无水氢氟酸生产过程的危险有害因素分析(正式)
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无水氢氟酸生产过程的危险有害因素分析(正式)
Deploy The Objectives, Requirements And Methods To Make The Personnel In The Organization Operate According To The Established Standards And Reach The Expected Level.
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文件编号：KG-AO-7875-74 无水氢氟酸生产过程的危险有害因
素分析(正式)
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无水氢氟酸是一种具有极强腐蚀性的酸。它的物理特性是液态温度范围宽，电导率高，极性大，沸点、凝固点、粘度及表面张力低，化学特性是碳氟链牢固且具有活泼的化学活性，几乎能与所有各种有机的或无机的化合物结合。氟化工作为我国目前新兴的精细化工行业，无水氢氟酸可广泛应用于工业、民用及国防军工工业。如广泛应用的氟塑料，氟橡胶、氟制冷剂、含氟涂料、含氟表面活性剂以及含氟医药制品等。
一、生产工艺过程
目前，世界上无水氢氟酸的工业化生产主要是走萤石路线，即以萤石粉(CaF?)和硫酸(H?S0?)反应制得。
国内大多生产厂家均采取以萤石粉(CaF?)、硫酸
(H?S0?)、发烟硫酸为原料，在回转炉中加热反应生成粗氟化氢气体，经洗涤、冷却、冷凝、精馏、脱气得到无水氢氟酸产品，副产品为氟硅酸和含氟石膏。
其生产过程的主要化学反应式：
CaF?+H?S0?→CaS0?+HF↑
二、主要危险、危害因素分析
无水氢氟酸生产过程存在的危险、危害因素主要有：
1、中毒
生产过程中无水氢氟酸会以气体形式存在于作业环境的空气中，它有较高的毒性；生产副产品和原料氟硅酸、硫酸和发烟硫酸会以酸雾形式存在于作业环境的空气中，回转炉加热用的煤气等都会对操作人员的身体健康造成危害。当这些有毒物质在工作场所空气中的浓度超过容许浓度时，危害更为严重。还存在发生氟化氢气体急性中毒的危险性。
特别是无水氢氟酸储罐和管道，一旦发生破裂会造成氟化氢外逸，导致现场人员中毒事故的发生，并
对周围环境造成破坏。导致这一事故发生的原因主要有：设备材料选择不当、机械设备密封不严；监控系统失控；操作失误；维修不及时等导致设备及管道腐蚀。
氟化氢为GBl8218—2000《重大危险源辩识》中所列的有毒物质，生产场所的临界量为2t，贮存区临界量为5t。若生产、贮存的氟化氢数量超过规定的临界量，将构成有毒物质重大危险源。
2、灼伤
生产过程接触到的无水氢氟酸(1052)、氢氟酸(1790)、硫酸(1830)和发烟硫酸(1831)等属强酸性腐蚀性物品，如果发生泄漏，并处置不当，可能对操作人员造成化学性灼伤，对生产设备和建构筑物造成腐蚀并严重危害环境。尤其是氢氟酸对人的眼睛、口腔、齿龈发生腐蚀、炎症及溃疡，引起牙齿损害。
生产中使用到热风炉、回转炉、高温循环风机、煤气发生炉及高温管道等设施，如果炉壁、管道或设备保温做得不好，或者发生高温气体或蒸汽泄漏时，
可能会造成人员高温灼伤或烫伤事故。同时会连带发生中毒事故。
3、触电
因作业环境中存在着无水氢氟酸、氢氟酸、硫酸、发烟硫酸等强酸性腐蚀性物质，极易腐蚀电气线路的管线和电气设备。露天电气设备、架空线路经长期的风吹日晒和酸性气体侵蚀，导致绝缘失效。
在电气设备的操作和日常管理及检查过程中，如缺乏必要的安全措施或违章操作，就容易受到电的灼伤、电击等而引发触电事故，严重时会使人触电身亡。
4、机械伤害
生产过程使用的各种机械设备若质量及安装缺陷、无防护装置或安全防护距离不足、防护装置不符合要求或误操作时，存在发生机械伤害的危险。
5、生产性粉尘危害
无水氢氟酸生产过程的萤石粉投料、回转炉排渣装车等岗位都存在比较严重的扬尘现象，对操作人员的身体健康造成危害。
6、噪声
无水氢氟酸生产装置中存在大量的压缩机、泵等设备，可能会产生较高的噪声。部分生产设备的噪声级可能超过国家规定的8h工作制允许的工作地点噪声A声级卫生限制值85dB的标准。噪声会对现场工作人员带来健康危害，长时期在高强度噪声环境中作业会对人的听觉系统造成损伤，甚至导致不可逆性噪声性耳聋或成为发生事故的诱因。此外，噪声对人的心血管系统、消化系统等均有一定的负面影响。7、火灾
无水氢氟酸的主要生产过程除所使用的燃料煤为可燃固体外，硫酸和发烟硫酸虽是非燃烧物质，但与有机物质接触可引起燃烧。此外，电气设备及其线路存在发生电气火灾的危险。
8、车辆伤害
无水氢氟酸生产的产品、原材料运输量比较大，来往于厂内的机动车数量较多，存在发生车辆伤害的危险。
9、高处坠落
若各操作平台、检修平台、人行通道、架空管道等有跌落危险的场所防护设施安装不规范或者缺损，极易造成人员高处坠落事故。
三、安全对策措施
综上所述，无水氢氟酸生产过程中存在着中毒、灼伤、触电等主要危险危害因素。因此在设计及生产过程中必须严格遵守相关的规范标准，以免留下安全隐患。在此主要针对中毒、灼伤、触电等危害提出安全对策措施，限于篇幅，其他危险危害因素的安全对策措施，不在此进行讨论。
1、防中毒危害的对策措施
无水氢氟酸生产存在一些有毒物质，如无水氢氟酸、氢氟酸、硫酸、发烟硫酸和煤气等。尤其是无水氢氟酸、氢氟酸具有毒性高的特点，应作为防范重点。
(1)应当注意工艺参数的选择及量的控制，使无水氢氟酸生产装置在尾气风机抽吸下呈负压状态，在无水氢氟酸灌装口也设负压接口，以防止生产装置中的
氟化氢气体泄漏到工作场所空气中，造成人员中毒。
(2)注意设备材质选型，为使泄漏的可能性降至最低，要注意设备和材质的选择。通过其他装置及同类工程的实践经验以及装置设计知识，选择耐腐蚀材料，确保设备的完整密闭性。
(3)对无水氢氟酸生产工段及岗位，如有毒物料在不正常操作时的排出口、取样口、贮罐阀、输送泵及压缩机等处可能泄漏或聚积有毒气体的地方，以及煤气站等处需设置有毒气体探测器，防止有毒物质浓度超标；若控制室、配电室与有毒物料的设备相距30米以内，也宜设相应的有毒气体探测器。
(4)设置不间断电源，在外电源断电时，可确保负压系统正常运转，以防止生产装置中的氟化氢气体外泄。
(5)无水氢氟酸生产厂房和煤气站等设计为半敞开式结构，以利于通风，减少有毒物质在工作场所的积聚。
(6)加强设备、管道、阀门密封材料检查和保养维
修及岗位巡查，严防设备跑、冒、滴、漏。
(7)加强对现场操作人员的个体防护，有毒生产场所和岗位应配备专用的防毒面具、空气呼吸面具、手套和防护镜等劳动防护用品，并经常进行检查，对超过使用期限的劳动防护用品，如滤毒罐等应及时更换。对有毒岗位操作人员应定期体检，建立健康档案，防止慢性中毒。
2、防灼伤对策措施
(1)对高温设备如热风炉、回转炉、高温循环风机、煤气发生炉等采取应采取有效的隔热措施。设备及管道的保温设计应符合《设备及管道保温技术通则》(GB4272)，以减少对操作环境的影响，预防发生灼烫事故。
(2)对存在无水氢氟酸、氢氟酸、硫酸和发烟硫酸等属强酸性腐蚀性物质的设备设施，在设计时应合理选择流程、设备和管道结构及材料，防止物料外泄或喷溅。
(3)具有化学灼伤危害作业应尽量采用机械化、管
电子级氢氟酸工艺介绍
电子级氢氟酸生产工艺介绍 1 概述 目前国内外制备电子级氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等技术，这些提纯技术各有特性，各有所长。如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品，气体吸收技术可以用于大规模的生产。另外，由于氢氟酸的强腐蚀性，采用蒸馏工艺温度较高时腐蚀会更严重，因此所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙 烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。电子级氢氟酸生产装置设计与工艺流程布置密切相关，垂直流向布置，原料( 无水氢氟酸和高纯水) 与中间产物可以依靠重力自上而下流动，高纯氢氟酸的制备在中部，产品过滤、灌装及贮存在底层。此布置可减少泵输送，节省能耗，降低生产成本，同时可避免泵对产品的二次污染。 2 生产工艺 将工业无水氢氟酸经化学预处理后，进入精馏塔通过精馏操作，得到的氟化氢气体经冷却后，在吸收塔中用超纯水吸收，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化，随后经μm以下超滤工序，最后在密闭洁净环境条件下( 百级以下) 进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。 3生产方法的难点 分析控制与产品检测要求高。制备电子级氢氟酸所应用的测试仪器如下: (1)电感耦合等离子高频质谱分析仪( ICP - MS)；(2)电感耦合等离子原子发射分析仪( ICP - AES)；(3)原子吸收分光光度计；(4)氧原子发生无焰原子吸收分析仪； (5)离子色谱分析仪；(6)激光散射液体微粒计数器；(7)水表面杂质分析系统； (8)原子间力显微镜；(9)光学显微镜微粒计数器；(10)扫描电子显微镜；(11)光学膜厚测定和表面仿形仪；(12)表面张力测定仪；(13) 空气中尘埃微粒测定仪；(14)水电阻率测定仪。 对水质要求高，要求水的电阻率≥Ω·cm。 高纯水是生产电子氢氟酸中不可缺少的原料,也是包装容器的清洗剂,其纯度将直接影响到电子级氢氟酸的产品质量。高纯水的主要控制指标是电阻率和固
氟化氢生产技术的现状及发展趋势
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S04 )反应制得。 国内大多生产厂家均采取以萤石粉(CaF2 )、硫酸(H2 S04 )、发烟硫酸为原料，在回转炉中加热反应生成粗氟化氢气体，经洗涤、冷却、冷凝、精馏、脱气得到无水氢氟酸产品，副产品为氟硅酸和含氟石膏。 其生产过程的主要化学反应式： CaF2 +H2 S04 →CaS04 +HF↑ 二、主要危险、危害因素分析 无水氢氟酸生产过程存在的危险、危害因素主要有：
电子级氢氟酸生产制造项目申报材料
电子级氢氟酸生产制造项目 申报材料 投资分析/实施方案
摘要 电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一，在氟 化氢行业频遭限制的情况下，高纯电子级氟化氢却逆势而上，不断有企业 增扩电子级氟化氢产能。随着我国微电子工业的高速发展，电子级氟化氢 需求不断提高。 电子级氢氟酸是由无水氢氟酸经进一步处理得到的高端氢氟酸产品。 电子级氢氟酸主要用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和腐蚀领域，是微电子行业生产所需的关键基础化工原材料之一。随着我国集成电路、半导体等行业快速发展，电子级氢氟酸市场需求不断增长，推动我国 电子级氢氟酸行业产量不断上升。 该电子级氢氟酸项目计划总投资15651.65万元，其中：固定资产 投资12160.39万元，占项目总投资的77.69%；流动资金3491.26万元，占项目总投资的22.31%。 本期项目达产年营业收入29338.00万元，总成本费用22602.68 万元，税金及附加306.54万元，利润总额6735.32万元，利税总额7970.87万元，税后净利润5051.49万元，达产年纳税总额2919.38万元；达产年投资利润率43.03%，投资利税率50.93%，投资回报率 32.27%，全部投资回收期4.60年，提供就业职位479个。
电子级氢氟酸生产制造项目申报材料目录 第一章基本情况 一、项目名称及建设性质 二、项目承办单位 三、战略合作单位 四、项目提出的理由 五、项目选址及用地综述 六、土建工程建设指标 七、设备购置 八、产品规划方案 九、原材料供应 十、项目能耗分析 十一、环境保护 十二、项目建设符合性 十三、项目进度规划 十四、投资估算及经济效益分析 十五、报告说明 十六、项目评价 十七、主要经济指标
高纯氢氟酸的介绍与生产
高纯氢氟酸的介绍与生产 一、概述 高纯氢氟酸英文名 hydrofluoric acid，分子式 HF，分子量 20.01。为无色透明液体，相对密度 1.15～1.18，沸点112.2℃，在空气中发烟，有刺激性气味，剧毒。能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应，生成各种盐类。腐蚀性极强，能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇，难溶于其他有机溶剂。 高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂，可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用，主要应用于集成电路（IC）和超大规模集成电路（VLSI）芯片的清洗和腐蚀，是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一，还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前，在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业，其它方面用量较少。 二、高纯氢氟酸的分类 国际SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）标准化组织根据高纯试剂在世界范围内的实际发展情况，按品种进行分类，每个品种归并为一个指导性的标准，其中包括多个用于不同工艺技术的等级，具体见下表1。 表1 SEMI国际标准等级 国内有的高纯试剂生产企业拥有自己的企业标准，其中，BV 系列标准比较常见，该标准共分为七个等级。如：北京化学试剂用的就是BV系列标准，具体见下表2。 表2 国内高纯试剂常用规格
目前，因各微电子生产企业对高纯氢氟酸要求的标准不同，可将其划分为四个档次：①低档产品，用于>1.2μmIC工艺技术的制作；②中低档产品，适用于0.8～1.2μmIC工艺技术的制作；③中高档产品，适用于0.2～0.6μmIC工艺技术的制作；④高档产品，适用于0.09～0.2μm和＜0.09μm IC工艺技术的制作。三、制备方法与工艺 目前国内外制备高纯氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、气体吸收等技术，这些提纯技术各有特性，各有所长。有的提纯技术如亚沸蒸馏技术只能用于制备量少的产品，而有的提纯技术如气体吸收技术可以用于大规模的生产。因此，选择工艺技术路线时应视实际情况而定。另外，由于氢氟酸具有强腐蚀性，采用蒸馏工艺时所使用的蒸馏设备一般需用铂、金、银等贵金属或聚四氟乙烯等抗腐蚀性能力较强的材料来制造。 高纯氢氟酸生产装置流程布置要以垂直流向为主，原料无水氢氟酸和高纯水在上层，氢氟酸的提纯在中层，过滤、包装及储存在底层。因为原料（无水氢氟酸和高纯水）与中间产物可以依靠重力自上而下流动，避免用泵输送，节省能耗，降低生产成本。下面介绍一种精馏、吸收相结合的生产高纯氢氟酸的生产工艺。 将无水氢氟酸经过化学预处理后通过给料泵进入高位槽，再通过流量计控制进入精馏塔，通过精馏操作得到精制后的氟化氢气体，并将其送入吸收塔，精馏塔残液定期排放并制成工业级氢氟酸。在吸收塔中，通过加入经过计量后的高纯水，使精馏后的氟化氢气形成高纯氢氟酸，并且可采用控制喷淋密度、气液比等方法使高纯氢氟酸进一步纯化，得到粗产品。随后再经过超净过滤工序，使产品进一步混合和得到过滤，保证产品的颗粒合格。最后在净化室内进行包装得到最
氟化铝工艺流程
氟化铝产品的生产工艺 一、湿法生产工艺（属淘汰工艺）： 硫酸和萤石高温反应后产生的气体，直接吸收成30％～35％的氢氟酸，与氢氧化铝在90℃左右合成为AlF3?3H2O，经过滤后,进入高温脱水干燥，最后得氟化铝AlF3成品。由于脱水时产生的水蒸汽回分解AlF3，因此，湿法氟化铝含量低，杂质多，水份含量高，堆密度低，流动性差。基本上不适应现代电解槽使用。化学指标为：F≥57％ Al≥28% Na≤3.5％ H2O≤7％。 二、干法生产工艺(干法氟化铝)： 1、粗酸干法：硫酸和萤石高温反应后产生的气体，经过粗洗后进入流化床，与干燥后的氢氧化铝反应，在高温下生成氟化铝。由于粗洗后的氟化氢含量约96％，杂质较高，氟化铝产品的杂质也就比较高；特别是没有脱硅，使得氟化铝产品的二氧化硅含量达到0.25%。这些杂质会影响电解铝的质量，增加电解时的电耗。 F≥61％ Al≥30％ Na≤0.5％ H2O≤0.5％ SiO2≤0.28％ P2O5≤0.04％ Fe2O3≤0.1％ SO42-≤0.5％ 2、精酸干法：硫酸和萤石高温反应后产生的气体，经过粗洗、冷冻、脱气、精馏后进入蒸发器，此时氟化氢的含量一般为99.5%；蒸发出的氟化氢气体（含量接近100％）进入流化床，与湿氢氧化铝反应，在高温下生成氟化铝。由于氟化氢纯度高，这样生产的氟化铝质量很好，杂质很低，特别是二氧化硅含量只有0.02%，五氧化二磷含量只有0.007%，对电解铝的生产非常有利。F≥62％Al≥32％ Na≤0.5％
H2O≤0.5％SiO2≤0.03％P2O5≤0.01％Fe2O3≤0.03％SO42-≤0.03％氟化铝，Aluminum fluoride 分子式：AlF3 分子量：83.98性状：白色晶体或粉末。25 ℃时的相对密度2.882，微溶于水、酸及碱溶液，不溶于大部分有机溶剂，在氢氟酸溶液中有较大的溶解度。无水氟化铝性质非常稳定；与液氨甚至与浓硫酸加热至发烟仍不起反应，与氢氧化钾共熔无变化，也不被氢气还原，加热不分解，但升华，升华温度1291℃。在300～400℃下可被水蒸气部分水解为氟化氢和氧化铝。有毒。 氟化铝产品用途:在铝的生产中作电解浴组分，用以降低熔点和提高电解质的电导率。用于生产酒精时作发酵的抑止剂。用作陶瓷外层釉彩和搪瓷釉的助熔剂、非铁金属的熔剂。在金属焊接中用于焊接液.用于制造光学透镜。还用作有机合成的催化剂及人造冰晶石的原料等。
王酸氢氟酸高纯石墨提纯工厂工艺
王酸氢氟酸法生产高纯石墨工厂工艺概述 朱公和 关键词石墨提纯石墨化学提纯 高纯石墨化学提纯产品纯度高、性能稳定，具有高产能、规模大的优势。在科技发展日新月异的今天，唯有化学提纯工厂生产的高纯石墨能够满足国内外市场的大部分需求。石墨化学提纯工厂的核心价值是工艺，工艺价值决定企业价值。因此，剖析高纯石墨化学提纯生产工艺的基本要素对指导企业生产，提高企业经济效益具有重要意义。 一、王酸氢氟酸高纯石墨提纯工艺的由来 某球形石墨工厂提纯分部采用氢氟酸、盐酸、硝酸工艺加工高纯球形石墨，是典型的用酸大户，可谓“酸老虎”。每吨球形石墨用酸成本为2400～2600元人民币。 如何解决用酸量过大的问题，工厂曾委托烟台某化工厂用氢氟酸、硫酸、盐酸混酸法[1]做了小样，8个样品纯度分别为99.17%～99.90%，小样不符合GB/T3518-2008高纯度石墨检验要求，且每吨石墨粉料提纯用酸成本为2344~3854元人民币。同期又参阅了张然、余丽秀《硫酸—氢氟酸分步提纯法制备高纯石墨研究》[2]一文，也未寻到更好的解决办法。 一般来说，定型一个化工工艺方案，应走小样→中试→放大中试→生产装置这个程式，但工厂不具备这些条件，那只能在生产装置上投料实验，边生产边实验，工艺思路是首先确定固液比，其次是逐步减少氢氟酸的用量，再者是减少盐酸、硝酸的用量。因为有盐酸、硝酸的存
在，其配伍运用“王水”[3]的基础理论，将盐酸与硝酸的比值定为3:1，形成弱王水，又由于有氢氟酸、盐酸、硝酸的强强结合，具有类似王水的作用。实际生产中的投料方案是循序渐进的，有欣喜、有困惑、有波折，更有坚持下去的信念，工艺最终定格在99%的球形石墨粉料，提纯至99.95~99.96%，用酸成本为1058元人民币；≥95%的-100目石墨粉料经粉碎后球形化，提纯纯度也稳定在99.95~99.96%，定型后的工艺方案每吨用酸成本节省1000多元人民币，且废酸废水治理也容易了许多。更可贵的是将纯度93%的+50目大鳞片中碳石墨通过碱酸法处理达到高碳，再用王酸氢氟酸法提纯，测定的8个样品中，4个样品纯度为99.95%，4个样品纯度为99.96%。 王酸氢氟酸法高纯石墨提纯工艺，经过工厂大生产的淬炼，具有产量大、纯度高，性能稳定，质量可靠，且生产设备的适用性好[4]，生产操作简单，彻底跳出了石墨的纯度越高，用的酸量越大，酸浓度越高的怪圈，为石墨化学提纯工业趟出了新路子。 二、王酸氢氟酸法提纯工艺路线 王酸氢氟酸法提纯工艺路线（一）见图1 王酸氢氟酸法提纯工艺路线（二）见图2 三、工艺准则 1、工艺介质 H2O\HF\HCL\HNO3 2、工艺步骤与工艺参数C=95%~99% 表一
无水氟化氢工艺操作规程
反应岗位工艺操作规程 一、岗位任务及管辖范围 1、岗位任务： 本岗位的主要任务是将来自原料酸罐区的98%硫酸送到吸收塔后进入洗涤塔，将发烟酸输送到混酸槽，与从硫酸洗涤塔回流来的混酸酸进行混合后进入反应转炉与氟石粉进行反应． 2、管辖范围： 操作室内的DCS原料计量页面、反应粗制页面，硫酸、发烟酸计量，反应转炉，外混器，失重秤，运粉搅龙，洗涤塔等设备及其连接的管道，均由巡检配合反应岗位实行维护保养及正常操作。 二、生产原理及工艺流程 1、产品及物料的物化性质 萤石粉 萤石又称氟石，是一种天然的化石，萤石粉。化学成分： CaF2 。比重3.18。晶体结构：晶胞为面心立方结构，每个晶胞含有4个钙离子和8个氟离子。常见颜色：绿、蓝、棕、黄、粉、紫、无色等。 AHF生产用氟化钙的质量标准： 水分（烘干后）≤200ppm 100目透过率≥80% 氟化钙≥97% 二氧化硅≤1.5% 碳酸钙≤0.5% 98%浓硫酸
98%浓硫酸是一种无色无味油状液体。其中浓硫酸H2SO4的质量分数为98.3%，其密度为1.84g·cm-3，其物质的量浓度为18.4mol·L-1。98.3%时，熔点：10℃；沸点：338℃。硫酸是一种高沸点难挥发的强酸，易溶于水，能以任意比与水混溶。浓硫酸溶解时放出大量的热。98%浓硫酸为不挥发，有吸水性（可做干燥剂），有脱水性（化学性质，使有机物炭化）和强腐蚀性。 AHF生产用浓硫酸的质量标准： 外观无色油状液体 硫酸≥98% 105%浓硫酸 发烟硫酸为无色油状液体，有强烈刺激臭，可与水以任何比例混合，并放出大量热。具有极强的脱水、氧化与磺化作用。当它暴露于空气中时，挥发出来的SO3和空气中的水蒸汽形成硫酸的细小露滴而冒烟，所以称之为发烟硫酸。20％发烟硫酸意即含游离三氧化硫20％;每100kg的20％发烟硫酸相当于104.5kg100％硫酸,故又称104.5％硫酸。 AHF生产用发烟硫酸的质量标准： 外观无色油状液体 硫酸≥104.5% 2、生产原理： 本项目无水氟化氢的生产采用通用的浓硫酸分解萤石矿粉的生产工艺,以萤石粉、浓硫酸、发烟硫酸为原料，在外加热的回转反应炉内进行反应制得氟化氢粗品,其反应原理可以用下列化学反应方程式表示： A、主反应： CaF2 + H2S04 = CaSO4 + 2HF↑ 本反应过程要求控制好一定的反应温度和配比，通过调节发烟硫酸的加入量，控制系统中的水分，避免水分过高对系统造成的腐蚀等影响。 B、可能发生的副反应的化学方程式为： SO 3 + H 2 O = H 2 S0 4 + 热量
电子级氢氟酸产业行动计划
电子级氢氟酸产业行动计划 ——产业投资建设规划 电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一，在氟化氢行业频遭限制的情况下，高纯电子级氟化氢却逆势而上，不断有企业增扩电子级氟化氢产能。随着我国微电子工业的高速发展，电子级氟化氢需求不断提高。 树立并切实贯彻创新、协调、绿色、开放、共享的发展理念，加快转变产业发展方式和产业结构调整，培育新型产业和优势产业，提质增效，由资本驱动型产业向创新驱动型产业转变。参与国家“一带一路”战略，走国际化发展道路。 为了加快区域产业结构调整和优化升级，推进未来几年产业健康快速发展，按照“领先发展、科学发展、又好又快发展”和“产业倍增”的战略部署，结合区域产业发展情况，制定本规划。 第一条指导路线 推动产业转型升级，发展壮大新兴产业，全面提升产业整体发展水平。 第二条指导原则
1、区域协同，部门联动。深入推进区域产业发展协同发展，在更大区域范围内打造产业发展链条，形成错位发展、共同发展格局；加强部门间的统筹协调，建立联动机制，形成合力。 2、因地制宜，科学发展。充分结合各区域经济社会发展水平、资源条件，分地区、分类型制定科学合理的工作路线，指导推动产业现代化发展。 3、开放融合。树立全球视野，对标国际先进，把握“一带一路”重大战略契机，聚焦产业重点领域，探索发展合作新模式，在全球范围配置产业链、创新链和价值链，更大范围、更高层次上参与产业竞争合作，走开放式创新和国际化发展的道路。 4、市场主导，政府引导。发挥市场配置资源的决定性作用，尊重企业主体地位，激发企业活力和创造力，创新经营模式和业态，推动联合重组，增加有效供给，促进优胜劣汰；健全公平开放透明的市场规则，完善支持政策，搭建服务平台，优化产业发展环境。 第三条产业背景分析 电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一，在氟化氢行业频遭限制的情况下，高纯电子级氟化氢却逆势而上，不
无水氟化氢
无水氟化氢——以氟硅酸为原料年产20kt无水氟化 氢项目 工艺技术简介 一、产品简介： 中文名：无水氟化氢；氟化氢；无水氢氟酸 英文名：Hydrofluoric；AHF 分子式：HF 分子量：20. 01 理化性质：低温下为无色透明的液体，沸点19.54℃，熔点-83.37℃，密度1.13g/cm3(25℃)。在室温和常温下极易挥发成烟雾状。它的化学性质极活泼，能与碱、金属、氧化物以及硅酸盐等反应，在一定条件下能与水自由混合成氢氟酸。有强烈的刺激性气味，对眼、耳、鼻、喉粘膜有强腐蚀作用，对人的牙齿及骨骼有严重腐蚀性，并使之钙化。空气中最大允许浓度为1mg/m3；水溶液腐蚀性极强；剧毒。 用途：无水氟化氢广泛应用于原子能、化工、石油等行业。是强氟化剂；是制取元素氟、各种氟致冷剂、无机氟化物、各种有机氟化物的基本原料；还可配制成各种用途的有水氢氟酸，用于石墨制造和制造有机化合物的催化剂、玻璃刻蚀剂等。 市场容量：目前国内市场对无水氟化氢的需求约为85万吨（含生产氟化铝的消耗），出口量约18万吨。国内生产能力为115万吨，其中113万吨的生产工艺均为萤石粉与硫酸反应而成。 二、技术和工艺原理： 技术原理：
工艺方框图： 三、吨产品原材料与公用工程消耗量：
四、鼎盛公司的技术优势 1、生产工艺独特，国内首创。充分利用了磷肥生产企业副产氟硅酸中的氟，符合国家发展循环经济的要求。本技术已申请中国发明专利，专利号：201010148617.X。 2、本工艺的最大优势就是在氟化氢生产过程中，液氨和硫酸氢铵都是在系统内循环，理论上并不消耗。实际生产过程中有微量的挥发。 3、生产成本低廉，比用萤石粉和硫酸生产的氟化氢成本至少低30％以上；市场竞争力强。 4、氟化氢产品质量达到一级品或优级品。 5、自动化程度高，生产过程安全可靠。 6、清洁工艺生产，无污染。
氢氟酸生产主要流程简述及设备
氢氟酸生产主要流程简述及设备 具体流程为：将矿业公司浮选厂烘干的萤石粉用汽车拖拉机送到装置现场，用斗式提升机将萤石送至萤石贮仓，含尘气体经旋风分离器、袋式除尘器排空，萤石贮仓的萤石粉经计量，用调速螺旋送至回转反应炉。 将发烟硫酸和被硫酸吸收塔吸收了尾气中HF的硫酸送至混酸槽，在此与来自洗 涤塔的稀酸混合。混酸进入回转反应炉。 回转反应炉用烟道气经夹套间接加热来满足反应所需的热量。炉尾排出的炉渣用消石灰中和过量酸后经炉渣提升机送至炉渣贮斗。 反应的产物气体首先进入除尘器、洗涤塔除尘、冷却，而后依次进入初冷器、HF 一级凝器和HF二级冷凝器。在初冷器得到的冷凝液返回洗涤塔；在HF冷凝器得到的冷凝液经过粗HF贮槽进入精馏塔除去H2SO4、H2O等重组分。精馏塔釜液返回洗涤塔；塔顶馏出液进入脱气塔脱除SO2、SiF4等轻组分。脱气塔釜液为产品。HF二级冷凝器的未凝气和脱气塔塔顶排出的未凝气一起进入硫酸吸收塔，在此用硫酸吸收其中大部分HF，然后依次进入第一、第二水洗塔，生成氟硅酸。未被吸收的气体进入尾气塔，洗掉其中的大部分酸性气体后，未被吸收的气体排空。尾气塔的洗涤液和地面冲洗酸性水送至废液处理装置，处理后的合格污水排入排 水系统。 主要化学反应：CaF2+H2SO4=CaSO4+2HF↑—20.9千卡 主要副反应：SiO2+4HF→2H2O+SiF4↑ SiF4+2HF→H2SiF6 CaCO3+H2 SO4→CaSO4+CO2+H2O 2Fe+6H2SO4→Fe2(SO4)3+3SO2+6H2O 2H2S+SO2→3S+2H2O 本次扩建在设备和工艺上均有一定的改进：采用先进的夹套式回转反应炉，无烟煤经煤气发生炉生成煤气，煤气在燃烧器燃烧为热烟气通过反应转炉夹套加热。 主要原辅材料、能源消耗一览表
电子级氢氟酸生产制造项目策划方案
电子级氢氟酸生产制造项目 策划方案 规划设计/投资方案/产业运营
摘要 世界高端半导体市场长期以来被日本占领，经过经10年的发展，中国 涌现出以安集、新阳、多氟多、江峰等企业为代表的高端电子化学品企业，根据用途的不同，电子级氢氟酸被分为EL、UP、UPS、UPSS。 我国氢氟酸产能“小而散”，高准入门槛及相关政策严控产能产量。 氢氟酸是氟化氢（化学式：HF）的水溶液，其与水的恒沸物中含38%（质量分数）HF，为一种弱酸。而无水氢氟酸（AHF）为液态氟化氢，其酸性极强，是氟化工产业链的关键中间产品，为大多数氟化物最普遍和最基本的原料，可用于制备下游氟烷烃、氟化盐、含氟精细化学品、含氟聚合物等。工业 中的AHF由浓硫酸与酸级萤石精粉（氟化钙纯度高于97%）反应制得，其具有强腐蚀性、毒性、易对人体及环境造成危害等特点，属于危化品。从行 业格局上看，我国氢氟酸上下游主要配套在萤石资源丰富的区域内，以华 东为主，产能“小而散”，生产存在污染严重、产能分散且利用率低、行 业集中度低等问题。近年来国家各部委和部门出台了一系列条例和准则来 规范行业发展，氢氟酸的生产、贮藏、运输等环节均受到国家严格管控与 限制，氢氟酸装置开工条件及产能投放等均受到制约。 该电子级氢氟酸项目计划总投资7389.16万元，其中：固定资产 投资6228.20万元，占项目总投资的84.29%；流动资金1160.96万元，占项目总投资的15.71%。
本期项目达产年营业收入11603.00万元，总成本费用9178.44万元，税金及附加133.86万元，利润总额2424.56万元，利税总额2892.84万元，税后净利润1818.42万元，达产年纳税总额1074.42万元；达产年投资利润率32.81%，投资利税率39.15%，投资回报率24.61%，全部投资回收期5.56年，提供就业职位182个。
无水氟化氢工艺流程比较
2012，22(6)张海荣无水氟化氢工艺流程比较 无水氟化氢工艺流程比较 张海荣*华陆工程科技有限公司西安710065 摘要介绍用萤石法制取无水氟化氢，在精馏塔和脱气塔的设计和操作中，有常压和加压两种生产工艺流程。分析这两种工艺的优缺点，指出加压流程是目前行之有效的节能工艺流程。 关键词氟化氢生产工艺加压流程 氟化氢又称氢氟酸，是氟化学工业的基础，我国是全球氟化氢的最大生产国。 目前世界各国基本都是采用萤石与硫酸反应制取氟化氢，原因是萤石与硫酸原料易得、供应量大且稳定、大规模工业生产技术成熟可靠。 氟化氢生产技术路线分为常压流程和加压流程，区别是精馏塔、脱气塔采用常压操作和带压操作。由于氟化氢在常压下沸点为19.5?，因此常压流程的精馏塔、脱气塔塔顶冷凝器均需采用冷冻水进行冷凝，而冷冻水需消耗大量的电能，所以两塔冷凝器在氟化氢装置的能耗中占很大比例；加压流程通过提高两塔操作压力，使氟化氢沸点升至50?以上，故塔顶冷凝器可使用循环水对氟化氢进行冷凝，由于循环水能耗低，节能效果显著。 国内氟化氢企业通常采用常压流程，其原因是氟化氢属于高度危害性物质，且腐蚀性较强，而常压流程的技术难度相对较低，生产中操作比较容易。 常压流程与加压流程只在于精馏塔与脱气塔操作压力不同，所以只对这两塔系统进行比较分析。由于脱气塔和精馏塔的情况相同，比较精馏塔的能耗情况就可以知道总的能耗比例，下面以15kt/a无水氟化氢装置为例，通过计算比较常压流程和加压流程的能耗。 1精馏塔再沸器能耗 1.1常压流程 由于氟化氢在常压下沸点为19.5?，所以采用70? 80?的热水即可。通过再沸器管程的氟化氢质量流量为3313kg/h，通过壳程的热水流量为29.17t/h，再沸器的换热面积为26.94m2，传递的热量为34594W，传热系数630.14W/（m2·K）。 1.2加压流程 加压流程中精馏塔的操作压力为0.25MPa，氢氟酸的沸点为61.6?，故选用0.3MPa的饱和蒸汽作为热媒体，通过再沸器管程的氟化氢质量流量同样为3313kg/h，通过壳程的蒸汽流量为13383kg/h，再沸器的换热面积为14.8m2，传递的热量为792508W，传热系数1073.73W/（m2·K）。 2精馏塔冷凝器能耗 2.1常压流程 进入冷凝器的氢氟酸温度为19.18?，沸点是17.99?。冷媒体选用乙二醇溶液，温度为－10 －5?，通过冷凝器管程的氟化氢质量流量为3262.5kg/h，通过壳程的冷媒流量为149.66t/h，传递的热量为787703W，传热系数574.23W/（m2·K）。 2.2加压流程 进入冷凝器的氢氟酸温度为58.35?，沸点是57.46?。冷媒体选用循环水即可，温度为33 38?。通过冷凝器管程的氟化氢质量流量为3262.5 kg/h，通过壳程的冷媒流量为129.79t/h，传递的热量为755259W，传热系数844.91W/（m2·K）。 3常压流程与加压流程能耗比较 常压操作流程精馏塔的能耗见表1。 9 *张海荣：工程师。1999年毕业于华东冶金学院（现安徽工业大学）化工工艺专业。从事化工工程设计和前期咨询工作。联系电话：（029）87988346，E－mail：zhr1843@https://www.360docs.net/doc/7213970725.html,。
电子级氢氟酸项目初步方案
电子级氢氟酸项目初步方案 规划设计/投资方案/产业运营
承诺书 申请人郑重承诺如下： “电子级氢氟酸项目”已按国家法律和政策的要求办理相关手续，报告内容及附件资料准确、真实、有效，不存在虚假申请、分拆、重复申请获得其他财政资金支持的情况。如有弄虚作假、隐瞒真实情况的行为，将愿意承担相关法律法规的处罚以及由此导致的所有后果。 公司法人代表签字： xxx集团（盖章） xxx年xx月xx日
项目概要 电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一，在氟 化氢行业频遭限制的情况下，高纯电子级氟化氢却逆势而上，不断有企业 增扩电子级氟化氢产能。随着我国微电子工业的高速发展，电子级氟化氢 需求不断提高。 该电子级氢氟酸项目计划总投资14671.22万元，其中：固定资产 投资10300.24万元，占项目总投资的70.21%；流动资金4370.98万元，占项目总投资的29.79%。 达产年营业收入36148.00万元，总成本费用27265.09万元，税 金及附加295.58万元，利润总额8882.91万元，利税总额10403.72 万元，税后净利润6662.18万元，达产年纳税总额3741.54万元；达 产年投资利润率60.55%，投资利税率70.91%，投资回报率45.41%，全部投资回收期3.70年，提供就业职位501个。 认真贯彻执行“三高、三少”的原则。“三高”即：高起点、高 水平、高投资回报率；“三少”即：少占地、少能耗、少排放。 报告主要内容：项目承担单位基本情况、项目技术工艺特点及优势、项目建设主要内容和规模、项目建设地点、工程方案、产品工艺 路线与技术特点、设备选型、总平面布置与运输、环境保护、职业安
无水氢氟酸生产过程的危险有害因素分析
编号：SM-ZD-76486 无水氢氟酸生产过程的危险有害因素分析 Through the process agreement to achieve a unified action policy for different people, so as to coordinate action, reduce blindness, and make the work orderly. 编制：____________________ 审核：____________________ 批准：____________________ 本文档下载后可任意修改
无水氢氟酸生产过程的危险有害因 素分析 简介：该方案资料适用于公司或组织通过合理化地制定计划，达成上下级或不同的人员 之间形成统一的行动方针，明确执行目标，工作内容，执行方式，执行进度，从而使整 体计划目标统一，行动协调，过程有条不紊。文档可直接下载或修改，使用时请详细阅 读内容。 无水氢氟酸是一种具有极强腐蚀性的酸。它的物理特性是液态温度范围宽，电导率高，极性大，沸点、凝固点、粘度及表面张力低，化学特性是碳氟链牢固且具有活泼的化学活性，几乎能与所有各种有机的或无机的化合物结合。氟化工作为我国目前新兴的精细化工行业，无水氢氟酸可广泛应用于工业、民用及国防军工工业。如广泛应用的氟塑料，氟橡胶、氟制冷剂、含氟涂料、含氟表面活性剂以及含氟医药制品等。 一、生产工艺过程 目前，世界上无水氢氟酸的工业化生产主要是走萤石路线，即以萤石粉(CaF?)和硫酸(H?S0?)反应制得。 国内大多生产厂家均采取以萤石粉(CaF?)、硫酸(H?S0?)、发烟硫酸为原料，在回转炉中加热反应生成粗氟化氢气体，
电子级氢氟酸项目实施方案
电子级氢氟酸项目实施方案 规划设计/投资分析/实施方案
电子级氢氟酸项目实施方案 我国氢氟酸产能“小而散”，高准入门槛及相关政策严控产能产量。 氢氟酸是氟化氢（化学式：HF）的水溶液，其与水的恒沸物中含38%（质量分数）HF，为一种弱酸。而无水氢氟酸（AHF）为液态氟化氢，其酸性极强，是氟化工产业链的关键中间产品，为大多数氟化物最普遍和最基本的原料，可用于制备下游氟烷烃、氟化盐、含氟精细化学品、含氟聚合物等。工业 中的AHF由浓硫酸与酸级萤石精粉（氟化钙纯度高于97%）反应制得，其具有强腐蚀性、毒性、易对人体及环境造成危害等特点，属于危化品。从行 业格局上看，我国氢氟酸上下游主要配套在萤石资源丰富的区域内，以华 东为主，产能“小而散”，生产存在污染严重、产能分散且利用率低、行 业集中度低等问题。近年来国家各部委和部门出台了一系列条例和准则来 规范行业发展，氢氟酸的生产、贮藏、运输等环节均受到国家严格管控与 限制，氢氟酸装置开工条件及产能投放等均受到制约。 该电子级氢氟酸项目计划总投资9245.97万元，其中：固定资产投资6835.28万元，占项目总投资的73.93%；流动资金2410.69万元，占项目 总投资的26.07%。 达产年营业收入19113.00万元，总成本费用14377.14万元，税金及 附加174.33万元，利润总额4735.86万元，利税总额5563.41万元，税后
净利润3551.89万元，达产年纳税总额2011.51万元；达产年投资利润率51.22%，投资利税率60.17%，投资回报率38.42%，全部投资回收期4.10年，提供就业职位287个。 坚持安全生产的原则。项目承办单位要认真贯彻执行国家有关建设项目消防、安全、卫生、劳动保护和环境保护的管理规定，认真贯彻落实“三同时”原则，项目设计上充分考虑生产设施在上述各方面的投资，务必做到环境保护、安全生产及消防工作贯穿于项目的设计、建设和投产的整个过程。 ...... 电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一，在氟化氢行业频遭限制的情况下，高纯电子级氟化氢却逆势而上，不断有企业增扩电子级氟化氢产能。随着我国微电子工业的高速发展，电子级氟化氢需求不断提高。
无水氢氟酸生产过程的危险有害因素分析正式版
In the schedule of the activity, the time and the progress of the completion of the project content are described in detail to make the progress consistent with the plan.无水氢氟酸生产过程的危险有害因素分析正式版
无水氢氟酸生产过程的危险有害因素 分析正式版 下载提示：此解决方案资料适用于工作或活动的进度安排中，详细说明各阶段的时间和项目内容完成的进度，而完成上述需要实施方案的人员对整体有全方位的认识和评估能力，尽力让实施的时间进度与方案所计划的时间吻合。文档可以直接使用，也可根据实际需要修订后使用。 无水氢氟酸是一种具有极强腐蚀性的酸。它的物理特性是液态温度范围宽，电导率高，极性大，沸点、凝固点、粘度及表面张力低，化学特性是碳氟链牢固且具有活泼的化学活性，几乎能与所有各种有机的或无机的化合物结合。氟化工作为我国目前新兴的精细化工行业，无水氢氟酸可广泛应用于工业、民用及国防军工工业。如广泛应用的氟塑料，氟橡胶、氟制冷剂、含氟涂料、含氟表面活性剂以及含氟医药制品等。 一、生产工艺过程
目前，世界上无水氢氟酸的工业化生产主要是走萤石路线，即以萤石粉(CaF?)和硫酸(H?S0?)反应制得。 国内大多生产厂家均采取以萤石粉(CaF?)、硫酸(H?S0?)、发烟硫酸为原料，在回转炉中加热反应生成粗氟化氢气体，经洗涤、冷却、冷凝、精馏、脱气得到无水氢氟酸产品，副产品为氟硅酸和含氟石膏。 其生产过程的主要化学反应式： CaF?+H?S0?→CaS0?+HF↑ 二、主要危险、危害因素分析 无水氢氟酸生产过程存在的危险、危害因素主要有： 1、中毒
电子级氢氟酸项目申报材料
电子级氢氟酸项目申报材料 投资分析/实施方案
电子级氢氟酸项目申报材料 电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一，在氟 化氢行业频遭限制的情况下，高纯电子级氟化氢却逆势而上，不断有企业 增扩电子级氟化氢产能。随着我国微电子工业的高速发展，电子级氟化氢 需求不断提高。 该电子级氢氟酸项目计划总投资3599.38万元，其中：固定资产投资3028.47万元，占项目总投资的84.14%；流动资金570.91万元，占项目总 投资的15.86%。 达产年营业收入3986.00万元，总成本费用3172.92万元，税金及附 加59.91万元，利润总额813.08万元，利税总额985.14万元，税后净利 润609.81万元，达产年纳税总额375.33万元；达产年投资利润率22.59%，投资利税率27.37%，投资回报率16.94%，全部投资回收期7.40年，提供 就业职位69个。 充分依托项目承办单位现有的资源或社会公共设施，以降低投资，加 快项目建设进度，采取切实可行的措施节约用水。贯彻主体工程与环境保护、劳动安全和工业卫生、消防工程“同时设计、同时建设、同时投产” 的总体规划与建设要求。 ......
电子级氢氟酸项目申报材料目录 第一章申报单位及项目概况 一、项目申报单位概况 二、项目概况 第二章发展规划、产业政策和行业准入分析 一、发展规划分析 二、产业政策分析 三、行业准入分析 第三章资源开发及综合利用分析 一、资源开发方案。 二、资源利用方案 三、资源节约措施 第四章节能方案分析 一、用能标准和节能规范。 二、能耗状况和能耗指标分析 三、节能措施和节能效果分析 第五章建设用地、征地拆迁及移民安置分析 一、项目选址及用地方案