SWCNT气体传感器的NO2气敏特性

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ｅｅｒｐｏｅｉ１ＡｏｒｅｍｉｏｃｐＡＭ）ｎｃｎｉｇｅｃｒｎｍｃｏｃｐＳＭｉｇｓｒｖａｄｔａＳＮｓｌｔｈｒｔａ．ｔｍｆｃｃｓｏｙ（Ｆａｄｓａｎｎｌｔｉｒｓｏｙ（Ｅ）ｍａｅｅｅｌｔＷＣＴｅｏｃｏｒｅｏｅｈ
ｔｔｎＳＮｅｄｅｅｔｒｎｉｏ（ＷＣＴＦｇｏｔｓａｅｓｒｅｅｔｎｄｖｃａｂａｅｙｕｉｇｄ～ｅｉ．ＷＣＴｆｌｆｃｔｓｔｒｃｏｉｆａｓＳＮ — Ｅｅｍｅｙａｇｓｎｏｔｃｏｅｉｗｓｏｔｎｄｂｓｉｒａｓｄｉｅｉｎ
科毗技＿上的气体分子解附，使气体传感器可重复利用。蠡
０
Ｓｎｌ－ｌｄＣａｂｎＮａ０ｕｅｂｓｄＧａｅｓｒｏｉｇｅｗａｌｒｏｎｔｂ — ａｅｓＳｎｏｓｆｒＮｏ２Ｄｅｅｔｏｅｔｃｉｎ
第３期２１年６月０２
Ｎｏ３．
Ｊｎ０１ｕｅ２２
ＳＣＴ气体传感器的Ｎ２ＷＮＯ气敏特性米
许可，吴成东，刘剑，李孟歆
（．沈阳建筑大学信息与控制工程学院，辽宁沈阳１０６）１１１８（．东北大学信息科学与工程学院，辽宁沈阳１００）２１０４摘
Ａｂｔａｔｉｇｅｗａｌｄｃｒｏａｏｕｅａｅｂｅｒｐｒｄｔｍｐｏｅｔｅｓｎｉｖｔｎｈｐｅｉｅｓｏｓｒｃ：Ｓｎｌ — ｌａｂｎｎｎｔｂｓｈｖｅｎｐｅａｅｏｉｒｖｈｅｓｔｉａｄｔｅｓｅｄｎｓｆＮＯ２ｅｅｉｙ — ｄ
纳．米洮重Ｃ
成功地把ＳＮｓＷＣＴ装配到芯片的源漏两极间；通入Ｎ０气体前后电特性变化情况的测试结果表明，选择接入电场频率为２ｚＭＨ，峰峰值电压１Ｖ，介电电泳持续时间１ｓ，制备出ＳＮ — ００时ＷＣＴ
ＦＴ功率高，通Ａ－Ｏ气体后的电导率增加三个数量级。利用紫外光持续照射ｌｍｉ，ＳＮＥ成ＮＯｎＷＣＴ关键词：单壁碳纳米管；气敏特性；介电电泳；二氧化氮
№
要：为了提高ＮＯ气体检测的灵敏度和速度，以单壁碳纳米管（ＷＣＴ为装配介质，采ＳＮ）
用介电电泳方法获得单壁碳纳米管场效应晶体管（ＷＣＴＦＴ作为气体传感器检测装置，通ＳＮ —Ｅ）
过原子力显微镜（ＦＡＭ）和扫描电子显微镜（ＥＳＭ）表征，结果显示，利用介电电泳方法能够
ｗｒｓｅｌｄｂｔｅｎｔｅｍｉｒｅｅｔｏｅｆｆｌｆｃｒｎｉｏ．ＷＣｓｗｅｅａｆｃｅｙｔｅｅｅｔｐｏｅｉｏｃｅｅａｓｍｂｅｅｗｅｈｅｏｌｃｒｄｓｏｅｄｅｆｔａｓｓｒＳｉｅｔｔＮＴｒｆｔｄｂｈｌｅｒｈｒｔｆｒｅｅｏｃｗｈｃｓｃｒｉｄＯｔｙｔｅｒｌｔｄｔｅｒｔａｎｌｓｓｉｏｕｉｒｅｅｔｃｆｅｄＴｅｅｅｔｉａｅｆｒａｃｆＮＯ２ｉｈｗａａｒｕｈｅａｅｈｏｅｉｌａａｙｉｎａｎｎｎｆｍｌｃｒｌ．ｈｌｃｒｌｐｒｍｎｅｏｅｂｃｏｉｉｃｏｇｓｓｎｏｔＷＣａｅｓｒｗｉＳｈＮＴ— ＴｔｕｔｒｓｔｓｄｂｆｒｎｆｒＮＯ２ａｏｍｅｅａｕｅｘｅｉｎａｅｕｔＦＥｓｓｒｃｕｅｗａｅｔｅｏｅａｄａｅｅｔｔｒｏｔｍｐｒｔｒ．Ｅｐｒｍｅｔｌｒｓｌｓ
ｘｕＫｅ，ＷＵＣｅｇｄｎ２ＬＵＪａＬｎ－ｉｈｎ－ｏｇ，Ｉｉｎ，ＩＭｅｇｘｎ
（．ＳｈｏｏＩｆｒｔｎ＆ＣｎｒｌｎｉｅｒｇｈｎａｇｉｚｕＵｉｒｔ，１ｃｏｌｆｎｏｍａｏｉｏｔｇｅｎ，ＳｅｙｎａｈｎｖｓｙｏＥｎｉＪｎｅｉ
ｓｏｄｔａｈｅｅｆｃｅｓｅｂｙｏＷＣＮＴｓｗａｂａｎｄｗｈｎｔｐｉｄａｔｒｔｎｇｃｒｅｏｔｇａｒｑｕｎｃｈｗｅｈｔｔｆｉｎｔａｓｍｌｆＳｉｓｏｔｉｅｅｈｅａｐｌｅｌｅｎａｉｕｒｎｔｖｌａｅｈｓａｆｅｅｙ
Ｓｅｙｎ１０６，Ｃｉａｈｎａｇ１８ｈｎ）１（．Ｓｈｏｏｆｒｔｎｃｅｃ＆ｎｉｅｒｇｏｔｅｓｒｎｖｒｉ，Ｓｅｙｎ１０，ＣｎＵｉｓｙｈｎａｇ０４ｈｎ）ＩｉＳｎｎｈｅｅｔ１０