产业的发展做出贡献。
二、教学内容1. 光电检测技术基本原理- 光电效应(光电导效应、光伏效应、光生伏特效应)- 光电器件(光敏二极管、光敏三极管、光电管、光电耦合器)2. 光电传感器及其应用- 不同类型的光电传感器(环境光传感器、位置传感器、转速传感器等)- 光电传感器的选型与应用3. 光电检测系统设计- 信号处理方法(模拟信号处理、数字信号处理)- 检测电路设计与实现(放大电路、滤波电路、信号转换电路等)4. 实践操作与案例分析- 光电传感器操作与调试- 光电检测系统设计实例分析- 小组项目:设计并实现一个简易的光电检测系统教学大纲安排:第一周:光电检测技术基本原理学习,了解光电器件的工作机制;第二周:学习光电传感器及其应用,进行光电传感器选型分析;第三周:学习光电检测系统设计,掌握信号处理方法和检测电路设计;第四周:实践操作与案例分析,小组项目设计与实施;第五周:项目展示与评价,总结课程学习成果。
光电检测技术课程设计2则

光电检测技术课程设计2则以下是网友分享的关于光电检测技术课程设计的资料2篇,希望对您有所帮助,就爱阅读感谢您的支持。
光电检测技术课程设计(1)目录应用物理学专业课程设计(论文)管理细则........................................ 1 课程设计报告模版................................................................................. 5 应用物理学专业课程设计报告撰写要求............................................. 5 应用物理学专业课程设计报告撰写格式............................................. 7 应用物理学专业课程设计(论文)成绩评定标准 (12)应用物理学专业课程设计(论文)管理细则课程设计是重要的实践教学环节。
它是根据教学计划的要求,在教师指导下对学生进行的阶段性基础或专业技能的训练,是对前期理论与实践教学效果的检验,是对学生综合分析能力与独立工作能力的培养过程。
为做好课程设计教学工作,特制定本实施细则。
一、课程设计的目的意义1、课程设计的目的是进一步巩固和加深学生所学的专业理论知识,培养学生设计、计算、绘图、计算机应用、文献查阅、实验研究、报告撰写等基本技能。
2、培养学生独立分析和解决工程实际问题的能力。
3、培养学生的团队协作精神、创新意识、严肃认真的治学态度和严谨求实的工作作风。
二、组织管理及主要工作职责课程设计由教研室负责具体实施。
1、教研室(专业负责人)工作职责(1)根据本专业培养目标制定相应的课程设计大纲。
(2)负责审核课程设计题目、课程设计任务书等。
(3)负责落实课程设计任务,安排指导教师(包括选聘校内外指导教师)。
(4)负责对本教研室课程设计质量的监控。
(5)负责做好课程设计资料的归档工作。
光电检测技术与应用 第五章 光电直接探测系统

22
激光波形为:
I t Ae 2t2
第五章 光电直接探测系统
直接检测系统的基本工作原理 直接检测系统的基本特性 直接检测系统的距离方程 光电直接检测系统举例
直接探测(非相干探测)系统 利用光源出射光束的强度去携带信息, 光电探测器直接把接收到的光强度变化 转换为电信号变化,最后用解调电路检 出所携带的信息。 光外差探测(相干探测)系统 利用光波的振幅、频率、相位来携带信 息,而不是利用光强度,所以只有相干 光可被用来携带信息,检出信息时需用 光波相干的原理。
20
半视场角为: W d
2f
视场角立体角Ω为:
Ad f2
增大视场角Ω方法:增大探测器面积或 减小光学系统的焦距。
21
4、系统的通频带宽度
1) 等效矩形带宽 I(ω)为信号的频谱,则信号的能量为:
E 1
2
I d
2
等效距形带宽Δω定义为:
E I 0 2 I(ωo)=I(0)为最大频谱分量
G2很大时,热噪声可以忽略,光电倍增管可接 近散粒噪声限。
19
2)光导探测器直接探测系统的信噪比 主要噪声为复合噪声,它和偏置电流成比例, 因而它的灵敏度与具体使用条件有关。 光导探测器的极限灵敏度比光伏器件及光电 倍增管的极限灵敏度要低,所需理想的最小 可探测功率大。 3、直接探测系统的视扬角 被测物在无穷远处,且物方与像方两侧的介 质相同。
[2
e2
hv
( PS
Pb )G 2
2dI d G 2
4kt RL
]fR
L
15
信噪比为:
SNR
p
Po Pno
iN2S
e h 2 PS2
iN2B iN2D iN2T
光电检测技术与系统第二版课程设计

光电检测技术与系统第二版课程设计概述本课程设计旨在通过实践项目,深入了解光电检测技术和系统,并应用所学知识解决实际问题。
本设计将涵盖以下主题:•光电检测的概念和原理•光电检测中常用的器件和传感器•光电检测信号的处理和分析•光电检测系统的设计和实现本设计将分为两个部分:•第一部分:理论研究和实验演示。
•第二部分:实际项目研究和应用案例。
第一部分第一部分分为两个模块:第一模块(理论研究)本模块的目标是深入了解光电检测技术和系统的理论。
学生将学习以下重点内容:•光电检测的基本概念和原理•光电检测中常见的器件和传感器•光电检测信号的处理和分析方法•光电检测系统的设计和实现方法第二模块(实验演示)本模块的目标是让学生通过实验演示深入了解光电检测技术和系统的使用。
学生将学习以下内容:•如何选择和使用适当的光电检测传感器•光电检测信号的处理和分析方法•光电检测系统的设计和实现方法学生将运用已学习的理论知识和实验演示,制作一份光电检测技术的课程报告,该报告的目标是让学生在光电检测技术和系统方面的理解更加深刻。
第二部分第二部分分为两个模块:第一模块(实际项目研究)本模块的目标是让学生通过研究具体的实际项目,深入了解光电检测技术和系统在实际应用中的使用。
学生将研究以下内容:•光电检测技术在现实生活中的应用案例•光电检测技术在现实生活中面临的挑战和问题•光电检测技术的未来发展趋势第二模块(应用案例)本模块的目标是让学生通过应用案例研究,了解光电检测技术和系统在实际情况中的应用。
学生将学习以下内容:•光电检测技术在实际应用中的优势和不足•光电检测技术在不同行业中的应用案例•光电检测系统的设计和实现方法学生将运用已经学到的知识和调查结果,制作一份光电检测技术的应用案例报告,该报告的目标是让学生对光电检测技术在实际应用中有更为深刻的了解。
总结通过本课程设计,学生将学到光电检测技术和系统的基本概念和原理,掌握光电检测中常见的器件和传感器,学会光电检测信号的处理和分析方法,了解光电检测系统的设计和实现方法。
光电测量系统课程设计

光电测量系统课程设计一、教学目标本节课的教学目标是让学生掌握光电测量系统的基本原理和应用方法。
知识目标包括了解光电测量系统的工作原理、掌握光电测量系统的组成及特点、了解光电测量技术在工程中的应用。
技能目标包括能够运用光电测量系统进行基本测量操作、能够分析测量数据并得出合理结论。
情感态度价值观目标包括培养学生对光电测量技术的兴趣和好奇心、培养学生勇于探索和实践的精神。
二、教学内容本节课的教学内容主要包括光电测量系统的基本原理、组成及特点、应用方法。
首先,介绍光电测量系统的工作原理,使学生了解光电测量系统的工作机制。
其次,讲解光电测量系统的组成及特点,使学生掌握光电测量系统的主要组成部分及其功能。
然后,通过具体案例分析,使学生了解光电测量技术在工程中的应用。
最后,通过实际操作,让学生学会使用光电测量系统进行基本测量操作。
三、教学方法为了实现本节课的教学目标,将采用多种教学方法相结合的方式进行教学。
首先,采用讲授法,向学生讲解光电测量系统的基本原理、组成及特点。
其次,采用讨论法,引导学生探讨光电测量技术在工程中的应用。
然后,采用案例分析法,让学生通过分析具体案例,深入了解光电测量技术在实际工程中的应用。
最后,采用实验法,让学生亲自动手操作光电测量系统,巩固所学知识。
四、教学资源为了支持本节课的教学内容和教学方法的实施,将选择和准备以下教学资源。
教材:《光电测量技术与应用》;参考书:《现代光电测量技术》;多媒体资料:光电测量系统的工作原理及应用案例;实验设备:光电测量系统实验装置。
这些教学资源将有助于丰富学生的学习体验,提高学生的学习效果。
五、教学评估为了全面、客观地评估学生的学习成果,将采用多种评估方式相结合的方法。
平时表现方面,将观察学生在课堂上的参与程度、提问回答等情况,并进行记录。
作业方面,将布置与课堂内容相关的练习题,要求学生在规定时间内完成,并根据作业质量进行评分。
考试方面,将安排一次课程结束后的闭卷考试,试题将涵盖本节课的全部内容。
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光电检测原理与技术课程设计光电准直系统一、引言准直系统是利用光学自准原理,利用小角度测量或可转化位小角度测量的一种常用技术测试仪器。
所谓光电准直系统就是光学准直系统与光电技术结合的产物。
它具有测量精度高的优点,在精密,超精密定位方面有重要的作用。
小角度测量有多种方法,本实验主要采用平面反射镜的光学杠杆原理,在探测光斑移动时使用CCD来经行图像的采集。
关键字:光学杠杆光学准直系统望远镜系统照明系统 CCD二、基本原理:(一)光学准直系统的基本原理这部分系统,通常是由光源,位于物镜焦平面上的分划板和物镜三部分组成,望远镜实际上是准直装置的你应用,它是将入射的平行光在其焦平面上,然后再用目镜直接观察光斑的变化。
图2.1 准直系统原理图2.2 望远镜系统工作原理一个准直管和一个望远镜组合,两个装置的光轴在一条直线上,我们将看到从发光点F发出的光线通过准直管的物镜变为平行于主光轴的光束,进入望远镜的物镜之后在汇聚到F点;同样发自焦平面上另一点F1的光线射出准直管后变成方向平行与光轴的光束,它在进入望远镜后汇聚于其焦平面的F1点。
因此,线位移之比等于两系统焦距之比。
由于平行光束成像的位置位移的由他的方向所确定,而不受平行光束在进入透镜前所走过的距离的影响,所以与发光点F及F1相关的像F及F的位置不依赖于准直管和望远镜之间的距离。
在准直管的前面放置一个全反射镜,准直管发出的平行光束再由它本身来接受,就相当与集准直管与望远镜一体,这就是准直的原理。
将一个刻度线的图像以平行光束(准直光)的形式投射到反射镜上,该反射镜将其光束反射回准直系统。
如果反射镜与光轴垂直则光束将返回其自身。
如果反射镜倾斜一个角度α,则其反射光将于2α反射回来。
根据反射光的倾斜程度,自准图像将会以更大的角度发生位移。
通过测量自准直图像在X轴Y轴上的唯一可以测量得反射镜的角度变化。
自准直已为平行光。
其测量结果不受距离的影响。
图2.3 准直管简易图2.1.2 高斯系统为了使目镜不受光源遮挡,高斯系统的自准直仪光路在其光轴上加有析光镜。
测微平行光管具有类似的光学系统,只是用立方棱镜代替了析光镜,立方棱镜由两个直角镜胶合而成,其中一棱镜的胶合面镀有析光膜。
这种光学系统有一个盲区,当这自准直像与原中心十字丝靠得很近或有重叠部分时便无法使双刻线瞄准,因而也就测不出相应的反射镜偏转角。
图2.4 高斯自准(1)l、光源2、聚光镜3、分光镜4、分划板5、准直镜6、反射镜7、目镜组8、目镜焦平面下图是高斯系统的另一种光路安排,其特点是把析光镜(立方棱镜)放在物镜组的焦平面之前,这样由于其分光作用物镜就有两个共轭的焦平面。
一个焦平面放置十字线分划板l并被光源照明,另一焦平面放置双刻线分划板5。
这种安排能使自准直象与原分划板分开(在视场中不再直接看到原分划板1),从而避免了盲区的存在.图2.5 高斯自准(1)l、分划板2、分光镜3、准直物镜4、反射镜5、双线分划板6、螺旋机构7、目镜组系统的物镜由正、负二镜组组成,这样可以使其焦距大于镜筒长度,达到提高仪器精度,又不增加仪器体积的目的。
2.1.3 照明系统在照明系统中,一般分为用透射光照明透明标本的照明系统、非透明物体的照明系统、用暗视场观察微小质点的照明方法,在自准直系统中,一般都是采用透射光照明透明标本的照明系统。
透射光照明透明标本的照明系统一般分为如下两种照明系统,临界照明这是把光源通过照明系统或聚光镜成像于物面上的照明方法,如图所示,图2.6 临界照明此时物镜成像光束的孔径角被聚光镜的像方孔径所决定,为了使物镜的数值孔径得到充分利用,聚光镜应具有与物镜相同的数值孔径。
另外,为了使聚光镜的像方孔径角能与不同数值孔径的物镜相匹配,需在聚光镜的物方焦平面上或附近设置可变光阑,以改变射入物镜的成像光束孔径角,此光阑是照明系统的孔径光阑,也是入射光瞳。
此照明的缺点是当光源的亮度不均匀或呈现明显的灯丝结构时,将会反映在物面上而影响观察效果。
柯勒照明图2.7 科勒照明系统柯勒照明是一种把光源像成在物镜入射光瞳面上的照明方法,它没有临照明的那种缺点。
光源出的光不是直接射入聚光镜,而是经过一个前置透镜L成像于聚光镜前面的可变光阑上,聚光镜再把此光源像再次成像在物镜的出射光瞳上。
此外,在前置透镜后面紧靠透镜处设置另一个可变光阑,他被照明,具有均匀的亮度。
此光阑被聚光镜成像于物平面,也得到均匀照明。
调节后一个光阑,可以使之与不同的数值孔径的物镜想匹配:调节前一个光阑,可以改变物平面上的照明范围,使之与不同倍率物镜的视场相适应,并使不在视场范围内的区域收不到光的照明,以减少有害的散光。
(二)CCD的基本结构和工作原理电荷耦合器件的突出特点是以电荷作为信号,而不同于其他大多数器件是以电流或电压为信号。
CCD的基本功能是电荷的存储和电荷的转移。
因此,CCD工作过程的主要问题是信号电荷的产生、存储、传输和检测。
CCD有两种基本类型:一是电荷包存储在半导体与绝缘体之间的界面,并沿界面传输,这类器件称为表面沟道CCD(简称SCCD);二是电荷包存储在离半导体表面一定深度的体内,并在半导体体内沿一定方向传输,这类器件称为体沟道或埋沟道器件(简称BCCD)。
下面以SCCD为主讨论CCD的基本工作原理。
2.2.1 CCD的基本结构构成CCD的基本单元是MOS(金属—氧化物—半导体)结构。
如图2-7(a)所示,它是在p型Si衬底表面上用氧化的办法生成1层厚度约为1000Å~1500Å的SiO2,再在SiO2表面蒸镀一金属层(多晶硅),在衬底和金属电极间加上1个偏置电压,就构成1个MOS电容器。
当有1束光线投射到MOS电容器上时,光子穿过透明电极及氧化层,进入p型Si衬底,衬底中处于价带的电子将吸收光子的能量而跃入导带。
光子进入衬底时产生的电子跃迁形成电子-空穴对,电子-空穴对在外加电场的作用下,分别向电极的两端移动,这就是信号电荷。
这些信号电荷存储在由电极组成的“势阱”中。
如图1所示。
2.2.2 电荷存储如图 2 (a)所示,在栅极G施加正偏压UG之前,p型半导体中空穴(多数载流子)的分布是均匀的。
当栅极施加正偏压UG (此时UG小于p型半导体的阈值电压Uth)后,空穴被排斥,产生耗尽区,如图2 (b)所示。
偏压继续增加,耗尽区将进一步向半导体体内延伸。
当UG >Uth时,半导体与绝缘体界面上的电势(常称为表面势,用ΦS表示)变得如此之高,以致于将半导体体内的电子(少数载流子)吸引到表面,形成一层极薄的(约10-2µm)电荷浓度很高的反型层,如图2 (c)所示。
反型层电荷的存在表明了MOS结构存储电荷的功能。
然而,当栅极电压由零突变到高于阈值电压时,轻掺杂半导体中的少数载流子很少,不能立即建立反型层。
在不存在反型层的情况下,耗尽区将进一步向体内延伸,而且,栅极和衬底之间的绝大部分电压降落在耗尽区上。
如果随后可以获得少数载流子,那么耗尽区将收缩,表面势下降,氧化层上的电压增加。
当提供足够的少数载流子时,表面势可降低到半导体材料费密能级ΦF的两倍。
例如,对于掺杂为1015cm-3的p型半导体,费密能级为0.3V。
耗尽区收缩到最小时,表面势ΦS下降到最低值0.6V,其余电压降在氧化层上。
表面势ΦS 随反型层电荷浓度QINV、栅极电压UG的变化如图3和图4所示。
图3中的曲线表示的是在掺杂为1021cm-3的情况下,对于氧化层的不同厚度在不存在反型层电荷时,表面势ΦS 与栅极电压UG的关系曲线。
图4为栅极电压不变的情况下,表面势ΦS 与反型层电荷浓度QINV的关系曲线。
(a) (b)图3.1 CCD的基本单元图3.2 单个CCD栅极电压变化对耗尽区的影响(a)栅极电压为零;(b)栅极电压小于阈值电压;(c)栅极电压大于阈值电压曲线的直线性好,说明表面势ΦS 与反型层电荷浓度Q INV 有着良好的反比例线性关系。
这种线性关系很容易用半导体物理中的“势阱”概念描述。
电子所以被加有栅极电压U G 的MOS 结构吸引到氧化层与半导体的交界面处,是因为那里的势能最低。
在没有反型层电荷时,势阱的“深度”与栅极电压U G 的关系恰如ΦS 与U G 的线性关系,如图5(a)空势阱的情况。
图5(b)为反型层电荷填充1/3势阱时,表面势收缩,表面势ΦS 与反型层电荷浓度Q INV 间的关系如图2-10所示。
当反型层电荷足够多,使势阱被填满时,ΦS 降到2ΦF 。
此时,表面势不再束缚多余的电子,电子将产生“溢出”现象。
这样,表面势可作为势阱深度的量度,而表面势又与栅极电压U G 、氧化层的厚度d OX 有关,即与MOS 电容容量C OX 与U G 的乘积有关。
势阱的横截面积取决于栅极电极的面积A 。
MOS 电容存储信号电荷的容量A U C Q G OX ⋅= (1)2.2.3 电荷的耦合假定开始时有一些电荷存储在偏压为10V 的第一个电极下面的深势阱里,其他电极均加有大于阈值的较低电压(例如2V )。
设图6(a)为零时刻(初始时刻)。
图3.3 表面势与栅极电压U G 的关系(p型硅杂质浓度N A =1021cm -3,反型层电荷Q INV =0) 图3.4 表面势ΦS 与反型层电荷密度Q INV 的关系图3.5 势阱(a)空势阱;(b)填充1/3的势阱;(c)全满势阱经过t时刻后,各电极上的电压变为如图6(b)所示,第一个电极仍保持为10V,1第二个电极上的电压由2V变到10V,因为这两个电极靠得很紧(间隔只有几微米),它们各自的对应势阱将合并在一起,原来在第一个电极下的电荷变为这两个电极下势阱所共有,如图6(b)和图6(c)。
若此后电极上的电压变为如图6(d)所示,第一个电极电压由10V变为2V,第二个电极电压仍为10V,则共有的电荷转移到第二个电极下面的势阱中,如图6(e)。
由此可见,深势阱及电荷包向右移动了一个位置。
通过将一定规则变化的电压加到CCD各电极上,电极下的电荷包就能沿半导体表面按一定方向移动。
通常把CCD电极分为几组,每一组称为一相,并施加同样的时钟脉冲。
CCD的内部结构决定了使其正常工作所需要的相数。
图所示的结构需要三相时钟脉冲,其波形图如图6(f)所示,这样的CCD称为三相CCD。
三相CCD的电荷耦合(传输)方式必须在三相交叠脉冲的作用下,才能以一定的方向逐单元地转移。
电极结构的一个关键问题是CCD电极间隙。
如果电极间隙比较大,两相邻电极间的势阱将被势垒隔开,不能合并,电荷也不能从一个电极向另一个电极完全转移,CCD便不能在外部脉冲作用下正常工作。
能够产生完全耦合条件的最大间隙一般由具体电极结构、表面态密度等因素决定。
理论计算和实验证实,为了不使电极间隙下方界面处出现阻碍电荷转移的势垒,间隙的长度应小于3µm。