静电悬浮转子微陀螺信号发生电路有源带通滤波器设计

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完整的有源滤波器设计之欧阳理创编

一．项目意义与目标意义：本项目通过一个比较综合的、能覆盖《模拟电子技术》这门课程的大部分内容的三级项目，使我们能将整个课程的内容串联起来，实现一个系统的功能，巩固整个课程的学习内容，为以后学习和设计提供良好的模拟电子线路知识。

本次有源滤波器设计主要注重的是电子电路的设计、仿真，意在培养学生正确的设计思想方法以及思路，理论联系实际的工作作风，在加深对知识的理解基础上，进一步培养学生综合运用所学知识与生产实践经验，分析和解决工程技术问题的能力。

目标：掌握有源滤波器的分析和设计方法，学习有源滤波器的调试、幅频特性的测量方法，通过仿真的方法来研究滤波电路，了解元件参数对滤波效果的影响，尝试着制作实物来验证理论以及仿真求得的结果并比较三者之间的差距。

二．项目内容与要求内容：滤波器是一种能够使有用频率信号通过，而同时抑制（或衰减）无用频率信号的电子电路或装置，在工程上常用它来进行信号处理、数据传送或抑制干扰等。

有源滤波器是由集成运放、R、C组成，其开环电压增益和输入阻抗都很高，输出阻抗又低，构成有源滤波电路后还具有一定的电压放大和缓冲作用，但因受运算放大器频限制，这种滤波器主要用于低频范围。

要求：在模电课程对有源滤波器所学到的知识的基础上，设计出一阶低通有源滤波电路，一阶高通滤波电路，二阶低通滤波电路，二阶高通滤波电路，二阶带通滤波电路，二阶带阻滤波电路。

研究和设计其电路结构、传递函数，并对有关参数进行计算，再利用multisim 软件进行仿真，组装和调试各种有源滤波器，探究其幅频特性。

经过仿真和调试，观察效果。

由滤波电路的曲线可以看出通带的电压放大倍数、通带上限截止频率，下限截止频率，特征角频率等的实际值，与计算出的理论值相比较，分析误差。

三．实验原理程序设计一阶低通滤波电路：一阶有源低通滤波电路是一个一级RC低通电路的输出端再加上一个电压跟随器，使之与负载很好的隔离开来。

由于电压跟随器的输入阻抗很高，输出阻抗很低，因此，其带负载的能力得到了加强。

巴特沃斯带通滤波电路

模拟滤波器在测试系统或专用仪器仪表中是一种常用的变换装置。

例如：带通滤波器用作频谱分析仪中的选频装置；低通滤波器用作数字信号分析系统中的抗频混滤波；高通滤波器被用于声发射检测仪中剔除低频干扰噪声；带阻滤波器用作电涡流测振仪中的陷波器等等。

下面就在低频高阶滤波电路中应用较多的巴特沃斯滤波器的设计交流下自己的做法。

本设计只讨论有源带通滤波器的设计，因为带通包含了低通和高通的电路，暂不分别讨论。

设计中运放选择TI产品典型的通用双放LM358，LM358里面包括两个高增益、独立的、内部频率补偿的双运放，适用于电压范围很宽的单电源，而且也适用于双电源工作方式，特点方面具有低输入偏置电流、低输入失调电压和失调电流，它的共模输入电压范围较宽，差模输入电压范围等于电源电压范围，单电源供电电压3-32V，双电源供电±1.5-±16V，单位增益带宽为1MHz，适用于一般的带通滤波器的设计，同时具有低功耗的功能，对于设计阶数相对高一些的带通滤波器的话，可以选用TI的四运放LM324，其性能与LM358大体相同，应用起来节省空间。

对于运放的要求此设计不是特别高，只要运放的频率满足低通的截止频率即可，如果精确度要求高的话那么首先运放的供电电压要足够稳定，或者选择精密运放，如TLC274A，否则通用的即可，例如推荐TI的LM224四运放。

巴特沃斯带通滤波器幅频响应在通带中具有最平幅度特性，但是从通带到阻带衰减较慢，如果对于过渡带要求稍高，可以增加阶数来实现，否则改选用切比雪夫滤波电路。

下面讨论设计两种带通滤波器，其一为二阶低通滤波器和二阶高通滤波器组成的四阶带通滤波器，如下图：图1 四阶带通滤波器参数选择与计算：对于低通滤波器的设计，电容一般选取1000pF，对于高通滤波器的设计，电容一般选取0.1uF，然后根据公式 R=1/2Πfc计算得出与电容相组合的电阻值，即得到此图中R2、R6和R7，为了消除运放的失调电流造成的误差，尽量是运放同相输入端与反向输入端对地的直流电阻基本相等，同时巴特沃斯滤波器阶数与增益有一定的关系（见表1），根据这两个条件可以列出两个等式：30=R4*R5/(R4+R5)，R5=R4(A-1),36=R8*R9/(R8+R9)，R8=R9(A-1)由此可以解出R4、R5、R8、R9，原则是根据现实情况稍调整电阻值保持在一定限度内即可，不要相差太大，注意频率不要超过运放的标定频率。

电路实验报告12 有源滤波器设计

实验报告课程名称：电路与电子技术实验II 指导老师：沈连丰成绩：__________________ 实验名称：有源滤波器设计实验类型：________________同组学生姓名：__________ 一、实验目的和要求（必填）二、实验内容和原理（必填）三、主要仪器设备（必填）四、操作方法和实验步骤五、实验数据记录和处理六、实验结果与分析（必填）七、讨论、心得

一、实验目的和要求 1、掌握有源滤波器的分析和设计方法。 2、学习有源滤波器的调试、幅频特性的测量方法。 3、了解滤波器的结构和参数对滤波器性能的影响。 4、用EDA仿真的方法来研究滤波电路，了解元件参数对滤波效果的影响。

二、实验内容和原理 1、滤波器的5个主要指标： (1) 传递函数Av(s) ：反映滤波器增益随频率的变化关系，也称为电路的频率响应、频率特性。 (2) 通带增益 Avp ：为一个实数。（针对LPF）、（针对HPF）、（针对BPF）、（针对BEF）。 (3) 固有频率 f0 ：也称自然频率、特征频率，其值由电路元件的参数决定。 (4) 通带截止频率fp ：滤波器增益下降到其通带增益Avp 的 0.707倍时所对应的频率（也称 –3dB 频率、半功率点、上限频率（H 、fH ）或下限频率（L 、fL ）。 (5) 品质因数Q：反映滤波器频率特性的一项重要指标，不同类型滤波器的定义不同。例如，在低通和高通滤波器中，定义为当时增益的模与通带增益之比。

2、有源滤波器的设计流程：设计一个有源低通滤波器时，一般可以先按照预定的性能指标，选择一定的电路形式，然后写出电路的电压传递函数，计算并选定电路中的各个元器件参数。最后再通过实验进行调试，确定实际的器件参数。

三、实验器材运放LM358、

四、操作方法和实验步骤 1、实验内容 (1) 在实验板上安装所设计的电路。 (2) 有源滤波器的静态调零。 (3) 测量滤波器的通带增益Avp、通带截止频率 fp。 (4) 测量滤波器的频率特性（有条件时可使用扫频仪）。 (5) 改变电路参数，研究品质因数Q 对滤波器频率特性的影响。

高阶有源带通滤波器课程设计

2013级《模拟电子技术》课程设计说明书高阶有源带通滤波器课程设计评定意见学院：电气与信息工程学院适应专业：自动化、电气工程及其自动化、通信工程、电子信息工程、设计任务内容及任务,中心频率1KHZ,通频带学院：电气与信息工程学院适应专业：自动化、电气工程及其自动化、通信工程、电子信息工程摘要滤波器在现实生活中非常重要，运用广泛，在电子工程、通讯工程、自动化控制等技术领域，经常需要用到各种各样的滤波器。

随着集成电路的迅速发展，用集成运放可以很方便地构成各种滤波器。

用集成运放实现的滤波器与其他滤波器相比，稳定性和实用性等性能指标，有了很大的提高。

滤波器在电路实验和设备检测中具有十分广泛的用途，通过对滤波器的原理以及结构的认识设计一个通带为800Hz〜1200Hz增益为2〜3倍，中心频率为1000Hz的带通滤波器。

确定设计方案，设计选用UA741芯片作为电路的放大器，计算出该方案需要的电阻、电容、运算放大器参数，再用Multisim 对电路进行仿真，观察电路的幅频特性曲线，然后用AD软件制作带通滤波器电路板，制作完成后，再对电路板进行调试，误差分析，把理论值与测试值进行对比，在误差允许的范围内，证明此次设计的滤波器是成功的。

最终得到一个满足课程设计的高阶有源带通滤波器。

关键词：有源；带通；滤波器；UA741;幅频特性曲线目录1 概述. (1)1.1带通滤波器的简介和功能 ................ 错误! 未定义书签。

1.2滤波器的传递函数与频率特性 (1)1.2.1二阶RC滤波器的传递函数 (1)1.2.2 滤波器的频率特性 (3)1.3工作原理 (4)1.3.1高阶滤波器的工作原理 (4)1.3.2直流稳压电源的工作原理 (4)1.4滤波器的主要特性指标 (4)1.4.1特征频率 (4)1.4.2增益与衰减 (4)1.4.3阻尼系数与品质因数 (5)2 滤波器设计方案....................... 错误! 未定义书签。

有源带阻滤波器设计实验报告

有源带阻滤波器设计实验报告班级:电子信息工程四班姓名：石昊阳学号：2220121300一、实验目的采用通用运放LM324设计一个有源带阻滤波器电路。

二、技术指标：通带电压增益：1.0输入信号频率范围：0~100KHz中心频率：2KHz带阻宽度:1.6~2.4KHz输入信号电压：UI <100mV电源电压：±12V内任选。

三、实验仪器：信号发生器，示波器，面包扳，交流毫伏表，稳压电源。

四、设计要求熟悉电路的工作原理。

根据技术指标通过分析计算确定电路形式和参数元件。

画出电路原理图。

（元器件标准化，电路图规范化）计算机仿真。

五、参数计算：1.通带增益2.中心频率3.带阻宽度B＝2（2－Aup）f04.选择性5.传输函数6.其中，通带电压放大倍数：7.阻带中心处的角频率：8.品质因数：因题目所给增益为1.0 ，中心频率2.0khz，将技术指标带入上述公式，取R1=2k,R2=61K，R3=1K,R4=20，R5=2.3K，C1=6.8nF,C2=6.8Nf,C3=13.6nF。

六、计算机仿真：线路图如图：仿真波特图：由电路图，波特图可以看出，各项指标均符合要求。

中心频率1.991KHz，当衰减3dB时，上下限频率分别为1.633KHz,2.43kHz，，阻带宽度，中心频率，通频带电压增益在误差范围内，符合技术指标。

七、电子元件选择：61K电阻由10K电阻和51K电阻串联。

2.3K电阻由2K和200欧，100欧电阻串联。

13.6nF电容由一个1nF和3.3nF并联代替。

共计：20欧电阻一个，100欧电阻一个，200欧电阻一个，1K电阻一个，2K电阻两个，10K电阻一个，51K电阻一个，1nF电容一个，3.3nF电容三个。

八、实际电路数据记录：经过对实物连接电路的测试，带阻滤波器的中心频率大约为2.00KHz，通带大约在1.75KHz-2.24KHz之间，基本满足实验设计精度要求。

九、误差分析1.对面包板并不是太熟悉，导致接线过程中，地线接错，带阻滤波器变成低通滤波器，并在反复检查电路时并没有注意到这个问题，耽误了实验进程，好在及时排除了错误，试验得以顺利继续。

一种单轴MEMS陀螺仪信号处理电路设计

摘
要以ＭＥＭＳ陀螺仪传感器为基础，设计了一种闭环驱动开环检测的单轴ＭＥＭＳ陀螺仪信号处理电路。采用
时域分析方法，对ＭＭＳ陀螺仪闭环驱动环路进行了稳定性分析，并提出了一种对等效电容共模部分不敏感的ＣＥＶ转
换结构。结果显示，线性度＜ ± ．％、功耗＜１０ｍ、ＡＣ分辨率＞１ｉ０５５ＷＤ１ｂ。ｔ
关键词
微机械陀螺仪；闭环驱动；电容电压转换Ｔ４２Ｎ９文献标识码Ａ文章编号１０７２（０１１０７— ８０２１）０—０７—００４ ‘
中图分类号
ＤｅｉｎｏｉｇｅＡｘｓＭＥＭＳＧｙｏｃｐｉｎｌＰｏｅｓＣｉｃｉｓｇｆａＳｎｌ－ｉｒｓｏｅＳｇａｒｃｓｒｕｔ
路。目国内在信号处理电路方面还处于ＰＢ板级前Ｃ电路，芯片级信号处理电路更能体现体积小、量而重轻、功耗低等优势，因此，芯片级ＭＭ陀螺仪信号处ＥＳ理电路的实现成为ＭＭ陀螺仪产业化的关键。ＥＳ
图１ＭＥＭＳ陀螺仪模型
稳定，并且易于实现数字化和智能化等优点，而成为倍
受关注的研发领域。ＭＥＭＳ结构形成的电容变化具有受温度影响小、定性好等特点，稳目前国内外众多公司
和研究所均集中于研究和开发电容式ＭＥＭＳ陀螺仪。
ＭＥＭＳ陀螺仪主要包括ＭＥＭＳ传感器和信号处理电

模电课程设计：二阶有源带通滤波器

模电课程设计：二阶有源带通滤波器课程设计任务书学生姓名：XXX 专业班级：电信XX指导教师：曾刚工作单位：信息工程学院题目：有源带通滤波器初始条件：具备模拟电子电路的理论知识；具备模拟电路基本电路的设计能力；具备模拟电路的基本调试手段；自选相关电子器件；可以使用实验室仪器调试。

要求完成的主要任务：（包括课程设计工作量及其技术要求，以及说明书撰写等具体要求）1、设计一个有源带通滤波器。

2、通带范围为50HZ-20KHZ，带内电压变化小于0.5dB 。

3、自制直流电源。

4、安装调试并完成符合学校要求的设计说明书时间安排：十八周一周，其中3天硬件设计，2天硬件调试指导教师签名：年月日系主任（或责任教师）签名：年月日目录摘要........................................................................................................................... ....................... I 1 有源带通滤波器理论设计 (1)1.1简介 (1)1.2工作原理 (1)1.3 二阶有源滤波器设计方案 (2)1.3.1原理图 (2)1.3.2低通滤波电路 (2)1.3.3高通滤波电路 (3)1.3.4原件参数选取 (4)2 二阶有源滤波器实际仿真与测试 (5)3 误差分析 (7)3.1 元器件误差 (7)3.2运放的性能 (7)3.3仪器误差 (7)3.4直流稳压电源供电误差 (7)4 直流稳压电源设计 (8)5 心得体会 (9)参考文献 (10)致谢 (11)摘要在《模拟电子技术基础》的学习基础上，针对课设要求，设计有源带通滤波器，计算出符合条件要求的原件参数，通过Multisim仿真和焊接完电路后的实际测量数据，验证参数的取值。

关键词：有源带通滤波器参数Multisim仿真1 有源带通滤波器理论设计1.1简介带通滤波器是指能通过某一频率范围内的频率分量、但将其他范围的频率分量衰减到极低水平的滤波器，与带阻滤波器的概念相对。

基于DSP的静电悬浮转子微陀螺多自由度控制系统设计

基于DSP的静电悬浮转子微陀螺多自由度控制系统设计肖奇军;陈文元;崔峰;李胜勇;张卫平;肖奇军
【期刊名称】《伺服控制》
【年(卷),期】2008(000)012
【摘要】本文给出了一种静电悬浮转子微陀螺,提出了控制系统组成方案,设计了多自由度控制系统,给出了硬件和软件组成。

在实际应用中证明该控制器是有效的。

【总页数】2页(P23-24)
【作者】肖奇军;陈文元;崔峰;李胜勇;张卫平;肖奇军
【作者单位】上海交通大学微纳科学技术研究院;广东肇庆学院电子信息工程系【正文语种】中文
【中图分类】V241.5
【相关文献】
1.静电悬浮转子微陀螺DSP测控技术相关问题研究 [J], 陈旻
2.模糊-PID控制器在静电悬浮转子微陀螺起支控制中的应用 [J], 肖奇军;李胜勇;陈文元;刘超英;崔峰;黄伟
3.基于DSP的静电悬浮转子微陀螺测控系统 [J], 刘凯;张卫平;陈文元;周海军;肖奇军;马高印;李凯
4.静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统的研究 [J], 肖奇军;崔峰;李胜勇;陈文元;张卫平
5.静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统级仿真 [J], 肖奇军;李胜勇;陈文元;刘超英;崔峰;黄伟;崔海宁
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磁悬浮转子陀螺的研究进展

Ａｂｓｒｃｔａｔ：ＴｈｕｓｎｄｓｉｎｎｅｓｐｅｄｅｐｎｉｇｗｈｅｌｇｒｓｏｅｈｓａｐｏｅｔｌａｖｎａｅｏＳｒｃｓｏｅｙｏｃｐａｔｎｉｄａｔｇｆｈｉｈｐｅｉｉｎ；ｉｄｉｉｎ，ｉｃｎａｎａｄｔｏｔａｓｒｅｘｓｏｎｕａａｅａｄ３ａｅｆａｃｌｒｔｏｉｌａｅｕｓｙ．Ｔｉｄｆｇｒｓｏｓｅｉｔｕｖｙ２ａｅｆａｇｌｒｒｔｎｘｓｏｃｅｅａｉｎｓｍｕｔｎｏｌｗｏｋｎｓｏｙｏｃｐｅｘｓ，ｗｈｃｒ — ｉｈａｅｅｌｃｒｓａｉａｌｕｐｎｅｐｎｎｎｅｌｇｒｓｏｅｎｇｅｉａｌｕｓｎｄｄｓｉｎｎｅｔｏｔｔｌｙｓｓｅｄｄｓｉｉｇｗｈｅｙｏｃｐｓａｄｍａｎｔｃｌｓｐｅｅｐｎｉｇｗｈｅｌｇｒｓｏｅ．Ｉｈｉｃｙｅｙｏｃｐｓｎｔｓｐｐｒｈｅｒｓｅｔｖｈａａｔｒｓｉｓｏａｏｓｓｒｃｕｅａｅ，ｔｅｐｃｉｅｃｒｃｅｔｃｆｖｒｕｔｕｔｒｓ，ｏｅａｉｇｐｎｉｅｉｉｐｒｔｎｒｃｐｌｓ，ｆｂｃｔｏｒｃｓｅｎｒｏｍ— ｉａｒａｉｎｐｏｅｓｓａｄｐｅｆｒｉａｃｓｏｇｅｉａｌｕｐｎｅｙｏｃｐｅｄｖｌｐｄｉｈｒｄａｅｓｎｅｆｍａｎｔｌｙｓｓｅｄｄｇｒｓｏｅｅｏｅｎｔｅｗｏｌｒｕｍｍａｚｄ，ｅｐｃａｌｈｅｍａｅｉａｌＵ — ｃｉｒｅｓｅｉｌｔｇｔｃｌＳＳｙｎｙｐｎｅｅｄｄＭＥＭＳｇｒｓｏｅｅｄｓｒｂｄｉｔｉ．ｏｃｐｓａｅｃｅｎｄｅａｌｙｒｉＫｅｒｓ：ｍａｅｉｅｉａｉｎｔｃｏｏ；ｃｏｃｉｅｒｓｏｅ；ｕｒｏｄｃｉｇｇｒｓｏｅ；ｃｏｅｅｔｏｙｗｏｄｎｇｔｌｖｔｔｏｅｈｎｌｇｍｉｒｍａｈｎｄｇｏｃｐｓｐｅｃｎｕｔｙｏｃｐｍｉｒ —ｌｃｒ — ｃｙｙｎ

二阶RC有源滤波器的设计!!

湖南人文科技学院毕业设计二阶RC有源滤波器的设计摘要：滤波器是一种能够使有用频率信号通过，而同时抑制（或衰减）无用频率信号的电子电路或装置，在工程上常用它来进行信号处理、数据传送或抑制干扰等。

有源滤波器是由集成运放、R、C 组成，其开环电压增益和输入阻抗都很高，输出阻抗又低，构成有源滤波电路后还具有一定的电压放大和缓冲作用，但因受运算放大器频率限制，这种滤波器主要用于低频范围。

本次毕业设计主要是在所学《模拟电子技术基础》、《集成电路》等专业知识的基础上研究和设计几种典型的二阶有源滤波电路：巴特沃斯二阶有源低通滤波器、巴特沃斯二阶有源高通滤波器、二阶有源带通滤波器，研究和设计其电路结构、传递函数，并对有关参数进行计算，再利用multisim 软件进行仿真，组装和调试各种有源滤波器，探究其幅频特性。

经过仿真和调试，本次设计的二阶RC有源滤波器各测量参数均与理论计算值相符，通频带的频率响应曲线平坦，没有起伏，而在阻频带则逐渐下降为零，衰减率可达到|-40Db/10oct|,滤波效果很理想。

关键词：有源滤波器二阶 RC 频率Abstract：Filter is a kind of can make useful frequency signal through,While suppressing ( or attenuation) useless frequency signal electronic circuit or device, commonly used in engineering to signal processing, data transfer or suppression of interference. Active power filter is composed of integrated operational amplifier, R, C composition, its open loop voltage gain and input impedance is very high, and low output impedance, an active filter circuit also has a voltage amplifying and buffering effect, but due to operational amplifier frequency limit, this filter is mainly used in low frequency range.This graduation design is mainly in the" analog electronic technology"," integrated circuit" and other professional knowledge based on research and design of several typical two order active filter circuit: Butterworth two, Butterworth two step active low pass filter active high-pass filter, two step active band-pass filter, research and design of its circuit structure, transfer function, and the related parameters are calculated, then the use of Multisim software simulation, assembly and commissioning of various active filter, explore its amplitude frequency characteristic.After simulation and debugging, the design of the two order active RC filter the measurement parameters and calculation results, the pass band frequency response curve is flat, no ups and downs, and in the stop band is decreased to zero, attenuation rate can reach | - 40dB / 10oct |, filtering effect is very ideal.Key words: Active power filter Two order RC Frequency Signal第一章前言1.1 选题依据近现代，在电子工程、通信工程、自动控制、遥测控制、测量仪器、仪表和计算机等技术领域，滤波器的应用极为广泛，滤波器的优劣直接决定产品的优劣，所以，对滤波器的研究和生产历来为各国所重视。

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摘要：信号发生电路是静电悬浮转子微陀螺系统的重要组成部分。介绍了ＤＳＤ信号发生电路的原理及基本构成和微陀
螺信号电容检测的要求、特点以及主要技术指标．并根据具体带宽、中心频率的要求，设计了具有不同参数的有源滤波电路。通过电路模拟仿真实验表明了该电路的可行性之后．在具体实验的操作过程中，成功滤去了ＤＳ信号发生电路所产生的低频Ｄ直流偏置和高频噪声。从而提高了电路的整体信噪比和控制精度，并为后续静电悬浮转子微陀螺检测控制电路提供了较为理
ｃｒｕｔＳｈｔｗｅｒｉｅｔｅｔｔｌｉｎｌｔ — ｉｅａｄｃｎｒｌｒｃｓｏｆｔｅｃｒｕｔａｄｐｏｉｅａｇｏｉ — ｉｃｉＯｔａａｓｈｏａｇａ—ｏ— ｓｎｏｔｏｅｉｉｎｏｈｉｃｉｎｒｖｄｏｄｓｇ— Ｓ — Ｎｏｐｎｌｅｅａｏｏｈｕｔｅｉｃｉａｇｎｒｔｒｆｒｔｅｆｒｈｒｃｒｕｔ。Ｋｅｒｓｍｉｒｙｏｃｐ；ｅｅｔｏｔｔｕｐｎｉｎ；ｄｒｃｉｉａｓｎｈｓｓｃｉｅｂｎａｓｆｌｅｙｗｏｄ：ｃｏｇｒｓｏｅｌｃｒｓａｉｓｓｅｓｏｃｉｅｔｄｇｔｌｙｔｅｉ；ａｔｖａｄｐｓｉｒｔ
（ｓｒｈＩｓｔｔｏｉｏＮａｏｅｅｃｅｃｎｅｈｏｏｙ，ＳａｇａｉｏｏｇＵｉｅｓｙ，Ｓａｇａ０００Ｃｉａ）ＲｅｅｃｎｔｕｅＪＭｃ／ｎｍｔｒｉｅａｄＴｃｎｌｇａｉｒＳｎｈｎｈｉａｔｎｎｖｒｉＪｔｈｎｈｉ０３，ｈｎ２
ＥＥＡＣＣ：６７３０；２０１７
静电悬浮转子微陀螺信号发生电路有源带通滤波器设计＊
邵，陈文元，肖奇军，崔峰，卫平张
（上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室，微米纳米加工技术国家级重点实验室，上海２０４）０２０
ｏｈｅＥＩｃｒｓａｉａＩｓｅｄｄＭｉｒｒｓｏｆｔｅｔ０ｔｔｃＩｙＳｕｐｎｅｃｏＧｙｏｃｐｅ
ＳＨＡＯｎ — ａｇ，ＤａｇｄｎＣＨＥＮｎｙａ，ＡＯ－ｕＣＵＩＦｅｇ，Ｗｅ — ｕｎＸＩＱｉｎ，ｊｎＺＨＡＮＧｉｐｎＷｅ— ｉｇ
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想的信号源。
关键词：微陀螺；静电悬浮；直接数字频率合成；有源带通滤波器
ｔｅａｔａｅｔｈｃｕｌｓ，ｗｅｓｃｅｄｔｉｅｈｉｃｕｒｎｎｈｌｅｎｔｇｃｒｅｔｗｈｃｅｅａｅｆｏｔｅｔｕｃｅｏｆｌｒｔｅｄｒｔｃｒｅｔａｄｔｅａｔｒａｉｕｒｎｉｈｇｎｒｔｒｍｈｔｅｎ
第２１卷
第ｌ期１
传感技术学报
ＣＮＥＪＨＩＥＳＯＵＲＡＬＯＥＯＮＤＴＵＴＯＮＦＳＮＳＲＳＡＡＣＡＲＳ
Ｖ０．１Ｎｏ１１２．ｌ１月
ＤｅｉｎｏｈｅＡｃｉｅＢａｓｌｅｎｔｅＳｉｎｌＧｅｅａｏｓｇｆｔｔｖｎｄＰａｓＦｉｔｒｏｈｇａｎｒｔｒ