ESD操作维护手册
ESD静电防护技术手册
ESD静电防护技朮手册1.目的确保静电防护工作区域内的操作人员接受ESD相关培训﹐认识ESD的危害性﹐正确使用防静电设备及操作方法﹐保护产品,减少静电对产品的损坏.2.范围适用于培训在静电防护区域内的相关工作人员培训层次培训适应人员初级篇生产线员工﹐仓务人员﹐全检员高级篇工程技朮员（包括点检技朮员）﹐生产管理员（颔班﹐组长）3.参考文件电子工业出版社《静电防护技朮手册》ANSI/ESD S20.20.4.职责4.1 静电防护工作区域内的操作人员(包括生产员工﹐工程技朮人员﹐质量人员﹐仓务人员﹐生产管理人员)有必要熟悉本教材相关内容﹐以防止在工作中产生静电危害。
4.2 静电防护工作区域内相关管理﹐工程﹐质量人员可以依据本教材培训员工﹐以监督指导员工正确操作。
5.培训内容﹕初级篇（生产员工﹐仓务人员﹐质量人员需学习）1.ESD的危害性及防护1.1 静电的定义静电是由导体﹐半导体﹐绝缘体表面的正负电荷分离造成的电压。
1.2 静电的产生导体﹑半导体﹑绝缘体会因磨擦及空气中相对湿度的不同而产生不同程度的静电﹐某些动作容易产生静电能﹐如接触﹑分离﹑摩擦材料等。
所以说静电无所不在﹐只是电压高低不同。
在我们日常生活中如用丝绸摩擦过的玻璃棒和用毛皮摩擦过的橡胶棒都能够吸引碎纸屑。
1.3 ESD的危害性静电释放(ESD)是一种由静电源产生的电能进入电子组件后迅速放电的现象。
当电能与半导体﹑二极管﹑三极管及IC等静电敏感(ESDS)组件接触或接近时﹐静电积聚产生的高压对静电敏感(ESDS)组件造成损伤。
其现象有﹕A﹑ESD敏感组件破损﹐完全失去功能。
B﹑ESDS组件间歇性失去功能﹐但性能时好时坏﹐即使产品已经通过了所有的检验与测试﹐仍有可能在送到客户手中后失效。
1.4 ESD的防护1.4.1 静电源在我们周围随处可见﹐但可采取ESD防护措施减少静电或将静电引接至大地。
1.4.2 ESD常见防护措施﹕戴静电带﹑穿静电鞋﹑工作台及地面铺静电垫﹑采用防静电包装材料﹑警告标识。
ESD防护规范操作指导书
损害。
5.作业内容5.1 ESD小组组织架构：5.2产品的静电敏感度和EPA静电防护区域确定5.2.1 产品的静电敏感度5.2.1.1公司产品主要由电容触屏感应板（即Sensor板）,FPC，玻璃板（即CG组件）组件组成。
经静电放电试验电容触屏感应板在8KV接触放电和10KV空气放电并无功能失效发生（参考试验室成品ESD试验报告）,玻璃板（即CG组件）不具备电性功能。
5.2.1.2公司其它产品，如Metal Mesh、LCM、CCM、FPM及其它新开发产品等，结构也主要由FPC、IC元器件、LGA、电容电阻、senor等静电敏感器件组成。
静电敏感器件敏感电压数据参考部件敏感实验数据及对应部件产品规格书等，敏感静电压如下表：静电敏感产品HBM模式敏感静电压IC 2000V FPC 2000V TP 2000V LGA 2000V人员接地要求(参考ANSI ESD STM97.1，STM97.2)当工作人员坐在静电防护工作台前作业时，应佩戴静电手腕带并与接地系统或等电势位连接系统连接。
地板系统与接地系统连接时，需要求地面为防静电地板且人体与防静电鞋综合电阻符合≥1.0X105Ω，<1.0X109Ω,且人员行走静5.9 EPA区域标示（参考ANSI ESD S8.1）5.9.1 EPA区域应在入口地方或EPA区域明显地方张贴悬挂ESD警示标示。
5.9.2 ESD警示标示样式如下：5.9.3 EPA区域防静电设施为了方便验证计划的点检和使用识别，对防静电设施进行标示。
5.9.4 防静电设施标示样式如下：静电敏感标示静电防护标识接地标示离子风机静电检测标签5.9.5 防静电标示由设施使用维护人或监测人负责申请，粘贴及维护。
5.10 EPA控制异常处理5.10.1 试验证明，材料、工具非金属表面在湿度低时在摩擦或接触分离动作更容易产生和累积静电，主要原因是湿度低时材料、工具等表面附着的水分子少。
而水分子的导电性能对静电具有消散性。
ESD作业指导
ESD作业指导ESD（Electrostatic Discharge）是指静电放电，是一种电荷在物体之间蓦地流动的现象。
静电放电会对电子设备、电路板和其他敏感器件造成伤害，因此在处理这些设备和器件时需要采取一系列的防护措施。
本文将为您提供一份ESD作业指导，以确保您的工作环境和操作符合ESD防护标准。
1. 工作环境准备在进行任何与电子设备和器件相关的工作之前，必须确保工作环境符合ESD防护标准。
以下是一些建议的操作：- 确保工作区域干燥，湿度控制在30-60%之间。
- 清理工作区域，确保没有积尘和杂物。
- 使用ESD防静电地垫和防静电椅子，以确保电荷的安全释放。
- 确保工作台面和工具都是防静电材料制成的。
- 安装适当的静电放电地线，以将静电荷安全地释放到地面。
2. 个人防护措施为了防止自身静电放电对设备造成伤害，您需要采取以下个人防护措施：- 穿戴适当的静电防护服，如防静电鞋、防静电手套和防静电围裙。
- 避免穿着带有静电产生的材料，如尼龙或者聚酯纤维的衣物。
- 避免使用产生静电的物品，如塑料袋或者塑料容器。
- 定期洗手，以去除潜在的静电荷。
3. 设备处理在处理电子设备和器件时，需要采取以下措施以防止ESD伤害：- 使用防静电包装材料，如防静电泡沫或者防静电袋，将设备包装起来。
- 在处理设备之前，确保自己的静电荷已经安全释放到地面。
- 使用防静电工具，如防静电镊子和防静电螺丝刀，以减少静电放电的风险。
- 避免在干燥的环境中操作设备，可以使用加湿器来控制湿度。
- 定期检查设备和器件上的防静电标识，确保其有效性。
4. 工作流程在进行与电子设备和器件相关的工作时，需要遵循以下工作流程：- 在开始工作之前，确保所有工具和设备都已经接地，并且没有任何电荷积累。
- 在操作设备之前，先将手放在接地装置上，以安全地释放任何静电荷。
- 避免在静电敏感的环境中使用挪移式设备，如手机或者便携式音乐播放器。
- 避免在干燥的环境中使用纸张或者塑料制品，它们容易产生静电。
ESD防静电作业实施手册(全面解析)
ESD防静电作业实施手册(全面解析) ESD防静电作业实施手册（全面解析）1. 引言1.1 编写目的本手册旨在提供一套完整的ESD（Electrostatic Discharge，静电放电）防护作业指导，确保在整个生产和物流过程中对静电敏感元器件的安全，防止因静电放电造成的损害。
1.2 适用范围本手册适用于所有涉及静电敏感元器件的制造、加工、包装、储存和运输环节。
1.3 引用标准- 国际电工委员会(IEC) 61340系列标准：电子设备防静电通用要求和测试。
- 国家标准GB/T 18159-2000《电子元器件防静电包装》。
2. 定义和缩略语2.1 定义- ESD：Electrostatic Discharge，静电放电。
- ESDS：Electrostatic Discharge Sensitive Device，静电放电敏感器件。
2.2 缩略语- ESD：Electrostatic Discharge- SJ/T 10596：信息产业部电子行业推荐性标准，电子元器件防静电包装- ESDA：Electrostatic Discharge Association3. ESD基础知识3.1 静电的产生与释放静电是由电荷的转移产生的，通常在两种不同材料接触并分开时发生。
静电放电（ESD）是指静电积累到一定电位时，通过空气或介质向大地或其他电位物体放电的现象。
3.2 静电的损害机理静电放电可导致电子元器件中的电路损坏，其损害机理包括：- 电击穿：高电位导致的绝缘层击穿。
- 热效应：放电过程中产生的高温破坏元器件结构或使其性能下降。
- 化学效应：放电产生的等离子体可能引起化学反应，损害材料结构。
4. ESD防护措施4.1 人员防护- 穿着防静电工作服、手套、鞋套等。
- 使用防静电手环，确保人员与工作台面或设备的电位连接。
4.2 材料和包装- 使用防静电材料包装元器件。
- 选择适当的防静电容器和包装材料，如防静电泡沫、防静电袋等。
防ESD静电管理手册
防ESD静电管理手册目标本手册旨在提供关于防止ESD静电的基本知识和管理策略，以帮助组织有效地管理和减少静电相关问题的发生。
静电基础知识什么是ESD静电？静电是由于物体表面带电不平衡而产生的电荷积累现象。
ESD 静电（Electrostatic Discharge）是指在电荷积累的物体之间发生突然的放电现象。
ESD静电的危害ESD静电放电可能对电子设备、敏感元件和表面造成损害，导致设备故障、数据丢失和生产中断。
因此，防止ESD静电的管理至关重要。
静电管理策略培训和意识提高确保所有员工接受ESD静电防护培训，了解静电的基本知识、危害和预防措施。
提高员工对ESD静电问题的意识，促使他们在工作中遵循相关的防护措施。
静电控制区域设立静电控制区域，限制只有经过培训和授权的员工可以进入。
该区域应该配备适当的静电防护设备和工具，并采取措施减少静电积累和放电的可能性。
适当的工作环境确保工作环境的湿度适中，以减少静电的产生和积累。
使用合适的地面和防静电地毯，以便将静电荷导入地面。
防静电装备和工具使用防静电服装、手套、鞋等防护装备，并确保其保持良好的状态。
使用防静电工具和设备，避免使用容易产生静电的材料。
ESD静电防护措施在操作敏感电子设备或元件时，采取适当的ESD静电防护措施，如接地手腕带、接地垫等。
避免直接接触敏感部件，使用工具或适当的包装材料进行处理。
监测和维护定期检查和测试防静电设备的有效性和可靠性。
及时修复或更换损坏的设备，并确保所有员工遵守维护和测试程序。
结论通过培训员工、建立静电控制区域、提供适当的工作环境和防静电装备，以及采取ESD静电防护措施，可以有效地管理和减少静电相关问题的发生。
组织应该制定并执行适合其情况的静电管理策略，以确保设备和数据的安全性。
ESD使用手册
9 12 4
静电防止 静电防止 方法
1 作業者: Wrist Strap、导电靴、作业服、围裙、Glove、椅套 作業者: Strap、导电靴、作业服、围裙、Glove、 作业者以外的其它的防静电用 2 物流: 包裝紙、部品 Box、基板 Magazine、组立台、移动Cart、部品 Cabinet 物流: 包裝紙、 Box、 Magazine、组立台、 Cart、 3 工具、測定器: 检查JIG、Iron Tip(接地电阻106MΩ以上)、清扫用Brush、电源裝置 工具、測定器: 检查JIG JIG、 Tip(接地电阻 接地电阻10 清扫用Brush、电源裝置 4 设备、环境: 作业台、Repair台、Floor、设备接地、Belt Conveyor 设备、环境: 作业台、Repair台 Floor、设备接地、 5 拿取方法: 半导体取扱方法、基板的取扱方法 拿取方法: 半导体取扱方法、基板的 方法 扱方法 6 修理方法：半导体Repair的方法掌握 修理方法：半导体Repair 方法掌握 Repair的
ESD使用手册 使用手册
1 静电（ESD） 静电（ ） 2 静电湿度规定 3 半导体破坏类型 4 静电防止对策 5 静电手镯管理 6 ESD维持管理 维持管理
1. 静电(ESD) Ⅰ 静电(ESD)
静电(ESD: 静电(ESD: Electrostatic Discharge) ?
静止不流动的电叫静电 正电荷 或 负电荷 的电子 不导体得失电子发生在不导体的表面 带电: 电子的性质 带电:
静电对IC的破坏原理 静电对IC的破坏原理 IC的破坏
物体 摩擦
阳电荷 阴电荷发生
Ground 形成
电荷由高电 阻向低电阻 移动
急速 放电
ESD 系统操作说明
ESD 系统操作说明：一、 ESS 系统注入1、ESS 系统注入程序启动条件“N 釜釜压跳车报警〞，这时在按钮区会弹出“确认注入〞按钮，假设要启动ESS 系统注入程序，点击此按钮。
2 〕N 釜釜温大于70℃会在画面提示“N 釜釜温跳车报警〞，这时在按钮区会弹出“确认注入〞按钮，假设要启动ESS 系统注入程序，点击此按钮。
3〕N 釜搅拌功率小于30KW 且时间超过10S会在画面提示“N 釜搅拌跳车报警〞，这时在按钮区会弹出“确认注入〞按钮，假设要启动ESS 系统注入程序，点击此按钮。
4 〕按下控制室紧急事故终止剂按钮1PB-V201N-84。
5〕按下现场处紧急事故终止剂按钮1PB-V201N-83。
以上5种情况都会使ESS 系统注入程序启动。
2、当ESS 系统注入程序启动后1) ESS 系统画面打出“紧急事故终止剂注入开场〞。
2) 控制室内操作台上的报警灯和蜂鸣器被通电，以提示操作人员3) 程序自动翻开阀门 1V-V201N-71、74、82，30S 后程序检查阀门1V-V201N-71、74、82 是否开到位；1PS-V201N-70 是否处在低压报警状态；1PS-V201N-86 是否处在高压报警状态；1LS-V201N-88是否处低液位报警状态；1PS-V201N-87是否处在高压报警状态。
上述各项检查都通过，画面打出“紧急事故终止剂注入成功〞。
任何一项检查不通过，画面打出“紧急事故终止剂注入失败〞。
4) 假设上述检查都通过，十分钟后程序自动关闭阀门1V-V201N-71、74、82，并且画面打出“紧急事故终止剂注入完毕〞。
5) ESS 系统注入完毕后，再按下事故台上的“报警总复位按钮〞以解除报警。
3、ESS 系统注入考前须知：每次事故处理完毕后，操作人员必须点击“注入初始化〞，使程序处于备妥状态。
二、ESS 系统可靠性检查1、ESS 系统可靠性检查程序启动条件1) 正常生产时，40 个釜批次。
全面的ESD防静电检测作业手册
全面的ESD防静电检测作业手册为了确保电子敏感器件（ESD）在制造、运输和储存过程中的安全，防止静电放电（ESD）造成的损害，本手册提供了一系列全面的ESD防静电检测作业程序和指导。
1. 引言1.1 目的本手册旨在为ESD防静电检测提供一套全面的操作指南，确保所有工作人员在进行相关作业时遵循统一的标准化流程。
1.2 适用范围本手册适用于所有涉及ESD敏感器件的制造、测试、包装、运输和储存环节。
1.3 术语和定义- ESD: 静电放电- ESDS: 静电敏感器件2. ESD基础知识2.1 ESD的产生和放电过程- 静电的产生：通过摩擦、接触-分离、电离等方式在物体之间产生电荷不平衡。
- 静电放电：当电荷积累到一定程度时，会通过空气或接触到一个导电体而发生放电。
2.2 ESD对ESDS的影响ESDS在遭受静电放电时可能会导致永久性损坏，表现为性能退化或功能失效。
3. ESD防护措施3.1 个人防护装备（PPE）- 防静电手环：工作人员应佩戴防静电手环，以导走身体积累的静电。
- 防静电衣物：穿着防静电衣物和鞋子，减少静电的产生和积累。
3.2 工作环境控制- 湿度控制：保持适当湿度，以降低空气中静电的产生。
- 抗静电地面：使用抗静电地面材料，以便于静电的泄漏。
3.3 防静电设备- 防静电桌垫：工作台面应配备防静电桌垫。
- 防静电包装：使用防静电材料进行包装，保护ESDS免受静电影响。
4. ESD检测程序4.1 检测设备- 静电电压检测器：用于检测环境或物体表面的静电电压。
- 静电放电模拟器：用于模拟真实环境中的ESD事件。
4.2 检测频率- 工作前检测：工作人员在上岗前应进行静电电压检测。
- 工作过程中检测：定期对工作环境、设备、材料进行检测。
4.3 检测标准- 根据国际电工委员会（IEC）标准，ESD防护措施应确保ESDS在整个生命周期内不受静电放电的影响。
5. ESD事故处理5.1 事故响应- 若发生ESD事故，立即采取措施停止放电，如使用导电体接触受影响器件。
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此设备为流程高低压感应导阀也提供了接入口。启动时，可以拉动阀 B-1 并销住，使仪表气输入到旁 路。一旦从流程高低感应导阀的信号变成正常，旁路会自动被解除。
手动旁路设备
此设备还具有流程高低压感应导阀手动旁路设备。可以把 3 向可选阀 P-1 开到 BYPASS 旁路模式，使 此输入到旁路，直到阀门选择返回到“IN-SERVICE 使用中”模式。此阀设有线封以防止未授权操作。
ESD 控制面板操作维护手册
ESD-01
综述
ESD 控制面板设计为具有 ESD 控制回路，FSD（易熔关闭系统）控制回路以及 3 个液压控制接口。 面板上有液压控制接口的手动开/关。ESD 控制回路和 FSD 控制回路和液压控制接口的工作状态也显 示在面板上。
面板空气源压力 高低压感应阀供气压力 易熔回路供气压力
维护保养指南
项目 A. 仪表气压力调节器 B. 释放阀
C. 液压油罐
D. 过滤器 E. 液压泵吸入过滤器 F. 液压泵 G. 单流阀 H. 压力表 I. 指示
J. 管线、接头、液压部件
K. 高压球阀、循坏阀 L. 液压蓄能器 M. ESD 控制系统 N. ESD 控制面板
工作内容 1．如需要，检查运行、压力设置读数。 1． 检查运行、压力设置。如需要，进行调节。 2． 检查设定值、重新设置、如需要更换。 1． 检查油位。 2． 检查油有无脏污。 3． 倒掉和更换液压油。 4． 清洗液位玻璃。 1．检查、清洗、和更换 1．检查、清洗、测试有无漏失 1．拆卸、润滑 1．如果有漏失，检查保压情况 1．测试和校验。如果损坏或不能校验，更换 1． 开关阀门 2． 拆卸、检查密封、润滑 1． 检查有无漏失 2． 维修或上紧 1．开关阀门、测试漏失 检查充氮气压力，如需要充氮气。 测试，检查、进行开关试验 用淡肥皂水和清水冲洗、清洗
2
在加压过程中，注意检查液压系统管线接头可能出现的液压油泄露。如有泄漏，需要把接头 拧紧。
打开阀接口 1、 使阀 P-1 NORMAL (SERVICE) 正常（使用）模式，H-1 和 H-2 处于开启状态。 2、 拉动阀 B-1。使之处于 OPEN 开启位置。 3、 压力表 GG-2，GG-3 和 GG-4 将显示液压系统的满程液压力（400kg/sp.cm）。至此，液压接口全部打开。
ESD 按钮供气压力
控制供气压力
拔开/推关所有液控阀 按-易熔回路充气
按-ESD 回路充气
液压泵排出压力
液控阀 1 压力
液控阀 2 压力
液控阀 3 压力
液控阀 1 开关阀
液控阀 2 开关阀
1
液控阀 3 开关阀
面板空气源
到易熔回路 空气供应到高低压感应阀
到 ESD 回路
到液控阀 1
到液控阀 2
到液控阀 3
频次 月 月 月 周 月 年 年 半年 月 年 两年 两年 月 年 半年 半年 月 半年 月 半年
3
从高低压感应阀
液压油罐泄放
过滤器泄放
面板呼吸器
控制面板的设置和操作程序
概述 1、 确保现场所有的输入和输出都与面板的接头相连接。现场的仪表空气供给 3.5kg/sq.cm 应该通到流动管
线高低压感应导阀管路。
面板仪表空气供给至少应为 5上。
设置程序 1、 调节压力控制器 JJ-1 至 3.5kg/sq.cm。压力表 X-1 会显示此控制压力的设置。 2、 ESD 控制回路充气
按阀 CC-2，为 ESD 控制回路充气。ESD 控制回路充气压力会显示在压力表 X-3 上。 3、 FSD 控制回路充气
按阀 CC-1，对 FSD 控制回路充气。FSD 控制回路充气压力会显示在压力表 X-2 上。
4、 液压系统 a、 检查并将液压油箱加液压油至液位计的最大刻度，如图中指定的位置。 b、 调节压力控制器 JJ-2 的输出压力至 0。 c、 确保阀 K-3 是关闭的。液压系统的所有的其他阀门都处于开启状态。 将液压泵 LL-1 空气供给压力调节器 JJ-2 旋转 1/4 转，液压泵 LL-1 开启，直到液压系统的液压压 力增大到由泵输出压力和空气供给压力比率设定的压力值。 继续以不同的压力增量调高空气供给压力调节器的供给压力，使得每次系统的液压压力保持 稳定（由泵停止为指示），直到达到要求的液压系统压力 400kg/sq.cm。