JEM2100透射电镜简易操作说明
JEM2100F 透射电镜系统解析
1. LENS系统
• LENS系统的参数在电镜出厂前已被厂家设定，具体参见 “INSPECTION CERTIFICATE”,但是CL（聚光镜），OL （物镜），INT1（第一中间镜）参数在一定条件下可以改 变的，但有一个范围。 • 其中Brightness改变CL3的值，在SA MAG和DIFF模式下 DIFF FOCUS改变INT1的值。
客户合轴
第四章. 特殊功能应用
• UFC功能应用 • ACD功能应用 • 中心点校正
1. UFC功能应用
1）UFC模式即客户功能存储模式，提供存储 合轴数据。 2）这样可以根据具体情况存储感兴趣的合轴 数据。建议：用指定的一项（以日期为名 字）作为存储的空间，每周进行TEM模式 合轴的存储，这样可以更好地使用此功 能。
第二章. 高压系统
• • • • 高压READY条件 灯丝READY条件 Beam Current解析 偏压Bias解析
1. 高压READY条件
• 真空READY：SIP启动，并抽镜筒与电子枪的真空（即 连通镜筒与电子枪的阀门V4要打开）且真空指示进入104Pa。但要求低于1X 10-4Pa时，才可以加高压。 • 电子枪的SF6气体压力不能低于0.28MPa(此处有压力检测 开关) • 高压电缆处的位置检测开关应处于合并状态。
• ACD(Anti-Contamination Device)使用
由于往ACD装置里加液氮，故而在物镜的周围形成冷指 环境，起到抗污染作用，且也是一个很好的低温吸附泵 以提高镜筒真空度。 ACD加液氮过程.mpg使用时须注意以下 几点。
1）液氮在容器里需要一定的稳定时间（小时级），由于液氮不稳 定会造成振动，故做高分辨时要注意。 2）为节省液氮需要将ACD TANK的入口以及颈部和空气尽量隔 开。 3）如果早上加液氮，中午休息前最好ACD TANK加满液氮，以防 止下午工作因没有液氮系统真空出现异常。 4）实验结束后，必须把液氮烘干（Filament OFF,HT OFF,拔出样品 杆，插入ACD 加热器，按下ACD键，此时离子泵OFF，扩散泵抽 镜筒，待2个小时后ACD键熄灭，离子泵自动启动），以防止ACD TANK内因无液氮而温度升高，吸附的气体分子脱离冷指使离子泵 负载过重而出现异常。
JEM2100F透射电镜系统解析
• 由于极限压强较高， 常用做 前级泵(预抽泵)。
旋转机械泵剖面图
2. 扩散泵解析
• 工作过程：油蒸发—喷射—凝结， 重复循环
• 由于射流具有工作过程高流速(约 200米/秒)、高密度、高分子量 (300—500)，故能有效地带走气体 分子。
JEM-2100培训资料
第一篇 透射电镜系 统解析
系统解析分类
• 真空系统 • 高压系统 • 电子光学泵解析 • 离子泵解析 • 抽真空时序解析 • 真空规解析
1. 机械泵解析
• 工作过程： 吸气—压缩—排 气。
• 机械泵油起润滑，密封和堵 塞缝隙的作用。
第三章. 电子光学系统
• LENS系统 • 偏转(Deflection)系统
1. LENS系统
• LENS系统的参数在电镜出厂前已被厂家设定，具体参见 “INSPECTION CERTIFICATE”,但是CL（聚光镜），OL （物镜），INT1（第一中间镜）参数在一定条件下可以改 变的，但有一个范围。
• 发射电流为打开灯丝加热电流，并从灯丝处发射出电子 形成的电流。通过调整偏压来获得发射量。（请不要随 意调整灯丝加热电流限定位置，以防止加热过高导致灯 丝损害）
3. 偏压BIAS解析
• 简单的说，BIAS的作用是抑制电子束的发射。 • 所以通过调整BIAS，就可以得到所要的发射量。对于JEM-
2100 BIAS的指示值越大，其BIAS的电压绝对值越小，抑 制能力越差，电子束发射量越大。
• 当PEG低于5X10-3Pa时SIP启动。
• 当P1,P2,P3,P4值低于35时，说明系统进入READY状态（高 真空时PIRANI值设为25）
JEM-2100透射电镜像散调整经验总结
JEM-2100透射电镜像散调整经验总结
陈大兴
【期刊名称】《分析仪器》
【年(卷),期】2024()1
【摘要】JEM-2100透射电镜拍摄清晰的照片需要对像散认真调整,像散是由光束经透镜折射后,光束不能聚焦于一点而形成的。
由于像散是难以消除的,只能尽量减少,而且像散调节需要按照一定的步骤和要求进行,本文对像散调节的基本方法和要求进行了总结。
【总页数】4页(P72-75)
【作者】陈大兴
【作者单位】首都医科大学中心实验室
【正文语种】中文
【中图分类】O43
【相关文献】
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4.JEM-2100透射电镜多次烘烤与样品仓维护维修
5.四逆散合平胃散加味治疗胃痞病的经验总结
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透射电镜操作程序
JEM-100CXⅡ透射电镜操作说明一、开机程序1、首先打开房间空调，冷却循环水房温度21度，操作室25度2、开启冷却水循环装置，一个独立的小的控制器，先将开关打至ON，再将按下POWER键3、启动稳压电源，稳定于220V；查看电源箱供电指示灯亮4、用钥匙启动主机，从OFF档位旋到START位，松开后钥匙自动回到ON位置。
仪器自动抽真空，等待约40分钟。
5、直至DP绿灯亮，HIGH绿灯亮，READY绿灯亮（若不亮的话，将LENS LIGHT打至ON档位）。
二、电子枪合轴（1-3合轴）1、确认READY绿灯亮2、把样品拨出，物镜光栏拨出至0档位3、加高压：按下HT键后，依次按下40-60-80-100KV键，并注意观察束流表是否正常，每次都要等电流表显示稳定之后再进行下一步，一般调到80KV就行了。
4、加灯丝：将FILAMENT EMIISSION旋钮缓慢旋至锁定位置5、一般在SCAN（5300倍）条件下调节，调节CONDENSER钮，得到光斑。
6、SPOT SIZE调到3档，调节CONDENSER钮聚光，得到最小最亮光斑，然后用左右ALIGNMENT：TRANS（小的）将光斑拉至最中心位置（中心位置有一黑点）。
7、SPOT SIZE调到1档，调节CONDENSER钮聚光，得到最小最亮光斑，然后用GUNALIGNMENT：TRANS（X、Y）将光斑拉至中心位置。
8、再重复6、7步骤，使束流不偏离中心。
三、调灯丝相（每次开机都需要检查）1、在SCAN模式下，SPOT SIZE调到1档2、将FILAMENT EMIISSION旋钮稍稍往回调，到看到灯丝欠饱和像，即车轮像（鱼眼像），若车轮像不对称，则进行下面调节。
3、缓慢旋转GUN ALIGNMENT：TILT（X、Y），使灯丝像对称。
4、然后调节FILAMENT EMIISSION旋钮至灯丝饱和（即刚好全亮，没有阴影），并锁定该位置。
四、粗对焦（该步很重要）1、关灯丝（FILAMENT EMIISSION旋钮至OFF）后，插入样品，插入物镜光栏（2档）2、开灯丝（FILAMENT EMIISSION旋钮至ON）后，放大光斑至满屏（以免烧坏铜网）3、找到样品，并选中一目标为参照4、将IMAGE WOBBLER打至ON，此时看到样品会有一定的晃动，调节FOCUS旋钮（有大中小三个，一般只用到中和小）至图像清晰没有重影。
(精品)JEM2100透射电镜简易操作说明
JEM-2100 操作说明一、合轴操作1．照明系统合轴（1）.找亮：当打开灯丝，并且灯丝电流发射之后，应该在荧光屏上找到电子束，若打开灯丝后没有发现电子束，请进行以下操作：将放大倍数降低到10K左右，移动轨迹球，撤除所有光阑，基本上以上操作可以解决大多数没亮的情况若仍然找不到亮，则需调整GUN TILT进行找亮当然，也可以在用户模式下直接对GUN进行清零操作NTRL！正常情况下就能找到电子束了。
(2)灯丝像调节:放大倍数为X40K，将光斑用beam shift移动到屏幕中心，慢慢降低灯丝电流，并且用BRIGHTNESS旋钮将光斑聚到最小，随着灯丝电流下降，可以观察到灯丝像出现。
如图所示标准的六硼化阑灯丝像是均匀对称的四瓣花型的，若发现花瓣不对称，说明灯丝偏了，需要用GUN TILT调节到对称即可。
调节完毕后将灯丝电流升高到正常数值，即稍能看到一点灯丝像阴影。
（3）1、5合轴：将束斑调到SPOTSIZE 5，用beam shift 将束斑移动至屏幕中间，切换至SPOTSIZE 1 ，用gun shift将偏移的束斑移动至屏幕中间，重复此过程直到当切换SPOTSIZE1到5时束斑基本上不发生偏移即可。
（4）聚光镜消象散：观察各个束斑形状，如果发现束斑形状椭圆，则用CONDSTIG 键将束斑调圆即可。
（5）加聚光镜光阑：聚光镜光阑红点位置表示退出，其余的点的大小表示当前所加入的光阑孔大小，顺时针加入光阑至合适的孔径，一般用1号或2号光阑孔，加完后用beam shift 将光斑移动至屏幕中心，这时顺时针转动BRIGHTNESS将光斑放大到与屏幕同大，若光阑没有加正，则光斑不是均匀覆盖屏幕，即光斑补随BRIGHTNESS同心放大，此时调节光阑前端和右侧的两个旋钮使光斑圆心与屏幕同心即可。
（6）样品高度调节：找一处样品，按下IMAGE WOBBLE X或Y，观察图像震动，调节Z键直至将图像震动幅度最小即可2．成像系统合轴（1）电压中心调节：找一样品尖端处，将尖端移动到屏幕中间黑点处。
2100F高分辨电镜操作顺序--个人小结
2100F高分辨电镜操作顺序--个人小结编辑整理：尊敬的读者朋友们：这里是精品文档编辑中心，本文档内容是由我和我的同事精心编辑整理后发布的，发布之前我们对文中内容进行仔细校对，但是难免会有疏漏的地方，但是任然希望（2100F高分辨电镜操作顺序--个人小结）的内容能够给您的工作和学习带来便利。
同时也真诚的希望收到您的建议和反馈，这将是我们进步的源泉，前进的动力。
本文可编辑可修改，如果觉得对您有帮助请收藏以便随时查阅，最后祝您生活愉快业绩进步，以下为2100F高分辨电镜操作顺序--个人小结的全部内容。
装好试样后,开始操作JEM—2100F的步骤：1、打开beam阀,在LOW MAG下，找到薄区所在的位置;2、在LOW MAG下将放大倍数调至500倍，然后切换至MAG1；3、找到一个薄区，将放大倍数调至2000倍,按下STD FOCUS，再进行调Z的步骤：1）方法一：将试样边沿移至屏幕中心，按下IMAGE WOBB X，试样呈抖动状态,再通过调节，使屏幕中心试样不在抖动为止;2）、方法二：找到试样薄区，逆时针旋转BRIGHTNESS，使电子束汇聚为一点，再通过调节，使各衍射斑点汇聚于同一点；4、将放大倍数调至100K倍（调节放大倍数时，需要同时旋转BRIGHTNESS和MAG/CAM L），并将无试样区域移至屏幕中心，逆时针旋转BRIGHTNESS至电子束呈合适大小内、外圆形；5、按下BRIGHT TILT按钮，并通过调节SHIFT X和SHIFT Y将电子束移至屏幕中心，再通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y将电子束的内圆恰好移至外圆的中心(若电压对中过程中，平移与偏转相互影响,则联动比有问题,需要调最新的合轴文件）;6、再按下COND STIG按钮，通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y将电子束的内圆内的图形调成“奔驰”车标形状；7、逆时针旋转BRIGHTNESS，使电子束的内圆和外圆重合，再在HIGH VOLTAGE CONTROL 界面中点击“ON”，按下F4，通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y使内外圆同心缩放；8、检查电压对中和聚光镜消象散；9、顺时针旋转BRIGHTNESS，使电子束充满整个屏幕，套取一号聚光镜光阑，将电子束调至屏幕中心（机械对中）;10、再次合轴,将放大倍数调节至400K倍，再次检查电压对中和聚光镜消象散;11、将放大倍数调至100K倍,并将薄区边沿移至屏幕中心，通过调节OBJ FOCUS旋钮，将试样边沿调至为微欠焦(略显白色边沿），再将放大倍数调至400K倍，并将边沿区移至屏幕中心，按下F1，然后打开CCD,并调出傅里叶变换，按下OBJ STIG，通过调节DEF/STIG X和DEF/STIG Y和OBJ FOCUS旋钮（使傅里叶变换为一圆环)，得到清晰的高分辨像；12,关闭CCD，再按下F1，将放大倍数调至100K倍,找到感兴趣薄区，并将电子束汇聚于一点，按下SA DIFF按钮，并将相机常数调至60CM，手动将菊池线的交点移至电子束中心；至此，已完成电镜合轴、消象散、踩带轴的步骤，接下来便可进行选区电子衍射、明场像、暗场像和高分辨像的操作.一、选区电子衍射步骤:1、合轴完成后，在TEM、MAG1模式下，将感兴趣区移至屏幕中心；2、通过感兴趣大、小来套取合适的选区光阑；3、按下SA DIFF按钮转为衍射模式，获得相应的电子衍射花样，并通过调节MAG/CAM L 获得合适的相机常数（20-30CM）-—-不同相机常数的意义；4、通过顺时针旋转BRIGHTNESS和调节DIF FOCUS获得足够暗、圆锐的衍射斑点。
日本电子透射电镜操作和使用要点
内容： 1、由TEM构造到TEM操作 2、由平行电子束到会聚电子束 3、由TEM模式到STEM模式 4、总结
总结： 1、HT重要性，常规合轴三步曲 2、会聚束模式使用 3、HRSTEM与STEM EDS analysis
光阑部分：光阑合轴 聚光镜光阑：光阑孔选择， ＃1常规图像与选区衍射 ＃2高分辨观察， ＃3纳米束分析 ＃4纳米电子束衍射 物镜光阑作用-提高图像衬度，选择合适衍射信息成像 TEM-BF/DF TILT/SHIFT 中间镜光阑作用：选区尺寸大约2um-100nm 选区衍射：SAMG模式
小结： 常规合轴 （模式改变调节） 1. 电子束中心（beam shift） 2. CL 光阑校正 3. HT 中心调整 亚常规合轴 1. 电子枪合轴 （一周一次） 2. Tilt 联动比调节（很少） 3. Shift联动比调节（很少） 合轴数据存储 TEM模式 照明角 (Alpha selector) 1. Alpha 3 ≤ 40KX 2. Alpha 2 介于40kx 与 100kx之间 3. Alpha 1 ＞ 100kx Spot size 选择 1 或者2 Alpha转变时需要合轴三步曲
入射电子束
试样
入射电子束
试样
物镜 后焦面
像原理
STEM成像原理
电子源
第一聚光镜
第二聚光镜 扫描线圈
ASID提前准备工作： 1、物镜标准电流值 2、试样高度 3、TEM常规合轴
物镜前场 试样
ASID-STEM合轴 1、合光斑位置 2、合束斑-最佳束斑
STEM模式示意图
相机常数选择
Camera length 12cm 10cm 8cm HAADF1(11.26cm) HAADF2(9.8cm) HAADF3(7.8cm) HAADF4(5.6cm) HAADF5(4.2cm) Inner(mrad) 52 61 73 56 67 92 120 167
TEM操作流程
JEM-2100透射电子显微镜操作流程⏹冷阱、高压以及LENSE分两次加液氮，分两步升高压总计1h开LENSE，聚光镜光阑1档⏹安放样品使用样品杆前，请仔细检查样品杆是否完好、是否需要维护：销钉是否松动、高度感应端是否脱落）载物铜网正面朝上，压片压好载物铜网后轻轻旋紧螺钉洗耳球吹气确保样品杆关键部位没有杂物用样品杆中部轻击左手手掌，确保压片压好载物铜网⏹装样品杆预抽过程销钉对准卡槽，水平垂直推入样品杆（不得旋转）,开泵预抽（PUMP），听到噗的声音后松手，等样品杆旁边绿灯变亮后开始进杆；进杆紧握样品杆把手分两次向里均匀旋进（顺时针），直至样品杆进入样品室（该过程不得松手并有向外拉力、不得产生轴向力）拔杆确保关闭灯丝与CCD的前提下，用均匀的外力将样品杆向外拔（该过程较长），当样品杆受到阻力时，即可向外旋转（逆时针），旋转受到助力时，停止旋转，再用均匀力向外拔（该过程较短），当样品杆再次受到阻力时，即可向外旋转（逆时针），听到气门“噗”的声音时，停止拔杆。
手挡住样品杆尾部，放气（AIR）直至气门再次发出“噗”的声音时，将样品杆拔出样品室外。
测试步骤电压中心STD FOCUS低倍找样LOW MAG SPOTSIZE 1高倍照相MAG 1双中心调节聚光（BRIGHTNESS）看光斑是否在中心，不在中心采用电子束（SHIFT X Y）平移至中心粗聚焦利用IMAGE WOBB X Y、Z ⇑，Z ⇓调至样品不动为止1—5合轴在双中心的基础上（30 K），SPOTSIZE 5 光斑不在中心，采用电子束（SHIFT X Y）平移到中心，SPOTSIZE 1光斑不在中心，采用电子枪（F4+SHIFT X Y）平移到中心，调完点去F4，继调SPOTSIZE 1，反复多次，直至光斑中心不因SPOTSIZE的变化而偏移荧光屏中心注意：SPOTSIZE 5时不得采用F4键盘调像散100 K 将样品移开，用红线框选住碳膜，配合OBJ FOCUS 的FINE 或COARSE调出傅里叶椭球后，采用OBJ STIG+STIG X Y将椭球调节为圆形120 K 将样品移开，用红线框选住碳膜，先采用OBJ STIG+NTRL调出傅里叶椭球，再配合OBJ FOCUS 的FINE 或COARSE，采用OBJ STIG+STIG X Y将椭球调节为圆形。
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JEM-2100 操作说明
一、合轴操作
1．照明系统合轴
（1）.找亮：当打开灯丝，并且灯丝电流发射之后，应该在荧光屏上找到电子束，若打开灯丝后没有发现电子束，请进行以下操作：将放大倍数降低到10K左右，移动轨迹球，撤除所有光阑，基本上以上操作可以解决大多数没亮的情况
若仍然找不到亮，则需调整GUN TILT进行找亮
当然，也可以在用户模式下直接对GUN进行清零操作NTRL！正常情况下就能找到电子束了。
(2)灯丝像调节:放大倍数为X40K，将光斑用beam shift移动到屏幕中心，慢慢降
低灯丝电流，并且用BRIGHTNESS旋钮将光斑聚到最小，随着灯丝电流下降，可以观察到灯丝像出现。
如图所示标准的六硼化阑灯丝像是均匀对称的四瓣花型的，若发现花瓣不对称，说明灯丝偏了，需要用GUN TILT调节到对称即可。
调节完毕后将灯丝电流升高到正常数值，即稍能看到一点灯丝像阴影。
（3）1、5合轴：将束斑调到SPOTSIZE 5，用beam shift 将束斑移动至屏幕中间，切换至SPOTSIZE 1 ，用gun shift将偏移的束斑移动至屏幕中间，重复此过程直到当切换SPOTSIZE1到5时束斑基本上不发生偏移即可。
（4）聚光镜消象散：观察各个束斑形状，如果发现束斑形状椭圆，则用CONDSTIG 键将束斑调圆即可。
（5）加聚光镜光阑：聚光镜光阑红点位置表示退出，其余的点的大小表示当前所加入的光阑孔大小，顺时针加入光阑至合适的孔径，一般用1号或2号光阑孔，加完后用beam shift 将光斑移动至屏幕中心，这时顺时针转动BRIGHTNESS将光斑放大到与屏幕同大，若光阑没有加正，则光斑不是均匀覆盖屏幕，即光斑补随BRIGHTNESS同心放大，此时调节光阑前端和右侧的两个旋钮使光斑圆心与屏幕同心即可。
（6）样品高度调节：找一处样品，按下IMAGE WOBBLE X或Y，观察图像震动，调节Z键直至将图像震动幅度最小即可
2．成像系统合轴
（1）电压中心调节：找一样品尖端处，将尖端移动到屏幕中间黑点处。
按下HT WOBBLE让样品振颤，用BRIGHT TILT调节样品尖端在振颤时不偏离屏
幕中间黑点，即样品同心收缩即可。
（2）细聚焦：调节OBJ FOCUS 按钮，使要观察的样品调至正交处，可通过欠交，正交，过交现象来确认正交。
找一处孔的边界，在欠交下，孔边缘会
出现亮边，而在过交下，孔的边缘会出现黑边，介于欠、过交之间，无黑、
亮边时就是正交处。
（3）物镜消象散：物镜象散的消法是在X300K以上找一处微栅，边缘有非晶颗粒，不断变化欠交和过交位置，观察非晶颗粒形状有无方向性拉伸，若有
拉伸则说明有物镜象散，用OLSTIG调节至无方向拉伸即可。
二、插拔样品杆
插入样品杆时，先将杆插入样品室，手微微向里顶住，将开关拨至PUMP状态，然后等待样品室皮拉尼轨抽到30以下（绿灯亮了就可以了），然后顺时针转动样品杆一个小角度，此时样品杆会到第一个转换点，并被负压吸入样品室一小截，然后再次转动样品杆至转不动为止，再慢慢将样品杆完全送入样品室。
拔样品杆前注意先将样品室位置归零，匀速拔除样品杆至拔不动为止，逆时针转至转不动，再拔一小段距离，再转回起始位置，将开关拨至AIR处放气，至皮拉尼值为220以上，即可将杆拔出。
三、加高压
将高压HT设置为160KV后点HT ON ，等高压加载完毕暗电流稳定后
点自动升高压AUTO HT 设步长STEP为0.5左右，时间为10sec目标电压200KV后点击START，等待高压自动加载至200KV即可。
操作注意：当操作过程中光斑偏离中心时需及时用baem shift 将光移回屏幕中心。