真空镀膜产品质量证明书
真空镀膜产品质量证明书
真空镀膜产品质量证明书篇一：真空镀膜过程中常见问题分析真空镀膜过程中常见问题分析镀膜过程中常见问题分析真空镀膜面漆常见问题分析面漆常见问题分析真空镀膜底漆常见问题分析底漆常见问题分析机壳底漆常见问题分析机壳UV面漆常见问题分析篇二：真空镀膜实验报告近代物理实验报告真空镀膜实验学院班级姓名学号时间XX年4月20日真空镀膜实验实验报告【摘要】：真空镀膜也叫物理气相沉积（PVD：physics vaporous deposit），它是利用某种物理过程，如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质从源物质到薄膜的可控的原子转移过程。
物理气相沉积技术中最为基础的两种方法就是蒸发法和溅射法。
本实验中用到的是蒸发镀膜法来进行真空镀膜，从而了解真空镀膜的原理和操作。
【关键词】：真空镀膜、蒸发镀膜法【引言】：真空镀膜也叫物理气相沉积（PVD：physics vaporous deposit），它是利用某种物理过程，如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质从源物质到薄膜的可控的原子转移过程。
物理气相沉积技术中最为基础的两种方法就是蒸发法和溅射法。
在薄膜沉积技术发展的最初阶段，由于蒸发法相对溅射法具有一些明显的优点，包括较高的沉积速度，相对较高的真空度以及由此导致的较高的薄膜质量等，因此蒸发法受到了相对较大程度的重视。
但另一方面，溅射法也具有自己的一些优势，包括在沉积多元合金薄膜时化学成分容易控制，沉积层对衬底的附着力较好等。
同时，现代技术对于合金薄膜材料的需求也促进了各种高速溅射方法以及高钝靶材，高钝气体制备技术的发展，这些都使得溅射法制备的薄膜质量得到了很大的改善。
如今，由于气相中各组分能够充分的均匀混合，制备的材料组分均匀，易于掺杂，制备温度低，适合大尺寸薄膜的制备，并且能够在形状不规则的衬底上生长薄膜等优点，不仅上述两种物理气相沉积方法已经大量应用于各个技术领域之中，而且为了充分利用这两种方法各自的优点，还开发出了许多介于上述两种方法之间的新的薄膜沉积技术。
产品质量证明书[3]
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产品质量证明书.产品质量证明书1. 产品信息- 产品名称：X- 生产商：X- 型号：X- 产地：X国家- 生产日期：年月日- 有效期：年月日至年月日2. 产品质量标准本产品严格按照以下质量标准进行设计、生产和检验：- 国家标准X- 行业标准X3. 产品质量管理体系我司拥有完善的产品质量管理体系，确保产品的整个生产过程均符合质量要求。
具体包括以下方面的控制措施：3.1 设计阶段- 由经验丰富的设计团队进行产品设计，确保产品的功能和性能能够满足客户需求。
- 设计团队定期组织产品设计评审会议，及时发现和解决设计问题，并记录会议记要以备查档。
3.2 生产阶段- 生产环境严格按照国家标准和行业要求进行布置，确保生产过程的卫生与安全。
- 生产设备经过定期维护和检修，确保设备的正常运转。
- 拥有专业的操作工人队伍，并定期进行培训和考核，以确保操作规范。
- 在生产过程中实施严格的质量控制措施，包括原材料的验收、生产过程监控和成品抽检等。
- 持续改进生产工艺和制度，提高产品质量和生产效率。
3.3 检验阶段- 产品出厂前进行全面的产品质量检验，确保产品符合国家标准和行业要求。
- 检验过程由专业的质检团队进行，确保检测结果的准确性和可靠性。
- 所有的检验记录均详细记录并妥善保存，以备查档。
4. 产品质量控制我司通过严格的质量控制措施，确保产品质量稳定可靠，并符合国家标准和行业要求。
具体控制措施如下：4.1 原材料控制- 严格按照国家标准和行业要求采购原材料。
- 对原材料进行严格的验收标准，并建立供应商质量评估体系。
- 拥有原材料样品库，确保原材料的追溯性。
4.2 生产过程控制- 设立生产作业指导书，规范生产操作流程。
- 在生产过程中进行过程监控，及时发现和解决生产问题。
- 配置先进的生产设备和工具，以确保生产过程的稳定和一致性。
4.3 产品检验控制- 建立完善的产品检验标准和方法。
- 对产品质量进行全面检查，包括外观、功能和性能等。
产品质量证明书
产品质量证明书一、产品基本信息产品名称：XXXXX产品型号：XXXXX生产日期：XXXX年XX月XX日生产厂家：XXXXX公司二、产品质量标准1. 产品外观外观应整洁、无明显划痕、无变形、无脱漆等缺陷。
颜色应与标准样品一致。
尺寸应符合设计要求。
2. 产品功能产品应符合设计要求的功能，能够满足用户的需求。
功能测试项目包括但不限于：XXXXX。
3. 产品材料产品所使用的材料应符合相关国家标准和行业标准。
材料应具有良好的耐磨、耐腐蚀、耐高温等性能。
4. 产品安全性能产品在正常使用过程中应具备良好的安全性能，不会对用户造成伤害。
安全性能测试项目包括但不限于：XXXXX。
5. 产品可靠性产品应具备较高的可靠性，能够在规定的使用寿命内正常工作。
可靠性测试项目包括但不限于：XXXXX。
三、产品质量检测数据1. 外观检测数据外观缺陷数：0个外观合格率：100%2. 功能测试数据功能测试合格率：99%功能测试项目1：合格功能测试项目2：合格...3. 材料检测数据材料成分检测合格率：100%材料硬度检测：符合标准要求4. 安全性能测试数据安全性能测试合格率：100%安全性能测试项目1：合格安全性能测试项目2：合格...5. 可靠性测试数据可靠性测试合格率：98%可靠性测试项目1：合格可靠性测试项目2：合格...四、质量保证措施1. 生产过程控制严格按照相关标准和要求进行生产，确保每个环节符合质量要求。
引入先进的生产设备和工艺，提高产品的一致性和稳定性。
2. 质量检测体系建立完善的质量检测体系，包括原材料检测、生产过程检测和成品检测等环节。
使用先进的检测设备和方法，确保产品的质量稳定可靠。
3. 售后服务提供全面的售后服务，包括产品安装指导、维修保养、技术咨询等。
对于质量问题，及时进行处理和解决，确保用户的权益。
五、产品质量认证本产品已通过XXXXX认证，符合国家相关标准和行业要求。
六、质量责任声明本公司对所生产的产品质量负责，如有质量问题，承诺提供免费维修或更换服务。
产品质量合格证明书
产品质量合格证明书尊敬的客户：感谢你对我们公司生产的产品的关注和支持。
为了向您提供一份详细的产品质量合格证明书，我们特此撰写此信函，确保证明您购买的产品具备高质量和符合标准的特点。
首先，我们要郑重地向您保证，我们的产品完全符合相关的质量标准和法规要求。
我们的生产过程严格遵守质量管理体系，并通过ISO9001国际质量管理体系认证，确保生产过程的合规性和稳定性。
我公司生产的产品有着以下优点：1. 高质量材料：我们选择优质材料作为产品原料，确保产品的强度、耐久性和稳定性。
在原材料采购过程中，我们严格审查供应商的资质，并确保所采购的原材料符合国家和行业标准。
2. 先进的生产技术：我们公司拥有一支专业的研发团队，致力于产品技术的创新和改进。
我们不断投资并引进先进的生产设备和工艺，以确保产品的制造过程高效、精确和可控。
3. 严格的质量控制体系：我们公司建立了全面的质量控制体系，并配备了专业的质检团队。
在生产过程中，我们进行多次严格的质量检测和抽样检验，确保产品的每一个环节和每一批次都符合质量标准。
4. 质量保证措施：我们不仅在生产过程中严把质量关，还为您提供售后服务和质量保证。
如果在使用过程中出现任何产品质量问题，我们将积极主动地协助解决，并承担相应责任。
在此，我们诚挚地向您提供我们公司生产的产品质量合格证明书。
我们郑重声明，所提供的产品的质量符合《质量要求标准》，并经过实际检验和确认，产品已经取得了合格证书。
我们知道产品质量对您的信心和满意度非常重要，我们将一如既往地努力提供优质的产品和服务，以满足您的需求和期望。
如果您有任何疑问或需要进一步的信息，请随时与我们联系。
再次感谢您对我们公司的支持和合作！衷心祝愿您的事业蒸蒸日上，生活幸福美满！此致产品质量合格证明书样本如下：----------------------------------------------------------------产品质量合格证明书证明编号：[编号]证明日期：[日期]特此证明，[公司名称]生产的[产品名称]经过严格的质量控制和检测，确保其质量完全符合[国家/行业]相关的质量标准和要求。
产品质量证明书的参考样本-无删减范文
产品质量证明书的参考样本产品质量证明书的参考样本1. 产品质量证明书本文档是根据国际标准制定的产品质量证明书参考样本。
该证明书旨在确认产品的质量符合所制定的标准要求。
以下是证明书的几个重要部分。
2. 产品信息产品名称：产品的正式名称。
产品型号：产品的型号或规格。
生产厂商：生产或提供该产品的公司名称。
生产日期：产品的生产日期或批次信息。
有效期：产品的使用有效期或保质期。
3. 产品质量认证产品质量标准：产品所遵循的质量标准，包括国际标准号或其他相关认证。
生产工艺：产品的生产工艺流程或相关说明。
生产设备：用于生产该产品的设备列表及相关认证。
原材料：产品所使用的原材料的来源和质量认证。
4. 产品质量测试产品性能测试：对产品进行的各项性能测试结果及符合的标准。
产品可靠性测试：对产品可靠性进行的测试结果及符合的标准。
产品安全性测试：对产品安全性进行的测试结果及符合的标准。
产品环境适应性测试：对产品在不同环境条件下进行的测试结果及符合的标准。
其它测试项目：其他可能适用的与产品质量相关的测试项目及测试结果。
5. 产品质量检验产品外观检验：对产品外观进行的检验结果及符合的标准。
产品尺寸检验：对产品尺寸进行的检验结果及符合的标准。
产品包装检验：对产品包装进行的检验结果及符合的标准。
产品标识检验：对产品标识进行的检验结果及符合的标准。
6. 产品质量控制质量管理体系：生产该产品的公司所实施的质量管理体系，如ISO 9001。
质量控制流程：对产品质量控制流程的简要描述。
质量记录：对产品质量相关记录的保存情况及质量纪录编号。
质量改进措施：对产品质量改进措施的描述和实施情况。
7. 产品质量合格评定质量评定依据：产品质量合格的依据，如标准、规范。
质量评定结果：产品质量的正式评定结果。
质量评定日期：进行产品质量评定的日期。
质量评定机构：进行产品质量评定的机构或部门。
8. 产品质量保证产品质量保证期限：产品质量保证的时间范围。
产品质量保修条款：产品质量保证的具体条款和细则。
某公司真空镀磨产品检验标准
2、点，尘点、杂质点D≦0.3mm，间距≧30mm；（距离产品表面30cm看不见为合格）或参照限度样板。
3
性能
附着力测试
目视
用百格刀划1×1mm方格，3M600胶纸测试3次
百格达4B为合格
耐磨测试
目视
用RCA专用纸带，以175g力，摩擦30循环
不露底材为合格
盐雾测试
目视
５％盐水，测试４８小时
无氧化／变色
硬度测试
目视
用2H（三菱牌）铅笔，加载荷500g连续划3条
无明显划痕为合格
耐酒精测试
目视
500G砝码95%无水酒精来回10次
不露底材
尺寸
卡尺
镭雕尺寸比对客户提供图纸
在允许偏差范围内
4
包装
按来料方式
手套、目视
按客户来料包装方式包装。
版本/版次
修订内容
修订日期
核准
审核
制订
A/0
检验标准
产品检验标准
项次
检验项目
检验标准
检验条件
检验方法及接收条件
要求
1
颜色
参板
标准样板/目视
参照颜色样板或标准样板
不可有明显色差
2
外观
参板
目视、手感、标准样板
1、产品表面效果，喷涂要均匀表面要平滑，不可有凹凸不平、明显颗粒、积油、发黄、发黑等不良现象，确保产品表面清洁不可有手印及擦拭不掉的污痕，颜色、电镀及外观参照标准板或限度板。
硬度测试
目视
用2H（三菱牌）铅笔，加载荷500g连续划3条
无明显划痕为合格
耐酒精测试
目视
500G砝码95%工业酒精来回2分钟
镀膜品性能检测报告
样品性能检测报告一、引言真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。
真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜,从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能,达到提高产品质量延长产品寿命、节约能源的作用。
1950年后,真空获得和测量取得的进展推动了真空镀膜技术迅速实现产业化,使薄膜技术获得腾飞。
20世纪70年代各种真空镀膜技术的应用全面实现产业化。
目前真空镀膜技术已在国民经济各个领域得到应用,如航空、航天、电子、信息机械、石油、化工、环保、军事等领域。
它在高技术产业化的发展中展现出了诱人的市场前景,被誉为最具有发展前途的重要技术之一。
本次实验,进一步验证红外膜膜层质量是否达到GJB2485-1995 《光学膜层通用规范》的规定要求。
二、膜系设计用光学薄膜设计软件设计一个25层的规整膜系的结构, 即(HL)2H 2LH (LH)2L (HL)2H 2L H (LH)2,中心波长设在12um，设计曲线如下：指标要求：12um±0.15um>90% 9.5-11um&13-14um<2%三、制备样品工艺参数制备过程中一定按照镀膜工艺要求操作，实验样品镀膜工艺参数如下：四、样品性能检测依据GJB2485-1995 《光学膜层通用规范》的规定，红外膜需要做以下5项实验来验证膜层品质实验。
4.1、光谱光谱满足三项指标符合客户使用要求，膜系不需要修改。
设计曲线与镀膜实测曲线对照表4.2、膜层牢固度、耐摩擦力此项实验来验证能满足客户使用过程中对膜层附着力和耐摩擦力方面的要求，下面是实验项目参数表：图1 图2 图3 图4 图54.3、高低温、盐雾此项实验来验证在各种环境下产品依然能满足客户使用要求。
图6 盐雾实验报告图7 高低温实验报告五、结论质量问题关系到广大消费者的权益，关系到企业的生存与发展。
产品质量证明书模板
产品质量证明书模板一、产品基本信息。
产品名称，XXXXX。
生产厂家，XXXX有限公司。
产品型号，XXXXX。
生产日期，XXXX年XX月XX日。
产品有效期，XX年。
二、产品质量认证。
本产品已通过国家质量监督检验检疫总局认可的质量认证机构的检验，符合国家相关标准要求，具有合格证书。
三、产品质量指标。
1. 外观质量，产品外观整洁，无明显缺陷、变形、损坏等情况。
2. 功能性能，产品具有良好的功能性能，能够正常使用，符合产品说明书中的性能指标。
3. 安全性能，产品符合国家相关安全标准，使用过程中无安全隐患。
4. 环境适应性，产品能够适应不同环境条件下的使用，具有良好的环境适应性。
5. 使用寿命，产品具有较长的使用寿命，经久耐用。
四、产品质量检验报告。
本产品经过严格的质量检验，各项指标均符合国家标准要求。
具体检验报告如下：1. 外观检验，产品外观整洁，无明显缺陷、变形、损坏等情况。
2. 功能性能检验，产品功能正常，各项性能指标符合产品说明书要求。
3. 安全性能检验，产品在正常使用情况下无安全隐患。
4. 环境适应性检验，产品能够适应不同环境条件下的使用。
5. 使用寿命检验，产品具有较长的使用寿命。
五、产品质量保证。
本产品在正常使用情况下，如出现质量问题，厂家将承担相应的售后服务责任，保证消费者的权益。
六、产品质量管理体系。
本厂建立了完善的产品质量管理体系，对产品的生产、质量检验、包装、运输等环节进行严格管理，确保产品质量稳定可靠。
七、产品质量监督。
本产品在生产过程中接受了相关部门的监督检查，生产过程合乎国家相关标准和规定。
八、其他。
本产品质量证明书是对产品质量的一份保证，也是对消费者的一份承诺。
我们将一如既往地致力于产品质量的提升，为消费者提供更优质的产品和服务。
以上为产品质量证明书，如有疑问请与我们联系。
XXXX有限公司。
日期，XXXX年XX月XX日。
产品质量证明书
产品质量证明书尊敬的客户：您好！当您选择了我们的产品，您就选择了一份信任。
为了让您对所购买的产品质量有全面清晰的了解，我们为您提供这份详尽的产品质量证明书。
首先，让我们来介绍一下这款产品的基本信息。
产品名称为产品具体名称，型号为具体型号，生产日期为具体日期，生产批次为批次号码。
我们深知，产品质量是企业的生命线，也是您最为关注的焦点。
因此，从原材料的采购到生产过程中的每一个环节，再到最终的成品检验，我们都进行了严格的把控。
在原材料方面，我们只选择与那些信誉良好、质量可靠的供应商合作。
每一批原材料在进入生产环节之前，都要经过严格的检验，确保其符合国家相关标准和我们企业内部更为严格的质量要求。
只有通过检验的原材料，才有资格被用于生产。
生产过程中，我们遵循了一系列先进的生产工艺和严格的操作规范。
每一道工序都有专业的技术人员进行监控和指导，以确保生产过程的准确性和稳定性。
我们的生产设备定期进行维护和更新，以保证其能够高效、精准地运行，从而为产品质量提供有力的保障。
而在质量检验环节，我们更是毫不松懈。
我们拥有一支专业的质量检验团队，他们配备了先进的检测设备和仪器。
从产品的外观、尺寸、性能等方面进行全方位的检测。
每一个产品都要经过多道检验程序，只有全部符合标准的产品，才会被允许出厂销售。
为了让您更直观地了解产品的质量情况，以下是具体的质量检测数据和结果：外观方面，产品表面光滑平整，无明显划痕、裂缝、变形等缺陷。
颜色均匀一致，符合您所指定的要求。
尺寸方面，经过精确测量，产品的长、宽、高以及其他关键尺寸均在设计允许的公差范围内，能够与相关配套产品完美匹配。
性能方面，我们对产品的各项性能指标进行了严格测试。
例如，列举具体性能指标，如抗压强度、抗拉强度、耐磨损性等，测试结果表明，产品的性能均达到或超过了国家相关标准和行业的先进水平。
此外，我们还对产品进行了可靠性和耐久性测试。
通过模拟各种实际使用环境和条件，对产品进行长时间的运行和考验。
电镀材料质量保证书
电镀材料质量保证书尊敬的客户：您好！感谢您选择我公司的电镀材料产品。
为了确保您的权益，我方在此郑重承诺，我们将为您提供符合国家相关标准和行业规定的优质电镀材料。
以下是我公司对电镀材料产品质量的保证书：一、关于我方经营资格的承诺我方保证向贵公司提供的营业执照、税务登记证、生产许可证等必要证件真实、合法、有效。
我方具备电镀材料生产的专业技术和经验，有能力为您提供高品质的产品和服务。
二、关于我方供应电镀材料的承诺1. 我公司生产的电镀材料均符合国家相关法律法规和行业标准，具有合格的《产品质量检测报告》和产品合格证。
产品在出厂前将进行严格检验，确保质量合格率达到100%。
2. 电镀材料的使用性能和质量指标在贵公司书面确认供应品牌后，我方将保持稳定，不作随意更换。
如有更换，我方会在更换前至少提前一个工作日书面告知贵司。
3. 我公司承诺供应的电镀材料保质期不低于产品标注的保质期（自产品标注的生产日期算起）。
如因我方供应产品质量问题，造成贵公司的产品质量问题或不良影响，我方自愿承担该批货物价款倍的赔偿，并承担由此所造成的所有损失及法律责任。
4. 我公司认可贵公司的货物验收制度和仓库保存规范，并将严格遵守。
对于未通过验收的货物，我方保证在贵公司规定时间内补充合格的货物。
5. 贵公司在使用我方供应的电镀材料过程中，如发现问题，我方技术人员将随时提供技术支持和服务。
属于产品质量问题的，我方保证在24小时内给予明确答复或解决方案。
三、不属于产品质量问题的情形1. 超过保修期；2. 不能提供购买凭证的；3. 未按产品使用说明书的要求使用、维修而造成损坏的（特别注意发生进水、摔坏以及人为的损坏）；4. 客户擅自维修、拆卸产品的或者客户委托非本公司指定的维修人员维修、拆卸产品的；5. 使用非正规的劣质通信电缆造成的损坏；6. 由于水灾、火灾、雷击、地震等不可抗拒灾害造成产品发生故障或损坏的；7. 其它非产品自身原因造成的故障或损坏。
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真空镀膜产品质量证明书篇一：真空镀膜过程中常见问题分析真空镀膜过程中常见问题分析镀膜过程中常见问题分析真空镀膜面漆常见问题分析面漆常见问题分析真空镀膜底漆常见问题分析底漆常见问题分析机壳底漆常见问题分析机壳UV面漆常见问题分析篇二：真空镀膜实验报告近代物理实验报告真空镀膜实验学院班级姓名学号时间XX年4月20日真空镀膜实验实验报告【摘要】：真空镀膜也叫物理气相沉积（PVD：physics vaporous deposit），它是利用某种物理过程，如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质从源物质到薄膜的可控的原子转移过程。
物理气相沉积技术中最为基础的两种方法就是蒸发法和溅射法。
本实验中用到的是蒸发镀膜法来进行真空镀膜，从而了解真空镀膜的原理和操作。
【关键词】：真空镀膜、蒸发镀膜法【引言】：真空镀膜也叫物理气相沉积（PVD：physics vaporous deposit），它是利用某种物理过程，如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质从源物质到薄膜的可控的原子转移过程。
物理气相沉积技术中最为基础的两种方法就是蒸发法和溅射法。
在薄膜沉积技术发展的最初阶段，由于蒸发法相对溅射法具有一些明显的优点，包括较高的沉积速度，相对较高的真空度以及由此导致的较高的薄膜质量等，因此蒸发法受到了相对较大程度的重视。
但另一方面，溅射法也具有自己的一些优势，包括在沉积多元合金薄膜时化学成分容易控制，沉积层对衬底的附着力较好等。
同时，现代技术对于合金薄膜材料的需求也促进了各种高速溅射方法以及高钝靶材，高钝气体制备技术的发展，这些都使得溅射法制备的薄膜质量得到了很大的改善。
如今，由于气相中各组分能够充分的均匀混合，制备的材料组分均匀，易于掺杂，制备温度低，适合大尺寸薄膜的制备，并且能够在形状不规则的衬底上生长薄膜等优点，不仅上述两种物理气相沉积方法已经大量应用于各个技术领域之中，而且为了充分利用这两种方法各自的优点，还开发出了许多介于上述两种方法之间的新的薄膜沉积技术。
【正文】一、实验原理真空镀膜是在真空室中进行的（一般气压低于 1.3×10-2Pa），当需要蒸发的材料（金属或电介质）加热到一定温度时，材料中分子或原子的热振动能量可增大到足以克服表面的束缚能，于是大量分子或原子从液态或直接从固态（如SiO2、ZnS）汽化。
当蒸汽粒子遇到温度较低的工件表面时，就会在被镀工件表面沉积一层薄膜。
以下仅就源加热方式、真空度对膜层质量的影响及蒸发源位置对薄膜均匀性的影响等问题作简要说明。
（1）源加热器(a)(b)为电阻型源加热器，它们由高熔点的金属做成线圈状（称为丝源）或舟状（称为舟源）。
加热源上可承载被蒸发材料。
由于挂在丝源上的被蒸发物质（如铝丝）可形成向各个方面发射的蒸汽流，因此丝源可用为点源，而舟源则可近似围内发射的面源。
对于不同的被蒸材料，可选取由不同材料做成，形状各异的加热器。
其选取原则为：a.加热器所用材料有良好的热稳定性，其化学性质不活泼，在达到蒸发温度时，加热器材料本身的蒸汽压要足够低。
b.加热器材料的熔点要高于被蒸发物的蒸发温度，加热器要有足够大的热容量。
c.要求线圈装加热器所用材料热能与蒸发物有良好的浸润，有较大的表面张力。
d.被蒸发物与加热器材料的互溶性必须很低，不产生合金。
e.对于不易制成丝状，或被蒸发物与丝状加热器的表面张力较小时，可采用舟状加热器。
日前常用钨丝加热器蒸发铝，用钼舟加热器蒸发银、金、硫化锌、氟化镁等材料，与电阻器配合的关键部件是低压大电流变压器，对不同的蒸发材料及加热器可将电流分配塞置于相应位置，以保证获得合适的功率。
电阻源加热器具有简便、设备成本低等优点，但由于加热器与蒸发物在电阻加热器上的装载量不能太多，因此所蒸膜厚也将受到限制。
图1(c)是一种电子束蒸发源的示意图。
它是利用高电压加速并聚焦的电子束经磁偏转，在真空中直接打到蒸发源表面，使蒸发物表面的局部温度升高并溶化来实现真空沉积的。
电子束可使熔点高达3000℃以上的材料熔化。
电子束蒸发时，蒸发物中心局部熔融并为汽化时，其边缘部分仍处于固体状态，这样就可避免蒸发物与坩埚的反映，保证蒸发物不受沾污。
（2）物质的蒸发速度在一定的温度下，每种液体或固体物质都有特定的平衡蒸气压。
只有当环境中被蒸发物质的分压降低到它们的平衡蒸气压以下时，才可能有物质的净蒸发。
单位源物质表面上物质的净蒸发速率为（详细推导见参考文献2，P4）：其中，Γ为单位物质表面的质量蒸发速度，M为分子或原子的相对原子质量，T 是气体的热力学温度，R 为气体常数，NA 为阿伏伽德罗（Avogadro）常数。
由于物质的平衡蒸气压随着温度的上升增加很快，因而对物质蒸发速度影响最大的因素是蒸发源的温度。
（3）真空度对膜层质量的影响。
真空镀膜对真空度的要求是出于以下两方面的考虑：A. 真空度足够高，可以使蒸汽分子以射线状从蒸发源向基体发射。
这样可以使蒸发材料的利用率及沉积速率大大提高。
在正常工作时要求真空室内气体分子的平均自由程比蒸发源到被镀基体的距离大得多。
真空室内残余气体分子的平均自由程可以由下式表示：其中，n 为单位体积内气本分子数，σ为气体分子的有效直径。
此式表明，气体分子平均自由程决定于单位体积内的分子数n，由于n 正比于气体压强P，因此λ与P 成反比，或者说，气体分子自由程与真空度成正比。
一般要求气体分子平均自由程是源到基体距离（h）的2～3倍，因此对于h =20cm的真空镀膜机，要求其真空度为帕至帕。
B. 如果没有足够高度的真空度，真空室内的残余气体分子可能是很可观的。
由空气动力学可知，当气压为1.3×帕时,每平方厘米基体表面，每秒钟内，可有5×个气体分子与其发生碰撞。
由于残余气体中包含各种气体成份，尤其是氧等气体分子容易被基体吸附后改变膜层的结构和成份，因此在真空镀膜时必须保持一足够高的真空度。
（4）蒸发源位置与薄膜的均匀性。
由理论分析可知（可参见参考文献2，P29-P34），当一个点源放在一个半径为r 的球心位置时，则在整个球面上得到的沉积层厚度是均匀的。
实际的蒸发源总有一定线度，不能看成理想的点源，因此球面上的淀积量不可能很均匀，线度越大，均匀性越差。
此外，基体也不可能恰好是半径为r的球面，它们常常是一些平面或有特定曲率半径的曲面，这也影响了镀层的均匀性。
为了使镀层有良好的均匀性，目前常用的方法是使载工件的平面绕图2 所示的oo'轴转动，把一小面源置于距中心为R 的位置上，这样可使均匀性得到改善。
更精良的设计是将工件盘做成既能自转（绕o'轴），又能公转（绕o 轴）的行星盘结构（如图3 所示），这种结构对膜层的均匀性是更为有利的。
二、实验内容动手操作前认真学习讲义及有关资料，熟悉镀膜机和有关仪器的结构及功能、操作程序与注意事项。
（1）准备基底：清洗载玻片，在洁净的载玻片上均匀涂上硅油。
（2）镀膜室的清理与准备。
先向钟罩内充气一段时间，然后升钟罩，装好基片、电极钨丝和铝丝，清理镀膜室（壁上的沉积物可以用丙酮清洗），降下钟罩。
（3）把需要蒸镀的材料银放入真空室中的钼舟中，并在真空室顶部装好基底，关好真空室。
（4）开机械泵，开启复合真空计中的电偶计（注意电离计保持关闭状态）（5）间隔的拉动三通阀，使得储气桶和真空室的真空度底于6.7pa。
（6）打开冷却水，加热油扩散泵越为40分钟。
（在保证4、5随即正常进行的前提下，4、6可以同时进行，以节省时间。
否则必须在5进行后才能进行6。
（7）将三通阀推至死点，开启高真空碟阀。
（8）当热偶计示数小于0.1pa时，开启电离计，转向高真空测量。
篇三：11180131真空镀膜实验报告真空镀膜预习报告摘要：真空镀膜也叫物理气相沉积（PVD：physics vaporous deposit），它是利用某种物理过程，如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质从源物质到薄膜的可控的原子转移过程。
物理气相沉积技术中最为基础的两种方法就是蒸发法和溅射法。
本实验中用到的是蒸发镀膜法来进行真空镀膜。
从而了解真空镀膜的原理和操作。
关键词：真空镀膜原子转移气象沉积技术蒸发法引言：真空镀膜也叫物理气相沉积（PVD：physics vaporous deposit），它是利用某种物理过程，如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质从源物质到薄膜的可控的原子转移过程。
物理气相沉积技术中最为基础的两种方法就是蒸发法和溅射法。
在薄膜沉积技术发展的最初阶段，由于蒸发法相对溅射法具有一些明显的优点，包括较高的沉积速度，相对较高的真空度以及由此导致的较高的薄膜质量等，因此蒸发法受到了相对较大程度的重视。
但另一方面，溅射法也具有自己的一些优势，包括在沉积多元合金薄膜时化学成分容易控制，沉积层对衬底的附着力较好等。
同时，现代技术对于合金薄膜材料的需求也促进了各种高速溅射方法以及高钝靶材，高钝气体制备技术的发展，这些都使得溅射法制备的薄膜质量得到了很大的改善。
如今，由于气相中各组分能够充分的均匀混合，制备的材料组分均匀，易于掺杂，制备温度低，适合大尺寸薄膜的制备，并且能够在形状不规则的衬底上生长薄膜等优点，不仅上述两种物理气相沉积方法已经大量应用于各个技术领域之中，而且为了充分利用这两种方法各自的优点，还开发出了许多介于上述两种方法之间的新的薄膜沉积技术。
? 基本原理真空镀膜是在真空室中进行的（一般气压低于1.3×10-2Pa），当需要蒸发的材料（金属或电介质）加热到一定温度时，材料中分子或原子的热振动能量可增大到足以克服表面的束缚能，于是大量分子或原子从液态或直接从固态（如SiO2、ZnS）汽化。
当蒸汽粒子遇到温度较低的工件表面时，就会在被镀工件表面沉积一层薄膜。
以下仅就源加热方式、真空度对膜层质量的影响及蒸发源位置对薄膜均匀性的影响等问题作简要说明。
(a)(b)为电阻型源加热器，它们由高熔点的金属做成线圈状（称为丝源）或舟状（称为舟源）。
加热源上可承载被蒸发材料。
由于挂在丝源上的被蒸发物质（如铝丝）可形成向各个方面发射的蒸汽流，因此丝源可用为点源，而舟源则可近似围内发射的面源。
对于不同的被蒸材料，可选取由不同材料做成，形状各异的加热器。
其选取原则为：a.加热器所用材料有良好的热稳定性，其化学性质不活泼，在达到蒸发温度时，加热器材料本身的蒸汽压要足够低。
b.加热器材料的熔点要高于被蒸发物的蒸发温度，加热器要有足够大的热容量。
c.要求线圈装加热器所用材料热能与蒸发物有良好的浸润，有较大的表面张力。
d.被蒸发物与加热器材料的互溶性必须很低，不产生合金。
e.对于不易制成丝状，或被蒸发物与丝状加热器的表面张力较小时，可采用舟状加热器。