激光光束整形技术
非球面透镜组激光光束整形系统_范增明

第41卷第2期红外与激光工程2012年2月Vol.41No.2Infrared and Laser Engineering Feb.2012非球面透镜组激光光束整形系统范增明,李卓,钱丽勋(北京理工大学光电学院,北京100081)摘要:在激光显示等领域常常需要光强均匀分布的激光光束,为此,深入分析了一种非球面透镜组激光光束整形系统的设计方法,该方法可以将入射光束为准直的单模高斯激光光束整形为光强均匀分布的准直平顶激光光束;给出了该非球面透镜组设计的基本过程,主要包括输出光束函数的选择、光线映射函数的确定和非球面参数的确定;最后选择光线映射函数具有解析解形式的匀化洛伦兹函数作为输出光束分布函数,分别确定了伽利略型和开普勒型的非球面透镜组激光光束整形系统的参数。
关键词:激光光束整形;激光光束匀化;非球面透镜组;匀化洛伦兹函数中图分类号:TN249文献标志码:A文章编号:1007-2276(2012)02-0353-05Aspherical lens laser beam shaping systemFan Zengming,Li Zhuo,Qian Lixun(School of Optoelectronics,Beijing Institute of Technology,Beijing100081,China)Abstract:Laser beam with uniform light intensity distribution is usually used in the areas such as laser displays.A method of using two aspherical lens to convert a single mode collimated laser beam with Gaussian light intensity distribution to a collimated flat-top beam with uniform light intensity distribution was introduced.Also the basic process of designing an aspherical lens system,mainly including choosing the function of the output beam,determing the ray mapping function and the parameters of the aspherical lens was proposed.According to this design method,the parameters of Galilean configuration and Keplerian configuration aspherical lens laser beam shaping system were determined respectively by selecting the Flattened Lorentzian function as the output beam distribution function which had an analytical ray mapping function.Key words:laser beam shaping;laser beam homogenization;aspherical lens system;flattened Lorentzian function收稿日期:2011-06-22;修订日期:2011-07-19基金项目:国防预研项目作者简介:范增明(1987-),男,硕士研究生,主要从事激光光束整形方面的研究。
基于ZEMAX的激光光束整形技术试验研究

在激光技术的许多应用领域中, 光束质量至关 重要。激光材料加工 , 光学信息处理、 存储和记录 , 激光的医学临床应用等领域, 都对光束质量有较高 的要求。在非线性光学的频率变换技术中, 要求抽 运激光束强度均匀 ; 在高功率固体激光器和放大器 中, 输入光束的不均匀性会导致非线性效应, 使输出 光束质量变坏, 甚至损坏激光工作物质。激光光束 质量不仅影响激光器的整体性能 , 也极大地影响激 光技术的应用水平。通常激光器发出的激光束的空 间强度分布呈高斯分布 , 即高斯激光束。在很多应 用中 , 希望激光束是均匀分布。因此, 对激光光束进
基于zemax的激光光束整形技术试验研究中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051由于半导体激光器的发散角较大且输出的光束光斑是椭圆形因此需要对其输出的光束进行空间整形成一个近似圆形的激光光斑
Vo l. 50 No 3
工程与试验 EN GIN EERIN G & T EST
Sep. 2010
经过扩束镜准直整形之后 , 半导体激光器的发 散角为: = D L ( 2)
L 代表激光传输距离 , D 代表经过扩束准直之 后的光斑直径。将准直之后的参数按上述要求代入 公式 ( 2) , 得: 50 = 0 22m rad; 100 = 0 2m rad; 150 = 0 22mr ad ;
200
衔接扩束镜之后所测得的光斑尺寸数据 50 1 1 100 2 0 150 3 3 200 4 1
传输距离 ( m) 光斑尺寸 ( cm)
3 3 试验结果分析 在未加扩束镜之前 , 激光器的发散角大小按下 式计算 : = D L ( 1)
L 代表激光传输距离 , D 代表光斑直径。 L 分 别取 50m 、 100m 、 150m 以及 200m 。相应的 D 选取 4 5cm 、 10 5cm 、 15 2cm 及 19 8cm 。代入公式( 1) ,
鲍威尔棱镜Zemax建模方法与激光光束整形的应用

鲍威尔棱镜Zemax建模⽅法与激光光束整形的应⽤鲍威尔棱镜Zemax 建模⽅法与激光光束整形的应⽤在激光整型技术⽅⾯,1965年,Fridden 发表了第⼀篇⽆损耗激光整型技术,其利⽤⼏何的⽅法将单模的⾼斯光束整型为均匀光束。
近年來,线形激光光束整型的⽂献⽇益增多。
1986年,⽇本⼈Nakamura 使⽤复杂的旋转反射⾯机构使出射光束为线形分布。
1989年,Powell 设计了⼀个单透镜,藉由控制曲率半径及锥形系数(Conic constant),可以使圆形的激光光束整形为均匀的线形光束。
此后,Powell 在1996年发表了可以将激光光束整形为D 型光束的光学元件。
1994年,Frady 由Powell 的概念,发觉Powell 透镜难以使⽤在固态激光上,设计了⾮对称的单透镜组件,在两垂直轴的曲率半径及锥形系数不相同,此组件可⽤在⾮圆形⼊射的激光光源,将光源整形为均匀线形光源,但缺点为在不易对位(Alignment)且制作复杂。
鲍威尔棱镜(Powell Lenses )是⼀种光学划线棱镜(⾮球⾯柱⾯镜),它使激光束通过后可以最优化地划成光密度均匀、稳定性好、直线性好的⼀条直线。
鲍威尔棱镜划线优于柱⾯透镜的划线模式,能消除⾼斯光束的中⼼热点和褪⾊边缘分布。
当约1mm 的准直激光光束打到鲍威尔棱镜的棱上时,如果将棱镜顶端部分放⼤可以看出,棱是圆弧状的,光线⼊射后发⽣折射,折射⾓主要由两个棱⾯所构成的⾓度决定,最后经过出射⾯时再发⽣⼀次折射,整个出射光线形成⼀道扇形光幕。
鲍威尔棱镜的特性之⼀,就是对⼊射光束的尺⼨有严格要求,或⼤或⼩都会影响出射光线在⽬标位置的均匀性,⽽且⼀般要求⼊射光束的尺⼨都⽐较⼩,正好适⽤于激光光束的特征;同时轴⼼的对准度也有影响,所以⽤起来会很不⽅便。
厚度H 虽然不会影响出射光线的⾓度,但也会影响⽬标位置的均匀性。
因此,鲍威尔棱镜的产品指标都会指明⼊射光束尺⼨的要求,标注直径和厚度等参数,如图 25-1所⽰。
激光二极管光束整形技术讲解

文章编号:100123806(20030420357205激光二极管光束整形技术郭明秀1沈冠群2陆雨田1(1中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800(2上海市激光技术所,上海,200233摘要:阐述了对LD 输出光束进行整形的必要性。
在国内首次对目前常用的一些典型的光束整形技术的整形原理、关键技术及整形效果进行了分析、比较和评价。
关键词:激光二极管;激光二极管阵列;光束整形;拉格朗日不变量中图分类号:TN24814文献标识码:AThe technology of laser diode beam shapingGuo M i ngxi u 1,S hen Guanqun 2,L u Y utian 1(1Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics ,the Chinese Academy of Science ,Shanghai ,201800(2Shanghai Institute of Laser Technology ,Shanghai ,200233Abstract :This paper introduces the necessity of beam shaping for LDA beam.S ome typical beam shaping methods ’shaping principles ,key techniques and shaping effects are areanalyzed ,compared and assessed for the first time.K ey w ords :laser diode (LD ;laser diode array (LDA ;beam shaping ;Lagrange invariant作者简介:郭明秀,女,1975年11月出生。
硕士。
现从事半导体泵浦固体激光器及半导体激光器光束整形的研究工作。
激光二极管光束整形技术讲解

文章编号:100123806(20030420357205激光二极管光束整形技术郭明秀1沈冠群2陆雨田1(1中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800(2上海市激光技术所,上海,200233摘要:阐述了对LD 输出光束进行整形的必要性。
在国内首次对目前常用的一些典型的光束整形技术的整形原理、关键技术及整形效果进行了分析、比较和评价。
关键词:激光二极管;激光二极管阵列;光束整形;拉格朗日不变量中图分类号:TN24814文献标识码:AThe technology of laser diode beam shapingGuo M i ngxi u 1,S hen Guanqun 2,L u Y utian 1(1Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics ,the Chinese Academy of Science ,Shanghai ,201800(2Shanghai Institute of Laser Technology ,Shanghai ,200233Abstract :This paper introduces the necessity of beam shaping for LDA beam.S ome typical beam shaping methods ’shaping principles ,key techniques and shaping effects are areanalyzed ,compared and assessed for the first time.K ey w ords :laser diode (LD ;laser diode array (LDA ;beam shaping ;Lagrange invariant作者简介:郭明秀,女,1975年11月出生。
硕士。
现从事半导体泵浦固体激光器及半导体激光器光束整形的研究工作。
激光束的实时空间整形方法_王薇

图 2a 衍射光斑 图 2b 横向光场分布 考虑位相畸变时 ,对上述的入射光场调整位相畸变的参
提要 :在高功率激光系统中 ,激光光束的传输与放大 ,需要对输出的激光光束整形 ,包括对激光束几何形状与光强分布的整形 ,才能有效地 控制光束质量 ,提升激光系统的输出功率 。目前 ,通常的光束空间整形方法是采用针对特定输入光束 (如均匀或高斯光束) 的切趾光阑 (如锯
齿 、波纹光阑) 或结合空间滤波进行光束空间整形 ,而实际输入的光束并非是这样的理想型光束 ,所以上述方法在光束的空间整形中存在一定 局限性 ,因此 ,研究实时 、可调的光束空间整形尤为重要 。对此 ,本文提出了对激光束进行实时 、可调控的激光束空间整形的新方法 ,实时产生 与入射光束相关的软边切趾光阑 ,结合空间滤波 ,获得所需形状的近“平顶”光强分布的近场光束 。数值模拟结果表明新方法可以对实际激光
的软边切趾光阑 ,结合空间滤波 ,获得所需形状的近“平顶”
表 1 轴上光强起伏的最大值
光强分布的近场光束 。
圆孔光阑
波纹光阑
软边光阑
1 光束整形的衍射场光场分布
均匀光
4. 1099
0. 7705
4. 2708e - 7
在高功率激光系统中 ,不仅需要切趾整形激光束具有较 小的衍射轴上的强度调制 ,以保证激光束在放大介质中的稳 定传输与放大 ,而且需要光束具有小的近场横向调制度 ,这 样可提高放大介质的平均通量 ,提高光束填充因子 ,获得高 的能量提取效率〔7〕。
tering to obtain the flat top of diffraction field.
Key words :High power laser system ;real - time spatial reshaping of laser beam ; adaptive soft edge aperture ; diffraction field
激光光束的整形技术_林勇

·综合评述·激光光束的整形技术林 勇,胡家升(大连理工大学电子与信息工程学院,大连 116024)提要:本文简要概括了激光光束整形技术的发展和研究现状。
就几种典型的光束整形技术,如非球面透镜组整形、微透镜阵列整形、衍射光学元件整形、双折射透镜组整形、液晶空间光调制器和圆锥镜等整形技术作了分类评述和讨论。
介绍了各种整形的技术特点和实现方法,指出了这些整形技术尚待解决的一些问题,并展望了它们的可能应用领域和发展前景。
关键词:光束整形;高斯光束;强度分布均匀化,长焦深中图分类号:TN248.1 文献标识码:A 文章编号:0253-2743(2008)06-0001-04Laser beam shaping techniquesLIN Yong ,HU Jia -sheng(S c hool of Electronics and Information Engineering ,D alian Univers ity of Technol ogy ,Dalian 116024,China )Abs tract :The development and the pres ent s tat us of laser beam s haping are summarized in this paper .Several t ypical techniques ,including the aspheric l ens -es ,the lenslet array ,the diffractive optical elements ,the birefringent l enses ,the liquid crystal spatial light modulator and the axicon ,are commentated .The characteristic and realization of each method is introduced ,existing proble ms in us e are dis cuss ed ,and pros pects are predicted .K ey words :beam shaping ;Gauss ian beam ;intensit y distri bution uniformization ;l ong focal depth收稿日期:2008-10-25作者简介:林勇(1976-),男,黑龙江七台河人,博士研宄生,主要从事衍射光学元件设计与应用方面的研究。
高功率半导体激光面阵光束整形技术的研究

1
单管的功率已经不能满足人们的需求,这时出现了半导体激光器阵列技术。按照其结 构特点可以分为如下 3 种[6-9]: (1) 单元阵列式半导体激光器 单元阵列式半导体激光器,是将多个单条二极管耦合起来,并联集成在同一半导 体衬底上,增加有源区的宽度,从而提高输出功率。每个单片半导体激光器的间距大 约在 5-10µm。单元阵列式半导体激光器的结构示意图如图 1-1 所示。据报道,国外该 产品的输出功率达到了 8W,国内为 3W。
单个发光区
单元列阵
图 1-2
一维线阵列半导体激光器
(3) 二维面阵列半导体激光器 二维面阵列半导体激光器是采用层叠方式,在垂直方向上将一维线列阵堆积叠加 起来构成,一般是由多个激光二极管线阵根据泵浦结构、泵浦功率和封装工艺等要求 按照一定的排列方式堆叠而成,发光面积增大,获得更高的功率,如图 1-3 所示。这 种器件的输出功率已经达到了 1000W 以上。
II
独创性声明
本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究 成果。尽我所知,除文中已经标明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体 已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已在文中以 明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。
学位论文作者签名: 日期: 年 月 日
(请在以上方框内打“√”)
学位论文作者签名: 日期: 年 月 日
指导教师签名: 日期: 年 月 日
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1.1 半导体激光器的发展及应用
1.1.1 半导体激光器的发展
绪论
自世界上第一台半导体激光器诞生以来,半导体激光器发生了突飞猛进的变化。 纵观半导体激光器的发展历史,半导体激光器的发展大概经历了三个阶段[1-5]。 第一阶段是 20 世纪 60 年代初期产生的同质结型半导体激光器, 它是在一种在 PN 结材料上制作的二极管。这是一种只能在液氮或更低温度下,以脉冲形式工作的半导 体激光器,并且这种激光器发生受激发射时,要求很高的阈值电流密度。 第二个阶段是异质结半导体激光器,它的有源层是由两种不同带隙的半导体材料 薄层构成的。由于同质结激光器不能实现低阈值电流和实现室温连续工作。1967 年, IBM 公司的伍德尔一反过去用扩散法形成同质 PN 结的惯例,而用液相外延法制成了 单异质结激光器,实现了半导体激光器在室温下工作。但单异质结激光器只能在室温 下脉冲工作,仍不能在室温下连续工作。 后来在单异质结激光器的基础上发展了能在室温下连续工作的双异质结半导体激 光器。双异质结的优点主要在于:(1) 通过构成波导,更有效地限制激光模式。(2) 减 少了有源区的侧向尺寸, 使有源层产生的热量能够更迅速的散失。异质结激光器(DHL) 的诞生使可用波段不断拓宽,线宽和调谐性能逐步提高。 第三个阶段是量子阱半导体激光器,它采用了量子阱(QW)、应变量子阱(SL-QW) 新结构材料作为激活层。这种新的 LD 有源层结构解决了因电流的注入产生的焦耳热 使 PN 结温升高、促使元件性能恶化等问题。量子阱半导体激光器与双异质结(DH)激 光器相比,具有阈值电流低、输出功率高、频率响应好、光谱线窄、温度稳定性好和 较高的电光转换效率等许多优点。 随着半导体激光器制造工艺的不断提高和改进,半导体激光器从最初的低温下脉 冲工作发展到室温下连续工作,激光器有源层的结构从同质结发展成单异质结、双异 质结、量子阱(单、多量子阱)等。目前,单管的功率已经由最初的几毫瓦提高到几瓦, 但随着半导体激光器越来越广泛的应用,人们对于激光器输出功率的要求越来越高,
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有一组满足上式的解,形式为: 其中d是两镜之间的距离, n是镜子的折射率, 是光迹函数。 正号代表伽利略式,负 号代表开普勒式。
上面的光束整形,主要是光强分布的变化,对于光斑形 状的变换相对简单。 对于我们扫描所需要的线状光束,可以通过使用两个柱 面镜实现:
如果要得到光强均匀分布的线状光束,需要使用非球面柱 面镜来实现,这需要将前面光强分布变换和光斑形状变换 两部分结合起来,具体解法需要时间看懂光束整形里的数 学。 光束整形器目前市场上已经有产品出售,是进口的,在 中国有代理,价格大约是3000欧元。
激光光束整形技术
南开大学
对于光纤、YAG、CO2激光器等,出射的(单模)激光截 面为圆形,光强分布为:
其中阴影部分的能量最多只能达到总能量的0.37。 对于半导体、准分子激光器,出射的激光为方形,多模 的方向认为光强分布均匀,垂直的单模方向的光强分布 为:
其中阴影部分的能量最多只能达到总能量的0.48。
这种方式可以做到没有能量的 损失。
第三种multi-aperture beam integrator, 整形装置由微透镜阵列和一个普通透镜 组成,微透镜阵列将入射光场分割为若 干子束,这些子束在经过普通透镜汇聚 后,在所需位置处再叠加起来,从而得 到均匀光束。
这种整形方式比较适用于空间相干性比较差 的多模激光,同样可以做到能量没有损失。
还有其它的一些方式可以做到 均匀出射,比如双折射透镜组, 双透镜+柱镜等。
Field mappers
考虑入射高斯光束为TEM00模,光强空间分布为
出射光束为平定光,有三种选择方式: 费米狄拉克函数: 超高斯函数: 平坦高斯函数:
上面三个函数取合适的 参数时都是阶跃函数的 很好的近似。
选定适当的参数,确定了出射光束的光强分布之后,通 过计算机数值模拟可以得到中间的光强透过率函数,进 而确定所需要的光学元件。 这里选择双透镜实现这一功能。
这是stocker yale出产的平顶 光整形器。
对于满足下面条件的情况,光束传播过程中的衍射效应 可以忽略,这时可以使用几何光学进行器件的设计。
需要说明的是这里的β与费米狄拉克函数中的参数是不同 的物理量,这里仍然这么写的缘故是与Fred M.Dickey最 初的定义保持一致。 D是平定光束的宽度,f是所选择透镜的焦距,λ是激光束 的波长。
透镜的两个面一个是平面,另一个是非球面。对于双透镜 有两种组合方式:伽利略式和开普勒式。 第一个非球面将光线进行重新分布, 第二个非球面将光线进行准直。
对于激光清洗,以及其它的激光与物质相互作用过程,激光能 量的均匀化对于提高光源的使用效率是必不可少的。 低于清洗阈值的光照射部分是不能产生清洗效果的,而高于清 洗阈值的部分,只会产生多余的热,甚至超过损伤阈值,造成 基底的破坏。 另外,将入射激光光束整形为线状的均匀光束可以进一步提高 激光清洗的工作效率。
第二种field mappers,基于傅里叶变换光学,使用惠更斯菲涅耳衍射积分公式计算,入射光束的光场分布已知,出射 光束的光场分布按要求给定,可得所要求的光束整形器件的 透过率函数。 这一透过率函数,可以使用计算机数值模拟得到,进一步可 以得到光束整形器件的构成。
对于基模高斯光束可选择一整形 器件使得边缘处的光束弯曲,从 而得到较均匀的输出光。
激光光束整形技术一般可以分为三种:apertured beams, field mappers,multi-aperture beam integrator。
第一种apertured be阑就能得到较均匀 的出射激光,但同时损失了部分 的激光能量。