带能谱分析的扫描电子显微镜简介
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扫描电子显微镜简介
仪器型号： S-2500
生产厂家：日本日立公司
购置日期：1990年
能谱仪型号：INCA 3294
生产厂家：英国牛津仪器公司
购置日期：2000年
责任人：王英姿
日立S-2500型扫描电子显微镜分辨率达 3.5nm，放大率为20～200000倍，加速电压0.5～30kV分53阶连续可调，样品尺寸最大可到200mm，是一种十分有效的结构分析工具。它可用于各种材料表面微观形貌的观察与分析，观测材料的物相组成，气孔的含量及分布，晶体的生长发育情况（包括晶粒大小、晶界排列等）。配套设备包括真空离子溅射喷金喷碳仪，冷却循环水制冷机组等。
INCAX射线能谱仪是2000年5月从英国牛津仪器公司购进的，分辨率达133ev。测量元素范围4Be-92U，最大计数率为50000cps。该仪器与扫描电镜联机使用，具有微区的定性分析，定量分析，元素的线扫描分析，面扫描分析及粉体材料的粒度统计分布等多项功能，对于进一步确定材料的性能及组成起到了至关重要的作用。
裂纹的扩展二硼化镁晶体形貌陶瓷晶界排列
气孔分布水泥水化产物
水泥水化产物
能谱定点成分分析能谱谱图元素面分布图