【CN110232983A】一种陶瓷压阻式压力传感器用厚膜电阻浆料及制备方法【专利】

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陶瓷压阻式机油压力传感器研制

陶瓷压阻式机油压力传感器研制邬林;陈丛;钱江蓉;赵潇;胡国俊【摘要】针对传统滑线式机油压力传感器不足,设计制作了一种陶瓷压阻式机油压力传感器.利用自搭建的温度压力测试系统对其进行了标定与测试,实验结果显示:其综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.925％F.S,完全符合压力传感器通用技术条件规定的综合误差≤2％F.S的要求,并通过了2～3倍量程的过载、爆破压力测试,性能稳定可靠.加之陶瓷芯片具有耐腐蚀、抗磨损、成本低廉等优点,该传感器可广泛应用于机油压力及其他相关场合的压力检测中.【期刊名称】《传感器世界》【年(卷),期】2017(023)005【总页数】4页(P11-14)【关键词】陶瓷;压阻式;机油压力;压力传感器;压力检测【作者】邬林;陈丛;钱江蓉;赵潇;胡国俊【作者单位】中国电子科技集团公司第三十八研究所,微电子封装研究中心,安徽合肥230000;中国电子科技集团公司第三十八研究所,微电子封装研究中心,安徽合肥230000;中国电子科技集团公司第三十八研究所,微电子封装研究中心,安徽合肥230000;中国电子科技集团公司第三十八研究所,微电子封装研究中心,安徽合肥230000;中国电子科技集团公司第三十八研究所,微电子封装研究中心,安徽合肥230000【正文语种】中文【中图分类】TP212.1一、引言随着汽车工业技术的发展，现代汽车越来越智能化，作为车况信息第一感知单元的各类传感器发挥着关键作用。

其中，用于发动机润滑系统机油压力情况检测的机油压力传感器，是现有汽车传感器中使用量较大的一种，在汽车发动机的正常运转中起着重要作用。

目前，国内汽车行业仍广泛采用传统的滑线式机油压力传感器，由一个波纹膜片和一个滑线电位器构成。

由于滑线电位器具有机械触点，且该触点处通过的最大电流可达100 mA，加之汽车野外行驶路况复杂，需要不断承受冲击、颠簸、振动、过载、腐蚀以及高低温（-30～+110℃），使得该类传感器的机械、电气寿命受到严重影响，成为汽车发动机机油压力传感器失效的主要因素之一[1,2]。

一种压阻式陶瓷压力传感器[实用新型专利]

专利名称：一种压阻式陶瓷压力传感器专利类型：实用新型专利
发明人：王永亮
申请号：CN202121196162.9
申请日：20210531
公开号：CN215865576U
公开日：
20220218
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型提供一种压阻式陶瓷压力传感器，包括陶瓷座、弹性膜片和传感器芯片；陶瓷座的端面为正方体结构，陶瓷座上的四个脚处分别设有定位槽；弹性膜连接于陶瓷座的上端，传感器芯片置于陶瓷座内；弹性膜片上设有焊盘、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第一修调电阻、第二修调电阻、电源正极、电源负极、信号输出正极、信号输出负极。

本实用新型的一种压阻式陶瓷压力传感器，通过对其陶瓷座底部设置玻璃层来增加安装后的稳定性以及抗压能力；对其弹簧膜片上增加了两个修调电阻以及两组互相并联的厚膜电阻，极大程度上保证了惠斯通电桥的平衡性，从而使得其输出信号稳定可靠精度高。

申请人：杭州锐丰电子工业有限公司
地址：310013 浙江省杭州市西湖区文三路199号创业大厦0632-1室
国籍：CN
代理机构：上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：闫亚
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一种新型压敏电阻片高阻层浆料及其制备方法[发明专利]

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201810420856.2(22)申请日 2018.05.04(71)申请人南阳中祥电力电子有限公司地址 473000 河南省南阳市生态工业园区纬十路(72)发明人徐建　韦国松　李江　陈成刚　张铮　杨天宝　(74)专利代理机构郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) 41117代理人秦舜生(51)Int.Cl.C04B 35/453(2006.01)C04B 35/64(2006.01)C04B 35/622(2006.01)H01C 7/10(2006.01)(54)发明名称一种新型压敏电阻片高阻层浆料及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种新型压敏电阻片高阻层浆料及其制备方法，高阻层浆料主要由下述质量百分比的原料组成：氧化锑5-10%、氧化硅8-12%、氧化铋7-10%、氧化锌70-75%，其制备方法采用称重、煅烧、球磨、验证等步骤，制备出的压敏电阻片高阻层浆料，流动性良好，粘稠度适中，粒度控制在0.5~1.2μm之间，粒径更低，在涂布工序便于滚涂操作，涂布后的压敏电阻片阀片侧面光滑，表面均匀，一致性好；同时按上述工艺生产出的压敏电阻片的2ms方波及抗4/10μs大电流冲击能力有明显提高，同时降低了8/20μs残压水平。

权利要求书1页说明书5页CN 108558389 A 2018.09.21C N 108558389A1.一种新型压敏电阻片高阻层浆料，其特征在于，主要由下述质量百分比的原料组成：氧化锑5-10%、氧化硅8-12%、氧化铋7-10%、氧化锌70-75%，所述氧化锑的主组分≥99.80%、水分≤0.5%、粒径0.8~1.3 D50/μm、筛余物0.1%（325目），所述氧化硅的主组分≥99.00%、水分≤6%（灼烧）、粒径5.0~8.0 D50/μm、筛余物0.1%（200目），所述氧化铋的主组分≥99.00%、水分≤0.3%、粒径3.0~6.0 D50/μm、筛余物0.1%（200目），所述氧化锌的主组分≥99.70%、水分≤0.3%、粒径0.42~0.55 D50/μm、筛余物0.1%（325目），所述原料中按比例加入结合剂溶液。

压阻式压力传感器及其制备方法[发明专利]

专利名称：压阻式压力传感器及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：黄贤,谢军,吴昭
申请号：CN201510200742.3
申请日：20150424
公开号：CN106066219B
公开日：
20220617
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明提供了一种压阻式压力传感器及其制备方法，所提供的压阻式压力传感器包括硅基座、硅应变膜、玻璃基座、压敏电阻和重掺杂接触区；硅基座具有悬臂式连接部，硅应变膜通过悬臂式连接部与硅基座相连，且硅应变膜位于硅基座的合围区域内，硅应变膜与硅基座的合围边缘之间形成间隙；压敏电阻和重掺杂接触区位于悬臂式连接部上；玻璃基座与硅应变膜之间具有空腔，空腔与间隙连通；压阻式压力传感器还包括密封胶层，密封胶层密封封堵于间隙上，以使得空腔与间隙形成密封腔。

上述方案能够解决通过增大硅应变膜的横向尺寸来提高灵敏度所导致的压阻式压力传感器的尺寸增大和成本上升问题。

申请人：浙江盾安人工环境股份有限公司
地址：311835 浙江省绍兴市诸暨市店口工业区
国籍：CN
代理机构：杭州华进联浙知识产权代理有限公司
代理人：聂智
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一种压阻式陶瓷张力传感器[实用新型专利]

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201721895988.8(22)申请日 2017.12.29(73)专利权人天津市丽景微电子设备有限公司地址 300000 天津市滨海新区华苑产业区物华道2号海泰火炬创业园B座325、326室(72)发明人王立刚　(74)专利代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246代理人魏骞(51)Int.Cl.G01L 1/18(2006.01)(54)实用新型名称一种压阻式陶瓷张力传感器(57)摘要本实用新型提出一种压阻式陶瓷张力传感器，包括：壳体、防水盖、陶瓷膜片、弹性体，壳体呈圆筒状，下端封闭，上端开口，陶瓷膜片固定安装在壳体上端，弹性体固定安装在壳体内部，将壳体分为上下两层，陶瓷膜片由中心膜片和多个分支膜片组成，中心膜片为圆形，分支膜片为扇形，分支膜片沿周向均匀分布在中心膜片的外周，中心膜片和分支膜片一体成型，中心膜片与弹性体之间通过陶瓷连杆固定连接，每个分支膜片的上安装有厚膜电阻片，陶瓷膜片的上端设有限位架，限位夹固定安装在壳体顶端，防水盖拧接在壳体顶端，壳体上设有两个通孔。

本实用新型能够多方向多角度的检测被测物体的张力，而且能够防尘防水，降低损坏率。

权利要求书1页说明书3页附图1页CN 207816492 U 2018.09.04C N 207816492U1.一种压阻式陶瓷张力传感器，其特征在于，包括：壳体、防水盖、陶瓷膜片、弹性体，所述壳体呈圆筒状，下端封闭，上端开口，所述陶瓷膜片通过一字钉固定安装在所述壳体上端，所述弹性体为圆形，所述弹性体直径与所述壳体内径相同，所述弹性体固定安装在所述壳体内部，将所述壳体分为上下两层，所述陶瓷膜片由中心膜片和多个分支膜片组成，所述中心膜片为圆形，所述分支膜片为扇形，所述分支膜片沿周向均匀分布在所述中心膜片的外周，所述中心膜片和分支膜片一体成型，所述中心膜片与所述弹性体之间通过陶瓷连杆固定连接，每个所述分支膜片的上安装有厚膜电阻片，所述陶瓷膜片的上端设有限位架，所述限位夹固定安装在所述壳体顶端，所述防水盖拧接在所述壳体顶端，所述壳体上设有两个通孔，两个通孔位于壳体下层，两个通孔的中心在一条轴线上。

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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910276589.0
(22)申请日 2019.04.08
(71)申请人绍兴文理学院元培学院
地址 312000 浙江省绍兴市越城区群贤中
路2799号
(72)发明人徐志望　
(74)专利代理机构杭州杭诚专利事务所有限公
司 33109
代理人尉伟敏
(51)Int.Cl.
H01B 1/16(2006.01)
H01B 1/22(2006.01)
H01B 13/00(2006.01)
H01C 7/00(2006.01)
H01C 17/065(2006.01)
(54)发明名称
一种陶瓷压阻式压力传感器用厚膜电阻浆
料及制备方法
(57)摘要
一种陶瓷压阻式压力传感器用厚膜电阻浆
料及制备方法，涉及厚膜电子材料领域，包括导
电相：成分为氧化钌，氧化钌/碳纳米管复合材
料；无机粘结相：成分为CaO，B 2O 3，SiO 2和ZrO 2；有
机载体：成分为有机溶剂，增稠剂，表面活性剂，
触变剂和流变剂；和改性剂：成分为聚丙烯酸树
脂包覆二氧化硅，氧化铅，本发明厚膜电阻浆料
的导电相中加入氧化钌/碳纳米管复合材料，增
加了导电相的导电性能，同时具有较高的稳定
性，并且在厚膜电阻浆料中加入聚丙烯酸树脂包
覆二氧化硅和氧化铅混合改性剂，提高厚膜电阻
浆料烧结后的应变系数，降低阻值，提高性能稳
定性和与基片的粘附力。

权利要求书2页说明书7页CN 110232983 A 2019.09.13
C N 110232983
A
权　利　要　求　书1/2页CN 110232983 A
1.一种陶瓷压阻式压力传感器用厚膜电阻浆料，其特征在于，包括导电相：成分及质量份数为氧化钌50-60份，氧化钌/碳纳米管复合材料5-10份；无机粘结相：成分及质量份数为CaO40-50份，B2O340-50份，SiO245-55份和ZrO215-20份；有机载体：成分及质量份数为有机溶剂90-95份，增稠剂2-5份，表面活性剂0.5-1份，触变剂1-2份和流变剂0.5-1份；和改性剂：成分及质量份数为聚丙烯酸树脂包覆二氧化硅70-90份，氧化铅30-40份。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷压阻式压力传感器用厚膜电阻浆料，其特征在于，所述有机溶剂为二乙二醇单甲醚、柠檬酸三丁酯、磷酸三丁酯、松油醇、丁基卡必醇中的一种或组合，增稠剂为乙基纤维素、羟乙基纤维素、羧甲基纤维素中的一种，表面活性剂为卵磷脂，触变剂为十六醇、聚酰胺蜡，蓖麻油中的一种或组合，流变剂为1，4-丁内酯。

3.根据权利要求1所述的一种陶瓷压阻式压力传感器用厚膜电阻浆料的制备方法，其特征在于，包括以下制备步骤：
S1：导电相的制备：
S1.1：在三氯化钌中加入去离子水，配置成0.1-0.15mol/L的三氯化钌溶液，随后加入碳纳米管，升温至60-70℃搅拌，随后逐滴滴入氢氧化钠溶液，继续搅拌陈化2-4h，随后离心洗涤，煅烧后得到氧化钌/碳纳米管复合材料；
S1.2：将氧化钌粉末与氧化钌/碳纳米管复合材料混合制备得到导电相；
S2：无机粘结相的制备：将CaO、B2O3、SiO2和ZrO2按配比加入至玛瑙球磨罐搅拌1-2h，随后置于坩埚中在1100-1300℃下熔炼1.5-2h，水淬后再进行球磨10-15h，制备得到无机粘结相；
S3：有机载体的制备：将有机溶剂与增稠剂在70-85℃水浴下进行混合，搅拌至增稠剂完全溶解于有机溶剂中，随后加入表面活性剂、触变剂和流变剂，搅拌均匀，得到有机载体；
S4：改性剂制备：
S4.1：将二氧化硅颗粒置于无水乙醇中，加入3-氨丙基三乙氧基硅烷，在30-50℃下反应7-14h，离心烘干，得到氨基改性二氧化硅颗粒；随后将氨基改性二氧化硅颗粒分散至甲苯中，加入三乙胺，在0℃下氮气保护下搅拌1-2h后，加入2-溴异丁酰溴，随后搅拌反应10-15h，并离心干燥，得到溴改性二氧化硅颗粒；随后，将溴改性二氧化硅颗粒、六水合三氯化铁和三苯基膦分散于N,N-二甲基甲酰胺中，通过氩气置换之后，加入2-溴异丁酸乙酯和甲基丙烯酸甲酯，搅拌混合，缓慢加入抗环血酸，在50-80℃下反应20-28h，离心洗涤干燥，得到聚丙烯酸树脂包覆二氧化硅；
S4.2：将聚丙烯酸树脂包覆二氧化硅和氧化铅混合得到改性剂；
S5：将导电相、无机粘结相混合研磨，随后置于有机载体，并加入改性剂，得到陶瓷压阻式压力传感器用厚膜电阻浆料。

4.根据权利要求3所述的一种陶瓷压阻式压力传感器用厚膜电阻浆料的制备方法，其特征在于，步骤S1.1中所述三氯化钌和/碳纳米管的质量比为：1-3:1。

5.根据权利要求3所述的一种陶瓷压阻式压力传感器用厚膜电阻浆料的制备方法，其特征在于，步骤S1.1中所述煅烧的温度为250-350℃，时间为15-24h。

6.根据权利要求3所述的一种陶瓷压阻式压力传感器用厚膜电阻浆料的制备方法，其特征在于，步骤S4.1中所述六水合三氯化铁和三苯基膦的质量比为1:10-15。

7.根据权利要求3所述的一种陶瓷压阻式压力传感器用厚膜电阻浆料的制备方法，其
2。