洁净厂房正压控制问题讨论
洁净厂房的质量控制
洁净厂房的质量控制摘要：随着我国各个领域的不断繁荣发展，洁净厂房建设项目也越来越多，洁净厂房建设对施工企业的技术水平有较高要求，尤其是在洁净厂房密封性能方面的要求更为严格。
而在下面的文章中，就在对洁净厂房进行简单阐述的基础上，客观的分析我国目前的洁净厂房施工状况，然后针对洁净室施工要求、施工中常见的质量问题进行综合性研究。
关键词：洁净厂房；施工质量；控制引言科技的不断进步和蓬勃发展促进着中国的全面发展，在精密制造业、医疗保健、生物工程、太空飞行器等众多领域快速繁荣发展的情况下，对洁净厂房的要求也越来越高，众所周知，洁净厂房不仅有非常苛刻的整洁性和无污染要求，而且对洁净厂房内部空间的温湿度以及空气压力等也有严格要求，但是当前的洁净厂房密封施工尚存在一些不足之处，因此极易对洁净厂房的整洁性造成负面影响，这就需要施工企业充分重视提高洁净厂房密封施工质量，全面细致的分析洁净厂房施工质量控制要点和控制措施，以便有效消除密封施工不到位对洁净厂房造成的不利因素。
洁净厂房质量控制的主要内容包括密封性的保证、室内光洁度的保证、净化空调对室内空气湿度和温度及洁净度的处理、使用过程中的洁净度保持等，本文主要对洁净厂房的密封性和室内光洁度的质量进行阐述。
一、洁净厂房概述洁净室是进行精密电子加工的重要设施，也是体现国家科技制造能力的重要表现，西方国家在洁净室的研发和应用过程中已经经历了百年历史，洁净室所涉及的生产制造类目占比远高于我国。
在洁净室的发展过程中洁净技术是重要的推动力，是一个国家的精密制造水平的表现。
我国的洁净技术相比较西方国家进入时间较短，到了上世纪60年代我国才出现了第一个以电子制造为目的的洁净室，随着世界范围内半导体技术的快速发展，10纳米已经成了当今的主流技术，但是像技术对于洁净技术有着极高的要求，因此生产企业不断引进先进技术，已经在电子制造领域使用了具备国际领先水平的空气清洁技术。
二、做好建设前期各项工作为了提高洁净厂房建设前期各项工作质量，关键要做到与使用部门沟通，充分了解工艺需求，完善各项设计指标；设计要求、内容及范围要明确；认真进行图纸会审和技术交底等工作。
洁净室压差控制要求及控制方法
洁净室压差控制要求及控制方法洁净室（Cleanroom）是一种特殊的环境控制系统，用于在制造、实验和其他敏感应用中维持高度洁净和无尘的空气环境。
洁净室在许多行业中都起到关键作用，如生物医药、半导体制造和食品加工等。
而洁净室压差控制是确保洁净室内外环境隔离的重要方面之一。
本文将介绍洁净室压差的控制要求，并探讨一些常用的压差控制方法。
一、洁净室压差控制要求洁净室压差是指洁净室内外的气压差异。
该压差的控制是为了保持洁净室内的空气无尘和洁净，并防止污染物进入洁净室内部。
关于洁净室压差控制的要求如下：1. 正压差：洁净室应保持正压差。
这意味着洁净室内的气压应高于洁净室外的气压。
正压差可以防止外界的污染物进入洁净室，确保洁净室的空气质量符合要求。
2. 压差等级：洁净室的压差等级应根据具体应用需求进行确定。
不同行业和应用有不同的要求，通常采用的压差等级有ISO 14644标准中的A、B、C、D四个等级，等级A的要求最高，等级D的最低。
3. 压差稳定性：洁净室的压差应具有较高的稳定性。
压差波动过大会导致空气流动混乱，增加微粒的扩散和堆积，从而影响洁净室内的空气质量。
因此，压差的控制应保持在允许范围内，波动尽可能小。
4. 通风量控制：洁净室的通风系统应能够提供足够的空气流量，以保持正压差和压差稳定。
通风量的控制是实现压差控制的重要手段之一。
二、洁净室压差控制方法为了满足洁净室压差的要求，需要采取适当的控制方法。
以下是一些常用的洁净室压差控制方法：1. 风机调速：洁净室的通风系统通常采用风机进行空气循环。
通过调整风机的转速来控制通风量，从而调节洁净室的内外压差。
2. 门窗密封：洁净室的门窗应具有良好的密封性能，以防止外界空气的渗透。
可采用气密性好的材料制作门窗，并加装密封胶条等措施，确保密封性能。
3. 空气过滤：洁净室的通风系统应配置高效空气过滤器，以阻拦微粒和污染物进入洁净室。
根据不同的洁净等级，可选用不同精度的过滤器。
洁净室的压差控制及正压保持方法
洁净室的压差控制及正压保持方法集团公司文件内部编码：（TTT-UUTT-MMYB-URTTY-ITTLTY-随着现代工业高速发展，其产品技术含量更为复杂，为适应愈来愈多的行业依赖于洁净无尘室内生产和装配自己的产品，保证设备的质量稳定和高使用寿命。
于是现代被不断运用于我们各行各业。
如何保证现代洁净室内等级始终满足生产工艺的要求。
现代洁净室技术将洁净室设计建造、洁净室测试与检测、洁净室运行三大范畴介绍，了解洁净室内正压压差控制机理，保证洁净室高效节能运行，是满足现代工业生产对洁净室环境迫切要求。
洁净室首先由建筑设计院根据建设单位要求，根据所属行业产品的环境要求特性配套相应洁净度等级去作好设计工作。
这是属于洁净室设计建造的前提工作，同时也是基础性工作。
（一）洁净室压差的建立洁净室的测试和检测是建设施工单位依据设计单位设计施工图纸，在所有通风和空调设计安装到位后，对一些项目进行的分项分别测试和测定，主要有风量调试和压差调试，洁净度测试，洁净室室内温、湿度的测定。
（1）风量调试：根据设计施工图纸设计计算的送、回管路；设计风量的大小，确定各管路送回风阀门的开启状态，以及各支路风量大小来测试。
本文不在赘述。
（2）洁净度测试：分为空态条件下测试、静态条件下测试、动态条件下测试，分别测试洁净室内粉尘的含量。
空态条件下测试是指系统（洁净室）已处于正常运行状态，但工艺设备、生产人员还未进入情况下测试的。
静态条件下测试是指系统（洁净室）已处于正常运行状态，工艺设备已经安装完成但未运行，室内没有生产人员的情况下进行测试的。
动态条件下测试是指系统（洁净室）已处于正常运行状态，工艺设备、生产人员都已工作的情况下进行测试的。
建设施工单位由分别根据以上的测试结果，对在不同的生产环境条件下对粉尘含量浓度测试，以达到建设设计者和建设单位所要求的洁净度等级，保证这个粉尘浓度始终低于这个数值，合格交付建设单位使用。
（3）压差调试：为防止外部污染物进入洁净室而使室内洁净度增高，要求室内压力保持高于外部压力也就是说在洁净室内要求不同洁净度房间必须保持一定压力梯度，这样可在室内维持一定的压差下有效避免洁净室被邻室污染或污染邻室。
洁净室压差控制要求及控制方法
邱济夫
中电奥星制药系统工程（上海）有限公司
摘要：分析了洁净室压差控制的目的与作用，总结了洁净室压差控制的要求，并对洁净室压 差控制的方法进行了总结与探讨。 关键词：洁净室 压差控制 控制方法
1．引言 洁净室是指悬浮粒子浓度受控的房间。对于 洁净室而言，维持其洁净度级别至关重要，是进 行洁净室内相关生产活动的必需条件。一般来说， 洁净室的设计、建造和运行都要尽量减少周围环 境对洁净室内部空间的干扰和影响，而压差控制 是维持洁净室洁净度等级、减少外部污染、防止 交叉污染的最重要、最有效的手段。 洁净室静压差具有如下作用[1]，[2]： （1）洁净室门窗关闭时，防止周围环境的污 染由门窗缝隙渗入洁净室内； （2）洁净室门窗开启时，保证足够的气流速 度，尽量减少门窗开启和人员进入瞬时进入洁净 室的气流，保证气流方向，以便把进入的污染减 小到最低程度。 当洁净室内工艺生产或活动使得室内空气内 含高危险性的物质，如青霉素等高致敏性药物、 高传染性高危险的病毒、细菌等，洁净室压差需 保持相对负压。 国内外标准、规范[3]，[4]，[5]，[6] ，[7] ，[8] ，[9]对 于洁净室的对外压差做了规定，或者给出了压差 控制的要求和指南。 本文将讨论洁净室压差控制的要求，并对洁 净室压差控制的方法进行探讨。 2．洁净室压差控制要求 2．1 概述 国内外标准、规范对洁净室压差控制的推荐 值不尽相同。《洁净厂房设计规范》中规定，“不 同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压 差，应不小于 5Pa，洁净区与室外的压差，应不 小于 10Pa”。 由于各个行业洁净室内污染控制的需求不 同，各个行业之间对于洁净室压差控制的要求也 不尽相同。电子、医院、医药工业、动物实验等 行业的洁净室，因为其污染控制需求不同，产生
洁净区域压力梯度分析及控制方法探讨
一
制方 法 的合理选用将 在保证 洁净室 可靠运 行 的基础 进 一步 实现运 行节 能 。本 文 以典 犁 的多区域 洁净 室 为研究 对象 ，提 出多区域耦 合分 析方法 ，实现对
洁净 空 调技术 Ｃ Ｃ ＆ Ａ Ｃ
第４ 期
洁 净 区域 压 力梯 度 分析 及 控 制 方法探 讨
建筑 安全 与环 境 国家重 点 实验 室、 天津城 建 大 学能 源与 安全 实验 中心 王 宇 周 令 昌
摘 要 为保证 多 区域洁净 室的可靠运行 ，对 洁净 区域压 力梯度 的分析 方法和有效控 制方案进行 了深入探讨 。 结合 多 区通 风 网络分析 方法 和计 算流体 力学分 析方 法构建 了洁净 室多 区域 耦合分 析模 型，为压 力梯度 的合 理 设 置及 洁净 室设 计和 运行评 价确 立 了有效 的方法 ；综 合分 析净 化工程 中现 有 的压力控 制措 施并结合 分析 模 型 提供 的控 制参数 优化设 置 方法 明确 了压 力梯度 的控 制 方案 ，为实现 洁净 室 的高 效运行 提供 了参 考。 关 键词 洁净 室；压力梯度 ；分析模 型 ；控制 方法
０ 引言
洁净室 不 同级 别洁净 区之 间应 当维持 一定 的压 差 ，即压 力梯 度 ，必要 时相 同洁净级 别 的不 同功能 区域 之 间也应 当保持 适 当的压 力梯度 。维持压 力梯 度 的主要 作用 仃两个 方面： ‘ 是在 洁净 室 门窗关 闭
洁净室中正压负压的概念
洁净室中正压负压的概念洁净室是一个特殊的环境，主要用于对物体进行精细加工或对生物材料进行实验，在此环境中要求空气中的微粒、细菌、病毒等污染物的浓度要控制在一定的范围内。
洁净室的设计和操作方法可以根据需要进行调整，以满足特定的应用要求。
在洁净室中，正压和负压是两种常见的压力调节技术，下面将详细介绍这两种概念。
1. 正压洁净室：正压洁净室是指洁净室内部的空气压力大于室外的压力。
这意味着洁净室中的空气流向室外，从而防止外界空气中的微粒、细菌等污染物进入洁净室。
正压洁净室通常通过送风系统向室内提供干净的空气来形成正压环境。
送风系统一般包括HVAC（Heating, Ventilation and Air Conditioning）系统，它通过滤芯和风机将室外的空气过滤并送入洁净室内部。
这些送风口一般安装在天花板或墙壁上，可以使空气从洁净室的上部进入室内并维持正压环境。
正压洁净室的主要优点在于，可以很好地保护洁净室内的物体或生物样本免受外界污染。
由于空气流向室外，外界的微粒、细菌等污染物很难进入洁净室，从而保证内部环境的洁净度。
此外，正压洁净室还可以通过控制室内空气的压力差，使洁净室内部的空气流向特定的区域或设备，以满足不同应用的需求。
2. 负压洁净室：负压洁净室是指洁净室内部的空气压力小于室外的压力。
在负压环境下，洁净室的空气不会向室外流动，而是会被过滤并循环使用。
负压洁净室通常通过排风系统来实现，该系统将洁净室内部的空气抽取出去，并经过过滤后再送回室内。
排风系统一般包括风机、排风管道以及过滤器等设备，通过排出室内空气中的污染物，使洁净度得到保持。
负压洁净室主要用于防止洁净室内部的污染物向外界传播。
比如，在医院中，负压洁净室可以用于收治传染性疾病患者，以防止病原体向外界传播。
此外，负压洁净室还可以用于危险物质的处理或实验，以防止危险物质泄漏。
总结：正压和负压是洁净室中用于控制空气流动和保持洁净度的两种技术。
洁净室的压差控制及正压保持方法讨论
空态条件下测试是指系统(洁净室)已处于正常运行状态，但工艺设备、生产人员还未进入情况下测试的。
静态条件下测试是指系统(洁净室)已处于正常运行状态，工艺设备已经安装完成但未运行，室内没有生产人员的情况下进行测试的。
动态条件下测试是指系统(洁净室)已处于正常运行状态，工艺设备、生产人员都已工作的情况下进行测试的。
建设施工单位由分别根据以上的测试结果，对在不同的生产环境条件下对粉尘含量浓度测试，以达到建设设计者和建设单位所要求的洁净度等级，保证这个粉尘浓度始终低于这个数值，合格交付建设单位使用。
(3)压差调试：为防止外部污染物进入洁净室而使室内洁净度增高，要求室内压力保持高于外部压力也就是说在洁净室内要求不同洁净度房间必须保持一定压力梯度，这样可在室内维持一定的压差下有效避免洁净室被邻室污染或污染邻室。
压差调试的过程为保证洁净室换气次数及设备排风和除尘效果，尽量不改变送风量及设备排风机和除尘风机的风量。
主要通过调节回风量和系统排风量进行压差调整。
《洁净室设计规范》明确说明洁净室室内压力保持高于外部压力，则称为正压洁净室，反之称为负压洁净室。
正压与负压是相对而言，一个洁净室对大气而言是正压洁净室，但对另外一个房间而言可能是负压洁净室。
并规定不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差不小于5Pa，洁净区与室外的压差不小于10Pa.人净区内各功能房间应顺人净路线为：非洁净走廊、换鞋、一次更衣室、二次更衣室、缓冲间、洁净内走廊。
洁净室内走廊与非洁净区至少维持30Pa正压压差。
这种压差建立基本原理是送风量大于回风量、排风量、渗漏风量来维持正压。
通过洁净室的送入风量与排风量+压差风量(余风量)之间达到平衡便建立压差。
对全新风空气系统：新风量=排风量+压差风量对循环空气系统：新风量+回风量=回风量+排风量+压差风量归根到底洁净室压差，即新风量=排风量+压差风量，它们之间平衡关系建立。
总之，设计、施工和调试是保证净化系统正常运行的三个重要环节，通过调试我们可以对系统运行中出现的问题有所了解，从而可以完善设计方案，规范施工操作，避免以上问题的出现。
洁净室的压差控制方法及控制要求
洁净室的压差控制方法及控制要求【摘要】对洁净室常用的压差控制方法进行归纳及讨论,总结了洁净室压差控制的要求。
本文从便于实现压力控制与节能的角度出发, 提出了对洁净室的压差风量进行主动控制的观点与并通过实验初步探讨了相应的控制方法。
【关键词】洁净室压差控制1.引言洁净室就是指悬浮粒子浓度受控的房间。
对于洁净室而言,维持其洁净度级别至关重要,就是进行洁净室内相关生产活动的必需条件。
一般来说,洁净室的设计、建造与运行都要尽量减少周围环境对洁净室内部空间的干扰与影响,而压差控制就是维持洁净室洁净度等级、减少外部污染、防止交叉污染的最重要、最有效的手段。
洁净室静压差具有如下作用:(1)洁净室门窗关闭时, 防止周围环境的污染由门窗缝隙渗入洁净室内。
(2)洁净室门窗开启时, 保证足够的气流速度,尽量减少门窗开启与人员进入瞬时进入洁净室的气流,保证气流方向,以便把进入的污染减小到最低程度。
当洁净室内工艺生产或活动使得室内空气内含高危险性的物质,如青霉素等高致敏性药物、高传染性高危险的病毒、细菌等,洁净室压差需保持相对负压。
国内外标准、规范[3], [4],[5],[6],[7],[8],[9] 对于洁净室的对外压差做了规定,或者给出了压差控制的要求与指南。
本文将讨论洁净室压差控制的要求,并对洁净室压差控制的方法进行探讨。
一)洁净室压差的建立洁净室的测试与检测就是建设施工单位依据设计单位设计施工图纸,在所有通风与空调设计安装到位后,对一些项目进行的分项分别测试与测定,主要有风量调试与压差调试,洁净度测试,洁净室室内温、湿度的测定。
(1)风量调试:根据设计施工图纸设计计算的送、回管路;设计风量的大小,确定各管路送回风阀门的开启状态,以及各支路风量大小来测试。
本文不在赘述。
(2)洁净度测试:分为空态条件下测试、静态条件下测试、动态条件下测试,分别测试洁净室内粉尘的含量。
空态条件下测试就是指系统(洁净室)已处于正常运行状态,但工艺设备、生产人员还未进入情况下测试的。
如何无尘车间的压差进行控制？
如何无尘车间的压差进行控制？为了保证无尘车间在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时，如开、关门时，气流都能逐渐地从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域，使室内洁净度不会受到污染空气的干扰，所以无尘车间必须保持一定的正压。
正压值应选择恰当。
如过小则无尘车间的正压容易被破坏，影响室内洁净度；如过大则空调净化系统处理风量增大，空调负荷增加，过滤器使用寿命缩短，所以不经济。
此外正压值高于50Pa时，无尘车间的门内开就很费劲。
无尘车间的正压值国内外相关标准对无尘车间的正压值都作了规定。
例如美国联邦标准FS-209b中规定无尘车间与任何相邻的低洁净度区域之间的最小正压差为13Pa（0.05in水柱），美国宇航局标准NASA NHB 5340.2的规定值与FS-209b相同。
日本的规定如下：不同级别无尘车间最小压差为5Pa；无尘车间和准无尘车间之间最小压差为10Pa；无尘车间和一般房间之间最小压差为15Pa。
中国《无尘车间设计规范》（GBJ 73—84）第5.2.1条规定“无尘车间必须维持一定的正压。
不同等级的无尘车间以及无尘区与非无尘区之间的静压差，应不小于5Pa，无尘区与室外的静压差，不应小于10Pa”。
新规范GB 50073—2001有关压差的规定（6.22款）与上述规定一致。
药品生产管理规范（GMP）实施指南也有类似的规定。
第2.1.4.2条“压差”中作了如下说明：“无尘车间必须维持一定的正压，可通过使送风量大于排风量的办法达到。
不同等级的无尘车间以及无尘区与非无尘区之间的静压差应大于或等于5Pa，无尘区与室外的静压差应大于或等于10Pa。
工艺过程产生大量粉尘、有害物质、易燃易爆物质的工序，其操作室与其他房间或区域之间应保持相对负压。
”此条后半部分结合了制药工艺的特点，特别指明某些生产工艺过程产生粉尘及其他有害物质时，维持与其他区域的相对负压，防止有害物扩散并污染其他区域也是压控制的一个重要方面。
药品生产质量管理规范（1998年修订）第十六给出了同样的压差规定，但特别强调“并应有指示压差的装置”以便及时检查。
洁净区压差异常处理
洁净区压差异常处理洁净区（Cleanroom）在许多行业中起着至关重要的作用，特别是在生物技术、医疗设备制造以及制药等领域。
洁净区的设计和运作必须高度严谨，以确保产品的质量和安全性。
然而，有时在洁净区内部可能会出现压差异常的情况，这可能对工作环境和产品质量产生负面影响。
本文将就洁净区压差异常的发生原因和处理方法进行深入探讨。
1. 压差异常的原因在洁净区内部，通常会有多个区域，按照洁净度的要求从高到低排列。
而这些区域间的压差控制十分重要，因为它可以防止污染物进入到洁净度要求更高的区域。
然而，有时候可能会出现洁净区压差异常的情况，而主要的原因可能包括以下几点：1.1 负压区域机械故障：负压区域是洁净区中的关键区域，其压力必须低于周围区域，以阻止污染物进入。
当负压区域的风机或排风系统发生故障时，可能导致压差异常。
1.2 风向调节故障：洁净区内的风向调节装置，如排风罩和新风进风罩，用于良好热熔机油保持适宜的气流方向和速度。
然而，当这些装置出现故障时，可能会引发压差异常。
1.3 通风系统不平衡：洁净区的通风系统必须平衡，以确保压差的正确控制。
如果通风系统的供气和排气量不平衡，可能会导致压差异常的出现。
2. 处理压差异常的方法一旦发现洁净区存在压差异常的情况，应及时采取措施进行处理，以确保洁净度的要求得到满足。
以下是一些常见的处理方法：2.1 检修和更换设备：如果发现负压区域的机械设备故障，应立即进行检修和更换，以保证正常运行。
这可以通过定期维护和巡检来预防故障的发生。
2.2 调整风向装置：当风向装置出现故障时，应立即调整或更换，以确保气流方向和速度的正确控制。
这需要专业的技术人员对设备进行检修和调整。
2.3 平衡通风系统：如果发现通风系统的供气和排气量不平衡，可以通过调整风机转速或进出风口面积来达到平衡。
这需要密切关注通风系统的运行情况，并进行合适的调整。
3. 个人观点和理解洁净区压差异常的处理对于确保洁净区的正常运行和产品质量的保证至关重要。
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子、 核子 、航空航天 、 生物工程 、制药 、 精密机械 、 化 工、 食品 、 汽车制造等高科 技工业领域及现代科 学领域
中得到广泛应用 。 对于半导体设 备来讲 ， 净化工程技术 在微电子技术中起着十分重要的作用 。 微电子技术的核
大量使用的高效过滤器 的研究从未 中断 ， 几年来一直在
开发不同结构 、 不同性能的新产 品， 美国 自１７ 年开始 ９９ 研制 ０１ ｍＵＬ Ａ过滤器 ，１ ８ ． Ｐ ９４年美国 Ａ Ｆ公 司开 Ａ 始生产０１ ｍ无隔板Ｕ Ｐ ． Ｌ Ａ过滤器 ， 目前０１ Ｌ Ａ ． ｍ Ｕ Ｐ
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洁净厂房正压 控制 问题讨 论
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第７ 卷第５ 期
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过 滤 器在 美 国 ＡＡＦ公 司 、Ｆ ＬＡＮＤＥＲＳ公 司和 Ｃ ＭＢ Ｉ Ｇ Ａ Ｒ Ｄ Ｅ公司 已形成商 品化生 产。 日本也 已成为 世界上生产 ０１ａ Ｕ Ｐ ． ｌｍ Ｌ Ａ过滤器厂家最多 的国家 ，品 ，
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关 键 词 ：洁净 厂 房 ；洁 净度 ；温 湿度 ；正 压 ；过 滤 器
中图分类号 ：Ｔ ０ ． Ｎ３ ５９ ７
文献 标 识码 ：Ａ
文章 编号 ：１８ —０ ０（ ０ ７）０ —０ ３０ ６ １１ ７ ２ ０ ５０ ３ —５
ＴｈｅＣｏ ｒ ｌ ｏ ｅ ｆｔ ｅＲｏ ｍ ｅ ｓ ｅＶ ｎ ｅ ｎｒ ｏ ｎｔ ｏ ｂｌｍ ｏ ｏ Ｐｒ ｓ ｕｒ Ｐｒ ｈ ｅｉ Ｃｌａ ｏ ｍ ｎ
二、 三十年来随着高新技术发展起来 的一门综合性的新 兴科学技术 。 洁净技术专门研究并提供洁净的生产工艺
环境和生产过程 中使用的各种高纯介质 ， 有效地控制微 量杂质 ， 以保证高科技产品的成 品率和可靠性 。 洁净技 术通常包括：空气净化技术 、 空调技术 、水纯化技术 、 气体纯化技 术、 微量杂质控制技术 、 洁净环境的监测技 术及相关的环境质量 的控制技术 。净化工程技术在 电
（ 锡微 电子科 研 中心 ，江苏 无 无锡 ２４３ １ ０ ５）
摘
要 ：文章重 点探讨 了洁净厂房的正压值 的控制 问题 ，讨论 了正压值 与洁净度 以及温度湿度之 间的
关 系。根据现有 洁净厂房的生产条件 ，分析 了正压值和洁净度 以及 温湿度不 能达标的具体原 因。探 索
了实际生产 中正压值控制 的方法 ，并验证 了其可行性。
ＪＡＮ Ｇ ａ Ｉ Ｍ ｏ， Ｐ ＡＮ ｏ ｈ ａ， Ｗ ＡＮＧ ｉ— ｕ Ｇｕ — ｕ Ｔｅｋ ｎ
（ ｕ ｉ ｃｏｌｃ ｏ ｉｓ ｎ ｔｕｅＷ ｘ １０ ５Ｃ ｉ Ｗ ｘ Ｍｉｒｅ ｔ ｎｃ ｓｉ ｔ， ｕ ｉ ４ ３ ，ｈｎ ｅｒ Ｉ ｔ ２ ａ）
Ａｂｓｒ ｃ ：Ｔｈ ｓｐ ｐ ｒｄ ｓ ｕ ｓ ｓｔｅｃ ｎｔｏ ｒ ｂ ｅ ｆｔ ｅｒ ｏ ｐ ｅ ｓ ｒ ａｕ ｆｔ ｅｃｅ ｎ ｏ ｍ ． ｅｃ ｎ ｅ — ｔａ ｔ ｉ ａ ｅ ｉｃ ｓ ｅ ｏ ｒ ｌ ｏ ｌｍ ｏ ｏ ｍ ｒ ｓｕ ｅｖ ｌ ｅｏ ｌ ａ ｒ ｏ ｈ ｐ ｈ ｈ ｈ Ｔ ｏ ｎ ｃ
心是集成 电路 ， ’ 而集成电路 的生产对其工艺环境和工艺
１ 前言
洁净技术又称为设备提出了严格 的要求 。
２ 国内外洁净技术发展及 现状
我国的洁净技术和设备与国外先进 国家相比差距是
明显的 ，我 国 １６ 年才开始生产 Ｈ Ｐ ９５ Ｅ Ａ过滤器 ，比国 外晚 了 ｌ 年 。１７ 年开始生产 的光散射尘埃粒子计数 ５ ９５ 器 比国外 晚了２ 年 。 ． ｍ洁净技术和设备在国际上 ０ ０１ 先进 国家 已成 为成 熟技术 ，我 国则 刚刚起步 。 世界各工业先进 国家为适应超净技术 的发展 ，对