压阻式压力传感器
压阻式压力传感器原理
压阻式压力传感器原理压阻式压力传感器是一种常用的压力测量装置，它利用了压阻效应来实现对压力的测量。
在压阻式压力传感器中，压阻器是起到关键作用的元件，通过对压阻器的变化进行测量，可以得到被测压力的大小。
下面将详细介绍压阻式压力传感器的原理及其工作方式。
首先，我们来了解一下压阻效应。
压阻效应是指在材料受到外力作用时，电阻值发生变化的现象。
在压阻式压力传感器中，通常采用的是压阻薄膜或压阻薄片作为压阻器。
当外界施加压力在压阻器上时，压阻器的电阻值会发生相应的变化。
这种变化可以通过电路进行测量和转换，从而得到压力的大小。
其次，压阻式压力传感器的工作原理是利用了压阻效应的特性。
当压力作用在传感器的敏感元件上时，敏感元件的电阻值会随之改变。
这种电阻值的变化可以通过电路进行检测和测量，从而得到压力的大小。
在实际应用中，通常会将压阻式压力传感器与电桥电路相结合，通过测量电桥的平衡状态来获取压力的数值。
另外，压阻式压力传感器的工作方式可以分为直接式和间接式两种。
直接式压力传感器是指被测压力直接作用在敏感元件上，而间接式压力传感器则是通过液体或气体传递压力到敏感元件上。
不同的工作方式对应着不同的应用场景，用户可以根据实际需求选择合适的工作方式的传感器。
总的来说，压阻式压力传感器利用了压阻效应来实现对压力的测量，其工作原理是通过测量敏感元件电阻值的变化来获取压力数值。
在实际应用中，压阻式压力传感器广泛应用于工业自动化、汽车电子、医疗设备等领域，为各种设备和系统提供了重要的压力测量支持。
通过对压阻式压力传感器的原理及工作方式的深入了解，可以更好地应用和维护这种传感器，为各种应用场景提供准确可靠的压力测量数据。
压阻式压力传感器
掩膜版
步骤四：标准淡硼预扩散或离子注入，在经过标准再分布或退火 形成方块电阻率在80-250W可控的压阻，结深1-3微米。
• 恒定表面源扩散：在整个扩散过程中，硅片表面的杂质浓度 始终不变。
• 有限表面源扩散：扩散之前在硅片表面先淀积一层杂质，在 整个扩散过程中以这层杂质作为扩散的杂质源，不再有新源 补充。
1 硅片的清洗处理
2涂胶：涂胶的目的是在硅片表面形成厚度均匀、附着性强、并且没有缺陷的光刻胶薄膜。
3 前烘：经过甩胶之后的光刻胶虽然液态的光刻胶已经成为固态的薄膜，但含有10%~ 30%的溶剂，容易沾染灰尘。通过在较高温度下进行烘焙，使溶剂从光刻胶中挥发出来。 4 对准与曝光：曝光的光源为紫外光的汞灯，形成平行光束垂直照射到硅片上。受到光照 的光刻胶发生光化学反应，其内部分子结构发生变化。 5 显影：把曝光后的基片放在显影液里，将应除去的光刻胶膜溶除干净，以获得所需要 光刻胶的图形。
2）湿氧氧化：氧气通过盛有950C高纯去离子水的石英瓶后携带水汽到硅片 表面发生氧化反应： Si+O2SiO2 Si+2H2OSiO2+2H2 优点：生长速率较快；缺点：与光刻胶粘附性不好。
（3）氢氧合成氧化：在常压下分别是将纯H2 和纯氧直接通入石英管内，使之在一定温度燃 烧生成水，水在高温下氧化后与硅反应生成 SiO2，生长速度比湿氧快，膜质量好、纯度高。
• 两步扩散：实际生产中的扩散温度一般为900~1200℃，在
这样的温度范围内，常用杂质，如硼、砷等在硅中的固溶度
随温度变化不大，因而采用恒定表面源扩散很难得到低表面
浓度的杂质分布形式。实际生产中将扩散过程分为两步完成。
其中第一步称为预扩散或者预淀积，第二步称为主扩散或再
压阻式压力传感器工作原理
压阻式压力传感器工作原理
压阻式压力传感器工作原理是基于电阻的变化原理。
传感器内部含有一个薄膜，该薄膜上涂有导电层，形成一个电阻。
当传感器受到外部压力作用时，薄膜会发生微小的弯曲，导致导电层上电阻的改变。
具体来说，当外部压力增加时，薄膜的弯曲程度会增大，导致电阻的值随之增加。
而当外部压力减小时，薄膜会恢复原状，导致电阻的值随之减小。
这种电阻和压力之间的关系可以通过压力传感器的电路进行测量和转换。
一般情况下，压阻式压力传感器会和一个电桥电路结合使用。
电桥电路由四个电阻组成，其中一个电阻为压阻传感器的电阻，另外三个为已知电阻。
当系统施加一个恒定的电压到电桥上时，电桥会输出一个电压信号，该信号的大小与压阻传感器的电阻值相关。
通过测量和分析电桥的输出信号，就可以得到与外部压力关联的电阻值。
进一步，可以经过校准和转换，将电阻值转换为实际的压力数值。
总的来说，压阻式压力传感器通过测量导电层电阻的变化，实现对外部压力的检测和测量。
这种传感器具有结构简单、成本低廉、响应速度快等优点，广泛应用于各种工业领域和仪器设备中。
压阻式压力传感器
压阻式压力传感器1. 引言压阻式压力传感器是一种用于测量压力的传感器。
该传感器的工作原理是通过应变电阻的变化来检测受力物体的压力。
它广泛应用于工业控制、汽车制造等许多领域。
本文将介绍压阻式压力传感器的工作原理、特点以及应用。
2. 工作原理压阻式压力传感器的工作原理基于应变电阻效应。
当传感器受到压力作用时，传感器内的金属薄片或薄膜会发生形变，导致金属材料的电阻值发生变化。
通过测量电阻值的变化，我们可以得知受力物体的压力大小。
通常，压阻式压力传感器由两个电极之间夹着一层薄膜或薄片构成。
当压力作用在传感器上时，薄膜或薄片会发生拉伸或压缩，从而改变电流的通道，使电阻值发生变化。
这种变化可以被测量电路检测到并转换为相应的电压或电流信号。
3. 特点压阻式压力传感器具有以下特点：•灵敏度高：由于应变电阻效应是线性的，压阻式压力传感器在测量范围内具有较高的灵敏度。
•稳定性好：传感器内部的金属材料通常经过特殊处理，以增加其稳定性和可靠性。
•宽测量范围：压阻式压力传感器可以适应广泛的测量范围，从几千帕到几百兆帕不等。
•耐用性强：传感器通常采用金属或陶瓷材料制成，具有较好的耐用性。
4. 应用压阻式压力传感器在许多领域有广泛的应用，包括但不限于以下几个方面：4.1 工业控制压阻式压力传感器可用于测量流体压力，如液体或气体。
在工业控制中，压力传感器常被用于监测管道或容器中的压力变化，以确保系统正常运行。
4.2 汽车制造压阻式压力传感器在汽车制造中起着重要作用。
它们可用于测量发动机燃油压力、轮胎气压等数据，以确保汽车的安全性和性能。
4.3 医疗设备压阻式压力传感器在医疗设备中也有应用。
例如，它们可用于测量患者的血压、呼吸气道压力等数据，以协助医生进行诊断和治疗。
4.4 环境监测压阻式压力传感器可用于环境监测，如大气压力、海洋水深等数据的测量。
这些数据对于气象研究、海洋科学等领域非常重要。
5. 总结压阻式压力传感器是一种用于测量压力的重要传感器。
压力传感器的原理
压力传感器的原理压力传感器是一种能够将压力信号转换为电信号输出的传感器，广泛应用于工业自动化控制、汽车电子、医疗设备等领域。
它的原理是利用一定的物理效应，将受力的变化转换为电信号输出，从而实现对压力的测量和控制。
压力传感器的原理主要包括以下几个方面：1. 压阻式原理。
压阻式压力传感器是利用压阻效应来实现对压力的测量。
当外力作用于传感器的敏感元件上时，敏感元件会发生形变，从而改变其电阻值。
通过测量电阻值的变化，就可以得到压力的大小。
这种原理的传感器简单、成本低，但精度较低，易受温度影响。
2. 容性原理。
容性压力传感器利用压力作用于传感器时，会改变传感器内部电容值的特性。
通过测量电容值的变化，就可以得到压力的大小。
这种原理的传感器具有较高的灵敏度和稳定性，但制造工艺复杂，成本较高。
3. 压电原理。
压电压力传感器是利用压电效应来实现对压力的测量。
当外力作用于传感器的压电晶体上时，会产生电荷的分布变化，从而产生电压信号输出。
通过测量电压信号的变化，就可以得到压力的大小。
这种原理的传感器具有高灵敏度、高稳定性和高精度，但制造工艺复杂，成本较高。
4. 光纤原理。
光纤压力传感器是利用光纤的光学原理来实现对压力的测量。
当外力作用于传感器上时，会改变光纤的折射率，从而改变光信号的传输特性。
通过测量光信号的变化，就可以得到压力的大小。
这种原理的传感器具有抗干扰性强、可靠性高的优点，但制造工艺复杂，成本较高。
总结：压力传感器的原理多种多样，每种原理都有其适用的场景和特点。
在实际应用中，需要根据具体的测量要求和环境条件选择合适的压力传感器。
随着科技的不断发展，压力传感器的原理和性能也在不断提升，为各行各业的应用提供了更加可靠和精准的压力测量解决方案。
总结压阻式压力传感器的一般检测方法
总结压阻式压力传感器的一般检测方法压阻式压力传感器是一种常用的测量压力的传感器，其原理是基于材料的压阻效应。
为了确保传感器的准确性和稳定性，需要进行一般的检测方法。
以下是总结的一般检测方法：1. 外观检查：首先，对压力传感器进行外观检查，包括检查传感器外壳是否完整、有无损坏，是否有明显的划痕或变形等。
确保传感器外观正常可靠。
2. 线路连接检查：检查传感器的电气连接，包括检查传感器与接收器之间的线路连接是否正确牢固，检查所有电连接器是否无松动或断裂。
确保传感器与电路之间的连接良好。
3. 零点检测：通过此检测方法，测量压力传感器在无压力状态下的输出信号。
将传感器暴露在零压条件下，记录输出信号。
正常情况下，压力传感器在无力作用时应输出稳定的零信号。
4. 线性度检测：线性度是指压力传感器输出与输入压力之间的直线关系。
可通过在一定范围内施加等间隔的压力，记录传感器的输出信号。
然后，根据斜率和截距计算其线性关系。
理想情况下，传感器应该有良好的线性关系。
5. 灵敏度检测：灵敏度是指压力传感器输出信号与输入压力变化之间的关系。
可以通过在不同压力范围内改变输入压力，并记录传感器的输出信号，计算出输出信号相对于输入信号的变化量。
传感器的灵敏度应保持稳定并与规格相符。
6. 温度特性检测：压力传感器的温度特性直接影响其测量的准确性。
进行温度特性检测时，将传感器暴露在不同的温度环境下，并记录传感器的输出信号。
比较传感器在不同温度下的输出，确保传感器对温度的响应在规格范围内。
总之，以上是总结的压阻式压力传感器的一般检测方法，通过这些方法可以确保传感器的质量和性能符合要求，提供可靠准确的压力测量结果。
压力传感器的原理和应用
压力传感器的原理和应用压力传感器是一种用于检测和测量压力变化的装置，广泛应用于各个领域。
本文将介绍压力传感器的原理以及其在不同领域的应用。
一、压力传感器的原理压力传感器的基本原理是根据弹性元件的形变来测量外界压力的变化。
弹性元件可以是金属薄膜、金属绞线、气体或液体等，在外界压力的作用下发生形变，通过检测这种形变来测量压力的大小。
1. 金属薄膜压力传感器原理金属薄膜压力传感器是最常见的一种类型。
它由金属薄膜贴附在载体上构成。
当外界压力作用于金属薄膜时，金属薄膜发生形变，形变后的电阻值发生变化，利用电桥测量这种变化可以得出压力的数值。
2. 压阻式压力传感器原理压阻式压力传感器将电阻与弹性元件相结合。
当外界压力作用于弹性元件时，导致电阻值的变化，通过测量电阻值的变化来计算压力大小。
3. 容性式压力传感器原理容性式压力传感器利用弹性体的变形引起的电容量的变化来测量压力。
当外界压力作用于弹性体时，弹性体形变，使电容量发生变化，通过测量电容量的变化来判断压力的大小。
二、压力传感器的应用领域压力传感器在许多领域中都有广泛的应用，下面将介绍其中几个常见的应用领域。
1. 工业自动化领域在工业自动化领域，压力传感器用于监测和控制各种工艺中的气体或液体的压力变化。
例如，在制造业中，通过监测设备中的气压来确保生产过程的稳定性和安全性。
2. 汽车领域压力传感器在汽车领域中扮演着至关重要的角色。
它们用于监测发动机中的油压、冷却系统中的压力以及制动系统中的液压压力。
这些信息可以用来确保发动机的正常运行和提供安全的制动性能。
3. 医疗领域在医疗领域，压力传感器用于监测患者体内的生理参数，如血压、呼吸压力等。
它们还被应用于手术设备和人工呼吸机等医疗设备中，以监测和调节压力。
4. 环境监测领域压力传感器在环境监测领域中的应用越来越广泛。
它们被用于监测气候变化、水位高度、大气压力等参数。
这些数据对于环境保护和天气预测等方面具有重要意义。
压阻式压力传感器测量压力特性实验
• 4、调节流量计旋钮，使气压表显示某一值，观察 电压表显示的数值。
• 5、仔细地逐步调节流量计旋钮，使压力在 2kPa～18kPa之间变化（气压表显示值），每上 升1kPa气压分别读取电压表读数，将数值列于表 中。
7ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
1
需用器件与单元：主机箱中的气压 表、气源接口、电压表、直流稳压
电源±15V、 ±2V～±10V（步进可调）；压阻 式压力传感器、压力传感器实验模 板、引压胶管。下图为主机箱图。
2
3
实验步骤
• 1、按\示意图安装传感器、连接引压管和电路： 将压力传感器安装在压力传感器实验模板的传感 器支架上；引压胶管一端插入主机箱面板上的气 源的快速接口中（注意管子拆卸时请用双指按住 气源快速接口边缘往内压，则可轻松拉出），另 一端口与压力传感器相连；压力传感器引线为4芯 线(专用引线)，压力传感器的 1端接地，2端为输 出Vo＋，3端接电源＋4V，4端为输出Vo－。具 体接线见下图。
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• 如果本实验装置要成为一个压力计，则必 须对电路进行标定，方法采用逼近法：输 入4kPa气压，调节Rw2（低限调节），使 电压表显示0.3V(有意偏小)，当输入16kPa 气压，调节Rw1（高限调节）使电压表显 示1.3V(有意偏小)；再调气压为4kPa，调 节Rw2（低限调节），使电压表显示 0.35V(有意偏小)，调气压为16kPa，调节 Rw1（高限调节）使电压表显示1.4V(有意 偏小)；这个过程反复调节直到逼近自己的 要求(4kpa对应0.4V，16kpa对应1.6V)即可。 实验完毕，关闭电源。
压阻式压力传感器的测量原理
压阻式压力传感器的测量原理压阻式压力传感器是一种常见的压力测量装置，其测量原理基于材料的电阻随外力变形而发生变化。
该传感器结构简单，成本低廉，广泛应用于汽车、航空、航天、工业自动化等领域。
压阻式压力传感器的测量原理是基于材料的电阻随外力变形而发生变化。
在传感器中，通常采用金属片、金属箔或碳膜等电阻材料作为敏感元件。
当外力作用于该材料时，材料会发生微小的变形，从而导致其电阻值发生变化，通过测量电阻值的变化来反映外力的大小。
具体来说，当外力作用于电阻材料时，材料内部的导体排列会发生微小的变化，从而导致内部电阻的变化。
这种变化可以通过测量传感器两端的电压或电流来反映。
压阻式压力传感器的工作原理可以用以下公式表示：ΔR/R = K * ΔL/L其中，ΔR表示电阻值的变化量，R表示电阻值，K表示电阻材料的灵敏度，ΔL表示电阻材料的变形量，L表示电阻材料的长度。
可以看出，当外力作用于电阻材料时，电阻值的变化量与变形量成正比，而与材料的长度无关。
压阻式压力传感器的优点在于结构简单、成本低廉、响应速度快、适用范围广等。
其缺点在于精度相对较低，易受到温度和湿度的影响，需要进行温度和湿度的补偿。
在实际应用中，压阻式压力传感器通常需要经过校准才能获得准确的测量结果。
校准的过程包括确定灵敏度、线性度、重复性、稳定性等参数，并进行误差补偿和温度补偿等操作。
此外，传感器的安装位置和方式也会影响测量结果的准确性，因此需要进行合理的安装和布线。
压阻式压力传感器是一种常见的压力测量装置，其测量原理基于材料的电阻随外力变形而发生变化。
通过测量电阻值的变化量来反映外力的大小，具有结构简单、成本低廉、响应速度快、适用范围广等优点。
但其精度相对较低，易受到温度和湿度等环境因素的影响，需要进行校准和补偿。
四种压力传感器的基本工作原理及特点
四种压力传感器的基本工作原理及特点压力传感器是一种用于测量物体受到的压力变化的装置。
它们在工业领域中广泛应用，能够检测和监测各种物体的压力变化，从而保证生产过程的安全性和稳定性。
根据工作原理的不同，压力传感器可以分为四种类型：扩散硅压力传感器、电容式压力传感器、电阻式压力传感器和压阻式压力传感器。
1.扩散硅压力传感器：扩散硅压力传感器是最常见的一种压力传感器。
其工作原理是利用硅片的绝缘层将传感器分成两个区域，一个区域位于压力源下方，另一个区域位于压力源上方。
当外界压力作用在硅片上时，上下两个区域之间的电荷会发生变化。
通过测量这个电荷变化，可以得到物体受到的压力。
该传感器具有较高的精度和灵敏度，可以测量较小的压力变化。
2.电容式压力传感器：电容式压力传感器是通过测量电容变化来检测压力的。
它由两个金属电极构成，当外界压力施加在电极上时，电极之间的电容会发生变化。
通过测量电容的变化，可以推导出物体所受到的压力大小。
电容式压力传感器具有较高的灵敏度和快速的响应速度，适用于高频压力变化的测量。
3.电阻式压力传感器：电阻式压力传感器是利用电阻值的变化来测量压力的。
它由感应电阻体和测量电路组成。
当外界压力作用在感应电阻体上时，电阻值会发生变化。
通过测量电阻值的变化，可以确定物体所受到的压力。
电阻式压力传感器具有较高的稳定性和可靠性，可以适应各种环境条件下的测量需求。
4.压阻式压力传感器：压阻式压力传感器是利用电阻值与应变之间的关系来测量压力的。
它由弹性材料和导电材料构成。
当外界压力作用在弹性材料上时，材料会发生应变，导致导电材料的电阻值发生变化。
通过测量电阻值的变化，可以得到物体所受到的压力。
压阻式压力传感器具有较高的精度和可靠性，适用于高温和高压环境下的压力测量。
以上是四种常见的压力传感器的工作原理和特点。
它们各自具有不同的优点和适用范围，在工业控制和自动化领域中发挥着重要的作用。
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1 硅片的清洗处理
2涂胶：涂胶的目的是在硅片表面形成厚度均匀、附着性强、并且没有缺陷的光刻胶薄膜。
3 前烘：经过甩胶之后的光刻胶虽然液态的光刻胶已经成为固态的薄膜，但含有10%~ 30%的溶剂，容易沾染灰尘。通过在较高温度下进行烘焙，使溶剂从光刻胶中挥发出来。 4 对准与曝光：曝光的光源为紫外光的汞灯，形成平行光束垂直照射到硅片上。受到光照 的光刻胶发生光化学反应，其内部分子结构发生变化。 5 显影：把曝光后的基片放在显影液里，将应除去的光刻胶膜溶除干净，以获得所需要 光刻胶的图形。
• 液态源一般都是杂质化合物，在高温下杂质化合物与硅反应释放出杂质原子。或者 杂质化合物先分解产生杂质的氧化物，氧化物再与硅反应释放出杂质原子。扩硼所用 的液态硼源是北京化学试剂研究所生产的乳胶液态源。
步骤五：标准光刻和标准氧化层腐蚀形成电接触孔；
步骤六：蒸发或溅射铝薄膜，厚度在0.3-1微米；
压阻式压力传感器制作工艺
• 材料：N型（100）4英寸硅片，双面或单面抛光，电阻率： 0.5-8Wcm, 厚度：400-500微米
• 步骤一：进炉前标准清洗；
1）3#液。硫酸：双氧水=5：1，120ºC, 10分钟。酸性、氧化性，除去有机沾污、 光刻胶、酸性可溶杂质。清洗液可反复利用
2）1#液。氨水：双氧水：水=1：2：5。 80ºC, 10分钟。碱性、氧化性，络合性， 除去有机沾污、光刻胶、重金属离子。清洗液不可反复利用
x2
D t e 1 1 4D2t2 D2t2
扩散工艺
按原始杂质源在室温下的相态加以分类，可分为固态源扩散、液态源扩散、气态源 扩散。 • 固态源扩散：固态源大多是杂质的氧化物或是其他化合物。如：B2O3，P2O5，BN 等。每种杂质源的性质不同，本所扩硼所用的杂质源为上海海鸥的BN固态源。液态源 扩散。
x0
A 2
1
t
A2 / 4B
1
步骤三：标准光刻和标准氧化层腐蚀形成压阻硼掺杂电阻图形；
光刻工艺是利用光刻胶受光照部分与未受光部分溶解特性的巨大差异在衬 底表面制作图形的技术。它是一种复印图像同化学腐蚀相结合的综合性技 术。首先采用匀胶机在硅片表面涂敷一层光刻胶，通过掩膜版对光刻胶辐 照辐射，受到光照的光刻胶发生光化学反应，其内部分子结构发生变化。 在显影液中感光部分与未感光部分的溶解速率相差非常大，在正胶工艺中 显影后感光部分光刻胶后被除去，未感光部分保留。而在负胶工艺中与之 相反。这样，在光刻胶上就留下了掩膜版的图形。利用这层图形化的光刻 胶作为掩模，进一步对未被覆盖的Si（或SiO2、Si3N4等材料）进行腐蚀 （刻蚀）或薄膜淀积工艺，把光刻胶上的图形转移到硅衬底的薄膜上去， 从而作成各种器件和电路结构。
2）湿氧氧化：氧气通过盛有950C高纯去离子水的石英瓶后携带水汽到硅片 表面发生氧化反应： Si+O2SiO2 Si+2H2OSiO2+2H2 优点：生长速率较快；缺点：与光刻胶粘附性不好。
（3）氢氧合成氧化：在常压下分别是将纯H2 和纯氧直接通入石英管内，使之在一定温度燃 烧生成水，水在高温下氧化后与硅反应生成 SiO2，生长速度比湿氧快，膜质量好、纯度高。
为了补偿温度效应的影响，一般还可在膜片上沿对压力不敏感的晶向生成一个电 阻，这个电阻只感受温度变化，可接入桥路作为温度补偿电阻，以提高测量精度。
压阻式压力传感器的特点：是灵敏度高，频率响应高； 测量范围宽，可测低至10Pa的微压到高至60Mpa的高压； 精度高，工作可靠，其精度可达±0.2％～0.02％；易于微 小型化，目前国内生产出直径φ1.8～2mm的压阻式压力传 感器。
掩膜版
步骤四：标准淡硼预扩散或离子注入，在经过标准再分布或退火 形成方块电阻率在80-250W可控的压阻，结深1-3微米。
• 恒定表面源扩散：在整个扩散过程中，硅片表面的杂质浓度 始终不变。
• 有限表面源扩散：扩散之前在硅片表面先淀积一层杂质，在 整个扩散过程中以这层杂质作为扩散的杂质源，不再有新源 补充。
图1为一种压阻式压力传感器的结构示意图，硅平膜片在圆形硅杯的底部，其两边 有两个压力腔，分别输入被测差压或被测压力与参考压力。髙压腔接被测压力，低压 腔与大气连通或接参考压力。膜片上的两对电阻中，一对位于受压应力区，另一对位 于受拉应力区，当压力差使膜片变形，膜片上的两对电阻阻值发变化，使电桥输出相 应压力变化的信号。
• 两步扩散：实际生产中的扩散温度一般为900~1200℃，在
这样的温度范围内，常用杂质，如硼、砷等在硅中的固溶度
随温度变化不大，因而采用恒定表面源扩散很难得到低表面
浓度的杂质分布形式。实际生产中将扩散过程分为两步完成。
其中第一步称为预扩散或者预淀积，第二步称为Ns
6 坚膜：将显影后的硅片进行烘烤，除去显影时胶膜所吸收的显影液和残留水分
7。腐蚀：腐蚀就是用适当的腐蚀剂，对未被胶膜覆盖的二氧化硅或其它薄膜进行 腐蚀。经过腐蚀后，光刻胶上的图形转移到了SiO2上。
BHF溶液腐蚀SiO2，配方为：HF:NH4F:H2O=3ml:6g:10ml。
8 去胶： 将起保护作用或模子的胶去除干净的过程。 主要方法有：①硫酸去胶；②丙酮去胶；③等离子去胶。
压阻式压力传感器
压阻式压力传感器是基于半导体材料(单晶硅)的压阻效应原理制成的传感器，就是 利用集成电路工艺直接在硅平膜片上按一定晶向制成扩散压敏电阻，当硅膜片受压时， 膜片的变形将使扩散电阻的阻值发生变化。
硅平膜片上的扩散电阻通常构成桥式测量电路，相对的桥臂电阻是对称布置的， 电阻变化时，电桥输出电压与膜片所受压力成对应关系。
3）2#液。盐酸：双氧水：水=1：2：7。 80ºC, 10分钟。酸性、氧化性，络合性， 除去Na+,Fe3+.S及重金属离子。清洗液不可反复利用。
步骤二：标准氧化
1）干氧氧化：在900-1200 0C 硅与干燥的氧气反应生成SiO2薄膜: Si+O2SiO2 优点：结构致密，均匀性和重复性好，掩蔽能力强，与光刻胶粘附性好， 是一种理想的钝化膜；缺点: 生长速率较慢。