中国电子行业超纯水国家标准
超纯水行业相关水质标准
50
美国半导体工业用纯水指标
项 目
Ⅰ级
Ⅱ级
Ⅲ级
Ⅳ级
残渣，mg/L
0.1
0.3
0.3
0.5
TOC，mg/L
0.02
0.05
0.10
0.40
颗粒，粒/L
500
1000
2500
5000
细菌数，个100mL
0
6
10
50
活性硅SiO2，μg/L
35Βιβλιοθήκη 1040电阻率MΩ·cm
18.3
17.9
17.5
17.0
阳离子，μg/L
1
1
10
500
硫酸根，最大值 ug/L
1
1
10
500
总有机碳，最大值 ug/L
20
100
200
1000
美国纯水水质标准
（美国计量测试学会ASTM纯水水质标准，1983）
序号
水质项目
单位
E-Ⅰ
E-Ⅱ
E-Ⅲ
E-Ⅳ
1
电阻率，25℃
MΩ.cm
18
15
2
0.5
2
二氧化硅（全）
µg/l
5
10
100
1000
3
微粒（粒径≥1μm）
个/ml
2
5
100
500
4
微生物
个/ml
1
10
50
100
5
有机物TOC
µg/l
50
200
1000
5000
6
铜Cu
µg/l
2
10
中国国家电子级超纯水标准.doc
附 1 中国国家电子级超纯水规格GB/电阻>1μ m率硅铜锌镍钠钾氯细菌磷酸根颗粒硝酸根硫酸根25℃≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤个≤μTOC≤μ g/L≤个≤ g/L ≤μ g/L MΩg/L g/L g/L g/L g/L g/L g/L /ml g/L/ml*cmEW-I ≥ 18* 2 1 1 1 1 20≥1EW-II 10 0 0 1 2 2 1 5 1 1 1 100 **注* （ 95％时间不低于17）， ** （ 95％时间不低于13）中国国家电子级超纯水GB/－ 1997 标准指标级别EW－ⅠEW－ⅡEW－ⅢEW-Ⅳ18 以上，（95％时间）不低电阻率MΩ， cm(25℃ ) 15，（ 95％时间）不低于13于17全硅，最大值 , μ g/L 2 10 50 1000 ＞ 1μ m微粒数，最大值，个 /mL 5 10 500细菌个数，最大10 100 ，个 /mL铜，最大值，μ g/L 1 2 500 锌，最大值，μ g/L 1 5 500 镍，最大值，μ g/L 1 2 500 钠，最大值，μ g/L 2 5 1000 钾，最大值，μ g/L 2 5 500 氯，最大值，μ g/L 1 1 10 1000 硝酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 磷酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 硫酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500总有机201002001000 ，最大值，μg/L电子级超纯水中国国家标准（GB/）>1μm微项目比电阻 MΩ.cm@25℃硅≤粒数 < 个细菌个数氧≤硝酸根≤磷酸根≤硫酸根总有机碳级别μg/L /ml < 个/ml 铜≤μ g/L 锌≤μ g/L 镍≤μ g/L 钠≤μ g/L 钾≤ g/L μg/L μg/L μg/L ≤μg/L ≤μg/L18（ 95%的时间不低于EW-Ⅰ 2 1 1 1 1 20 17）15（ 95%的时间不低于EW-Ⅱ10 5 1 1 1 2 2 1 1 1 1 100 13）。
半导体行业用水标准
半导体行业用水标准集团标准化工作小组 #Q8QGGQT-GX8G08Q8-GNQGJ8-MHHGN#电子行业水质标准1.电子工业与超纯水在半导体制作工艺中，80%以上的工序要经过化学处理，而每一道化学处理都离不开超纯水；在硅片的处理工序中，一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程，此时如水中含有杂质便会进入硅片，造成器件性能下降成品率低。
电子工业提出的超纯水电阻率≥18MΩ.cm (25℃),已极其接近理论纯水水质 M Ω.cm(25℃)。
对电解质、DO、TOC、SIO2、颗粒及细菌等技术指标提出更高要求。
如256 兆位的动态随机储存器生产工艺，光刻线条宽已达微米,要保证这一指标,超纯水中颗粒径就得≤μm,而且≥μm 不得超过500 个/升超纯水。
2、水质标准超纯水水质标准大多数由中科院半导体所主要制定。
电子级水国家标准:详见表3、超纯水中杂质的污染源制备超纯水的水源由于水是一种溶解能力很强的溶剂,因此天然水中含有各种盐类和化合物,溶有CO2, 还有胶体(包括硅胶和腐殖质胶体),天然水中还存在大量的非溶解性质,包括粘土、砂石、细菌、微生物、藻类、浮游生物、热源等等。
材料的影响:制备超纯水的材料设备的材质都是用金属和塑料制成的,金属在水中会有痕量溶解,造成金属离子污染。
一些高分子材料在合成时常常加入各种添加剂、增塑剂紫外吸光剂着色剂，引入大量的金属、非金属杂质、同时还会带来有机污染。
材质的污染主要以污染值来衡量，所谓污染值是指，单位面积的材料使单位体积的纯水电阻率的增加值。
表分别列出了各种材料的污染值和TOC 的溶出值。
表各种材料的污染值(TOC 的溶出值)4水的电阻值在测定水的导电性能时，与水的电阻值大小有关，电阻值大，导电性能差，电阻值小，导电性能就良好。
根据欧姆定律，在水温一定的情况下，水的电阻值R大小与电极的垂直截面积F成反比，与电极之间的距离L成正比。
水的电阻率的大小，与水中含盐量的多少，水中离子浓度、离子的电荷数以及离子的运动速度有关。
通用的纯水标准
通用的纯水标准目前世界上比较通用的纯水标准主要有以下几个：国际标准化组织（ISO），美国临床病理学会（CAP）试药级用水标准，美国测试和材料实验社团组织（ASTM），临床试验标准国际委员会（NCCLS），美国药学会（USP）等。
同时，我国也有相应的纯水标准：中国国家电子级超纯水规格GB/T11446-1997和中国国家实验室用水规格GB6682-2008等。
中国国家实验室用水规格GB6682-2008标准专业整理分享中国国家电子级超纯水规格GB/T11446.1-1997注*(95％时间不低于17)，**(95％时间不低于13) 体外诊断试剂用水规格YYT 1244-2014专业整理分享消毒供应中心用水标准WS310.1/2/3-2016 口腔科清洗用水标准WS506-2016专业整理分享生活饮用水卫生标准GB5749—2006生活饮用水水质常规指标及限值专业整理分享专业整理分享专业整理分享软式内窥镜清洗用水标准WS507-2016 应有自来水、纯化水、无菌水。
专业整理分享自来水水质应符合GB5749的规定。
纯化水应符合GB5749的GB5749的规定，并应保证细菌总数≤10 CFU/100ml；生产纯化水所使用的滤膜孔径应≤0.2um，并定期更换。
无菌水为经过灭菌工艺处理的水。
必要时对纯化水或无菌水进行微生物学检测。
专业整理分享血液透析和相关治疗用水YY0572-2015专业整理分享美国临床病理学会CAP试药级用水标准/美国临床检查标准化委员会NCCLS用水标准专业整理分享美国材料试验学会ASTM水质标准专业整理分享2015版《中国药典》纯化水及注射用水标准及检验项目专业整理分享注：总有机碳和易氧化物两项可选做一项。
一、纯化水（Purified Water ）纯化水H2O 18.02本品为饮用水经蒸馏法、离子交换法、反渗透法或其他适宜的方法制得的供药用的水，不含任何添加剂。
专业整理分享二、2010年版药典检验项目1.性状本品为无色的澄清液体；无臭，无味。
通用的纯水标准
通用的纯水标准目前世界上比较通用的纯水标准主要有以下几个：国际标准化组织（ISO），美国临床病理学会（CAP）试药级用水标准，美国测试和材料实验社团组织（ASTM），临床试验标准国际委员会（NCCLS），美国药学会（USP）等。
同时，我国也有相应的纯水标准：中国国家电子级超纯水规格GB/T11446-1997和中国国家实验室用水规格GB6682-2008等。
中国国家实验室用水规格GB6682-2008标准中国国家电子级超纯水规格GB/T11446.1-1997注*(95％时间不低于17)，**(95％时间不低于13)体外诊断试剂用水规格 YYT 1244-2014消毒供应中心用水标准 WS310.1/2/3-2016 口腔科清洗用水标准 WS506-2016生活饮用水卫生标准GB5749—2006生活饮用水水质常规指标及限值软式内窥镜清洗用水标准 WS507-2016应有自来水、纯化水、无菌水。
自来水水质应符合GB5749的规定。
纯化水应符合GB5749的GB5749的规定，并应保证细菌总数≤10 CFU/100ml；生产纯化水所使用的滤膜孔径应≤0.2um，并定期更换。
无菌水为经过灭菌工艺处理的水。
必要时对纯化水或无菌水进行微生物学检测。
血液透析和相关治疗用水 YY0572-2015美国临床病理学会CAP试药级用水标准/美国临床检查标准化委员会NCCLS用水标准美国材料试验学会ASTM水质标准2015版《中国药典》纯化水及注射用水标准及检验项目注：总有机碳和易氧化物两项可选做一项。
一、纯化水（Purified Water ）纯化水H2O 18.02本品为饮用水经蒸馏法、离子交换法、反渗透法或其他适宜的方法制得的供药用的水，不含任何添加剂。
二、2010年版药典检验项目1.性状本品为无色的澄清液体；无臭，无味。
2..酸碱度取本品10ml，加甲基红指示液2滴，不得显红色；另取10ml，加溴麝香草酚蓝指示液5滴，不得显蓝色。
中国电子行业超纯水国家标准
一级水：基本上不含有溶解或胶态离子杂质及有机物。它可用二级水经进一步处理而制得。
二级水：可含有微量的无机、有机或胶态杂质。
三级水：适用一般实验室实验工作。
指标名称
一级
二级
三级
pH值范围（25oC )
—
—
5.0-7.5
电导率（25oC )(μs/cm)≤
0.1
1
2
500
钠，最大值，μg/L
0.5
2
5
1000
钾，最大值，μg/L
0.5
2
5
500
氯，最大值，μg/L
1
1
10
1000
硝酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
磷酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
硫酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
总有机酸，最大值，μg/L
20
100
200
1000
中国实验室用水国家标准
中国电子行业超纯水国家标准
(GB/T11446.1-1997 )
指标名称
一级水（EW-1）
二级水（EW-
15(95‰时间)不低于13
硅 ≤μg/L
2
10
微粒数 ＞1μm
0.1
5
细菌个数 ≤个/ml
0.01
0.1
铜 ≤μg/L
0.2
1
锌 ≤μg/L
18以上，（95％时间）不低于17
15，（95％时间）不低于13
12.0
0.5
全硅，最大值,μg/L
超纯水及实验室用水标准
电阻率MΩ.CM.（25℃）
18(95‰时间)不低于17
15(95‰时间)不低于13
硅≤μg/L
2
10
＞1μm微粒数
0.1
5
细菌个数≤个/ml
0.01
0.1
铜≤μg/L
0.2
1
锌≤μg/L
0.2
1
镍≤μg/L
0.1
1
钠≤μg/L
0.5
2
钾≤μg/L
0.5
2
氯≤μg/L
1
1
硝酸根≤μg/L
<吸光度（254nm,1cm光程）≤
0.001
0.01
-
蒸发残渣（105±2℃），mg/L≤
-
1.0
2.0
可容性硅[以（sio2）计]，mg/L<
0.01
0.02
-
实用三个等级净化水的技术要求(GB6682)：
一级水：基本上不含有溶解或胶态离子杂质及有机物。它可用二级水经进一步处理而制得。
二级水：可含有微量的无机、有机或胶态杂质。
1
1
磷酸根≤μg/L
1
1
硫酸根≤μg/L
1
1
总有机碳≤μg/L
20
100
中国实验室用水国家标准GB6682-2000
PH值范围（25℃）
-
-
5.0-7.5
电导率（25℃）,mS/m ≤
0.01
0.10
0.50
比电阻（MΩ.cm.25℃）≥
10
1
0.2
可氧化物质[以（0）计]，mg/L
-
0.08
0.40
三级水：适用一般实验室实验工作。
电子行业、医药行业用水标准
电子行业、医药行业用水标准半导体超纯水测试项目单位可达到可接受报警临界电阻率功25℃MΩ.cm18.2 18.2 17.9 17.5 溶解性二氧化硅ppb <0.2 <1 >3 >10 硼ppb电子级水(ASTM D-19)：分类项目电子一级E-I 电子二级E-II 电子三级E-III 电子四级E-IV电阻率(最小, Megohm.cm)18(95% 的时间),不小于1717.5(90%的时间),不小于1612 0.5SiO2 (总硅,最大, µg/L) 5 10 50 1,000 颗粒数(个/ml) 1 3 10 100细菌(最大, ml) 1/1,000 mL 10/1,000 mL 10 mL 100 mL总有机碳TOC(最大, µg/L)25 50 300 1,000内毒素(EU/ml) 0.03 0.25 n/a n/a铜(最大, µg/L) 1 1 2 500氯(最大, µg/L) 1 1 10 1,000镍(最大, mg/L) 0.1 1 2 500硝酸盐(最大, mg/L) 1 1 5 500磷酸盐(最大, mg/L) 1 1 5 500 钾(最大, µg/L) 2 2 5 500钠(最大, µg/L) 0.5 1 5 1,000硫酸盐(最大, mg/L) 1 1 5 500 锌(最大, µg/L) 0.5 1 5 500电子一级E-I ：这种水将被分类作为微电子用水，被使用在生产宽度在1.0µm以下的产品设备上。
这是超纯水在大容量和最临界状态的应用。
电子二级E-II: 这种水将被分类作为微电子用水，被使用在生产宽度在5.0µm以下的产品设备上。
这种水应该是足够的为生产大多数大容积产品, 产品尺寸在1.0µm 之上和在5.0µm以下。
电子三级E-III: 这种水将被分类作为微电子用水，被使用在生产宽度在5.0µm以上的产品设备上。
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一级水：基本上不含有溶解或胶态离子杂质及有机物。它可用二级水经进一步处理而制得。
二级水：可含有微量的无机、有机或胶态杂质。
三级水：适用一般实验室实验工作。
指标名称
一级
二级
三级
pH值范围（25oC )
—
—
5.0-7.5
电导率（25oC )(μs/cm)≤
0.1
1
2
500
钠，最大值，μg/L
0.5
2
5
1000
钾，最大值，μg/L
0.5
2
5
500
氯，最大值，μg/L
1
1
10
1000
硝酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
磷酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
硫酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
总有机酸，最大值，μg/L
20
100
200
1000
中国实验室用水国家标准
0.2
1
镍 ≤μg/L
0.1
1
钠 ≤μg/L
0.5
2
钾 ≤μg/L
0.5
2
氯 ≤μg/L
1
1
硝酸根 ≤μg/L
1
1
磷酸根 ≤μg/L
1
1
硫酸根 ≤μg/L
1
1
总有机碳 ≤μg/L
20
100
中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准
指标\级别
EW－Ⅰ
EW－Ⅱ
EW－Ⅲ
EW-Ⅳ
电阻率MΩ，cm(25℃)
中国电子行业超纯水国家标准
(GB/T11446.1-1997 )
指标名称
一级水（EW-1）
二级水（EW-2）
电阻率MΩ.CM.（25℃）
18(95‰时间)不低于17
15(95‰时间)不低于13
硅 ≤μg/L
2
10
微粒数 ＞1μm
0.1
5
细菌个数 ≤个/ml
0.01
0.1
铜 ≤μg/L
0.2
1
锌 ≤μg/L
18以上，（95％时间）不低于17
15，（95％时间）不低于13
12.0
0.5
全硅，最大值,μg/L
2
10
50
1000
＞1μm微粒数，最大值，个/mL
0.1
5
10
500
细菌个数，最大值，个/mL
0.01
0.1
10
100
铜，最大值，μg/L
0.2
1
2
500
锌，最大值，μg/L
0.2
1
5
500
镍，最大值，μg/L
0.1
1.0
Байду номын сангаас5.0
可氧化物的限度试验
—
符合
符合
吸光度(254nm,1cm光程)≤
0.001
0.01
—
二氧化硅(mg/L)≤
0.02
0.05
—