中国国家电子级超纯水标准.doc
工业超纯水水质试行标准
我国电子工业超纯水水质试行标准、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准。
电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。
电导率≤10μS/CM动物饮用纯水(医药)、普通化工原料配料用纯水、食品行业配料用纯水、普通电镀行业冲洗用去离子纯水、纺织印染用除硬脱盐纯水、聚脂切片用纯纯水、精细化工用纯水、民用饮用纯净水、其它有相同纯水质要求的用纯水.电导率≤4μS/CM电镀化学品生产用纯水、化工行业表面活性剂生产用纯水、医用纯化水、白酒生产用纯水、啤酒生产用纯水、民用饮用纯净水、普通化妆品生产用纯水、血透纯水机用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水.电阻率5~10MΩ.CM锂电池生产用纯水、蓄电池生产用纯水、化妆品生产用纯水、电厂锅炉用纯水、化工厂配料用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水.电阻率:10~15MΩ.CM动物实验室用纯水、玻壳镀膜冲洗用纯水、电镀用纯纯水、镀膜玻璃用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水.电阻率≥15 MΩ.CM医药生产用无菌纯水、口服液用纯水、高级化妆品生产用去离子纯水、电子行业镀膜用纯水、光学材料清洗用纯水、电子陶瓷行业用纯水、尖端磁性材料用纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水.电阻率≥17 MΩ.CM磁性材料锅炉用软化纯水、敏感新材料用纯水、半导体材料生产用纯水、尖端金属材料用纯水、防老化材料实验室用纯水、有色金属，贵金属冶炼用纯水、钠米级新材料生产用纯水、航空新材料生产用纯水、太阳能电池生产用纯水、纯水晶片生产用纯水、超纯化学试剂生产用纯水、实验室用高纯水、其它有相同纯水质要求的用纯水.电阻率≥18 MΩ.CM ITO导电玻璃制造用纯水、化验室用纯水、电子级无尘布生产用纯水等其它有相同纯水质要求的用纯水，光伏光电行业。
超纯水行业相关水质标准
50
美国半导体工业用纯水指标
项 目
Ⅰ级
Ⅱ级
Ⅲ级
Ⅳ级
残渣，mg/L
0.1
0.3
0.3
0.5
TOC，mg/L
0.02
0.05
0.10
0.40
颗粒，粒/L
500
1000
2500
5000
细菌数，个100mL
0
6
10
50
活性硅SiO2，μg/L
35Βιβλιοθήκη 1040电阻率MΩ·cm
18.3
17.9
17.5
17.0
阳离子，μg/L
1
1
10
500
硫酸根，最大值 ug/L
1
1
10
500
总有机碳，最大值 ug/L
20
100
200
1000
美国纯水水质标准
（美国计量测试学会ASTM纯水水质标准，1983）
序号
水质项目
单位
E-Ⅰ
E-Ⅱ
E-Ⅲ
E-Ⅳ
1
电阻率，25℃
MΩ.cm
18
15
2
0.5
2
二氧化硅（全）
µg/l
5
10
100
1000
3
微粒（粒径≥1μm）
个/ml
2
5
100
500
4
微生物
个/ml
1
10
50
100
5
有机物TOC
µg/l
50
200
1000
5000
6
铜Cu
µg/l
2
10
超纯水
Aquaprince系列实验室超纯水机Aquaprince系列超纯水机操作简单，使用方便，结构紧凑、功能完备，是为一般实验室应用设计的。
特别适用于高效液相、离子色谱、原子吸收/发射光谱、氨基酸分析、TOC检测、环境监测、一般理化分析实验，理化检测、溶液配制，器皿冲洗、学生实验等实验项目。
产品功能特点1.自来水进水，全自动连续产水，极大的满足了实验室的用水需求；2.艾科浦专利的特殊深度除盐处理，更适合高含盐量（如中国北方地区）的进水水源，可有效减轻后级纯化柱的脱盐负担，降低设备运行成本约两倍以上；3.触摸键盘控制，产品小型集成化设计，占地面积小，外形美观；4.可选定时取水程序化设计，免除人工取水等候；5.可选故障自动监测系统，内置定时冲洗程序、IC微电脑智能控制系统运行；6.开机自检、缺水保护报警、停电自动复位、纯水箱满水后自动停机、超低压保护等功能；7.采用进口的RO膜、离子交换树脂、抛光核子级树脂、静音高压泵、电磁阀等，产品性能得到最大化的保证。
8.可选系统自动循环程序化设计，有效保证超纯水水质；9.RO自动冲洗，可选内置RO膜防垢程序设计，最大化延长配件寿命。
10.水质在线监测系统，可即时测量产水的水质，实现人机对话；11.可选RS232接口，记录历史水质情况；12.可选遥控/感应取水功能设计，更方便取水；13.标配有各规格（30L/40 L /60 L等）的纯水专用水箱供选；14.具备水质水量升级功能；Aquaprince标准有机型超纯水机Aquaprince标准无机型超纯水机Aquaprince基础分析型超纯水机Aquaprince基础应用型超纯水机根据客户需求量身定做机型，型号为：A□□-□□□□-U/PTZ；源水TDS<200ppm，单级反渗透0-10μs/cm，双级反渗透0-5μs/cm；超纯水：比电阻达到18.25MΩ.cm@25℃;符合中国GB6682-92的Ⅰ级水标准和ASTM CAP NCCLS标准；硅截留率＞99.9% ，吸光度（254nm,1cm光程）≤0.001，可溶性硅[以（SiO2）计]＜0.01ppm，微粒（＞0.22µm ）＜1/ml，重金属含量(ppm.max)＜0.01，TOC＜15 ppb超纯水：比电阻达到18.25MΩ.cm@25℃;符合中国GB6682-92的Ⅰ级水标准和ASTM CAP NCCLS标准；硅截留率＞99.9% ，吸光度（254nm,1cm光程）≤0.001，可溶性硅[以（SiO2）计]＜0.01ppm，微粒（＞0.22µm ）＜1/ml，重金属含量(ppm.max)＜0.01，菌落数<1cfu/ml，TOC＜10 ppb超纯水：比电阻达到18.25MΩ.cm@25℃;符合中国GB6682-92的Ⅰ级水标准和ASTM CAP NCCLS标准；硅截留率＞99.9% ，吸光度（254nm,1cm光程）≤0.001，可溶性硅[以（SiO2）计]＜0.01ppm，微粒（＞0.01µm ）＜1/ml，重金属含量(ppm.max)＜0.01，菌落数<1cfu/ml，热源含量＜0.001EU/ml，TOC：1-3 ppb谱尼上海实验室专业水质检测分析中心。
纯水等级标准国标
纯水等级标准国标纯水等级标准国标是《GB/T 6682-2008纯水质量规范》。
其中规定了纯水的五个等级，分别为Ⅰ级纯水、Ⅱ级纯水、Ⅲ级纯水、Ⅳ级纯水和Ⅴ级纯水。
各级别的纯水的指标要求如下：Ⅰ级纯水：电导率≤ 0.1μS/cm，总有机碳(TOC) ≤ 0.5mg/L，细菌总数≤ 1 cfu/mL，金属离子（Na、K、Ca、Mg、Fe、Cu、Zn、Mn、Ni、Cr、Cd、Pb）≤ 10μg/L，其他离子（Cl、NO3-、SO4^2-、PO4^3-、SiO2、NH4+）≤ 50μg/L。
Ⅱ级纯水：电导率≤ 1.0μS/cm，总有机碳(TOC) ≤ 2.0mg/L，细菌总数≤ 10 cfu/mL，金属离子（Na、K、Ca、Mg、Fe、Cu、Zn、Mn、Ni、Cr、Cd、Pb）≤ 50μg/L，其他离子（Cl、NO3-、SO4^2-、PO4^3-、SiO2、NH4+）≤ 100μg/L。
Ⅲ级纯水：电导率≤ 2.0μS/cm，总有机碳(TOC) ≤ 5.0mg/L，细菌总数≤ 100 cfu/mL，金属离子（Na、K、Ca、Mg、Fe、Cu、Zn、Mn、Ni、Cr、Cd、Pb）≤ 200μg/L，其他离子（Cl、NO3-、SO4^2-、PO4^3-、SiO2、NH4+）≤ 500μg/L。
Ⅳ级纯水：电导率≤ 4.0μS/cm，总有机碳(TOC) ≤ 10.0mg/L，细菌总数≤ 200 cfu/mL，金属离子（Na、K、Ca、Mg、Fe、Cu、Zn、Mn、Ni、Cr、Cd、Pb）≤ 500μg/L，其他离子（Cl、NO3-、SO4^2-、PO4^3-、SiO2、NH4+）≤ 1000μg/L。
Ⅴ级纯水：电导率≤ 10.0μS/cm，总有机碳(TOC) ≤20.0mg/L，细菌总数≤ 500 cfu/mL，金属离子（Na、K、Ca、Mg、Fe、Cu、Zn、Mn、Ni、Cr、Cd、Pb）≤ 1000μg/L，其他离子（Cl、NO3-、SO4^2-、PO4^3-、SiO2、NH4+）≤ 2000μg/L。
超纯水及实验室用水标准
电阻率MΩ.CM.（25℃）
18(95‰时间)不低于17
15(95‰时间)不低于13
硅≤μg/L
2
10
＞1μm微粒数
0.1
5
细菌个数≤个/ml
0.01
0.1
铜≤μg/L
0.2
1
锌≤μg/L
0.2
1
镍≤μg/L
0.1
1
钠≤μg/L
0.5
2
钾≤μg/L
0.5
2
氯≤μg/L
1
1
硝酸根≤μg/L
<吸光度（254nm,1cm光程）≤
0.001
0.01
-
蒸发残渣（105±2℃），mg/L≤
-
1.0
2.0
可容性硅[以（sio2）计]，mg/L<
0.01
0.02
-
实用三个等级净化水的技术要求(GB6682)：
一级水：基本上不含有溶解或胶态离子杂质及有机物。它可用二级水经进一步处理而制得。
二级水：可含有微量的无机、有机或胶态杂质。
1
1
磷酸根≤μg/L
1
1
硫酸根≤μg/L
1
1
总有机碳≤μg/L
20
100
中国实验室用水国家标准GB6682-2000
PH值范围（25℃）
-
-
5.0-7.5
电导率（25℃）,mS/m ≤
0.01
0.10
0.50
比电阻（MΩ.cm.25℃）≥
10
1
0.2
可氧化物质[以（0）计]，mg/L
-
0.08
0.40
三级水：适用一般实验室实验工作。
电子级超纯水中国国家标准GBT11446
中华人民共和国国家标准GB/T 11446.1-1997电子级水代替GB 11446.1--89Electronic grade water1 范围本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检验规则.本标准适用于电子元器件生产和清洗用水．2 引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用丽构成为本标准的条文．本标准出版时，所示版本均为有效．所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性．GB/T 11446.3——1997 电子级水测试方法通则GB/T 11446.4——l997 电子级水电阻率的测试方法GB/T 11446.5——1997 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法GB/T 11446.6——1997 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法GB/T 11446.7——1997 电子级水中痕量氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的离子色谱测试方法GB/T 11446.8——1997 电子级水中总有机碳的测试方法GB/T 11446.9——1997 电子级水中微粒的仪器测试方法GB/T 11446.10——1997 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法3 定义本标准采用下列定义．3.1电子级水electronic grade water制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水．3.2电阻率resistivity在规定温度下,1 cm²水溶液两相对面之间测得的电阻值．通常用符号P表示，单位为Ω﹒cm，纯水的理论电阻率为18.3 MΩ﹒cm (25℃)．3.3全硅total silicon水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量．3.4可溶性硅soluble silicon以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐．3.5微粒性物质granular matter除气体以外，以非液态分散在水中，并形成非均相混合物的物质．3.6总有机碳(TOC) total organic carbon水中以各种有机物形式存在的碳的总量．包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。
中国国家电子级超纯水标准
10
500
细菌个数，最大
，个/mL
10
100
铜，最大值，μ1
5
500
镍，最大值，μg/L
1
2
500
钠，最大值，μg/L
2
5
1000
钾，最大值，μg/L
2
5
500
氯，最大值，μg/L
1
1
10
1000
硝酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
磷酸根，最大值，μg/L
1
1
5
2
1
5
1
1
1
100
注*（95％时间不低于17），**（95％ 时间不低于13）
中国国家电子级超纯水GB/－1997标准
指标\级别
EW－Ⅰ
EW－Ⅱ
EW－Ⅲ
EW-Ⅳ
电阻率 MΩ，cm(25℃)
18以上，（95％时间）不低于17
15，（95％时间）不低于13
全硅，最大值,μg/L
2
10
50
1000
＞1μm微粒数，最大值，个/mL
500
硫酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
总有机
，最大值，μg/L
20
100
200
1000
电子级超纯水中国国家标准（GB/）
项目
级别
比电阻 MΩ.cm@25℃
硅 ≤ μg/L
>1μm微粒数 < 个/ml
细菌个数< 个/ml
铜≤μg/L
锌≤μg/L
镍≤μg/L
钠≤μg/L
钾 ≤ g/L
氧≤ μg/L
电子级超纯水中国国家标准GBT11446
中华人民共和国国家标准GB/T 11446.1-1997电子级水代替GB 11446.1--89Electronic grade water1 范围本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检验规则.本标准适用于电子元器件生产和清洗用水．2 引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用丽构成为本标准的条文．本标准出版时，所示版本均为有效．所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性．GB/T 11446.3——1997 电子级水测试方法通则GB/T 11446.4——l997 电子级水电阻率的测试方法GB/T 11446.5——1997 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法GB/T 11446.6——1997 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法GB/T 11446.7——1997 电子级水中痕量氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的离子色谱测试方法GB/T 11446.8——1997 电子级水中总有机碳的测试方法GB/T 11446.9——1997 电子级水中微粒的仪器测试方法GB/T 11446.10——1997 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法3 定义本标准采用下列定义．3.1电子级水electronic grade water制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水．3.2电阻率resistivity在规定温度下,1 cm²水溶液两相对面之间测得的电阻值．通常用符号P表示，单位为Ω﹒cm，纯水的理论电阻率为18.3 MΩ﹒cm (25℃)．3.3全硅total silicon水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量．3.4可溶性硅soluble silicon以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐．3.5微粒性物质granular matter除气体以外，以非液态分散在水中，并形成非均相混合物的物质．3.6总有机碳(TOC) total organic carbon水中以各种有机物形式存在的碳的总量．包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。
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附 1 中国国家电子级超纯水规格GB/
电阻
>1μ m
率硅铜锌镍钠钾氯细菌磷酸根
颗粒硝酸根硫酸根
25℃≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤个≤μTOC≤μ g/L
≤个≤ g/L ≤μ g/L MΩg/L g/L g/L g/L g/L g/L g/L /ml g/L
/ml
*cm
EW-I ≥ 18* 2 1 1 1 1 20
≥1
EW-II 10 0 0 1 2 2 1 5 1 1 1 100 **
注* （ 95％时间不低于17）， ** （ 95％时间不低于13）
中国国家电子级超纯水GB/－ 1997 标准
指标级别EW－ⅠEW－ⅡEW－ⅢEW-Ⅳ
18 以上，（95％时间）不低
电阻率MΩ， cm(25℃ ) 15，（ 95％时间）不低于13
于17
全硅，最大值 , μ g/L 2 10 50 1000 ＞ 1μ m微粒数，最大值，个 /mL 5 10 500
细菌个数，最大
10 100 ，个 /mL
铜，最大值，μ g/L 1 2 500 锌，最大值，μ g/L 1 5 500 镍，最大值，μ g/L 1 2 500 钠，最大值，μ g/L 2 5 1000 钾，最大值，μ g/L 2 5 500 氯，最大值，μ g/L 1 1 10 1000 硝酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 磷酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 硫酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500
总有机
201002001000 ，最大值，μg/L
电子级超纯水中国国家标准（GB/）
>1μm微
项目
比电阻 MΩ.cm@25℃硅≤粒数 < 个细菌个数氧≤硝酸根≤磷酸根≤硫酸根总有机碳级别
μg/L /ml < 个/ml 铜≤μ g/L 锌≤μ g/L 镍≤μ g/L 钠≤μ g/L 钾≤ g/L μg/L μg/L μg/L ≤μg/L ≤μg/L
18（ 95%的时间不低于
EW-Ⅰ 2 1 1 1 1 20 17）
15（ 95%的时间不低于
EW-Ⅱ10 5 1 1 1 2 2 1 1 1 1 100 13）。