(完整word版)高温超导材料的制备方法
高温超导材料新型制备途径总结
高温超导材料新型制备途径总结近年来，高温超导材料作为一种新型的材料在科学界引起了广泛的关注。
高温超导材料具有突出的电导性能，能够在相对较高的温度下实现超导状态，这为科学研究和工业应用带来了巨大的潜力。
然而，高温超导材料的制备过程相对复杂，传统的制备方法存在一些困难和局限性。
因此，研究人员不断探索新的制备途径，以提高制备效率和材料的性能。
一种新型的高温超导材料制备途径是化学合成方法。
通过化学合成，可以控制材料的化学组成和晶体结构，从而调节材料的性能。
近年来，研究人员利用化学合成方法成功制备了许多新型的高温超导材料。
例如，采用水热合成法可以制备出具有高温超导性能的HgBa2Ca2Cu3O8+δ材料。
这种方法通过调节反应条件和添加合适的掺杂元素，可以实现材料的高温超导转变温度的调控。
另一种新型的高温超导材料制备途径是物理气相沉积方法。
物理气相沉积方法是利用高温蒸发技术将气体原料直接转化为固态薄膜材料的制备方法。
通过控制沉积参数，可以获得高质量的高温超导材料薄膜。
例如，采用化学气相沉积法可以制备出具有优异性能的YBa2Cu3O7-δ薄膜。
这种方法具有制备效率高、薄膜质量好的优势，适用于大规模材料生产和工业化应用。
此外，还有一种新颖的高温超导材料制备途径是机械合成方法。
机械合成方法是利用机械能将反应原料进行混合和激发，促进反应的发生和材料的形成。
机械合成方法具有简单、快速的特点，可以用于大规模材料制备。
例如，采用高能球磨法可以制备出具有高温超导性能的Bi2Sr2Ca1Cu2Oy材料。
这种方法通过高速碰撞产生的机械能激发原料之间的反应，可以实现材料的均匀混合和晶体结构的形成。
综上所述，高温超导材料的新型制备途径正在不断地被发现和研究。
化学合成方法、物理气相沉积方法和机械合成方法都具有各自的优势和适用范围。
通过不断地探索和创新，研究人员可以进一步改进材料的制备方法，提高制备效率和材料的性能。
这将为高温超导材料的应用和发展提供更加广阔的空间和可能性。
高温超导材料及应用
二、超导研究的历史过程
1、1986年以前超导研究过程
.1911年Onnes发现Hg在4.2K电阻突然下降为零
.1933年Meissner效应的发现
.1911-1932年间,以研究元素的超导电性。Hg、Pb、Sn、In、Ta….
.1932-1953年，发现了许多具有超导电性的合金。
已知的超导元素
超导体的分类
.第II类超导体
两个临界磁场HC1、HC2
H.Hc1Meissner态，完全抗磁通B=0
Hc1.H.Hc2混合态，磁通格子态
磁通量子、磁通钉扎、流动、蠕动。
H.Hc2正常态
理想第II类超导体、非理想第II类超导体
第二类超导体相图
Meissner态
混合态
正常态
HC1
当HC1<H<HC2,
当H>Hc2,变成正常态.
MixedState,vortices混合态涡流
II类超导体磁通穿透
合金及化合物超导体
Cs3C6040K(Highest-TcFulleride)MgB239KBa0.6K0.4BiO330K
Nb3Ge23.2KNb3Si19KNb3Sn18.1KNb3Al18K
V3Si17.1KTa3Pb17KV3Ga16.8KNb3Ga14.5K
2、1973-1986年
.超导临界温度的提高，停滞不前。
Tc=23.2KNb3Ge(1973年发现)
非常规超导体研究得到了蓬勃发展
重Fermi子超导体非晶态超导体低载流子密度超导体磁性超导体
低维无机超导体超晶格超导体有机超导体
三、高温超导体研究的重大突破
1986年Müller和Bednorz发现高温超导体
超导材料的制备方法及注意事项
超导材料的制备方法及注意事项引言超导材料是一种具有极低电阻和完全排斥磁场的材料，被广泛应用于能源传输、磁共振成像、电子器件等领域。
本文将探讨超导材料的制备方法以及在制备过程中需要注意的事项。
一、超导材料的制备方法1. 化学沉积法化学沉积法是一种常用的制备超导材料的方法。
该方法通过在基底上沉积超导材料的化学前体，然后进行热处理来形成超导材料。
这种方法具有制备工艺简单、成本较低的优点。
然而，在使用化学沉积法制备超导材料时，需要注意控制沉积速率、温度和气氛等参数，以确保沉积的化学前体的纯度和均匀性。
2. 真空蒸发法真空蒸发法是另一种常用的制备超导材料的方法。
该方法通过在真空环境中加热超导材料的源材料，使其蒸发并在基底上凝结形成薄膜。
真空蒸发法可以制备出高质量的超导薄膜，具有良好的结晶性和均匀性。
然而，该方法需要高真空环境和较高的加热温度，对设备和材料的要求较高。
3. 固相反应法固相反应法是一种常用的制备超导材料的方法，尤其适用于制备高温超导材料。
该方法通过将超导材料的前体材料混合并加热，使其发生化学反应形成超导材料。
固相反应法可以制备出大块的超导材料，适用于制备超导器件和大型能源传输设备。
然而，在使用固相反应法制备超导材料时，需要注意控制反应温度、反应时间和反应气氛等参数，以确保反应的完全性和产物的纯度。
二、超导材料制备过程中的注意事项1. 材料纯度超导材料的制备过程中，材料的纯度对于最终的超导性能至关重要。
杂质和杂质相互作用可能导致超导性能的下降。
因此，在制备超导材料之前，需要对原材料进行严格的纯化和分析，以确保材料的纯度。
2. 结晶性和晶格匹配超导材料的结晶性和晶格匹配对于超导性能的影响很大。
较好的结晶性可以提高超导材料的临界温度和临界电流密度。
而晶格匹配可以减小材料中的缺陷和界面效应，提高超导性能。
因此，在制备超导材料时，需要注意控制制备条件，以获得良好的结晶性和晶格匹配。
3. 热处理条件热处理是制备超导材料的重要步骤之一。
超导材料的制备及应用研究
超导材料的制备及应用研究随着科学技术的不断发展，超导材料的制备及应用研究也越来越受到人们的关注。
超导材料具有非常优越的物理性质和应用前景，广泛地应用于电力、能源、医药等领域。
本文将探讨超导材料的制备方法、特性及应用研究等方面。
一、超导材料的制备方法超导材料有多种制备方法，如化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、溶胶-凝胶法(sol-gel)、共沉淀法(PP)等。
其中，CVD法是一种基于气相物质沉积在基板表面的过程，它可以制备出高质量、高性能的超导材料。
PVD法则是利用高温等离子体去除材料表面原子层，并将新原子层沉积在表面上，是一种常用的制备超导材料的方法。
另外，溶胶-凝胶法也是一种制备超导材料的重要方法。
该方法是将溶液中的低分子量物质转化成固态材料，形成纳米和微米级别的材料。
这种方法具有制备工艺简单、结构紧密等特点，在超导材料的制备中很重要。
二、超导材料的特性超导材料的最重要特性是零电阻和迈斯纳效应，能够表现出超导状态。
此外，超导体的磁场排斥现象也是它的一个显著特征。
超导材料具有高温超导、镁二铜氧体(MgB2)超导、铜氧化物超导等类型。
高温超导材料在超导材料中占据很重要的地位。
高温超导材料最早是在1986年被发现的，它的超导温度较铜氧化物超导材料更高，而且其机理和铜氧化物超导材料也不尽相同。
三、超导材料的应用研究超导材料具有优越的应用前景，已广泛应用于电力、能源、医药等领域。
其中，电力领域是其最重要和最典型的应用之一。
超导材料在电力领域主要应用于超导电缆和超导电机等方面。
例如，基于高温超导材料的能量转移产品，则可以实现更加高效的电力传输，而且对于现代工业生产和人民日常生活都具有重要的意义，这未来必将成为促进该领域发展的关键因素。
此外，超导材料的应用还存在很多的限制和挑战，如价格、占地面积等问题。
这些限制要求研究人员进行进一步的探索和发展，以克服其中的各种难题，并实现更加广泛的应用。
四、结论超导材料由于其零电阻和迈斯纳效应等特性，具有极高的实用价值，被广泛应用于各个领域。
高温超导材料发展趋势及关键制备技术
高温超导材料发展趋势及关键制备技术随着科技的不断发展，高温超导材料在能源传输、磁共振成像、高性能电子设备等领域展示出巨大的应用潜力。
高温超导材料以其低电阻、零电阻等特性而备受关注，成为研究的热点领域。
然而，由于高温超导材料的复杂性和困难制备的特点，推动其进一步发展仍然面临着挑战。
本文将探讨高温超导材料的发展趋势，并介绍关键的制备技术。
从发展趋势来看，高温超导材料的研究重点逐渐从基础研究向应用研究转变。
目前，高温超导材料的研究主要集中在三个方面：提高超导转变温度、改善材料的稳定性和研究新型材料。
首先，提高超导转变温度是高温超导材料研究的重要目标之一。
目前已经发现的高温超导材料转变温度普遍较低，限制了其应用范围和性能。
因此，科学家们致力于寻找更高转变温度的超导材料。
研究表明，通过掺杂和合金化可以提高超导转变温度。
此外，利用压力、应变等外部条件也可以提高转变温度。
未来的研究将集中在深入了解超导机制，探索新型超导材料以及开展先进的导电性能测试方法等方面。
其次，改善材料的稳定性是关键问题之一。
高温超导材料在高温和强磁场条件下容易失去超导性。
因此，提高材料的稳定性是实现高温超导应用的重要前提。
目前，科学家们通过在高温超导材料中引入第二相、控制结构和晶体缺陷等方法来提高材料的稳定性。
此外，还可以通过利用纳米材料的优异性能来改善高温超导材料的稳定性。
今后，研究人员将加强对材料稳定性机理的研究，探索更有效的稳定技术。
第三，研究新型高温超导材料也是当前的研究热点。
虽然许多高温超导材料已经被发现，但科学家们仍然在寻找新的高温超导材料。
未来的研究将聚焦于深入了解高温超导机制，探索新型材料的合成和制备方法。
此外，为了提高材料的性能，科学家们还将研究新材料的掺杂和合金化等方法。
关键的制备技术在高温超导材料的研究中起着非常重要的作用。
关键的制备技术包括化学制备法、物理制备法和工程制备法等。
化学制备法是最常用的制备高温超导材料的方法之一。
高温超导材料的制备方法
高温超导材料的制备方法高温超导材料的制备方法是指在相对较高的温度范围内制备出具有超导性质的材料。
超导材料的发现和制备是材料科学领域的一项重大突破，对于能源传输和储存等方面有着广阔的应用前景。
本文将介绍几种常见的高温超导材料制备方法。
一、固相法固相法是高温超导材料制备的常用方法之一、首先，根据所需超导材料的化学成分，选取相应的元素或化合物作为原料。
然后，将原料按照一定的摩尔比进行混合。
接下来，将混合后的原料置于特定温度下进行热处理，使其发生化学反应，生成目标超导材料。
固相法的优点是简单易行，成本较低。
然而，由于反应温度较高，材料易于氧化或挥发，因此对于氧化性强的元素或化合物的制备较为困难。
二、液相法液相法是另一种常见的高温超导材料制备方法。
首先，将目标材料的前体化合物溶解于适当的溶剂中，得到均匀的溶液。
然后，通过调整溶液的温度和浓度等参数，使化合物发生化学反应，生成目标高温超导材料。
最后，通过蒸发或离心等方式，得到超导材料的粉末。
液相法的优点是制备过程中容易控制反应条件，并且可以得到高纯度的超导材料。
然而，由于液相法需要使用有机物作为溶剂，因此还需要考虑溶剂的挥发、残留等问题。
三、溶胶-凝胶法溶胶-凝胶法是一种基于凝胶化反应的高温超导材料制备方法。
首先，选择适当的金属盐和有机物通过溶剂进行溶解。
然后，通过调整反应条件，使金属盐与有机物发生溶胶-凝胶转化，生成坚固的凝胶。
最后，将凝胶进行热处理，使其脱胶、结晶，最终得到超导材料。
溶胶-凝胶法的优点是提供了一种制备高纯度、均匀微观结构和较大晶粒尺寸的高温超导材料的途径。
然而，该方法比较复杂，需要进行多步反应，并且对反应条件的控制较为严格。
四、磁控溅射法磁控溅射是一种常用的薄膜制备技术，也可用于高温超导材料的制备。
该方法通过在真空环境下，将目标高温超导材料推向磁控溅射目标，利用氩离子束轰击目标，使其表面原子释放出来并沉积在基底上，形成超导薄膜。
磁控溅射法的优点是能够制备出具有均匀厚度、良好结晶性和较高超导性能的高温超导薄膜。
(完整word版)高温超导材料的研究进展
高温超导材料的研究进展程长飞20091410404引言2O世纪8O年代后期高温超导的发现，在全球掀起了一股“超导热”。
经过2O多年的研究发展，我国高温超导技术在超导材料技术、超导强电技术和超导弱电技术三个方面取得了重大进展和突破。
在众多领域中，超导技术的应用具有非常突出的优点和不可取代的作用。
随着高温超导材料和低温制冷技术的迅速发展，使超导技术的应用步伐迅速加快。
超导技术在电力、通信、高新技术装备和军事装备等方面的应用也十分令人向往，具有重要的战略意义。
根据第五届国际超导工业峰会预测，高温超导应用技术将在今后5～10年时间达到实用化水平，并将在2010年前后形成较大规模的产业。
到2010年，全球超导产业的产值预计将达到260亿美元，到2020年将达到2 400亿美元以上。
超导技术将是21世纪具有光明前景的高新技术一、超导的基本概述和基本原理1911年发现，但直到1957年，美国科学家巴丁、库珀和施里弗在《物理学评论》提出BCS理论，其微观机理才得到一个令人满意的解释。
BCS理论把超导，库珀对在晶格当中可以无损耗的运动，形成超导电流。
在BCS理论提出的同时，博戈留波夫（Bogoliubov）也独立的提出了超导电性的的博戈留波夫变换至今为人常用。
电子间的直接相互作用是相互排斥的库仑力。
如果仅仅存在库仑直接作用的话，电子不能形成配对。
但电子间还存在以晶格振动正是这种吸引作用导致了“库珀对”的产生。
大致上，其机理如下：电变，形成一个局域的高正电荷区。
这个局域的高正电荷区会吸引自旋相反的电子，和原来的电子以一定的结合能相结合配对。
在很低的温度下，这个结合能可能高于晶格原子振动的能量，这样，电子对将不会和晶格发生能量交换，也就没有电阻，形成所谓“超导”。
BCS理论而获得1972BCS理论并无法成功的解释所谓第二二、高温超导材料概述对超导现象，BCS 理论给出了比较满意的解释。
而在应用方面，超导现象具有很宽敞的应用空间，具有很高的应用价值。
创新超导材料的制备方法及技巧
创新超导材料的制备方法及技巧引言超导材料是一类具有零电阻和完全磁通排斥的特殊材料，其在能源传输、磁共振成像等领域具有广泛的应用前景。
然而，要实现高温超导和高性能超导材料的制备仍然面临许多挑战。
本文将探讨创新超导材料的制备方法及技巧，旨在为超导材料研究者提供一些有益的参考。
一、化学合成法化学合成法是制备超导材料的常用方法之一。
通过调控反应条件、控制反应物比例和合成路线等手段，可以实现超导材料的制备。
例如，采用溶胶-凝胶法可以制备出具有高温超导性能的铜氧化物超导材料。
在该方法中，通过溶胶的形成和凝胶的形成过程，可以控制材料的晶体结构和形貌，从而调控材料的超导性能。
二、物理气相沉积法物理气相沉积法是一种通过将原料物质蒸发或溅射到基底上来制备薄膜材料的方法。
该方法具有制备高质量超导材料的优势，因为它可以实现高度纯净的材料和较大的晶粒尺寸。
例如，采用分子束外延法可以制备出具有高温超导性能的铁基超导材料。
在该方法中，通过控制材料的蒸发速率和基底的温度，可以实现对材料晶体结构和性能的调控。
三、机械合金法机械合金法是一种通过机械能对原料进行高能球磨来制备超导材料的方法。
该方法具有简单、成本低和可扩展性强的特点。
例如，采用高能球磨法可以制备出具有高温超导性能的镁二硼化物超导材料。
在该方法中，通过控制球磨时间和球磨介质的选择，可以实现对材料晶体结构和性能的调控。
四、化学气相沉积法化学气相沉积法是一种通过将气体反应物在基底表面上化学反应形成材料的方法。
该方法具有制备大面积超导材料的优势。
例如，采用化学气相沉积法可以制备出具有高温超导性能的钇钡铜氧化物超导材料。
在该方法中，通过控制反应温度和气体流量，可以实现对材料晶体结构和性能的调控。
五、控制杂质和缺陷控制杂质和缺陷是制备高性能超导材料的关键。
通过控制杂质和缺陷的类型、浓度和分布等参数，可以调控超导材料的晶体结构和性能。
例如，通过控制杂质和缺陷的分布可以提高超导材料的临界电流密度和临界温度。
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高温超导材料的制备方法氧化物超导材料作为一种陶瓷体，用于制备陶瓷的各种方法亦适用于制备氧化物超导材料。
制备方法有固相法、液相法和气相法三种。
2.1 固相法
固相法以氧化物、碳酸盐粉末为原料，经称量、混合、锻烧、粉碎、混合、加压成型、烧结、冷却等几道工序制备氧化物超导材料。
也有人用晶体生长的方法制备出氧化物超导单晶。
固相法作为经典的方法，被广泛地应用。
陈绍楷等人对传统的固相法合成YBCO粉进行了改进，降低了烧结时间，细化了粉径。
但粉末的混合易引进杂质，粉料颗粒大小在1xE-6m以上且均匀性较差，样品烧结温度高，且容易产生杂相。
2.2液相法
液相法即将所用原料混合为均匀的溶液，通过共沉淀、溶胶一凝胶、蒸发溶剂热解、吸附等方法制得粉料或吸附体，再通过固相反应制备超导材料。
(1)共沉淀法
共沉淀法利用在水中溶解的原料，经反应生成不溶性的氢氧化物、草酸盐、硅酸盐、柠檬酸盐等。
再经加热分解制得高纯度超微粉料。
此方法可以广泛用来合成超导材料。
经沉淀、过滤、水洗、干燥、锻烧、成型、烧结、冷却等几道工序。
共沉淀法有粉料颗粒细小、混合均匀、表面活性高、固相反应完全、样品烧结温度低、致密、性能稳定及重现性好等优点。
但沉淀剂为Na2CO3, K2CO3时，容易带进杂质离子，有时还存在沉淀不完全等问题。
(2)溶胶一凝胶法
溶胶一凝胶法(Sol-Gel)是利用金属醇盐活性高、易水解、易纯化、能溶于普通有机溶剂等特点，通过在有机溶剂中的分子级水平的混合，经水解、缩聚反应形成溶胶，再进一步反应形成凝胶，在较低的温度下和较短时间内烧结成高纯度、高均匀的材料，并且很容易制备板材、薄膜和纤维。
溶胶一凝胶法所得的粉料比表面大、活性高、纯度高、均匀性好、材料烧结温度低(低50℃-150℃)，工艺简单。
它在超导材料的制备方面有广阔的应用前景。
(3)蒸发溶剂热解法
此法利用可溶性盐或在酸作用下能完全溶解的化合物为原料，在水中混合为均匀的溶液，通过加热蒸发或喷雾干燥蒸发溶剂，然后通过热分解反应得到混合氧化物粉料，再通过固相反应制备氧化物超导材料。
2.3气相法
气相法用于制备超导薄膜，有物理气相淀积((PVD)和化学气相淀积(CVD)两种。
(1)PVD法
采用蒸发、溅射、分子束外延等各种PVD技术成功地获得了零电阻80-90K 的YBa-Cu-O超导薄膜和零电阻超过100K的Bi-Sr-Ca-Cu-O和Tl-Ba-Cu-O超导薄膜。
例如:Y Ba-Cu-O超导薄膜的制备技术有采用Y, Ba, Cu三源分开的电子束蒸发，采用YBaCuO源的纳秒脉冲激光蒸发，采用Y,Ba,Cu三个独立靶的射频反应磁控溅射，采用YBaCuO超导材料靶的直流或射频磁控溅射等。
但一方面，此法需要昂贵设备且带有高真空系统，不适于通常的大规模生产:另一方面，PVD 膜一般都要在850℃以上进行后续性处理才能获得高温超导电性。
这种热处理不仅使得薄膜表面粗糙不平不利于制作器件，而且也限制了衬底材料的选择范围，不利用于微电子领域。
探索低温(集成电路工艺要求450℃以下)淀积成膜是一个努力的方向。
PVD法简介：物理气相沉积技术早在20世纪初已有些应用，但在最近30年迅速发展，成为一门极具广阔应用前景的新技术，并向着环保型、清洁型趋势发展。
20世纪90年代初至今，在钟表行业，尤其是高档手表金属外观件的表面处理方面达到越来越为广泛的应用。
真空蒸镀基本原理是在真空条件下，使金属、金属合金或化合物蒸发，然后沉积在基体表面上，蒸发的方法常用电阻加热，高频感应加热，电子束、激光束、离子束高能轰击镀料，使蒸发成气相，然后沉积在基体表面，历史上，真空蒸镀是PVD法中使用最早的技术。
溅射镀膜基本原理是充氩(Ar)气的真空条件下，使氩气进行辉光放电，这时氩(Ar)原子电离成氩离子(Ar+)，氩离子在电场力的作用下，加速轰击以镀料制作的阴极靶材，靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。
如果采用直流辉光放电，称直流(QC)溅射，射频(RF)辉光放电引起的称射频溅射。
磁控(M)辉光放电引起的称磁控溅射。
电弧等离子体镀膜基本原理是在真空条件下，用引弧针引弧，使真空金壁(阳极)和镀材(阴极)之间进行弧光放电，阴极表面快速移动着多个阴极弧斑，不断迅速蒸发甚至“异华”镀料，使之电离成以镀料为主要成分的电弧等离子体，并能迅速将镀料沉积于基体。
因为有多弧斑，所以也称多弧蒸发离化过程。
离子镀基本原理是在真空条件下，采用某种等离子体电离技术，使镀料原子部分电离成离子，同时产生许多高能量的中性原子，在被镀基体上加负偏压。
这样在深度负偏压的作用下，离子沉积于基体表面形成薄膜。
物理气相沉积技术基本原理可分三个工艺步骤：
(1)镀料的气化：即使镀料蒸发，异华或被溅射，也就是通过镀料的气化源。
(2)镀料原子、分子或离子的迁移：由气化源供出原子、分子或离子经过碰撞后，产生多种反应。
(3)镀料原子、分子或离子在基体上沉积。
(2)CVD法
从理论上来说，它是很简单的：两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上。
淀积氮化硅膜(Si3N4)就是一个很好的例子，它是由硅烷和氮反应形成的。
然而，实际上，反应室中的反应是很复杂的，有很多必须考虑的因素，沉积参数的变化范围是很宽的：反应室内的压力、晶片的温度、气体的流动速率、气体通过晶片的路程、气体的化学成份、一种气体相对于另一种气体的比率、反应的中间产品起的作用、以及是否需要其它反应室外的外部能量来源加速或诱发想得到的反应等。
额外能量来源诸如等离子体能量，当然会产生一整套新变数，如离子与中性气流的比率，离子能和晶片上的射频偏压等。
然后，考虑沉积薄膜中的变数：如在整个晶片内厚度的均匀性和在图形上的覆盖特性(后者指跨图形台阶的覆盖)，薄膜的化学配比(化学成份和分布状态)，结晶晶向和缺陷密度等。
当然，沉积速率也是一个重要的因素，因为它决定着反应室的产出量，高的沉积速率常常要和薄膜的高质量折中考虑。
反应生成的膜不仅会沉积在晶片上，也会沉积在反应室的其他部件上，对反应室进行清洗的次数和彻底程度也是很重要的。
化学家和物理学家花了很多时间来考虑怎样才能得到高质量的沉积薄膜。
他们已得到的结论认为：在晶片表面的化学反应首先应是形成“成核点”，然后从这些“成核点”处生长得到薄膜，这样淀积出来的薄膜质量较好。
另一种结论认为，在反应室内的某处形成反应的中间产物，这一中间产物滴落在晶片上后再从
这一中间产物上淀积成薄膜，这种薄膜常常是一种劣质薄膜。
化学气相沉积法是传统的制备薄膜的技术，其原理是利用气态的先驱反应物，通过原子、分子间化学反应，使得气态前驱体中的某些成分分解，而在基体上形成薄膜。
化学气相沉积包括常压化学气相沉积、等离子体辅助化学沉积、激光辅助化学沉积、金属有机化合物沉积等。
此法安全可靠、能大量制备、重现性好且操作简单，最有希望实现低温淀积。
气相反应原料有卤化物、金属有机化合物等以Y(thd)3,Ba(thd)2, Cu(thd)为气源，在780℃淀积温度下在MgO基片上不经后续热处理得到零电阻温度为65K的超导薄膜等。
以Bi(OC2H5)3, Sr(thd)2, Ca(thd)2, Cu(thd)为气源，在910℃淀积温度下在MgO基片上得到零电阻温度为78K的Bi(Sr,Ca)3Cu2O、超导薄膜。
中国科技大学以B一二酮化合物为气源，采用等离子体激活反应，在200℃-300℃淀积温度下得到了正交的YBCO超导相。
温度低的关键在于采用了等离子体激活反应。
此法有广阔前景，需要进一步深入地研究。