传感器的发展史及新型传感器的发展方向.doc
传感器市场发展历史与趋势
传感器作为一种能够将物理量转化为可感知的信号的装置，在现代工业、科技和生活中扮演着越来越重要的角色。
经过多年的发展，传感器市场已经从最初的单一应用领域（如温度、压力等测量）逐步拓展到包括智能手机、物联网、无人驾驶汽车、医疗设备等众多领域。
未来，随着科技的进步和应用场景的不断扩大，传感器市场有望继续保持高速发展。
具体来说，传感器市场未来的发展方向可能会涵盖以下几个方面：
精密化和多样化：未来的传感器产品将更加精确、稳定、灵敏和响应速度更快，并能够应对更多的测量任务和作业需求。
智能化和自适应：传感器将集成更多智能功能和自适应控制技术，比如自动校准、实时监测和预警提示等。
低功耗和无线化：随着无线通信技术的发展，未来传感器设备将更加便携且省电，能够实现远距离监测和控制。
传感器网络化和互联网+：未来传感器将更加流行于物联网、智能制造等领域，构建海量数据采集和处理的信息网络系统，为产业升级和高效运营提供重要的技术支持。
综上所述，随着科技的进步和工业应用需求的不断变化，传感器市场将持续发展，呈现出持续创新和多元化趋势。
传感器发展历程
传感器发展历程传感器是一种能够感知和检测环境中特定物理量的装置或设备。
它们在现代科技发展中起着至关重要的作用。
随着科技的不断进步，传感器的发展也不断演进。
传感器的发展可以追溯到古代，人们早在公元前4世纪就开始使用简单的传感器，如罗盘和温度计等。
然而，真正革命性的发展发生在19世纪末和20世纪初。
在这个时期，科学家们开始探索电子技术和以电为基础的传感器。
例如，电子温度计和光电传感器等。
在20世纪40年代，随着微电子技术的出现，传感器的发展进入了一个新的阶段。
微电子技术的出现使得传感器可以更小、更便宜、更灵敏和更可靠。
这些技术的发展为传感器的广泛应用开辟了道路。
20世纪60年代和70年代，随着计算机技术的进步，传感器得到了进一步的发展。
计算机的出现使得传感器可以更好地与其他系统集成，从而实现更可靠和精确的测量和控制。
到了20世纪80年代和90年代，传感器的应用进一步拓展。
随着信息技术的进步，人们开始将传感器应用于各种领域，如环境监测、工业自动化、医疗诊断等。
同时，传感器的种类也越来越多样化，如压力传感器、流量传感器、气体传感器等。
进入21世纪，传感器的发展进一步加速。
随着物联网技术的出现，人们开始将传感器应用于智能家居、智能交通、智能城市等领域。
传感器不仅可以感知环境中的物理量，还可以通过无线通信技术与其他设备进行数据交互，实现智能化的控制和管理。
如今，传感器已经成为了现代社会不可或缺的一部分。
从智能手机中的陀螺仪和指纹识别传感器，到汽车中的碰撞传感器和自动驾驶传感器，传感器的应用几乎无处不在。
传感器的发展不仅促进了科技的进步和社会的发展，也为人们带来了更便捷和安全的生活。
然而，传感器的发展仍然面临一些挑战。
例如，一些传感器仍然存在着尺寸过大、功耗过高、价格昂贵等问题。
同时，一些新兴的领域，如人工智能和生物传感器等，也需要更先进和灵敏的传感器来支持其发展。
总的来说，传感器的发展已经经历了一个漫长而精彩的历程。
传感器技术的创新与发展趋势
传感器技术的创新与发展趋势传感器技术是当今世界上应用最广泛的技术之一，无论是生产制造、交通控制、环境监测、医疗保健还是安全监测等领域，都离不开传感器技术。
随着人类社会进步和科技发展，人们对传感器技术的需求也不断增加，因此传感器技术也在不断创新和发展。
一、传感器技术的发展历程传感器技术的历史可以追溯到19世纪末，当时最早的传感器是用于检测温度和压力的机电传感器。
20世纪初，人们开始使用光电效应来制造光传感器、光电管和光电二极管，这大大扩展了传感器应用的范围。
二战期间，雷达、声纳等军事设备的出现，也促进了传感器技术的发展。
20世纪60年代，IC（集成电路）技术的出现为传感器的微型化、多功能化提供了可能，同时也催生了各种新型传感器的出现。
二、传感器技术的分类传感器的应用非常广泛，按功能可以分为温度传感器、湿度传感器、压力传感器、光学传感器、气体传感器、声音传感器等多种类型。
按测量方式可以分为阻容元件传感器、压力电阻传感器、霍尔传感器、震动传感器、声波传感器、光学传感器等分类。
按安装方式可以分为贴片式传感器、夹式传感器、螺纹式传感器等分类。
不同种类的传感器都有其独特的特点和适用范围。
例如，温度传感器可以用于检测制造过程中的温度变化，光学传感器可以用于光学检测，声音传感器可以用于环境噪声检测等。
三、传感器技术的创新随着科技的发展，人们对传感器的要求也越来越高。
创新是推动传感器技术发展的重要动力。
传感器技术的创新方向主要有以下几个：（一）微型化和多功能化。
随着人工智能和物联网技术的兴起，对传感器的微型化和多功能化要求越来越高。
微型化可以使传感器更易于安装和运输，多功能化可以提高传感器的使用效率。
因此，各种新型传感器不断出现。
例如，MEMS传感器（微机电系统传感器），可同时实现多种测量功能。
（二）智能化和联网化。
智能化和联网化的出现，使得传感器的数据处理和收集更加高效和便捷。
智能化的传感器可以实现自动控制和调节，同时可以把数据传输到云平台和智能设备中，实现远程监测和管理。
传感器的发展史word资料10页
传感器的发展史传感器的发展史2019-04-26 11：28传感器的发展史这是本词条的历史版本，由diany于2009-09-18创建。
1微型化(Micro)为了能够与信息时代信息量激增、要求捕获和处理信息的能力日益增强的技术发展趋势保持一致，对于传感器性能指标(包括精确性、可靠性、灵敏性等)的要求越来越严格；与此同时，传感器系统的操作友好性亦被提上了议事日程，因此还要求传感器必须配有标准的输出模式；而传统的大体积弱功能传感器往往很难满足上述要求，所以它们已逐步被各种不同类型的高性能微型传感器所取代；后者主要由硅材料构成，具有体积小、重量轻、反应快、灵敏度高以及成本低等优点。
1.1由计算机辅助设计(CAD)技术和微机电系统(MEMS)技术引发的传感器微型化目前，几乎所有的传感器都在由传统的结构化生产设计向基于计算机辅助设计(CAD)的模拟式工程化设计转变，从而使设计者们能够在较短的时间内设计出低成本、高性能的新型系统，这种设计手段的巨大转变在很大程度上推动着传感器系统以更快的速度向着能够满足科技发展需求的微型化的方向发展。
对于微机电系统(MEMS)的研究工作始于20世纪60年代，其研究范畴涉及材料科学、机械控制、加工与封装工艺、电子技术以及传感器和执行器等多种学科，是一个极具前景的新兴研究领域。
MEMS的核心技术是研究微电子与微机械加工与封装技术的巧妙结合，期望能够由此而制造出体积小巧但功能强大的新型系统。
经过几十年的发展，尤其最近十多年的研究与发展，MEMS技术已经显示出了巨大的生命力，此项技术的有效采用将信息系统的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平提高到了一个新的高度。
在当前技术水平下，微切削加工技术已经可以生产出来具有不同层次的3D微型结构，从而可以生产出体积非常微小的微型传感器敏感元件，象毒气传感器、离子传感器、光电探测器这样的以硅为主要构成材料的传感/探测器都装有极好的敏感元件。
目前，这一类元器件已作为微型传感器的主要敏感元件被广泛应用于不同的研究领域中。
新型传感器技术发展与应用
新型传感器技术发展与应用随着信息技术的不断发展，各种新型传感器技术也日益成熟，并广泛应用于各个领域。
传感器是一种能够将物理量变化转换为电信号的设备，其应用范围已经覆盖了生活、环境、医疗、工业、交通等多个领域，为人类的生产和生活带来了极大的便利。
1. 传感器技术的发展历程传感器技术的起源可以追溯到19世纪初，当时发明了第一个压力传感器。
在20世纪50年代，随着微电子技术的发展，相应的新型传感器技术也开始得到了迅速发展。
到了21世纪初，金属氧化物半导体传感器和纳米传感器等新型传感器逐渐兴起。
随着物联网和智能制造技术的快速发展，传感器技术已经不断地更新换代，呈现出多种全新的技术形态。
2. 新型传感器技术的应用场景（1）智能家居智能家居已经成为人们日常生活中不可或缺的一部分，让家庭生活更加智能化和安全化。
而传感器技术在智能家居中发挥了重要的作用。
智能门锁可使用指纹传感器，智能浴室中使用的加热器大多使用温度传感器，智能客厅中的空调、灯光等都同样依赖传感器技术。
（2）医疗传感器技术在医疗领域中也有着广泛的应用，如生命体征监测、医疗器械等。
例如，智能手表和智能手环等可用来监测身体健康状态，与体温计、血压计等传统医疗器械相结合可以形成完善的医疗监测系统，提高患者的生命安全和医疗效率。
（3）工业传感器技术在工业领域的应用也相当广泛，包括工业流程自动化等领域。
例如，一些化工生产企业可使用温度传感器、压力传感器、液位传感器等，监测生产过程中温度、压力、液位等参数，实现产品精确控制，提高生产效率。
（4）交通运输传感器技术在交通运输领域中也有着重要的应用。
例如，在智能交通系统中可以使用车牌识别传感器、红外传感器、雷达等设备对交通进行预测和识别，同时通过传感器技术实现交通信号的智能控制，提高道路通行效率。
3. 新型传感器技术的发展趋势（1）发展 toward 大规模集成传感器作为人工智能和物联网实现的核心，面临着如何在数据处理方面进行更好的优化和压缩的挑战。
传感器的发展史及新型传感器的发展方向
传感器的发展史及新型传感器的发展方向今天，信息技术对社会发展信、科学进步起到了决定性的作用。
现在信息技术的基础包括信息采集、信息传输与信息处理，而信息的采集离不开传感器技术。
所以说传感器是新技术革命和信息社会的重要技术基础，是现代科技的开路先锋，最后美国开始不要第二段近年来，传感器正处于传统型向新型传感器转型的发展阶段。
新型传感器的特点是微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化，它不仅促进了传统产业的改造，而且可导致建立新型工业，是21世纪新的经济增长点。
微型化是建立在微电子机械系统(MEMS)技术基础上的，目前已成功应用在硅器件上形成硅压力传感器(如上述EJX变送器)。
微电子机械加工技术，包括体微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIG A技术(X光深层光刻、微电铸和微复制技术)、激光微加工技术和微型封装技术等。
MEMS的发展，把传感器的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。
传感器的检测仪表，在微电子技术基础上，内置微处理器，或把微传感器和微处理器及相关集成电路(运算放大器、A/D或D/A、存贮器、网络通讯接口电路)等封装在一起完成了数字化、智能化、网络化、系统化。
(注：MEMS 技术还完成了微电动机或执行器等产品，将另作文介绍)网络化方面，目前主要是指采用多种现场总线和以太网(互联网)，这要按各行业的特点，选择其中的一种或多种，近年内最流行的有FF、Profibus、CAN、Lonworks、AS-Interbus、T CP/IP等。
除MEMS外，新型传感器的发展还有赖于新型敏感材料、敏感元件和纳米技术，如新一代光纤传感器、超导传感器、焦平面陈列红外探测器、生物传感器、纳米传感器、新型量子传感器、微型陀螺、网络化传感器、智能传感器、模糊传感器、多功能传感器等。
多传感器数据融合技术正在形成热点，它形成于20世纪80年代，它不同于一般信号处理，也不同于单个或多个传感器的监测和测量，而是对基于多个传感器测量结果基础上的更高层次的综合决策过程。
传感器技术的发展与应用
传感器技术的发展与应用一、引言传感器技术是通过对物理量、化学量、生物量、机械量等信号进行获取、转换和传递，实现信息检测和控制的核心技术之一。
随着物联网、智能制造、数字化生活等需求的不断增长，传感器技术逐渐成为了社会发展的重要因素。
本文将介绍传感器技术的发展历程以及当前的应用现状。
二、传感器技术的历史与发展1.传感器技术的起源早在公元前2000年，中国人就发明了简单的陀螺仪，并用来指示方位。
公元前200年，中国又发明了自动感温开关，用于控制冶炼炉的温度。
直到19世纪，人们才开始逐渐认识到对物理量的测量和控制对于科学与工程的重要性。
19世纪末，以瑞典的C.V.M.Eknor和美国的R.C.Crank为代表的学者开始发明传感器技术，最早应用于温度、压力、电流等方面。
2.传感器技术的发展历程20世纪，随着电子技术的飞速发展，传感器技术呈现出了爆发式的发展。
主要分为以下几个阶段：（1）机械式传感器阶段机械式传感器是最早的传感器，其原理是利用力、杠杆、芯片等装置，将测量的力量转换为机械位移量。
机械式传感器主要应用于物理信号的检测与转换。
（2）电气式传感器阶段20世纪初，由于电子技术的发展和应用，电气式传感器逐渐代替了机械式传感器，成为了新的主流。
电气式传感器工作原理是利用材料、线性电阻、电容电感等元件来感测电信号。
电气式传感器主要用于电信号的测量与控制。
（3）集成式传感器阶段集成式传感器是随着微电子技术的发展而产生的，它把传感器元件、信号处理电路和控制电路集成到一块芯片上，大大提高了传感器的灵敏度、速度和可靠性，并降低了成本。
目前，它已成为计算机、通信、医疗、安防等领域的重要组成部分。
三、传感器技术的应用现状1.智能家居应用智能家居是指通过互联网和物联网技术，将家庭的各种设备与互联网相连接，实现远程遥控和智能化管理，提升居住的安全、舒适、便捷等品质。
目前智能家居应用已经普及到智能灯具、智能门锁、智能家电、智能音响等各个方面，其中大部分设备都需要传感器技术的支持。
传感器技术的发展和趋势综述
4、无线通信：为了更好地实现远程监控和管理，无线通信技术将被广泛应 用于传感器领域。无线传感器将能够更方便地进行数据传输和控制，提高设备的 可维护性和可扩展性。
5、多功能化：未来的传感器将不再仅限于单一的感知功能，还将具备测量、 控制、执行等多功能一体化的能力。这将大大提高设备的实用性和灵活性。
6、互联网化：随着物联网技术的发展，传感器也将越来越多地连接到互联 网。通过互联网，传感器能够实现大规模的数据采集和远程监控，为大数据分析 和预测提供基础数据。
7、安全性：随着传感器在各个领域的广泛应用，传感器的安全性问题也日 益突出。未来的传感器将更加注重安全性设计，包括数据加密、访问控制、防篡 改等功能。
传感器技术的发展和趋势综述
目录
01 一、传感器技术的演 进
03 三、结语
02
二、传感器技术的发 展趋势
04 参考内容
传感器，这个看似平凡却无比重要的工具，已经在我们生活的各个领域中扮 演着举足轻重的角色。无论是医疗、工业、交通、农业，还是我们日常生活中的 手机、电视、空调等电子产品，都离不开传感器的身影。本次演示将带大家领略 传感器技术的发展历程和未来趋势。
谢谢观看
一、传感器技术应用综述
1、工业领域
传感器技术在工业领域中的应用主要包括过程控制、故障检测、产品质量控 制等方面。通过传感器的实时监测，能够有效地提高生产效率，降低能源消耗， 保证产品质量。例如，在石油化工行业中，传感器能够监测生产线上的压力、温 度、流量等参数，确保生产过程的稳定性和安全性。
2、医疗领域
8、可再生能源供电：为了降低对传统能源的依赖，未来的传感器将更多地 采用可再生能源供电，如太阳能、风能等。这将有助于实现绿色环保和可持续发 展。
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传感器的发展史及新型传感器的发展方向
今天,信息技术对社会发展信、科学进步起到了决定性的作用。
现在信息技术的基础包括信息采集、信息传输与信息处理,而信息的采集离不开传感器技术。
所以说
传感器是新技术革命和信息社会的重要技术基础,是现代科技的开路先锋,
最后美国开始不要
第二段
近年来,传感器正处于传统型向新型传感器转型的发展阶段。
新型传感器的特点是微型化、数字化、智能化、多效用化、系统化、网络化,它不仅促进了传统产业的改造,而且可导致建立新型工业,是21世纪新的经济增长点。
微型化是建立在微电子机械系统(MEMS)技术基础上的,目前已成功应用在硅器件上形成硅压力传感器(如上述EJX变送器)。
微电子机械加工技术,包括体微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术(X光深层光刻、微电铸和微复制技术)、激光微加工技术和微型封装技术等。
MEMS的发展,把传感器的微型化、智能化、多效用化和可靠性水平提高到了新的高度。
传感器的检测仪表,在微电子技术基础上,内置微处理器,或把微传感器和微处理器及相关集成电路(运算放大器、A/D或D/A、存贮器、网络通讯接口电路)等封装在一起完成了数字化、智能化、网络化、系统化。
(注：MEMS技术还完成了微电动机或执行器等产品,将另作文介绍)网络化方面,目前主要是指采用多种现场总线和以太网(互联网),这要按各行业的特点,选择其中的一种或多种,近年内最流行的有FF、Profibus、CAN、Lonworks、AS-Interbus、TCP/IP等。
除MEMS外,新型传感器的发展还有赖于新型敏感材料、敏感元件和纳米技术,如新一代光纤传感器、超导传感器、焦平面陈列红外探测器、生物传感器、纳米传感器、新型量子传感器、微型陀螺、网络化传感器、智能传感器、模糊传感器、多效用传感器等。
多传感器数据融合技术正在形成热点,它形成于20世纪80年代,它不同于一般信号处理,也不同于单个或多个传感器的监测和测量,而是对基于多个传感器测量结果基础上的更高层次的综合决策过程。
有鉴于传感器技术的微型化、智能化程度提高,在信息获取基础上,多种效用进一步集成以致于融合,这是必然的趋势,多传感器数据融合技术也促进了传感器技术的发展。
多传感器数据融合的定义概括：把分布在不同位置的多个同类或不同类传感器所提供的局部数据资源加以综合,采用计算机技术对其进行分析,消除多传感器信息之间可能存在的冗余和矛盾,加以互补,降低其不确实性,获得被测对象的一致性解释与描述,从而提高系统决策、规划、反应的快速性和正确性,使系统获得更充分的信息。
其信息融合在不同信息层次上出现,包括数据层(像素层)融合、特征层融合、决策层(证据层)融合。
由于它比单一传感器信息有如下优点,即容错性、互补性、实时性、经济性,所以逐步得到推广应用。
应用领域除军事外,已适用于自动化技术、机器人、海洋监视、地震观测、建筑、空中交通管制、医学诊断、遥感技术等方面。
我国传感器产业要适应技术潮流,向国内外两个市场相结合的国际化方向发展,让传感器和检测仪表抓住信息化的发展机遇。
温度传感器是最早开发,应用最广的一类传感器。
根据美国仪器学会的调查,1990年,温度传感器的市场份额大大超过了其他的传感器。
从17世纪初伽利略发明温度计开始,人们开始利用温度进行测量。
真正把温度变成电信号的传感器是1821年由德国物理学家赛贝发明的,这就是后来的热电偶传感器。
五十年以后,另一位德国人西门子发明了铂电阻温度计。
在半导体技术的支持下,本世纪相继开发了半导体热电偶传感器、PN结温度传感器和集成温度传感器。
与之相应,根据波与物质的相互作用规律,相继开发了声学温度传感器、红外传感器和微波传感器。
传感器在科学技术领域、工农业生产以及日常生活中发挥着越来越重要的作用。
人类社会对传感器提出的越来越高的要求是传感器技术发展的强大动力。
传感器在科学技术领域、工农业生产以及日常生活中发挥着越来越重要的作用。
人类社会对传感器提出的越来越高的要求是传感器技术发展的强大动力。
而现代
们学技术突飞猛进则提供了坚强的后盾。
随着科技的发展,传感器也在不断的更新发展。
1、开发新型传感器
新型传感器,大致应包括：①采用新原理；②填补传感器空白；③仿生传感器等诸方面。
它们之间是互相联系的。
传感器的工作机理是基于各种效应和定律,由此启发人们进一步探索具有新效应的敏感效用材料,并以此研制出具有新原理的新型物性型传感器件,这是发展高性能、多效用、低成本和小型化传感器的重要途径。
结构型传感器发展得较早,目前日趋成熟。
结构型传感器,一般说它的结构复杂,体积偏大,价格偏高。
物性型传感器大致与之相反,具有不少诱人的优点,加之过去发展也不够。
世界各国都在物性型传感器方面投入大量人力、物力加强研究,从而使它成为一个值得注意的发展动向。
其中利用量子力学诸效应研制的低灵敏阈传感器,用来检测微弱的信号,是发展新动向之一。
2、集成化、多效用化、智能化
传感器集成化包括两种定义,一是同一效用的多元件并列化,即将同一类型的单个传感元件用集成工艺在同一平面上排列起来,排成1维的为线性传感器,CCD图象传感器就属于这种情况。
集成化的另一个定义是多效用一体化,即将传感器与放大、运算以及温度补偿等环节一体化,组装成一个器件。
随着集成化技术的发展,各类混合集成和单片集成式压力传感器相继出现,有的已经成为商品。
集成化压力传感器有压阻式、电容式、等类型,其中压阻式集成化传感器发展快、应用广。
传感器的多效用化也是其发展方向之一。
所谓多效用化的典型实例,美国某大学传感器研究发展中心研制的单片硅多维力传感器可以同时测量3个线速度、3个离心加速度(角速度)和3个角加速度。
主要元件是由4个正确设计安装在一个基板上的悬臂梁组成的单片硅结构,9个正确布置在各个悬臂梁上的压阻敏感元件。
多效用化不仅可以降低生产成本,减小体积,而且可以有效的提高传感器的稳定性、可靠性等性能指标。
把多个效用不同的传感元件集成在一起,除可同时进行多种参数的测量外,还可对这些参数的测量结果进行综合处理和评价,可反映出被测系统的整体状态。
由上还可以看出,集成化对固态传感器带来了许多新的机会,同时它也是多效用化的基础。
传感器与微处理机相结合,使之不仅具有检测效用,还具有信息处理、逻辑判断、自诊断、以及“思维”等人工智能,就称之为传感器的智能化。
借助于半导体集成化技术把传感器部分与信号预处理电路、输入输出接口、微处理器等制作在同一块芯片上,即成为大规模集成智能传感器。
可以说智能传感器是传感器技术与大规模集成电路技术相结合的产物,它的实现将取决于传感技术与半导体集成化工艺水平的提高与发展。
这类传感器具有多能、高性能、体积小、适宜大批量生产和使用方便等优点,可以肯定地说,是传感器重要的方向之一。
3、新材料开发
传感器材料是传感器技术的重要基础,是传感器技术升级的重要支撑。
随着材料科学的进步,传感器技术日臻成熟,其种类越来越多,除了早期使用的半导体材料、陶瓷材料以外,光导纤维以及超导材料的开发,为传感器的发展提供了物质基础。
例如,根据以硅为基体的许多半导体材料易于微型化、集成化、多效用化、智能化,以及半导体光热探测器具有灵敏度高、精度高、非接触性等特点,发展红外传感器、激光传感器、光纤传感器等现代传感器;在敏感材料中,陶瓷材料、有机材料发展很快,可采用不同的配方混合原料,在精密调配化学成分的基础上,经过高精度成型烧结,得到对某一种或某几种气体具有识别效用的敏感材料,用于制成新型气体传感器。
此外,高分子有机敏感材料,是近几年人们极为关注的具有应用潜力的新型敏感材料,可制成热敏、光敏、气敏、湿敏、力敏、离子敏和生物敏等传感器。
传感器技术的不断发展,也促进了更新型材料的开发,如纳米材料等。
美国NRC公司已开发出纳米ZrO2气体传感器,控制机动车辆尾气的排放,对净化环境效果很好,应用前景比较广阔。
由于采用纳米材料制作的传感器,具有庞大的界面,能提供大量的气体通道,而且导通电阻很小,有利于传感器向微型化发展,随着科学技术的不断进步将有更多的新型材料诞生。
4、新工艺的采用
在发展新型传感器中,离不开新工艺的采用。
新工艺的含义范围很广,这里主要指与发展新兴传感器联系特别密切的微细加工技术。
该技术又称微机械加工技术,是近年来随着集成电路工艺发展起来的,它是离子束、电子束、分子束、激光束和化学刻蚀等用于微电子加工的技术,目前已越来越多地用于传感器领域,例如溅射、蒸镀、等离子体刻蚀、化学气体淀积(CVD)、外延、扩散、腐蚀、光刻等,迄今已有大量采用上述工艺制成的传感器的国内外报道。
5、智能材料
智能材料是指设计和控制材料的物理、化学、机械、电学等参数,研制出生物体材料所具有的特性或者优于生物体材料性能的人造材料。
有人认为,具有下述效用的材料可称之为智能材料：具备对环境的判断可自适应效用；具备自诊断效用；具备自修复效用；具备自增强效用(或称时基效用)。
生物体材料的最突出特点是具有时基效用,因此这种传感器特性是微分型的,它对变分部分比较敏感。
反之,长期处于某一环境并习惯了此环境,则灵敏度下降。
一般说来,它能适应环境调节其灵敏度。
除了生物体材料外,最引人注目的智能材料是形状记忆合金、形状记忆陶瓷和形状记忆聚合物。
智能材料的探索工作刚刚开始,相信不久的将来会有很大的发展
知识改变命运。