三维机械差动压电式加速度传感器设计研究

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PZT 压电加速度传感器的设计

PZT 压电加速度传感器的设计1.1 课题研究的目的和意义加速度传感器应用与设计的要求最初是由航空航天、机器人、军事领域中对物体控制等特殊领域中提出的。

例如，在航空航天领域，由于各种运载工具和飞航系统在飞行过程中，来自自身推力系统产生的振动以及大气环境的影响而产生的振动直接影响系统的飞行姿态和运行轨迹。

因此，必须随时监测其各类负载的振动状态。

但是长期以来，我国各种大型运载工具和飞行器上测控用的加速度传感器都是单轴结构，只有一维功能，故无法提供全面的加速度信息，必须同时采用多个一维加速度传感器，这在一定程度上制约了对飞行器飞行姿态测试和控制的精确性和有效性。

显而易见，只能获取一维加速度分量与时获得测量处六维加速度信息是有着本质上的区别的。

所以对多维加速度传感器的研究具有明显的科学技术价值与重要意义，因此对多维加速度传感器的研制不仅在机器人领域而且在其它领域仍然意义重大。

多维加速度传感器的研制国内外还处于起步阶段，所以寻求一种新的途径进行多维加速度传感器的设计成为多维加速度传感器设计的一项重要课题。

多维加速度传感器一般是由敏感元件、变换元件和测量电路三部分组成。

除自源型传感器外，还需外加辅助电源，用框图表示如下。

结合振动轮系统理论分析结论,采用如图4所示的测量系统,选择某样机在施工现场测取系统的主要响应信号。

由分离的加速度计、电荷放大器、数据采集测试仪组成振动测量系统,该系统主要技术指标如下通道数为8;采集方式为多通道并行;A/D分辨率为12bit;最高采样频率为1MHz;频率范围为015Hz～6kHz;低通滤波器的衰减斜率为- 12dB/OCT;加速度测量范围为0～50m/ s2;数据存储深度为任意(视硬盘空间而定) 。

图1.2 总的设计框图可以看出，弹性体是传感器的核心，其结构决定着传感器的各种性能和测量精度，弹性体结构设计的优劣对加速度传感器性能的好坏至关重要，是传感器设计的关键。

由于磁电式速度传感器存在响应频率范围小，机械运动部件容易损坏，传感器质量大造成附加质量大等缺点，近年发展了压电式加速度传感器，压电式加速度传感器具有结构简单、体积小、重量轻、耐高温、测量的频率范围宽、动态范围大、性能稳定、输出线性好等优点。

一种新型差动式压电加速度传感器

ＬＩＪｎ，ＱＩｎ，ＬＩＪｎ — ｈｎ，ＬＩＭｉＵｕＮＬａＵｉｇｃｅｇｎ
（ｙＬａｏａｏｙｏＯｐｏｌｃｒｎｃＴｅｈｏｏｙ＆Ｓｓｅ．ｔｅＫｅｂｒｔｒｆｔｅｅｔｏｉｃｎｌｇｙｔｍｓｈＭｉｉｔｙｏＥｄｕａｉｎ，Ｃｈｎｉｇ４０４，Ｃｉａｎｓｒｆｃｔｏｏｇｑｎ００４ｈｎ）
析了传感器惯性质量块和压电元件的质量对其输出特性的影响。然后，析了传感器处理电路的结构，导了该电路的分推设计指标。实验结果表明，传感器采用单个惯性质量块实现了对加速度信号的差动式测量，结构简单、量轻、于该其重易加工制造、干扰能力强；性度为０１，普通加速度计的１２频率响应误差为１；复性为１２；量灵敏度抗线．％是／；重．７测
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第１卷５
第６期
光精密工程学
０ｐｉｓａｄＰｒｃｓｏｎＥｎｎｅｉｇｔｎｅｉｉｇｉｅｒｎｃ
Ｖｏ．５Ｎｏ６Ｉ１．
２００７年６月
Ｊｎ２０ｕ．０７
文章编号１０－２Ｘ（０７０ — ９３００４９４２０）６００ — ７
Ａｂｔａｔｓｒｃ：Ａｏｖｌｄｉｆｒｎｔａｉｚｅｅｔｉｃｅｅａｉｅｓｒｗａｎｔｏｃｄ．Ｔｈｅｓｎｏ＇ｔｕｃｕｒｎｅｆｅｅｉｌｐｅｏｌｃｒｃａｃｌｒｔｏｎｓｎｏｓｉｒｄｕｅｅｓｒｓｓｒｔｅａｄｏｒｔｎｒｎｃｐｌｒｅｅｔｄａｄｉｓｍａｈｅａｉｏｅｓｅｔｂｌｓｄ，ｔｎｔｅａｉ — ｎｐｅａｉｇｐｉｉｅｗｅｅｐｒｓｎｅｎｔｔｍｔｃｍｄｌｗａｓａｉｈｅｈｅｈｅｒｌｔｏｎｓｐｂｔｅｈｅｓ＇ｕｔｕｔｃａａｔｒｓｉｎｄｉｅｔａｓｎｄｔｅｏｅｅｔｉｏｍｐｏｎｔｓｈｉｅｗｅｎｔｅｓｎｏｒｏｐｈｒｃｅｉｔｃａｎｒｉｌｍａｓａｈｅｐｉｚｌｃｒｃｃｓｎｅｓｗａｄｓｕｓｅｉｃｓｄ．Ｆｉａｌｔｅｒｃｓｉｃｉｔｕｔｒｅｏｎｄｉｓｃａａｔｒｓｉｒｓｕｓｄｌｏｎｌｙ，ｈｐｏｅｓｃｒｕｔｓｒｃｕｅｏｆｓｎｓｒａｔｈｒｃｅｉｔｃｗｅｅｄｉｃｓｅａｓ．Ｅｘｒｍｅａｅｕｔｈｏｔｔｔｅｓｒｗｉｈｏｎｎｅｔａｓａｅｌｚｈｅｄｆｅｅｉｌｍｅｕｅｐｅｉｎｔｌｒｓｌｓｓｗｈａｈｅｓｎｏｔｅｉｒｉｌｍａｓｃｎｒａｉｅｔｉｆｒｎｔａａｓｒ — ｍｅｔｏｃｅｅａｉｉｎａｓｎｄｉｓａｖｎｔｇｅｎｓｍｐｅｓｒｔｅ，ｌｇｉｔｉｎｆａｃｌｒｔｏｎｓｇｌ，ａｔｈａｄａａｓｉｉｌｔｕｃｕｒｉｈｔｗｅｇｈ，ｓｍｐｌｏｒ — ｅｆｒｗｏｋｉｇａｄｍａｆｃｕｒｎｎｎｎｕａｔｉｇ，ａｅｔｒａｔ—ｎｔｒｅｅｃｂｉｉｙＩｓｌｎｅｒｔｓｕｏ０，ｗｈｉｈｉｌｎｄｂｔｅｎｉｉｅｆｒｎｅａｌｔ．ｔｉａｉｙｉｐｔ．１ｃｓｈａｆｏｏｍｏｃｅｅｏｔｒｔｈｓｓｔｓｉｄｔｓｇｒｓｎｆｅｕｅｃｅｐｏｅｅｒｒｏｆｃｍｎａｃｌｒｍｅｅ．Ｉａａｉｆｅｈｅｄｅｉｎｐｕｐｏｅｉｒｑｎｙｒｓｎｓｒｏｆ１ｒｐａａｉｉｙｏ．，ａｄｉｓｍｅｓｅｅｔｓｎｉｉｉｙｉｗｉｅｏｆｇｎｅａｃｅｅｏｅｅ．ｅｅｔｂｌｔｆ１２７ｎｔａｕｒｍｎｅｓｔｖｔｓｔｃｅｒｌａｃｌｒｍｔｒＫｅｒｓ：ｐｅｏｌｃｒｃｅｏｒｃｅｅａｉｎｓｎｏｒｉｆｒｎｉｌｙｗｏｄｉｚｅｅｔｉ；ｓｎｓ；ａｃｌｒｔｏｅｓ；ｄｆｅｅｔａａｎｄ

压电式加速度传感器原理

压电式加速度传感器原理压电式加速度传感器原理阐述压电式加速度传感器是一种经常用于测量物体振动和冲击的技术，其基本原理是通过应变测量物体产生的电荷。

它可以测量加速度，包括静态和动态加速度，这是工程应用中经常遇到的一种问题。

本文将详细说明压电式加速度传感器的基本原理和工作模式。

一、压电效应的原理压电效应是指某些材料在受到机械压力或应变时，会产生电荷。

这种效应一直以来都是物理学家们研究的热点问题之一，因为它具有深远的工程应用价值。

常见的压电材料有晶体琥珀、氧化锌等。

二、压电式加速度传感器的结构压电式加速度传感器的结构是由一组压电材料进行固定，可以受到物体加速度的作用，从而引起压电材料的应变。

此时，压电材料产生的电荷由固定在底部的电极收集。

压电杆和电极之间的电荷量比较微弱，需要通过电路放大器进行放大，以便对出现的物理信号做出适当的反应。

三、压电式加速度传感器的工作原理在静态情况下，压电式加速度传感器对外力没有反应。

但是当物体进行动态运动时，加速度传感器就会感知到其受到的加速度作用，从而相应地产生电荷。

该电荷信号随即通过电路放大器进行放大，并输出至一台计算机或其他设备上，以实现可视化或机械控制等应用。

四、基本型号和参数的介绍压电式加速度传感器目前的市场较为广泛，包括一批基本型号和各种具体的参数。

其中，基本型号有PCB-352C15、PCB-352B22和PCB-352B33等，其具体参数如下：1.测量范围：±3g至±200g；2.传感器灵敏度：从1.5mV/g到10mV/g不等；3.工作电压：1至10 VDC；4.频率响应：从0到15000 Hz不等；5.噪声水平（10Hz-100kHz）：从1到2000 ug RMS不等。

总之，压电式加速度传感器是一种测量物体加速度的实用工具，可以广泛应用于控制系统、机器运动学分析、应变监测和波成系数分析等领域。

希望本文能够帮助到有关从业人员更好地理解其原理及应用。

新型三维压电加速度传感器的设计

加速度测量是微传感器领域中最富有挑战性，最富有发展前景的领域之一。高可靠性，高灵敏度，
微型化的加速度计越来越为汽车工业、天、物和航生
的中部压入铅块）这个小钢球在正方体内的位置是，
经小钢球球心的ｚ、、轴的正负方向的小钢球表Ｙ
面６个点刚好和正方体内的６压电陶瓷片的中间个
相接触，压电陶瓷片接输出电极，样，６个这当传感器受到任意方向及大小的外力时，钢球就会因外小
医学等领域所需要。目前，内对加速度传感器的国
ｐｒｍｉｉｇａｏｓｎｐｐｌａｉｓｉｔｏｎ．ｃＫｅｒｓ：ｒａａｃｅｅｏｅｅ；ｎｅｔａａｓ；ｅｏｌｃｒｃｃｒｍｉｙｗｏｄｔｉｘｉｌａｃｌｒｍｔｒｉｒｉｌｍｓｐｉｚｅｅｔｉｅａｃ
ｍｅｉｓｏｍａｌｓｚ，ｈｇｃｕａｙｏａｕｅｎ，ｌｗｒｃｎｌｘｂｌｙＷｅｃｎｓｅｔｅａｃｌｒｍｅｅｌｒｔｆｓｌｉｅｉｈａｃｒｃｆｍｅｓｒｍｅｔｏｐｉｅａｄｆｅｉｉｔ．ｉａｅｈｃｅｅｏｔｒｗｉｌ
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第２卷第３９期
２０年６０７月
压
电
与
声
光
Ｖｏ｜９Ｎｏ３ｌ２．
ＰＩＯＥＬＥＣＴＥＣＴＲＩＥＺＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＣＳＴＩ

加速度传感器电路设计与数据处理算法

加速度传感器电路设计与数据处理算法概述随着科技的发展，加速度传感器广泛应用于可穿戴设备、汽车安全系统、智能手机等领域。

本文将讨论加速度传感器电路设计与数据处理算法的相关内容，介绍加速度传感器的基本原理以及常用的电路设计方案和数据处理算法。

1. 加速度传感器基本原理加速度传感器是一种测量物体加速度的装置。

它通过测量由物体产生的惯性力来精确测量物体在三个方向上的加速度。

常用的加速度传感器包括压电式、微机电系统（MEMS）式和霍尔式等。

压电式传感器基于压电效应，当物体受到外力作用时，引起压电材料产生电荷分布的变化。

通过测量电荷的变化，可以推断物体的加速度。

这种传感器具有较高的测量精度和频率响应，但成本较高。

MEMS式传感器基于微机电系统技术，通过微米级电极和敏感质量体的结构，测量感应质量体的微小变位。

这种传感器具有小巧轻便、功耗低的优点，并广泛应用于移动设备和汽车等领域。

霍尔式传感器基于霍尔效应，通过测量磁场的变化来推断加速度。

这种传感器具有高灵敏度和良好的温度稳定性，但受到外界磁场的干扰较大。

2. 加速度传感器电路设计在加速度传感器的电路设计中，主要考虑传感器的功耗、噪声、输出电压范围和抗干扰性等因素。

为了减小功耗，可以采用低功耗的运放和电源管理电路，保证传感器的正常工作并延长电池寿命。

为了减小噪声，可以采用金属屏蔽以及滤波电路。

金属屏蔽可以有效地减少传感器周围的电磁辐射干扰，而滤波电路可以滤除高频噪声。

为了保证输出电压范围，可以采用自适应增益控制电路和电流平衡电路。

自适应增益控制电路能够根据实际情况调整传感器的增益，提高信号的动态范围。

电流平衡电路能够减小由于工艺差异引起的零点漂移。

为了提高传感器的抗干扰性，可以采用差分信号放大器和通道隔离电路。

差分信号放大器能够抵抗共模信号干扰，提高信号的稳定性。

通道隔离电路能够将传感器与处理器之间的电气耦合分开，减少互相之间的干扰。

3. 加速度传感器数据处理算法加速度传感器数据处理算法是将原始传感器数据转化为可用于后续应用的信息的过程。

压电式加速度传感器信号采集系统设计研究

压电式加速度传感器信号采集系统设计研究摘要:本文设计了一套信号采集系统,这个系统基于压电加速度传感器低频信号的原理。

并对压电加速度传感器信号进行了调理工作如放大滤波,同时以TLC0831(来自TI公司)为A/D转换器,并以单片机GMS97C2051(LG公司)为微处理控制芯片,并分析了各个硬件模块。

关键词:调理压电加速度传感器信号采集加速度传感器是用于倾斜角、惯性力、冲击力及振动等参数的测量并将运动或重力转换为电信号的一种传感器。

压电加速度传感器是一种以某些受力晶体在其表面产生电荷的压电效应为转换原理的典型的自发式传感器,优点是高灵敏度、高信噪比、重量轻、结构简单、工作可靠等等,广泛应用在加速度测量方面。

1 传感器信号采集系统原理简述压电式传感器的基础是电介质的压电效应,这些物质表面上会产生电荷,原因是在沿一定方向受到压力或拉力作用而发生变形;反之,若它们不受力又回到不带电的状态,这就是所谓的压电效应。

它是典型的发电传感器,又叫有源传感器。

石英晶体是最常用的电介质材料,此外还有钦酸钡、错钦酸铅等多晶体也作为压电材料得到应用,因为它们具有良好的压电效应。

这种传感器的灵敏度与压电材料的压电系数和质量块的质量有关成正比关系。

压电系数越大,传感器的灵敏度越高,在通常情况下,我们主要采用压电陶瓷为敏感元件。

压电式加速度传感器包括质量块、压电元件和支座。

其中把支座与待测物固定在一起,它们之间是刚性连接。

当待测物有位移时,支座与待测物以相同的方式运动,压电元件受到惯性力的作用,它与质量块的与加速度相反方向,晶体的两个表面形成了交变电压。

当传感器的固有共振频率大大高于振动频率时,传感器的输出电荷(也就是电压)与作用力的关系为正比。

我们可通过检测电路检测放大的电信号从而得到物体的加速度。

2 信号采集系统总体设计方案我们对数据采样过程采集时域信号,而计算机只能处理数字信号,故需要将用调理器和转换器来进行信号的转变。

传感器课程设计--压电式加速度传感器的设计

课程设计说明书题目：压电式加速度传感器的设计学院（系）：电气工程学院课程设计（论文）任务书院（系）：电气工程学院基层教学单位：自动化仪表系说明：此表一式四份，学生、指导教师、基层教学单位、系部各一份。

目录示例目录第1章摘要 (1)第2章引言 (2)第3章电路仿真及准备作 (3)第4章压电式加速度传感器的参数设计及计算 (12)4.1 结构设计 (12)4.2 电容设计与计算 (12)4.3 其他参数的计算 (12)第5章误差分析 (13)第6章结论 (14)心得体会 (14)参考文献 (15)第一章摘要传感器是一门集合多种科学技术的科学，它利用各种原理如光电效应、压电效应,等等的原理，来根据被测物体的变化来反映待测量的变化的科学。

传感器是在现今科学领域中实现信息化的基础技术之一。

现代测量、控制与自动化技术的飞速发展，特别是电子信息科学的发展，极大地促进了现代传感器技术的发展。

传感器的使用也越来普遍，在当今社会里起到了很大的作用，与此同时传感器的技术要求也在不断提高，对传感器的设计，性能，功能提出了更高的要求，显而易见传感器在以后的社会发展中将会起到越来越重要的作用。

压电式传感器是基于压电效应的传感器。

压电效应是一种能实现机械能与电能相互转换的效应，当有力作用于压电元件上时，压电元件会产生电荷，传感器中利用电荷放大电路，将电荷的变化表现到电压的变化，从而来确定待测物体的运动状态。

经过一定转换电路来实现我们所需要的测量的输出。

压电式传感器的优点是频带宽、灵敏度高、信噪比高、结构简单、工作可靠和重量轻等。

缺点是某些压电材料需要防潮措施，而且输出的直流响应差，需要采用高输入阻抗电路或电荷放大器来克服这一缺陷。

第二章引言压电式传感器是基于压电效应的传感器，就要求必须将电荷的变化通过电路来表现出来，这就要求将电荷的变化转换成电路中电流的变化或者电压的变化，此时必须用到电荷放大电路来实现。

电荷放大电路是压电传感器的核心电路，它将电荷的变化转换电压的变化，从而实现了测量的意义，可以根据电压的变化来判断被测物体的变化或者运动状态。

压电加速度传感器测量电路的研究与开发的开题报告

压电加速度传感器测量电路的研究与开发的开题报告一、选题背景随着无线电子技术、微电子技术的发展，传感器技术在各个领域得到了广泛应用。

压电加速度传感器是其中一种重要的传感器类型，可以测量物体在各个方向上的加速度，广泛应用于机械、航空、汽车、医疗等领域。

由于其精度高、体积小、响应快等特点，越来越多的应用场合需要使用压电加速度传感器。

压电加速度传感器测量电路是将压电加速度传感器的输出信号处理成能够被微处理器等电子设备识别的电信号的部分。

对压电加速度传感器测量电路进行研究和开发有助于提高传感器的灵敏度和精度，从而提高它在各个领域的应用效果。

二、选题意义1.满足各个领域对压电加速度传感器性能的需求。

目前，随着工业和民用领域对传感器精度和灵敏度的要求越来越高，开发可靠、精确、稳定的压电加速度传感器测量电路变得尤为重要。

2.促进传感器技术的进步。

压电加速度传感器测量电路的研究和开发涉及到多个学科领域的知识，如材料学、电子学、电路设计等，它的进步将有助于推动相关学科领域的发展。

3.有助于推动相关领域技术应用的发展。

压电加速度传感器广泛应用于航空、天文、地震等领域，其测量精度和稳定性的提升将促进相应领域技术的应用进步。

三、研究内容和技术路线1.研究压电加速度传感器的工作原理和性能特点，分析其输出信号的特点，确定传感器的测量原理和参数。

2.设计和实现压电加速度传感器测量电路，包括前置放大电路、滤波电路、采样电路等。

3.进行传感器测量电路的测试和优化，分析其测量精度、灵敏度、稳定性等性能指标。

4.使用实验数据对传感器测量电路进行优化和改进。

5.对测量电路进行系统集成和优化，实现对压电加速度传感器输出信号的统一测量和处理。

技术路线：1.研究压电加速度传感器的工作原理和性能特点。

2.设计和实现前置放大电路，实现对传感器输出信号的放大和滤波。

3.设计和实现采样电路，并与前置放大电路配合使用，实现对传感器输出信号的采样和处理。

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ａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｓｅｎｓｏｒｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄｔｏｂｅａｐｐｌｉｅｄｉｎｂｅａｉｎｒｇｖｉｂｒａｔｉｏｎｍｏｎｉｔｏｉｎｒｇａｎｄｆａｕｌｔｄｉａｇｎｏｓｉｓｂａｓｅｄｏｎｓｉｎｇｌｅｉｎｅｒｔｉａｌｍａｓｓ．Ｍａｓｓ — ｓｐｉｎｒｇ — ｄａｍｐｅｒｄｙｎａｍｉｃｍｏｄｅｌｏｆｔｈｅｓｅｎｓｏｒｉｓｂｕｉｈａｎｄｐｅｆｏｒｒｍａｎｃｅｉｎｄｅｘｅｓａｎｄｄｙｎａｍｉｃ
器的性能指标和动态响应曲线。同时利用有限元方法对该模型的特性进行了仿真分析，仿真结果表明：三
维机械差动压电式加速度传感器具有固有频率高、输出灵敏度高和测量频率范围宽的特性，可用于轴承振
动信号的获取。同时具有结构简单、尺寸小等优点。关键词：轴承振动监测；三维；压电；机械差动；加速度传感器
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传感器与微系统（ＴｒａｎｓｄｕｃｅｒａｎｄＭｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ）
２０１３年第３２卷第１Ｏ期
三维机械差动压电式加速度传感器设计研究
ｍｅｃｈａｎｉｃａｌｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｓｅｎｓｏｒｉｓａｂｌｅｔｏａｃｑｕｉｒｅｔｈｅｂｅａｒｉｎｇｖｉｂｒａｔｉｏｎｓｉｎａｇｌｗｉｔｈｈｉｇｈｎａｔｕｒｌ￣ｅａｑｕｅｎｃｙａｎｄｈｉｇｈｏｕｔｐｕｔｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙａｎｄｗｉｄｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ￣ｅｑｕｅｎｃｙｒａｎｇｅ．Ｍｅａｎｗｈｉｌｅ，ｉｔｈａｓａｄｖａｎｔａｇｅｓｏｆｓｉｍｐｌｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄｓｍａｌｌｓｉｚｅｓ．动国家重点实验室，重庆４０００３０）
摘
要：针对目前轴承振动监测存在的问题，基于单惯性质量块，提出了一种应用于轴承振动监测和故障
诊断的三维机械差动压电式加速度传感器。建立了该传感器的质量一弹簧一阻尼的动力学模型，获得传感
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｉｍｉｎｇａｔｐｒｏｂｌｅｍｓｉｎｂｅａｒｉｎｇｖｉｂｒａｔｉｏｎｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ，ａ３Ｄｍｅｃｈａｎｉｃａｌｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉｌｐａｉｅｚｏｅｌｅｃｔｉｃｒ
ｒｅｓｐｏｎｓｅｃｕｒｖｅｓａｒｅｏｂｔａｉｎｅｄ．Ｍｅａｎｗｈｉｌｅ，ｔｈｅｍｏｄｅｌｉｓｓｉｍｕｌａｔｅｄｗｉｔｈＦＥＭ，ｔｈｅｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅ３Ｄ
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｂｅａｒｉｎｇｖｉｂｒａｔｉｏｎｍｏｎｉｔｏｉｒｎｇ；３Ｄ；ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ；ｍｅｃｈａｎｉｃｌａｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉｌ；ａａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｓｅｎｓｏｒ
０引言
出灵敏度低和测量频率范围低等缺点，普通三维压电式加
速度计存在结构和工艺复杂、输出灵敏度低和环境条件要求高等不足。
● ■ 』 ● １Ｊ ●
ＤｌｅＺ０ｅｌｅＣｔｒｌＣａｃｃｅｌｅｒａｔｌＯｎｓｅｎｓｏｒ
ＳＨＡ０Ｙｉ — ｍｉｎ．ＸＩＡＮＭｉｎ
（ＳｔａｔｅＫｃｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＴｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ，ＣｈｏｎｇｑｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｃｈｏｎｇｑｉｎｇ４０００３０，Ｃｈｉｎａ）
中图分类号：ＴＰ２１２．１文献标识码：Ａ文章编号：１０００－９７８７（２０１３）１０－００５４－０３
Ｄｅｓｉｇｎａｎｄｒｅｓｅａｒｃｈ０ｎ３Ｄｍｅｃｈａｎｉｃａｌｄｉｆｅｒｅｎｔｉａｌ