椭偏仪操作规程样本
椭偏仪校准作业指导书
2使用范围适用于125、156单、多晶电池片的膜厚、折射率的测试。
3测试要求：3.1标片要求：选取符合技术要求的一级标片（用于校准的标片应在有效使用期限内，且标片上应有唯一编号和制作日期；有效使用期限为3年）。
3.2环境要求：洁净度:100000级湿度:＜80%温度：15-35℃灯源：灯源应在有效使用期内，有效使用期限为30天3.3设备要求：设备正常工作，无明显机械损伤，可正常启动，各数据线和信号线连接正确，显示器等可正常工作3.4操作要求：操作员着洁净服，双手戴乳胶手套或PE手套，佩戴口罩3.5参考测量标准：一级标片相应标定数据4校准内容及方法：4.1校准前准备工作4.1.1每半年进行标片校准；4.1.2取出一级标片准备测试；4.2校准工作4.2.1在桌面上点击测试程序图标（如图一所示），启动程序；图一程序图标4.2.2 程序启动后，会自动初始化（如图二所示），左上方会显示为“Initializing”，待初始化完成后，左上方会显示为“IDLE”，然后需等待30分钟进行预热，预热完成后开始校准。
图二测试程序初始化图4.2.3初始化完成后，点击“F12 Service”图标，进入校准页面（如图三所示），开始校准。
图三校准页面图4.2.3.1由于测试模式分为绒面和抛光片两种方式，下面将分开介绍，首先为绒面厚度折射率校准：4.2.3.1.1在校准界面中上方选择“Textured Mono”模式，如图四所示。
图四校准页面局部图4.2.3.1.2将测试载物平台移至最内部（即刻度为0的位置），将金属标杆移至Textured处，如图五所示首先将测试载物平台移至内部，如图五所示。
图五测试机台图4.2.3.1.3点击校准界面右下方“Dark”按钮，如果R_1和R_2的Dark结果显示为OK的话，则该项校准完成，开始下一项校准；图六校准结果图4.2.3.1.4将测试载物平台移至最外部，同时将下方白色反光板移至中间位置，如图七所示图七测试校准局部图4.2.3.1.5点击校准界面右下方“Reference”按钮，如果R_1和R_2的Reference结果显示为OK的话（如图六所示），则该项校准完成；4.2.3.1.6取出绒面标片进行对比测试，若测试结果满足： Thickness测试（厚度）∈（Thickness 标定-1nm, Thickness标定+1nm），N（折射率）∈（N标定-0.02, N标定+0.02），则此次校准通过，可以进行测量；若结果不在规定范围内，则校准结果不通过，重复4.2.3.1，直至通过为止。
椭偏仪操作规程范文
椭偏仪操作规程范文椭偏仪是一种用于测量介质的光学性质的仪器，主要用于测量介质的双折射、石英厚度和光学旋光等参数。
以下是椭偏仪的操作规程，供参考：一、安全操作规范1.椭偏仪操作人员必须维护正常的工作环境，保持仪器周围干燥、清洁，并避免灰尘和其他杂质进入仪器。
2.在操作前，必须检查仪器是否有损坏或松动的部件，及时报修或更换。
3.在使用椭偏仪时，必须戴上防护眼镜，避免强光直接入眼，以减少潜在的伤害。
4.椭偏仪的电源必须接地，电源插头必须可靠固定。
二、仪器准备1.将椭偏仪放置在平稳的台面上，并将电源插头插入电源插座。
2.打开仪器前，先查看相关的仪器操作手册，了解仪器的基本原理和操作步骤。
3.检查椭偏仪的光路是否正常，是否需要调整或清洁。
三、样品准备1.样品必须干燥、洁净，避免有液体残留或灰尘等杂质。
2.样品的厚度和形状需要符合椭偏仪测试的要求。
3.样品放置在样品台上时，要使其平整，避免有空隙或倾斜。
四、仪器操作步骤1.打开椭偏仪电源，仔细检查仪器的显示界面，确保仪器正常启动。
2.调节仪器的照明光源，使其均匀、稳定。
3.进行背景测量：将样品台上放置纯净的玻璃片，调节椭偏仪使得光对样品台背景的偏振角度为45度，进行背景测量并记录相关数据。
4.将待测试样品放到样品台上，调节仪器使得光对样品的偏振角度为45度，进行测量并记录相关数据。
5.根据需要进行多次测量，取平均值作为最终的测量结果。
6.测量完成后，关闭仪器电源，清理仪器和工作区域，确保仪器和工作区域整洁。
五、数据处理和结果分析1.将测量得到的数据输入计算机，使用相关软件进行数据处理和分析。
2.根据测量结果，计算介质的双折射、石英厚度和光学旋光等参数。
六、常见故障排除方法1.仪器显示异常：检查电源是否稳定，重新启动仪器。
2.光路不正常：检查光源和检测器的连接是否正确，调整光路。
3.无法获取数据：检查是否连接了正确的接口，检查样品是否正常放置，重新进行测量。
以上为椭偏仪的操作规程，按照这些规范和步骤操作，能够确保测量结果的准确性和可靠性，同时保证操作人员的安全。
椭偏仪操作保养规程
椭偏仪操作保养规程
椭偏仪是一种常用的光学分析设备，广泛应用于各个领域的研究和
实验中。
为了确保椭偏仪的性能和使用寿命，需要遵守相应的操作和
保养规程。
本文将分别介绍椭偏仪的操作规程和保养规程。
椭偏仪的操作规程
在使用椭偏仪之前，需要按照如下步骤进行操作：
步骤一：电源连接
将椭偏仪的电源插头插入电源插座，并确认电源指示灯亮起。
步骤二：开机
按下电源开关，待设备启动后，等待仪器校准完成。
步骤三：样品放置
将待测试的样品放置于样品台上，并使用夹子夹紧。
步骤四：参数设置
选择相应的测试模式，并根据样品特性和测试要求设置相应的参数，如波长、角度等。
步骤五：测试操作
按下测试键开始进行测试，待测试完成后，将样品取下。
自动光谱椭偏仪安全操作及保养规程
自动光谱椭偏仪安全操作及保养规程随着科技的不断发展，自动光谱椭偏仪已经成为实验室中不可缺少的仪器之一。
在使用自动光谱椭偏仪时，必须遵守一定的操作规程和保养规范，以确保实验操作的安全和仪器的稳定运行。
本文将介绍自动光谱椭偏仪的安全操作规程及常见保养方法。
自动光谱椭偏仪安全操作规程1. 避免操作中发生短路自动光谱椭偏仪是一个复杂的精密仪器，如果操作不当，易造成短路等危险情况。
因此，在操作前，应仔细阅读使用说明书，遵从厂家的操作建议。
在更换样品和清洁设备时，需要先停止仪器操作，确保安全后再进行操作。
2. 警惕仪器温度在使用自动光谱椭偏仪时，应注意控制仪器温度。
若温度过高会导致仪器损坏、甚至爆炸。
在使用过程中，应严格按照使用说明书规定的操作流程依次进行操作，以保证仪器的正常工作温度。
3. 避免样品过多样品过多也是导致自动光谱椭偏仪损坏的原因之一。
为了避免这类情况的发生，仪器在操作前需要做好样品分装工作，合理控制样品量，以保证仪器的正常运行。
4. 不要移动仪器自动光谱椭偏仪在运行过程中要保持安定。
如果移动仪器，易造成仪器内部元件受损，影响仪器的使用寿命。
在使用过程中，要尽量选择稳定的地方放置仪器，并确保仪器周围干净整洁。
5. 使用电源自动光谱椭偏仪需要用到电源，为保证电源的安全稳定，应该注意以下几点：•在使用前，检查电源和插头是否正常，以确保电源及插头完好无损。
•在断电或拔插插头前，需先将所有操作停止，并关闭仪器电源，以避免电源间接舒适容。
•在使用仪器过程中，应定期检查电源线的使用状况。
自动光谱椭偏仪保养规范除了操作规程，自动光谱椭偏仪的保养也十分重要。
以下内容将介绍常见的保养方法。
1. 定期进行润滑保养由于仪器在使用过程中会产生摩擦，如不进行润滑保养，会加速零部件损坏。
因此，在使用后，应定期进行润滑保养，以减少磨损和保护仪器。
2. 清洗仪器表面自动光谱椭偏仪在使用后，表面常常会有一些污垢和尘土附着。
这不仅会影响仪器的美观，也会影响仪器的使用寿命。
椭偏仪(专业教学)
实验题目：椭偏仪实验目的：利用传统的消光法测量椭偏参数，使学生掌握椭偏光法的基本原理、仪器的使用，并且实际测量玻璃衬底上薄膜的厚度和折射率。
实验原理：见预实验报告。
实验步骤：1、调节仪器共轴。
调节激光与椭偏仪两个光道共轴，具体步骤为取四个中间有小孔的塑料塞，塞在椭偏仪的两个平行光管筒的四个孔上，用激光射向平行光管筒，使激光穿过四个塑料塞的小孔，尽量使四个塑料塞上没有红光，即激光全部从小孔中通过，则说明仪器共轴调好。
调好后将表盘调零。
2、安装检偏器在远离激光器一边的平行光管筒一边插上望远镜筒，在平台上放置一玻璃挡板，将平行光筒调过66°，调节玻璃挡板的角度使得激光射入望远镜筒，在平行光管筒上安上检偏器，内环调到0°，外环调到90°，刻度处竖直向上；然后用眼睛观察望远镜筒，微调检偏器，直至望远镜筒中的红点亮度最小，固定检偏器。
3、安装起偏器与1/4波片将玻璃挡板取下，并将平行光管筒调回0°处，将起偏器内环调到0°，外环也调到0°，刻度竖直向上挂到离激光器较近的平行光管筒上，然后眼睛注视望远镜筒，微调起偏器，直至红点光强最小时停止调整，固定起偏器。
然后将1/4波片安到起偏器上，注意用一只手固定起偏器内环，防止内环转动，同时用另一只手转动波片，眼睛通过望远镜观察红点光强，直至光强最弱，这时停止调整，此时的仪器已调整完毕。
4、寻找消光点将样品放到座台上，将平行光管筒调至40°处，调节样品角度使得激光射到平行光管筒中且可以在望远镜中看到红点。
先将起偏仪内环调到+45°，这时将起偏仪与检偏仪均调至0~90°间任何一值，在0~90°之间调节起偏仪，同时眼睛注视红点，发现红点光强有变化时，调节检偏仪，范围同样是0~90°，可发现光强变小，反复调节二者，直至找到光强最小处，记下此时起偏器与检偏器的读数；再将二者调到90~180°之间重复上述操作，得到另一组数据。
实验八 椭偏仪实验
实验八SGC-2 型自动椭圆偏振测厚仪在半导体平面工艺中，SiO2薄膜是不可缺少的重要材料。
它既可以被作为杂质掩蔽、表面钝化和器件的电隔离材料，也可以用作电容器的介质和MOS管的绝缘栅介质等。
无论SiO2膜用作哪一种用途的材料，都必须准确的测定和控制它的厚度。
另外，折射率也是表征SiO2膜性质的重要参数之一，因此我们必须掌握SiO2膜厚及其折射率的测量方法。
通常测定薄模厚度的方法有比色法、干涉法、椭偏法等。
比色法可以方便的估计出氧化硅膜的厚度，但误差较大。
干涉法具有设备简单、测量方便的特点，结果也比较准确。
椭偏法测量膜厚是非破坏性测量，测量精度高，应用范围广。
它是使一束自然光经起偏器变成线偏振光。
再经1/4 波长片，使它变成椭圆偏振光入射在待测的膜面上。
反射时，光的偏振状态将发生变化。
通过检测这种变化，便可以推算出待测膜面的某些光学参数。
我们这个实验是用椭偏法来测量SiO2膜厚度。
一、目的要求1、了解用椭圆偏振法测量薄膜参数的基本原理和方法；2、掌握椭圆偏振仪的使用方法，并用椭偏仪测量Si衬底上的SiO2薄膜的折射率和厚度。
二、实验仪器SGC-2 型自动椭圆偏振测厚仪，计算机三、实验原理由激光器发出一定波长(λ=6328Å)的激光束，经过起偏器后变为线偏振光，并确定其偏振方向。
再经过1/4 波长片，由于双折射现象，使其分解成互相垂直的P 波和S 波，成为椭圆偏振光，椭圆的形状由起偏器的方位角决定。
椭圆偏振光以一定角度入射到样品上，经过样品表面和多层介质（包括衬底－介质图1膜－空气）的来回反射与折射，总的反射光束一般仍为椭圆偏振光，但椭圆的形状和方位改变了。
一般用Φ和Δ来描述反射时偏振状态的变化，其定义为：（1）中tgΦ的物理意义是P波和S波的振幅之比在反射前后的变化，称为椭偏法的振幅参量。
Δ的物理意义是P波和S波的相位差在反射前后的变化，称为椭偏法的相位参量。
R P和R S分别为P波初量和S波分量的总反射系数。
椭偏仪 报告
1实验内容1.1 仪器调节一、 光路调节： 1、调节载物台水平； 2、游标盘0o 对齐度盘0o ； 3、调节二光管共轴 。
二、 偏振片和41波片的调整 1、检偏器定位：（1）将检偏器套在望远镜筒上，偏振片读数头朝上，起始读数为90o ；（2）将望远镜筒转66o ，在载物台上放置黑色反光镜，此时光线以布儒斯特角入射黑色反光镜；（3）转动检偏器（保持读数头90o 位置不变），使反射光线最暗。
锁紧检偏器的固定螺丝；（4）望远镜筒转回原位，移走黑色反光镜。
2、起偏器定位：（1） 将起偏器套在平行光管上，起偏器读数头朝上，上下起始读数均为0o ； （2） 转动起偏器，使检偏器出射光最暗，锁紧起偏器的固定螺丝； 3、41波片的调整（1） 将41波片套在起偏器上，快轴对准起偏器的0o ，微调波片，使检偏器出射光最暗。
1.2 测量薄膜样品1、将薄膜样品放置在载物台中央；2、望远镜筒转过40o （此时光线以70o 角入射薄膜表面）；3、41波片置+45o 仔细调整起、检偏器角度同时>90o （同时<90o ），使检偏器出射光强最弱，分别读出检、起偏器偏转角度A1、P1（A2、P2）；4、41波片置-45o ，重复上述操作测出A3、P3、A4、P41.3 计算机数据处理1、注意按计算机提示的顺序分别将4组数据输入；2、薄膜厚度计算精度：1nm ；折射率计算精度：0.01。
2 实验数据处理及分析2.1 数据记录理论标准值为d=600，n=2.0702.2 数据计算经过计算机的计算，第一次获得的d=656.2，n=1.96，与理论值标准值相差太多，故不合理，舍去进行第二次测算。
经过计算机的计算，第二次获得的d=646.2，n=2.01，与理论标准值比较接近，取得这一组数，作为后续讨论的结果。
2.3 结果讨论d值偏大，正偏差是7.7%,n值偏小，负偏差是2.9%。
据推算，如果厚度值测算的再小一点，那么n值可以再偏大一点，正好更加的接近理论标准值。
全自动光谱椭偏仪安全操作及保养规程
全自动光谱椭偏仪安全操作及保养规程光谱椭偏仪是一种用于测量光的偏振状态和各向异性性质的实验仪器。
在使用过程中，正确的操作方法和保养措施可以提供更加准确可靠的实验结果，同时也可以保障用户的安全。
本文将介绍全自动光谱椭偏仪的安全操作规程以及相应的保养注意事项。
一、操作规程1.1 准备工作在操作椭偏仪前，必须完成以下准备工作：•光源、样品、检测器的选择；•仪器各部分的检查；•仪器的冷却、预热；•仪器的调零。
1.2 测量过程在进行测量前，应根据实验要求选择合适的检测光源和样品，并进行校准和调试。
在使用过程中，应注意以下事项：•避免触碰、摇动仪器，以保持系统的稳定性；•适当调节进光强度，防止信号过强或过弱；•必须按照仪器要求进行样品的处理和放置，以保证测量精度；•在测量过程中，应尽量避免人为干预，防止误差的产生。
1.3 测量结束测量结束后，应注意以下事项：•关闭仪器，避免灰尘和异物进入；•清洗样品仓及附件，以保证下次使用的准确性；•将仪器移动至安全地点，以避免仪器受损。
二、保养规程2.1 日常保养在使用过程中，应注意以下保养事项：•定期进行除尘、清洁仪器表面；•定期检查仪器运转是否正常，如是否有闪烁等情况；•定期检查光源、检测器等部件是否工作正常。
2.2 长期保养若长期不使用仪器，应进行以下措施：•清洗并收拾好所有零部件；•覆盖仪器以保证不受灰尘、动物、阳光等影响；•定期检测光源、检测器等部分的工作情况。
2.3 常见问题处理当遇到以下常见问题时，应进行相应的处理：•仪器灵敏度不高：可调整进光强度或调节样品的浓度；•检测值有误差：可进行校准或更换零部件处理。
三、安全注意事项在使用光谱椭偏仪时，应注意以下安全事项：•确保室内通风良好，避免仪器内积聚气体对人体伤害；•禁止未经训练的人员操作仪器，以防止因操作不当而产生事故；•禁止尖锐物品或易燃物品靠近仪器，避免仪器受损或发生火灾。
四、结论全自动光谱椭偏仪作为一种复杂的实验仪器，其正确的操作方法和保养措施可以保证实验准确性，同时也可以保障用户的安全。
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椭偏仪操作规程
一.目的
使用椭偏仪测量经PECVD镀膜后的SiN膜的厚度(d)和折射率(n).
二.适用范围
适用于CENTECH公司的SE 400advanced型号的椭偏仪
三.设备主要性能及相关参数
3.1 设备型号: SE 400advanced
3.2 设备构成:
A 光学系统部分: 由支架、定位显微镜、线偏振光发射器( 包括632.8nm激光源) 、椭圆偏振光接受和分析器组成。
此部分完成整个光学部分的测试。
B PC机部分。
此部分完成数据的分析和输出。
四.运行前的检查
主要检查设备光学仪器部分是否损坏和电脑是否可正常使用。
五. 设备操作
1. 启动软件
将椭偏仪控制器和PC的电源打开, 为了仪器快速可用和延长激光器寿命, 推荐将椭偏仪控制器连续运转。
SE 400advanced程序一般被安装在文件夹:
C:\program files\SE 400Adv\ApplicationFrame\SiAFrame.exe.
使用资源管理器或者直接双击桌面的SE 400advanced图标, 启动软件。
Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-1: SE 400advanced图标软件打开时会自动进入上次退出时的登陆用户界面。
Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-2: SE 400advanced 用户认证经过菜单"Logon", 能够添加、更改或删除用户和用户权限。
2. 用户主窗口
1
3
4
2 Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-3: SE 400advanced主窗口
最后一次使用的模式会被自动加载。
经过菜单, 工具栏或模式列表, 能够选择另外的模式。
在软件界面的右下角, 一个图标( 2) 用来显示椭偏仪控制器的连接状态, 它一般显示为绿色。
如果显示不为绿色, 请检查椭偏仪和控制器之间的网络连接是否正常, 并检查屏幕右下角的任务栏的网络状态。
3. 样品测试
1) 在recipe下拉菜单中选择08 Si3N4 on silicon 100 nm .
2) 将样品平放于测试台, 并定位
3) 经过按来开始测量, 测量完成后, 结果被显示在主结
果区( 3) 和protocol区( 4) 。
4. 测量选项
在"Measurement options"页面中, 能够按照测量的数值计算方法、数值极限和结果报告, 对一些设定进行更改。
另外, 设定入射角度和对多角度测量所使用角度的选择, 也能够在这里进行。
Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-4: 模式选项 (测量)
测量任务
Psi, Delta 椭偏角度的测量。
Substrate ns, ks 使用free surface.模型时, 基底的复折射率。
Thickness
使用单层透明膜模型, 并指定指定膜层折射率和基底折射率时, 膜层的厚度;
开始膜厚由用户给出或由CER测量给出。
Thickness + n
使用单层膜模型时, 膜层的厚度和折射率。
(基底的复折射率作为固定值);
开始膜厚由用户给出或由CER测量给出。