乙腈

超净高纯资料摘要

霍尼韦尔公司可为全球半导 体行业供应杂质在100ppt（万亿分之一百）以下的高纯度湿法电子化学品， 如氢氟酸、氢氧化铵、过氧化氢和盐酸等产品，其材料部每年可创出约10 亿 美元的收入，公司在美国、中国、韩国、日本、印度和新加坡都经营电子化 学品业务。另外，公司最近对其设在新加坡的地区总部投资2500 万美元，以 发展其在亚太地区业务，并将重点发展在中国和印度的电子化学品业务 通过对新型超净高纯试剂同常规CMOS 酸碱试剂同时进行CMOS 工艺中栅 氧化前的清洗实验,从清洗后硅片残留金属量的电感耦合高频等离子体原子 发射光谱分析、硅片表面形貌的AFM 分析和MOS 电容测量三个方面进行了应 用实验.结果表明,以超净高纯乙腈为主要组分的新型试剂,其清洗效果总体 优于常规CMOS 酸碱试剂,可以考虑在半导体器件相应清洗工艺中采用。

超净高纯试剂的主要用途,一是用于基片在涂胶前的湿法清洗,二是用于 在光刻过程中的蚀刻及最终的去胶,三是用于硅片本身制作过程中的清洗。 硅圆片在进行工艺加工过程中,常常会被不同的杂质所沾污,这些杂质的沾污 将导致IC 的产率下降大约50%。为了获得高质量、高产率的集成电路芯片, 必须将这些沾污物去除干净 。氮化硅膜在室温下用氢 氟酸或磷酸进行蚀刻。 半导体膜蚀刻：主要是指单晶硅和多晶硅的蚀刻,通常采用混合酸蚀刻液 进行蚀刻。 导体膜蚀刻：在Si 材料集成电路中,金属导线常采用Al、Al-Si 合金膜, 湿法蚀刻图形化后Al 和Al-Si 金属膜常采用磷酸蚀刻液进行蚀刻。有机材料蚀刻：主要是指光刻胶在经过显影和图形转移后的去胶。常用 的正胶显影液有四甲基氢氧化铵,去胶剂可采用热的过氧化氢-硫酸氧化去胶

乙腈的发展现状及合成工艺简述

第27卷第3期 河北工业科技 Vol.27,No.32010年5月 Hebei Journal of Industrial Science and Technology May 2010 文章编号:100821534(2010)0320210203 乙腈的发展现状及合成工艺简述 杨立彦,尚会建,王　亮,郑学明 (河北科技大学化学与制药工程学院,河北石家庄　050018) 摘　要:介绍了乙腈作为一种重要的溶剂和原料在制药、化工等领域的广泛应用,针对乙腈的性质, 对其中的一些直接和间接合成乙腈的方法作了简要的介绍,并对乙腈的应用前景及合成方法提出了展望。 关键词:乙腈;溶剂;合成方法;工艺条件中图分类号:TQ226.61 文献标志码:A Current sit uation of acetonitrile and compendium of it s synt hesis process YAN G Li 2yan ,SHAN G Hui 2jian ,WAN G Liang ,ZH EN G Xue 2ming (College of Chemical and Pharmaceutical Engineering ,Hebei University of Science and Technology ,Shijiazhuang Hebei 050018,China ) Abstract :This paper introduced the widespread use of acetonitrile as a good organic solvent and an important raw material in the field of chemical industry ,medicine and so on ,and gave a summary report about some direct and indirect synthesis methods in regard of the properties of acetonitrile.Then the potential application prospect and synthetic method of acetonitrile were put forward. K ey w ords :acetonitrile ;solvent ;synthetic method ;technological conditions 收稿日期:2009204228;修回日期:2009209225责任编辑:张士莹 作者简介:杨立彦(19842),女,河北鹿泉人,硕士研究生,主要从事清洁能源方面的研究。 乙腈是一种用途广泛的有机化工原料,广泛用于制药、合成纤维、石油化工等领域[1]。目前,乙腈未能得到充分开发,急需加快乙腈的开发利用,使之产生较大的经济效益和社会效益。由于乙腈具有较大的节电强度和偶极矩[223],因此它主要用作溶剂,大量用于烃类的分离及从植物油、鱼肝油等中分离脂肪酸。在制药工业中,乙腈用作合成维生素A 、可的松、磺胺药物及其中间体的溶剂[4]。此外,在织物染色、照明等行业中,乙腈也有很多用途[526]。 在美国等发达国家,乙腈除了用作萃取剂外,在医药和科研中的应用也占有较大比例。由于乙腈在其他方面用量的增加和丁二烯抽提工艺的变化,其 作为萃取剂的用量逐年减少,而在制药和分析方面对乙腈的需求量增长较快。在中国,乙腈主要用作抽提C 4烃中丁二烯的萃取剂,以及合成医药、农药中间体[7]。 近几年来,乙腈的综合利用率得到了大幅度的提高,特别是已开发出的高附加值的乙腈下游产品[8],如聚乙腈的开发应用等,使乙腈的需求量越来越大[9]。乙腈可以通过氧化制取氢氰酸、丙二睛、乙胺类化合物等物质[10]。通过进一步加强开发工作,可使乙腈生产丙二腈早日实现工业化,为市场提供质量优良的产品[11]。 最新的分析报告显示,乙腈价格逆势暴涨。2008年下半年,大部分化工产品受金融危机影响大幅跳水,而乙腈的价格出现了逆势上扬,从2008年中期的2万元/t 上涨到2008年年底的6万元/t ,近期更是从6万元/t 迅速上涨到了12万元/t 。

高纯乙腈的应用及其提纯与精制工艺

收稿日期:2009-11-20 作者简介:白聪丽(1983 ),女,河北保定,东华大学在读硕士,研究方向为高纯乙腈精制工艺研究;通讯联系人:罗艳(1973 ),女,东华大学副教授,从事精细化学品制备方面的研究,Em ai:l l uoyan @dhu .edu .cn 。 专论与综述 高纯乙腈的应用及其提纯与精制工艺 白聪丽,张 奔,罗 艳 (东华大学化学化工与生物工程学院应用化学系,上海 201620) 摘要:介绍现阶段高纯乙腈的应用;以及粗乙腈提纯精制高纯乙腈时,其主要杂质氢氰酸、丙烯腈、醛酮、噁唑、烯丙醇和水的去除方法和相关原理;概述新型高纯乙腈精制工艺的研究现状并将其与传统精制工艺对比,展望我国乙腈精制工艺的开发方向。关键词:高纯乙腈;提纯;精制 中图分类号:TQ226.61 文献标识码:A 文章编号:1008-021X(2010)03-0022-06 Application of H igh -purity Acetonitrile and Its Purification and Refining P rocesses BA I Cong -li ,ZHA NG B en ,LUO Yan (Applied Che m istry Depart m en,t C ollege o f Che m istry ,Che m ica lEng ineeri n g and B iotechno logy ,Donghua University ,Shangha i 201620,Ch i n a) Abst ract :Introduced t h e current applicati o n of h i g h -purity acetonitrile .And d i s cussed the re m ova l m ethods as we ll as the related princ i p les o f the m a i n i m purities i n crude aceton itrile ,such as hydrocyanic acid ,acry lon itrile ,aldehydes and ketones ,ox azole ,ally l a lcohol and w ater .The genera l overv ie w o f the advanced h i g h-pur ity re fi n ed aceton itril e pr ocesses and their con trastw ith t h e trad itional refini n g process w ere summ arized .Further m ore ,the deve l o pm ent trend of re fi n ed acetonitrile process w as prospected .K ey w ords :h i g h-purity aceton itril e ;purificati o n ;refined 乙腈(C H 3C N )是一种应用相当广泛的有机化工原料,除在石油化学工业中用作从烯烃和链烷烃中提取丁二烯和异戊二烯的萃取剂外,还被广泛地用作有机合成、医药、农药、表面活性剂、染料等精细化学品的合成原料,以及薄层色谱、纸色谱、光谱、极谱和高效液相色谱(H PLC )的流动相溶剂,最近又开始被用作DNA 合成/提纯溶剂、有机EL 材料合成用溶剂、电子部件的清洗溶剂等,这些应用场合对 乙腈的纯度有着很高的要求[1-4] 。 目前丙烯氨氧化生产丙烯腈同时副产的乙腈是工业生产乙腈的主要来源,占丙烯腈产量的2%~3%。一个年产l8万t 丙烯腈规模的装置,每年可回收乙腈5400,t 就是一个年产5万t 丙烯腈的中型装 置,每年也可回收乙腈1000t~1200t [4] 。由于上世纪六七十年代乙腈回收率低、成本高、应用不广等原因,很多丙烯腈生产厂家把粗乙腈作为燃料烧掉或通过深井注射处理掉,有的甚至直接排放到环境中,这不仅没能很好地利用资源,而且对环境也造成严重污染。随着科学技术的日益发展,乙腈的应用日 趋广泛,乙腈回收利用也受到越来越高的重视[5] 。 过去二十年里人们不断改进乙腈提纯、精制工艺,乙 腈的质量有了很大的提高,需求量不断增加。我国 乙腈的年需求量从20世纪90年代末的4000t [6] 增加到现在约18000,t 乙腈的平均价格也从90年代末的7000元/,t 上涨到现在的14800元/t 。回收乙腈,有效利用乙腈是提高经济效益和社会效益的重要途径。因此,长期以来,制备适用于不同应用的高纯乙腈,甚至一种高纯乙腈可适用于多种应用,一直是国内外研究的焦点。1 高纯乙腈的应用 1.1 化学分析和仪器分析 [7-8] 乙腈近年来用于薄层色谱、纸色谱、光谱和极谱分析的有机改性剂和溶剂。由于高纯乙腈在200nm ~400nm 不吸收紫外线,因此,一个正在开发的应用是作为高效液相色谱H PLC 的溶剂,可使分析灵敏 度高达10-9 级。随着这项测试技术的普及,色谱纯级高纯乙腈需求量将逐年增长。 1.2 烃类抽提分离溶剂 [9-10] 乙腈是一种应用广泛的溶剂,主要作为萃取蒸馏法的溶剂,从C 4烃类中分离丁二烯。乙腈也用于