洁净室空气处理过程图
合集下载
各类洁净室系统图文详解
各类洁净室系统图文详解01洁净系统控制>>>洁净度-尘埃粒子数>>>压差相邻洁净区房间之间的压差应为10-15帕斯卡（指导值）。
--EUcGMP（欧盟）洁净区与非洁净区之间、不同等级洁净区之间的压差应不低于10帕斯卡，相同洁净度等级不同功能的操作间之间应保持适当的压差梯度，以防止污染和交叉污染。
--新版GMP 相邻洁净区房间之间的压差应为12.5帕斯卡。
--FDA>>>气流组织及自净应证明各种气流方式无导致污染的风险，例如，应采取适当的措施确保气流不会将操作或设备以及操作人员散发的粒子吹向洁净要求高的区域。
生产操作全部结束，操作人员撤离生现场并经15～20分钟（指导值）自净后，洁净区的应达到“静态”标准。
>>>洁净室围护结构02墙板>>>密胺树脂面层的墙体板材面层不会生锈，抗冲击性能优越。
加工性能好,可任意切割开孔、切割、锯。
表面平整度好。
>>>彩钢板面层的墙体板材与特有龙骨系统相匹配。
可以完全平整地与各种组件相衔接。
两种板材在同一系统中可以互换。
>>>多种墙板选择>>>二次排版设计，全部工厂制作，无现场切割，手工制作>>>机制岩棉板>>>手工岩棉板1.手工岩棉板，四周采用镀锌板冷拉型框架或塑钢框。
2.两面可采用彩涂板、镀锌、不锈钢等净化特定材质。
3.芯材可采用无机质(玻镁板、石膏板)、岩棉、硅酸铝棉、玻镁棉，珍珠棉。
4.产品具有表面美观、隔音、绝热、保温、抗震，防火性能符合国家标准。
>>>玻镁岩棉板1.防火，阻燃。
按GB25970-2010标准达到A级不燃板材。
2.防水、防潮。
在水中浸泡48小时以上，板材不变形，无变化。
3.防腐、耐酸碱。
保证建材装饰的长久性。
4.隔音、隔热。
隔热性能极佳，有极强的隔音效果。
空气洁净技术 第三章 空气洁净设备及其应用
3、可能产生有害气体或微生物的洁净室，高
效过滤器应靠近洁净室，阻力效率接近的高效过
滤器应安装在同一洁净区内。
3.1.6 空气过滤器的选用
4、根据洁净场所
的实际参数和要求，综
合经济效益、实用等因
P T N1 103 Qt
T-过滤器使用寿命（d）； P-过滤器的容尘量（g）； N1-过滤器前空气的含尘浓度（mg/m3）；
以上方法均用于高效过滤器的效率检测。
3.1.4典型空气过滤器结构原理
3.1.5 几种常用的过滤器简介
• ZJK—1型自 动卷挠式人 字形粗效空 气过滤器
图3-4 ZJK—1空气过滤器
3.1.5 几种常用的过滤器简介
• YB玻璃 纤维粗 效过滤 器
图3-5 YB型玻璃纤维过滤器
3.1.5 几种常用的过滤器简介
（2）按使用目的不同分类
• 5）制造设备内用过滤器（非标准型)
–通常采用HEPA、 ULPA或HEPA+化学过滤器或
ULPA+化学过滤器等。
• 6）高压配管用空气过滤器
（3）按过滤器材料不同分类
• 滤纸过滤器
– 洁净技术中使用最为广泛的一种过滤器。
• 纤维层过滤器
• 泡沫材料过滤器
– 应用较少。
• GK-GW高效过滤器
• 主要用于超净化机箱 等要求高温空气净化
的设备和系统，最高
耐温达300℃。
图3-12 GK-GW高效过滤器
过滤产品实例
图3-13 GKLW高效过滤器
图3-14 GKWL无隔板高效过滤器
3.1.6 空气过滤器的选用
1、一般情况下，粗效过滤器可以满足一般空 调房间的净化要求 ； 粗效和中效过滤器联合使用可以满足洁净室
效过滤器应靠近洁净室，阻力效率接近的高效过
滤器应安装在同一洁净区内。
3.1.6 空气过滤器的选用
4、根据洁净场所
的实际参数和要求，综
合经济效益、实用等因
P T N1 103 Qt
T-过滤器使用寿命（d）； P-过滤器的容尘量（g）； N1-过滤器前空气的含尘浓度（mg/m3）；
以上方法均用于高效过滤器的效率检测。
3.1.4典型空气过滤器结构原理
3.1.5 几种常用的过滤器简介
• ZJK—1型自 动卷挠式人 字形粗效空 气过滤器
图3-4 ZJK—1空气过滤器
3.1.5 几种常用的过滤器简介
• YB玻璃 纤维粗 效过滤 器
图3-5 YB型玻璃纤维过滤器
3.1.5 几种常用的过滤器简介
（2）按使用目的不同分类
• 5）制造设备内用过滤器（非标准型)
–通常采用HEPA、 ULPA或HEPA+化学过滤器或
ULPA+化学过滤器等。
• 6）高压配管用空气过滤器
（3）按过滤器材料不同分类
• 滤纸过滤器
– 洁净技术中使用最为广泛的一种过滤器。
• 纤维层过滤器
• 泡沫材料过滤器
– 应用较少。
• GK-GW高效过滤器
• 主要用于超净化机箱 等要求高温空气净化
的设备和系统，最高
耐温达300℃。
图3-12 GK-GW高效过滤器
过滤产品实例
图3-13 GKLW高效过滤器
图3-14 GKWL无隔板高效过滤器
3.1.6 空气过滤器的选用
1、一般情况下，粗效过滤器可以满足一般空 调房间的净化要求 ； 粗效和中效过滤器联合使用可以满足洁净室
典型空气处理系统图（净化）
压LNW粗效热予级一热再效中湿加机风L新L排L高效S表冷冷表二级TPJ1L2再t211ti1t予ditdWLNsSW夏季L冬季12SWs1WdNLSNL排 洁净室空调机组 全新风空气处理方案示意图及 图 (AHU)i-d冷量,热量,加湿量计算夏季:冷量Q=L新xxkW1i+i2新Lt再xxCx=再热量Q再(kW(冬季:予热量Q予新LtxxCx=kW(予加热量QR新LtxxCx=kW(1新Lxxd1000kg/h(加湿量W=L新新风量式中:C空气比热空气密度1.2 kg/m((m/hi1一级表冷焓差kj/kg(2i二级表冷焓差kj/kg(d含湿量差g/kg(1加热温差tC()t予予热温差再t再热温差C()C())(1.01 kj/kg)))))3))))3)示意图t送风温差C()(AHU)i-d 洁净室空调机组 一次回风空气处理方案示意图及 图 TPJNW粗效热予冷表热再效中湿加机风L新L排压L送L回L高效S1t予CdiC2tdWLNsSWt1再t(AHU) 洁净室空调机组 一,二次回风空气处理方案示意图及 图 i-dNJPTS高效L回L送L压排L新L风机加湿中效再热表冷予热效粗W回L122WSsNLWdt2(C)idC予t121C1C1t(RCU)(MAU)i-d 洁净室新风机组 加循环机组 方案的示意图和 图L新L回L送回LL送WTPJNL排压L高效高效L压NJPT排L冷表一级予热效粗级二表冷S风机加湿中效再热tdt12LNit2(C)SWsWd予t1L11i123Lm/h()循环机组送风量)(C降温温差t2循环机组送L送送风量)(m/h3m/h()一次回风量一回L3示意图冷量,热量,加湿量计算夏季:冷量Q=L新xxkWi(L新新风量式中:C空气比热空气密度1.2 kg/m((m/hi表冷焓差kj/kg(d含湿量差g/kg(1加热温差tC()t予予热温差C())(1.01 kj/kg
洁净室新风系统工作原理
洁净室新风系统工作原理一、引言洁净室是一种具有特殊空气洁净度要求的工作环境，它在许多行业中都起着重要的作用，如医药、电子、食品等。
而洁净室的工作原理主要依赖于新风系统的运作。
本文将详细介绍洁净室新风系统的工作原理。
二、洁净室新风系统的组成洁净室新风系统主要由送风机组、初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器、风管系统、调节阀和排风系统等组成。
其中，过滤器是洁净室新风系统的核心部件，负责过滤空气中的颗粒物和微生物，确保洁净室内的空气质量。
三、工作原理1. 空气净化洁净室新风系统首先将室外空气经过初效过滤器进行过滤，去除大颗粒物和灰尘等杂质。
然后，空气经过中效过滤器和高效过滤器进一步净化，去除微小颗粒物和微生物。
最后，净化后的空气通过风管系统送入洁净室内，保证室内空气的洁净度。
2. 温湿度调节洁净室新风系统还需对空气进行温湿度调节，以满足洁净室内的工作环境要求。
系统通过送风机组将室外空气吸入，并经过空气处理设备进行加热或降温。
同时，系统还通过湿帘等装置进行加湿或除湿处理，确保室内空气的温湿度达到要求。
3. 风速调节洁净室新风系统需要根据洁净室的使用情况和要求，调节送风风速。
通过调节送风机组的转速、风管系统的阻力以及调节阀的开度等方式，控制送入洁净室的空气流量和风速。
这样可以确保洁净室内的空气流动均匀，并达到所需的风速要求。
4. 负压控制洁净室新风系统还需要控制洁净室与其周围环境之间的压差，保持洁净室的负压状态。
通过排风系统将洁净室内的空气排出，使室内的空气压力低于周围环境，防止外界空气污染物进入洁净室。
四、总结洁净室新风系统通过空气净化、温湿度调节、风速调节和负压控制等工作原理，确保洁净室内的空气质量达到要求。
这些工作原理的协同作用使得洁净室能够提供一个洁净、稳定、舒适的工作环境，满足各行业对洁净度要求越来越高的需求。
洁净室新风系统的工作原理的理解和应用对于洁净室的设计、建设和运营都具有重要意义。
洁净室系统详解--洁净室各主要系统图文讲解-KLCFILTER
相邻洁净匙房间之间的压差应为12.5帕斯卡
-------FDA
洁净系统控制---气流组织及自净
It should be demonstrated that air-flow patterns do not present a contamination risk, e.g. care should be taken to ensure that air flows do not distribute particles from a particle-generating person, operation or machine to a zone of higher product risk. The particulate conditions given in the table for the “at rest” state should be achieved after a short “clean up” period of 15-20 minutes (guidance value) in an unmanned state after completion of operations. 应证明各种气流斱式无导致污染的风险，例如，应采取适当的措斲 确保气流丌会将操作或设备以及操作人员散发的粒子吹向洁净要求 高的匙域。生产操作全部结束，操作人员撤离生现场并经15～20分 钟（挃导值）自净后，洁净匙的应达到 “静态”标准。
植物提取工艺优化 Optimization of herbs extraction 水机设备 Hydraulic engine equipment
洁净系统服务架构
洁净系统控制---目标
为产品生产和操作人员提供一个适宜的内部环境 To provide a proper indoor environment for production and staff. 降低污染和交叉污染的危险 To lower the risk of contamination and cross contamination. 保护员工，保护周边环境 To protect the staff and to protect the outdoor environment.
空气培养
四、采样方法
• • • • 用9厘米直径普通琼脂平皿， 打开后盖面朝下斜扣到底盘， 在采样点准确暴露5分钟后， 送检培养。
五、结果分析
•
• •
I类区域：<10 cfu/m3 II类区域：<200 cfu/m3 III类区域：<500 cfu/m3
注意事项：
•
• 1、取培养基时，应用手托住培养基的底座，避免污染 。 • • 2、打开培养基时，盖子向下扣放于平板旁。 • • 3、取样后将培养基的盖子盖好，方可离开治疗室。 • • 4、送检时间不超过6h，若样品保存于0-4度条件时，送 检时间不能超过24小时。 • • 5、送检过程中如盖子不小心打开，应该重新留取标本 送检。
一、采样时间
•
选择消毒处理后与进行医疗活动之前采样。
二、采样高度
•
与地面垂直高度80-150厘米。
三、布点方法
1.面积≤30 m2设一条对角
线取三点，即中间一点
，两端各距墙1米处各取
一点
•
布点方法
• 2．室内面积>30m2，设两条对角线，东，西，南， 北，中取五点，其中东，西，南，北距墙均1米（图2）
空气培养
ICU
环境分类
• Ⅰ类区域：层流洁净手术室、层流洁净病房（参 照洁净室空气培养方法与标准）。 • Ⅱ类区域：普通手术室、产房、婴儿室、早产儿 室、普通保护性隔离室、供应室无菌区、烧伤病 房、重症监护病房。 • Ⅲ类区域：儿科病房、妇产科检查室、注射室、 换药室、治疗室供应室清洁区、急诊室、化验室 、各类普通病房和房间。 • Ⅳ类区域：传染病科及病房。
5空气处理方式
• 喷水室在加湿及减湿的过程中还可起到空气净化的作用。 • 喷水室是由混凝土预制或现浇而成，也可由钢板制作成定型的 产品形式，图4.31为喷水室的构造图。 • 喷水室的工作过程是：被处理的空气以一定的速度经过前挡水 板1进入喷水空间，在那里与喷嘴中喷出的水滴相接触进行热 湿交换，然后经后挡水板3流出，从喷嘴喷出的水滴完成与空 气的热湿交换后，落入底池6中。 • 喷入池中的水，可根据水温调节装置与补充水混合重复使用。
4.5.1 空气加热处理
图4.30 加热器构造
4.5.2 空气冷却处理 • 用于夏季冷却空气处理，可采用表面式冷却器及喷水冷却的 方法。 • 1.表面式冷却器
• 简称表冷器，它的构造与加热器组构造相似，它是由铜管上 缠绕的金属翼片所组成排管状或盘管状的冷却设备，管内通 入冷冻水，空气从管表面侧通过进行热交换冷却空气，因为 冷冻水的温度一般在7～9℃左右，夏季有时管表面温度低于 被处理空气的露点温度，这样就会在管子表面产生凝结水滴， 使其完成一个空气降温去湿的过程。 • 表冷器在空调系统广泛使用，其结构简单、运行安全可靠、 操作方便，但必须提供冷冻水源，不能对空气进行加湿处理。
4.5 空气处理方式
• 4.5.1 空气加热处理 • 4.5.2 空气冷却处理 • 4.5.3 空气的加湿与减湿 • 4.5.4 空气过滤处理 • 4.5.5 消声处理
4.5.1 空气加热处理 • 为了满足室内温度的需要，将空气进行加热处理以提高送风 的温度，空气加热一般通过空气加热器、电加热器等设备来 完成。 • 空气加热器：见图4.30，它是由多根带有金属肋片的金属管 连接在两端的联箱内，热媒在管内流动并通过管道表面及肋 片放热，空气通过肋片间隙与其进行热交换，达到空气被加 热的目的。 • 空气加热器可根据需加热的空气量组成空气加热器组，通入 加热器的热媒可采用蒸汽或热水。 • 电加热器，可采用电阻丝安装在金属管内(电阻丝外安装有绝 缘环)，通过电阻丝发热使管表面温度升高，也可制作成盘管 等形式，适用于加热处理量较小的系统。其耗电量较大。 • 空气加热器多用于集中空调、半集中空调系统的空气预热和 二次加热。
电子厂洁净室空调系统简介
回主畫面
洁净室空调系统特性（二）
气流分布均匀：洁净室空调为带走室内所产生的微尘粒子，以维持洁净度，所以除了气流速度需达一定要求标准外，气流的形状也必须依不同的洁净室等级而加以适当的控制。 洁净等级不同的邻室维持适当压差：为防止等级低的室内空气泄漏到等级高的室内，造成污染。 送风温度与室内温度差距小：由于产品制程对温湿度变化极为敏感，洁净室部分区域须控制在±0.3ºC，故送风温度与室内温度差距不能太大。（温度分布图） 运转成本高：由于洁净室热负荷相当大，又需要补充大量的外气，循环风量大，所以不止是初期建设成本高，建成后运转及维护费用也相当高，在设计中要考虑节能。
電子廠 潔淨室空調系統 簡介
大纲
洁净空调特性
空气循环系统 换气次数 FFU系统
濕空氣性质及处理 性质 焓湿图 处理程序
MAU 结构 功能
洁净室空调系统特性（一）
温湿度要求比一般空调低：一般空调系统温度要求在25 ℃～27 ℃,相对湿度为55～70％；而洁净室空调分别为22～23 ℃,相对湿度为40～45％。 对空气品质要求严格：微尘粒子是构成半导体制品发生缺陷，降低产品良率的主要原因之一，在微尘粒子和某些化学离子要求也非常严格。 外气量与换气次数大：在半导体工厂中，制程系统使用大量的化学品和毒气，而这些化学品和毒气所产生的些挥发气和废气必须予以全数排除，排气量非常大，所以需要补充大量的外气来维持室内的正压环境。
回主畫面
空气循环系统
風管系統 FFU系統 軸流風機系統
空氣循環系統功能 潔淨度之控制 溫度之控制 濕度之維持
潔淨室熱源分佈
空氣循環量 氣流方式
回主畫面
空氣循環量
空气循环量 1. 洁净室温湿度及微尘粒子的控制，完全由空气循环掌握。 2. 换气次数：表示空气循环量的重要参数。 N=空气循环量÷室内体积 以黄光区为例：FFU风速为0.35M/S，层高为3.6M,空气由FFU吹出到达高架地板的时间为10秒，则黄光区的换气系数为360次/小时。（图示） 普通空调比较：办公室空间为300立方米，空调送风量为2000CMH，换气次数约为7次/小时。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
• 一次回风的送风方案多用在洁净室内的发 热量或产湿量很大，消除室内余热或余湿 的送风量大于或等于净化送风量的低洁净 度等级的非单向流洁净室中。此方案的原 理图和焓湿图如下：
示意图 焓湿(i-d)图 空调机组（AHU）一次回风空气处理方案示意图及焓湿图
三、AHU 一、二次回风的净化空调 送风方案
七个典型的洁净空气处理系统
即空气处理过程
七个典型的空气处理系统即空气处理过程
• 3.1.5.1 净化和空调合一的方案其净化空调 机组（AHU）集中设置在空调机房内，全 部的送风均在净化空调机组内进行过滤和 热、湿处理，然后由庞大的送风管将全部 的送风输送到洁净室的吊顶上部，再经过 设在洁净室吊顶上的终端高效过滤器或高 效过滤器送风口送到洁净室内，来实现洁 净室工艺生产所需要的温度、湿度、洁净 度和房间的压差，洁净室的回风经回风口、 回风管再接回到空调机房的空调机组内与 新风混合后重复进行过滤和热、湿处理。
• 净化和空调合一的方案又可分为全新风方 案（直流系统）；一次回风方案；一、二 次回风方案和(MAU)加(RAU)方案等四种不 同的净化空调送风型式。 • 这些送风方案是当前洁净室特别是非单向 流洁净室中应用最广泛的净化空调送风方 案。这些送风方案的系统划分明确，风量 和温、湿度控制调节都比较单一。
示意图 焓湿(i-d)图 MAU加FFU加DC空气处理方案示意图及焓湿图
3.1.6 洁净室净化空调系统的冷、热源
• 3.1.6.1 净化空调系统冷源的选择 • 一、集中冷冻站和分散独立冷源的比较和选择。 • 大型规模化的生产工厂集中设置冷冻站，对建造 投资和运行管理都是比较有利的。但是由于一些 温、湿要求差别比较大供冷参数不同；运行规律、 运行时间不同的洁净车间来说，在集中冷冻站基 础上，就近设置分散、独立、专用的制冷机组， 这对节省能源，保证参数和方便运行管理都有极 大的好处。
• 为了节能、消除空气热湿处理过程中的冷 热相互抵消，在洁净室净化送风量大于消 除余热、余湿的空调送风量时，最好采用 一、二次回风方案，将二次混合点设计在 系统送风点上,该方是最节能、最经济的送 风方案。其原理图和焓湿图如下：
示意图 焓湿(i-d)图 空调机组（AHU）一、二次回风空气处理方案示意图及焓湿图
• 二、冷媒采用冷冻水还是氟立昂直接蒸发。 • 对于大型的工厂由集中的冷冻站供给冷冻 水作为净化空调系统的冷媒较为有利。因 冷冻水输送方便，输送过程冷损失较小； 而且，冷冻水作冷媒对净化空调系统参数 的控制、调节和维护管理也都比较有利。 但是小的独立分散的制冷机组可采用水冷 冷水机组，也可采用风冷直接蒸发的制冷 机组。这要根据具体项目的具体情况而定。
• 但当洁净度级别较高、送风量较大时，存 在着空调机房占面积大，送、回风管体积 大占面积和占空间大，送、回风管道长， 送风机的压力高，噪音大,风量输送耗电量 大等问题。因此，这些送风方案较适用在 低级别的非单向流洁净室的送风，对5级以 上的单向流洁净室送风就不太经济合理了。
一、AHU全新风的净化空调送风方案 （直流系统）
• 三、当温度的精度要求很高的时候（如℃） 宜在送入洁净室的支管上设温度精度微调 节的电加热器是一个可行的方法。 • 四、净化空调系统的加湿比较方便、可行、 经济、可靠的方法是用过热蒸汽 （≥0.2MPa）作热媒采用干蒸汽加湿器进 行加湿，或采用电热式或电极式加湿器。 当相对湿度的精度要求不高且加湿量较大 时，宜采用水来加湿，可采用淋水，湿膜 或喷雾（高压喷雾或高压微雾）等形式。
四、净化空调系统冷冻水的温度的确定
• 当以冷冻水作为净化空调系统的冷媒时， 在一般的情况下，冷冻水的初温（表冷器 冷冻水的进口温度）应比处理后空气的终 温（设计计算中确定）至少要低3.5℃；如 果是以冷冻方式去湿降温为目的空气处理 系统，冷冻水的终温（表冷器冷冻水的出 口温度）应比处理后空气的终温低0.7℃； 用作干式冷盘管的冷冻水的初温（进口温 度）应比洁净室内空气的露点温度至少高 2℃。
四、MAU+RAU的净化空调送风方案
• 此方案多用于多个洁净室其洁净度，温、 湿度要求不同，室内的产热量和产湿量也 不尽相近，为了确保每个洁净室的洁净度， 温、湿度及其精度的要求,就要设置多个循 环机组,循环机组的送风量是能消除室内余 热、余湿，保证室内温、湿度同时又能满 足室内洁净度要求的净化空调送风量, 在循 环机组内设置必要的热、湿处理设备,用来 补充新风机组热、湿处理的不足和保证该 洁净室温、湿度精度的微调节。
示意图 焓湿(i-d)图 MAU加RAU空气处理方案示意图及(i-d)图
• 5.1.5.2 净化送风和空调送风分离的方案，此方案 通常被称作半集中式或分散式的送风方案。 为了大大地节省运行时的能耗，将消除洁净室内 余热、余湿的空调送风量（通常大大地小于洁净 室的净化送风量），由设在空调机房内的新风机 组（MAU）进行必要的净化和热湿处理，而将占 总送风量50~90%的保证洁净室洁净度的净化送 风量由设在洁净室附近的循环机组进行净化和补 充的热、湿处理，或直接采用吊顶上的FFU（风 机过滤器机组）和干盘管来解决洁净室的洁净度 等级和温度的微调节。
• 三、采用压缩式制冷机还是采用直燃式溴 化锂吸收式制冷机。 • 活塞式、离心式、螺杆式制冷机都是压缩 式制冷机，在净化空调设计中最多采用的 还是离心、螺杆等压缩制冷机。因为其投 资低，运行管理方便，但其运行耗电很高。 压缩式制冷机组的冷冻水供水温度可调， 最低供水温度可为4℃。但是，在供电紧张 而燃气和煤供应较为方便的地区，尤其是 有废热废蒸汽可以利用的场合，采用直燃 式溴化锂吸收式制冷机更为经济，尤其是 这种制冷机组在供冷的同时还可供热。
三、新风机组（MAU）加风机过滤器机 组（FFU）加干冷盘管(DC)的净化空调 送风方案
• 此方案是新风机组将新风处理到洁净室热 湿比线与相对湿度95%线交点以下，新风 机组不仅将本身的湿负荷去掉，而且还负 担洁净室内产生的湿负荷，新风机组要确 保洁净室所要求的相对湿度。而新风机组 热处理不足部分的干冷负荷将由设在洁净 室下夹层或吊顶上的干表冷器来补充。因 干表冷器是设在FFU循环空气通过的吊顶上 或夹道内，因此，干表冷所弥补的干冷负 荷被循环空气带到洁净室内。
3.1.6.2 净化空调系统冷源的选择
• 一、以冬季防冻为目的新风预热加热器的热媒最 好采用电加热或蒸汽加热，一般不宜采用热水作 热媒，这样预热器本身可能有被冻坏的危险。 • 二、空调机组内加热器的热媒可采用热水、蒸汽 或电加热，其中电加热控制灵活方便，温度控制 精确度高，但运行费昂贵，一般在没有热水和蒸 汽供应的地方才用电加热；用热水作热媒时不仅 调节和管理方便、而且控制精度也高是加热器最 常用的热媒；当温度的精度要求不高（如℃）也 可采用蒸汽作加热器的热媒。
• 全新风净化空调送风方案是用于特殊的不 允许回风的洁净室的送风方案中。如：洁 净室内工艺生产类别为甲、乙类火灾危险 等级或工艺过程产生有剧毒等有害物不允 许回风的洁净送风系统中。其原理图和焓 湿图如下。 •
示意图 焓湿(i-d)图 空调机组（AHU）全新风空气处理方案示意图及焓湿图
二、AHU 一次回风的净化空调送风 方案
• 此方案的新风机组设在空调机房内，这些 洁净室所需的新风全部由新风机组（MAU） 进行净化和热湿的集中处理。然后分配到 每一个循环机组内与其回风混合。新风机 组的新风量不仅仅要补充各洁净室的排风 还要保证每个洁净室的正压。
示意图 焓湿(i-d)图 MAU加RAU加FFU空气处理方案示意图及(i-d)图
ห้องสมุดไป่ตู้
• 此方案是净化送风与空调送风相分离的方 案，不仅可节省运行的能耗，而且大大地 减少了空调机房面积，省掉了庞大的送、 回风管道，降低了洁净室的空间高度。此 净化空调送风方案又可分为：空调机组 (AHU)（MAU）加风机过滤器机组(FFU)方 案,新风机组（MAU）加循环机组（RAU） 加（FFU）方案；新风机组（MAU）加风 机过滤器机组（FFU）加干冷盘管(DC)方 案等三种送风方案。
其送风原理图和焓湿图如下：
示意图 焓湿(i-d)图 AHU加FFU空气处理方案示意图及焓湿图
二、新风机组（MAU）加循环机组（RAU）加风机 过滤器单元（FFU）净化空调送风方案
• 此方案多用于多个洁净室其洁净度，温、 湿度要求不同，室内的产热量和产湿量也 不尽相近，为了确保每个洁净室的洁净度， 温、湿度及其精度的要求,就要设置多个循 环机组,循环机组的送风量只是消除室内余 热余湿的空调送风量,并且在机组内设置必 要的热、湿处理设备,用来补充新风机组热、 湿处理的不足和保证该洁净室温、湿度精 度的微调节。
示意图 焓湿(i-d)图 空调机组（AHU）一次回风空气处理方案示意图及焓湿图
三、AHU 一、二次回风的净化空调 送风方案
七个典型的洁净空气处理系统
即空气处理过程
七个典型的空气处理系统即空气处理过程
• 3.1.5.1 净化和空调合一的方案其净化空调 机组（AHU）集中设置在空调机房内，全 部的送风均在净化空调机组内进行过滤和 热、湿处理，然后由庞大的送风管将全部 的送风输送到洁净室的吊顶上部，再经过 设在洁净室吊顶上的终端高效过滤器或高 效过滤器送风口送到洁净室内，来实现洁 净室工艺生产所需要的温度、湿度、洁净 度和房间的压差，洁净室的回风经回风口、 回风管再接回到空调机房的空调机组内与 新风混合后重复进行过滤和热、湿处理。
• 净化和空调合一的方案又可分为全新风方 案（直流系统）；一次回风方案；一、二 次回风方案和(MAU)加(RAU)方案等四种不 同的净化空调送风型式。 • 这些送风方案是当前洁净室特别是非单向 流洁净室中应用最广泛的净化空调送风方 案。这些送风方案的系统划分明确，风量 和温、湿度控制调节都比较单一。
示意图 焓湿(i-d)图 MAU加FFU加DC空气处理方案示意图及焓湿图
3.1.6 洁净室净化空调系统的冷、热源
• 3.1.6.1 净化空调系统冷源的选择 • 一、集中冷冻站和分散独立冷源的比较和选择。 • 大型规模化的生产工厂集中设置冷冻站，对建造 投资和运行管理都是比较有利的。但是由于一些 温、湿要求差别比较大供冷参数不同；运行规律、 运行时间不同的洁净车间来说，在集中冷冻站基 础上，就近设置分散、独立、专用的制冷机组， 这对节省能源，保证参数和方便运行管理都有极 大的好处。
• 为了节能、消除空气热湿处理过程中的冷 热相互抵消，在洁净室净化送风量大于消 除余热、余湿的空调送风量时，最好采用 一、二次回风方案，将二次混合点设计在 系统送风点上,该方是最节能、最经济的送 风方案。其原理图和焓湿图如下：
示意图 焓湿(i-d)图 空调机组（AHU）一、二次回风空气处理方案示意图及焓湿图
• 二、冷媒采用冷冻水还是氟立昂直接蒸发。 • 对于大型的工厂由集中的冷冻站供给冷冻 水作为净化空调系统的冷媒较为有利。因 冷冻水输送方便，输送过程冷损失较小； 而且，冷冻水作冷媒对净化空调系统参数 的控制、调节和维护管理也都比较有利。 但是小的独立分散的制冷机组可采用水冷 冷水机组，也可采用风冷直接蒸发的制冷 机组。这要根据具体项目的具体情况而定。
• 但当洁净度级别较高、送风量较大时，存 在着空调机房占面积大，送、回风管体积 大占面积和占空间大，送、回风管道长， 送风机的压力高，噪音大,风量输送耗电量 大等问题。因此，这些送风方案较适用在 低级别的非单向流洁净室的送风，对5级以 上的单向流洁净室送风就不太经济合理了。
一、AHU全新风的净化空调送风方案 （直流系统）
• 三、当温度的精度要求很高的时候（如℃） 宜在送入洁净室的支管上设温度精度微调 节的电加热器是一个可行的方法。 • 四、净化空调系统的加湿比较方便、可行、 经济、可靠的方法是用过热蒸汽 （≥0.2MPa）作热媒采用干蒸汽加湿器进 行加湿，或采用电热式或电极式加湿器。 当相对湿度的精度要求不高且加湿量较大 时，宜采用水来加湿，可采用淋水，湿膜 或喷雾（高压喷雾或高压微雾）等形式。
四、净化空调系统冷冻水的温度的确定
• 当以冷冻水作为净化空调系统的冷媒时， 在一般的情况下，冷冻水的初温（表冷器 冷冻水的进口温度）应比处理后空气的终 温（设计计算中确定）至少要低3.5℃；如 果是以冷冻方式去湿降温为目的空气处理 系统，冷冻水的终温（表冷器冷冻水的出 口温度）应比处理后空气的终温低0.7℃； 用作干式冷盘管的冷冻水的初温（进口温 度）应比洁净室内空气的露点温度至少高 2℃。
四、MAU+RAU的净化空调送风方案
• 此方案多用于多个洁净室其洁净度，温、 湿度要求不同，室内的产热量和产湿量也 不尽相近，为了确保每个洁净室的洁净度， 温、湿度及其精度的要求,就要设置多个循 环机组,循环机组的送风量是能消除室内余 热、余湿，保证室内温、湿度同时又能满 足室内洁净度要求的净化空调送风量, 在循 环机组内设置必要的热、湿处理设备,用来 补充新风机组热、湿处理的不足和保证该 洁净室温、湿度精度的微调节。
示意图 焓湿(i-d)图 MAU加RAU空气处理方案示意图及(i-d)图
• 5.1.5.2 净化送风和空调送风分离的方案，此方案 通常被称作半集中式或分散式的送风方案。 为了大大地节省运行时的能耗，将消除洁净室内 余热、余湿的空调送风量（通常大大地小于洁净 室的净化送风量），由设在空调机房内的新风机 组（MAU）进行必要的净化和热湿处理，而将占 总送风量50~90%的保证洁净室洁净度的净化送 风量由设在洁净室附近的循环机组进行净化和补 充的热、湿处理，或直接采用吊顶上的FFU（风 机过滤器机组）和干盘管来解决洁净室的洁净度 等级和温度的微调节。
• 三、采用压缩式制冷机还是采用直燃式溴 化锂吸收式制冷机。 • 活塞式、离心式、螺杆式制冷机都是压缩 式制冷机，在净化空调设计中最多采用的 还是离心、螺杆等压缩制冷机。因为其投 资低，运行管理方便，但其运行耗电很高。 压缩式制冷机组的冷冻水供水温度可调， 最低供水温度可为4℃。但是，在供电紧张 而燃气和煤供应较为方便的地区，尤其是 有废热废蒸汽可以利用的场合，采用直燃 式溴化锂吸收式制冷机更为经济，尤其是 这种制冷机组在供冷的同时还可供热。
三、新风机组（MAU）加风机过滤器机 组（FFU）加干冷盘管(DC)的净化空调 送风方案
• 此方案是新风机组将新风处理到洁净室热 湿比线与相对湿度95%线交点以下，新风 机组不仅将本身的湿负荷去掉，而且还负 担洁净室内产生的湿负荷，新风机组要确 保洁净室所要求的相对湿度。而新风机组 热处理不足部分的干冷负荷将由设在洁净 室下夹层或吊顶上的干表冷器来补充。因 干表冷器是设在FFU循环空气通过的吊顶上 或夹道内，因此，干表冷所弥补的干冷负 荷被循环空气带到洁净室内。
3.1.6.2 净化空调系统冷源的选择
• 一、以冬季防冻为目的新风预热加热器的热媒最 好采用电加热或蒸汽加热，一般不宜采用热水作 热媒，这样预热器本身可能有被冻坏的危险。 • 二、空调机组内加热器的热媒可采用热水、蒸汽 或电加热，其中电加热控制灵活方便，温度控制 精确度高，但运行费昂贵，一般在没有热水和蒸 汽供应的地方才用电加热；用热水作热媒时不仅 调节和管理方便、而且控制精度也高是加热器最 常用的热媒；当温度的精度要求不高（如℃）也 可采用蒸汽作加热器的热媒。
• 全新风净化空调送风方案是用于特殊的不 允许回风的洁净室的送风方案中。如：洁 净室内工艺生产类别为甲、乙类火灾危险 等级或工艺过程产生有剧毒等有害物不允 许回风的洁净送风系统中。其原理图和焓 湿图如下。 •
示意图 焓湿(i-d)图 空调机组（AHU）全新风空气处理方案示意图及焓湿图
二、AHU 一次回风的净化空调送风 方案
• 此方案的新风机组设在空调机房内，这些 洁净室所需的新风全部由新风机组（MAU） 进行净化和热湿的集中处理。然后分配到 每一个循环机组内与其回风混合。新风机 组的新风量不仅仅要补充各洁净室的排风 还要保证每个洁净室的正压。
示意图 焓湿(i-d)图 MAU加RAU加FFU空气处理方案示意图及(i-d)图
ห้องสมุดไป่ตู้
• 此方案是净化送风与空调送风相分离的方 案，不仅可节省运行的能耗，而且大大地 减少了空调机房面积，省掉了庞大的送、 回风管道，降低了洁净室的空间高度。此 净化空调送风方案又可分为：空调机组 (AHU)（MAU）加风机过滤器机组(FFU)方 案,新风机组（MAU）加循环机组（RAU） 加（FFU）方案；新风机组（MAU）加风 机过滤器机组（FFU）加干冷盘管(DC)方 案等三种送风方案。
其送风原理图和焓湿图如下：
示意图 焓湿(i-d)图 AHU加FFU空气处理方案示意图及焓湿图
二、新风机组（MAU）加循环机组（RAU）加风机 过滤器单元（FFU）净化空调送风方案
• 此方案多用于多个洁净室其洁净度，温、 湿度要求不同，室内的产热量和产湿量也 不尽相近，为了确保每个洁净室的洁净度， 温、湿度及其精度的要求,就要设置多个循 环机组,循环机组的送风量只是消除室内余 热余湿的空调送风量,并且在机组内设置必 要的热、湿处理设备,用来补充新风机组热、 湿处理的不足和保证该洁净室温、湿度精 度的微调节。