半导体半自动清洗机保养作业指导书

半导体半自动清洗机保养作业指导书

一、引言

半导体半自动清洗机是半导体制造过程中的重要设备,用于清洗半导体芯片和器件。为了保证清洗机的正常运行和延长其使用寿命,正确的保养是必不可少的。本文将介绍半导体半自动清洗机的保养作业指导,以确保其性能和效率的持续稳定。

二、保养前的准备工作

1. 关闭清洗机的电源,并确保所有的电源插头已拔掉,以确保操作人员的安全。

2. 清洗机的外部表面应该清洁,无杂物和污垢。可以使用干净的布或者棉签擦拭。

3. 检查清洗机的操作面板和控制面板,确保所有按钮和开关的标识清晰可见,并且正常工作。

三、清洗机内部的保养作业

1. 清洗机的进水和排水系统应该定期检查。清洗机的进水和排水管道应该畅通无阻,无漏水和渗水现象。

2. 检查清洗机的过滤器和过滤网,确保其干净,并清洗或更换过滤器和过滤网,以保证清洗过程中的水质纯净。

3. 检查清洗机的喷嘴和喷头,确保其没有堵塞和损坏。如果发现问题,应及时清洗或更换喷嘴和喷头。

4. 清洗机的加热系统和温控系统应该定期检查。确保加热系统正常工作,温度控制准确稳定。

5. 清洗机的水泵和气泵应该定期维护和保养,确保其正常工作。如果发现异常噪音或其他问题,应及时维修或更换。

6. 清洗机的传动系统和电控系统应该定期检查。确保传动系统灵活可靠,电控系统正常运行。

四、保养后的收尾工作

1. 清洗机的内部应该彻底清洁,特别是清洗室和排水槽。可以使用清洁剂和软布进行清洗,避免使用尖锐物品刮擦。

2. 检查清洗机的密封件和管道连接,确保其没有松动和泄漏。如有问题,应及时修复或更换。

3. 清洗机的外部应该擦拭干净,并确保无水迹和污垢。

4. 打开清洗机的电源,进行功能测试,确保清洗机正常工作。

5. 清洗机的保养记录应该及时更新,包括保养日期、保养内容和保养人员等信息。

五、注意事项

1. 在进行清洗机保养作业时,应戴上防护手套和眼镜,以防止受伤。

2. 严禁在清洗机工作时进行维修和保养操作,以免引起意外事故。

3. 清洗机的保养工作应该由专业人员进行,不得擅自操作。

4. 如果清洗机出现故障或异常情况,应立即停止使用,并寻求专业维修人员的帮助。

六、结论

通过正确的保养作业,可以确保半导体半自动清洗机的性能和效率的持续稳定,延长其使用寿命。在保养过程中,需要注意安全和细节,按照指导书的要求进行操作。保养后的清洗机应该干净整洁,正常工作。同时,保养记录的及时更新也是保证清洗机长期稳定运行的重要参考依据。只有经过定期保养,清洗机才能够有效地发挥其作用,为半导体制造过程提供良好的清洗效果。

半导体半自动清洗机保养作业指导书

半导体半自动清洗机保养作业指导书 一、引言 半导体半自动清洗机是半导体制造过程中的重要设备,用于清洗半导体芯片和器件。为了保证清洗机的正常运行和延长其使用寿命,正确的保养是必不可少的。本文将介绍半导体半自动清洗机的保养作业指导,以确保其性能和效率的持续稳定。 二、保养前的准备工作 1. 关闭清洗机的电源,并确保所有的电源插头已拔掉,以确保操作人员的安全。 2. 清洗机的外部表面应该清洁,无杂物和污垢。可以使用干净的布或者棉签擦拭。 3. 检查清洗机的操作面板和控制面板,确保所有按钮和开关的标识清晰可见,并且正常工作。 三、清洗机内部的保养作业 1. 清洗机的进水和排水系统应该定期检查。清洗机的进水和排水管道应该畅通无阻,无漏水和渗水现象。 2. 检查清洗机的过滤器和过滤网,确保其干净,并清洗或更换过滤器和过滤网,以保证清洗过程中的水质纯净。 3. 检查清洗机的喷嘴和喷头,确保其没有堵塞和损坏。如果发现问题,应及时清洗或更换喷嘴和喷头。

4. 清洗机的加热系统和温控系统应该定期检查。确保加热系统正常工作,温度控制准确稳定。 5. 清洗机的水泵和气泵应该定期维护和保养,确保其正常工作。如果发现异常噪音或其他问题,应及时维修或更换。 6. 清洗机的传动系统和电控系统应该定期检查。确保传动系统灵活可靠,电控系统正常运行。 四、保养后的收尾工作 1. 清洗机的内部应该彻底清洁,特别是清洗室和排水槽。可以使用清洁剂和软布进行清洗,避免使用尖锐物品刮擦。 2. 检查清洗机的密封件和管道连接,确保其没有松动和泄漏。如有问题,应及时修复或更换。 3. 清洗机的外部应该擦拭干净,并确保无水迹和污垢。 4. 打开清洗机的电源,进行功能测试,确保清洗机正常工作。 5. 清洗机的保养记录应该及时更新,包括保养日期、保养内容和保养人员等信息。 五、注意事项 1. 在进行清洗机保养作业时,应戴上防护手套和眼镜,以防止受伤。 2. 严禁在清洗机工作时进行维修和保养操作,以免引起意外事故。 3. 清洗机的保养工作应该由专业人员进行,不得擅自操作。 4. 如果清洗机出现故障或异常情况,应立即停止使用,并寻求专业维修人员的帮助。

清洗作业指导书

清洗作业指导书 1.0目的: 为使日常作业有所依循,因应公司生产实际需要,针对清洗操作控制不完善,拟定清洗作业指导书,以提高生产效率和安全意识的提升. 2.0作业指导书: 2.1生产设备 A:熟悉工序卡内容,按工艺要求准备好各类工具、辅助器具,并安防在规定的位置。 B:检查起重吊具是否安全可靠,动作灵活,发现不好,应及时填写维修清单,请专业人员修理,使用时务必注意安全,检查吊钩保护套是否破损,做到及时更换。 C:检查清洗刷等工具,用损的必须进行更换. D:检查设备:启动清洗机运输机构,水泵系统调整运输机构运行速度,检查设备运转是否正常,检查完毕后停机或待用 2。2清洗液的配置 (1)使用QB—2型金属清洗剂,配比3—5%(重量比)PH值为9.5±0。5(使用PH试纸测定确认)(2)在配置清洗液之前,操作工应首先了解所

使用设备的清洗液水箱容量大小,然后根据规定百分比投放金属清洗剂。 (3)配置时,先打开设备进水阀,将水位放至离水箱溢水口5~10cm(次水位线定位为液面基准线)。 (4)将清洗剂按比例加入清洗机水箱中溶解,同时打开蒸汽阀门进行加热至50~75℃。 (5)开动水泵借助水流充分搅拌清洗液后,用PH试纸测试酸碱度,PH值在9.5±之前方可清洗零件。如有偏差,应适量补充清水或加投清洗剂,直到PH 值在要求范围内. (6)如不是新配置的清洗液,则在每天清洗零件工作前应检查清洗机水箱水位,如低于基准线 100mm以上时,应及时按规定比例添加原料(金属清洗机和水),以确保水泵正常工作.同时检测酸碱度,确认PH值是否在9.5±0.5之内。 (7)清洗液水箱中的过滤网应及时清理积渣,每周至少清理二次。另外,清洗液应一周更换一次,每日开机前应捞去清洗液上的漂浮。

清洗作业指导书

一、适用范围 用于数控车加工后零件的清洗. 二 、作业准备及验证 1. 进入生产现场必须穿戴好防护眼镜、工作服、劳保鞋,长发女工需盘发戴工作帽 2. 按《设备点检卡》点检设备 3. PH 试纸测试超声槽、清洗槽中清洗液PH 值是否为8-9,若小于8时立即更换变质清洗液 4. 设定加热温度为30度 5. 清洗剂牌号:南通科星HJ-921C, 浓度为:超声槽0.8%-1.0%,漂洗槽0.3%-0.5% 6. 添加清洗液前先用折光仪测各槽浓度,根据测试浓度调节添加清洗液的浓度(折光仪使用前先用清水校零) 7. 检查计时器(喷洗定时)设定是否为2分钟,淋洗时间30秒 三 、工艺流程图 四、本工序加工内容 超声波清洗压气机叶轮 五、 操作指导 1、取OP20加工好零件→ 2、摆放于支架上 → 3、放入超声槽,盖盖启动清洗 → 4、转入漂洗槽淋洗 → 5、逐一吹干零件 → 6、吹好零件放入托盘 按照上面图示“清洗流程”清洗零件,洗好的零件放入指定待平衡柜,及时写好状态牌,每日从动平衡岗位随机抽样3件已平衡零件送检清洁度。 六、注意事项 1. 机器不用时盖好盖子,防止清洗液污染,周末休息前或长时间休息前将超声槽,漂洗槽放水; 2. 禁止用清洗机清洗其他物品,不允许用棉布等擦清洗机水槽内部或边沿,防止纤维等污染清洗液或堵塞水泵; 3. 清洗机旁架子上成品托盘放置要稳当,边沿不超出架子范围,限堆放3层,要及时转移到待平衡柜或周转箱内; 4. 将电控箱盖子及护罩盖好,注意不要将清洗液或水喷溅到电控箱上边,防止短路及漏电; 5. 清洗时应戴好防护手套,以防零件划伤手指或清洗液腐蚀皮肤,吹干零件时要抓牢以防吹落摔坏; 6. 班长从库房领取整桶清洗剂时首先检查牌号是否正确、质保期有无过期,用卡片标识后贴在油品标识下方,过期禁用。 OP10 领料检验 OP20 车背盘 OP30 车型线 OP40 清洗 OP50 动平衡 OP60 喷码 OP70 终检 OP80 包装 OP90 入库 OP100 托运

一种半导体光刻板清洗机

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)申请公布号 CN211217770U (43)申请公布日 2020.08.11(21)申请号CN201920808737.4 (22)申请日2019.05.30 (71)申请人苏州冠博控制科技有限公司 地址215010 江苏省苏州市苏州高新区浒墅关开发区石林路189号 (72)发明人黄辉成 (74)专利代理机构上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人崔巍 (51)Int.CI 权利要求说明书说明书幅图 (54)发明名称 一种半导体光刻板清洗机 (57)摘要 本实用新型公开了一种半导体光刻板清洗 机,其结构包括警示灯、控制面板、可视窗口、 清洗机工作平台、电源连接孔、底座、检修挡 板、清洗机外壳、显示屏,警示灯位于控制面板左 侧,本实用新型一种半导体光刻板清洗机,在结 构上设置了清洗机工作平台,将光刻板放入清洗 篮中,清洗篮提杠挂在传送带上,液压缸将导轨 上升,导轨触碰清洗篮,清洗篮提杠自由落体, 清洗篮挂杆落入导轨中,清洗篮落入第一个高压

冲洗池中,当预定清洗时间结束时,导轨上升, 将清洗篮挂杆顶入传送带上,到达第二个池上 方,导轨上升,将清洗篮挂杆落入导轨中,导轨 下降进入第二个池清洗,依次反复直到清洗结 束,自动化输送,达到批量清洗,节约了清洗时 间,提高了工作效率。 法律状态 法律状态公告日法律状态信息法律状态 2020-08-11授权授权

权利要求说明书 一种半导体光刻板清洗机的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书 一种半导体光刻板清洗机的说明书内容是....请下载后查看

通过式超声清洗机安全操作及保养规程

通过式超声清洗机安全操作及保养规程 前言 通过式超声清洗机作为一种高效、快速的清洗方式,广泛应用于各种行业,如机械、电子、半导体、医疗等等。但是,由于清洗液的特殊性质和超声波的高能量,如果不正确地使用和保养这种设备,将会带来一定的安全风险,甚至可能对人体造成伤害。因此,本文将介绍通过式超声清洗机的安全操作及保养规程,以确保使用过程的安全性和设备的寿命,使清洗效果得到最大化。 安全操作规程 操作员要求 清洗机的操作应由经过专业培训,掌握清洗机性能、操作及保养技术的操作人员来完成。同时,操作人员应具备以下条件: •必须佩戴工作制服、手套、防护眼镜等个人防护装备。 •必须年满18周岁,无不良行为记录。 •必须具有从事当前工作的体检证明。 设备要求 清洗机的安置位置应符合国家相关安全标准,保证使用过程中工作环境的稳定性和通风性。并应注意以下要求: •清洗机不得安装在人口密集、火源、易燃材料地方。

•清洗机不得在强磁场附近或与其他高频电源接触,防止干扰。 •清洗机所连接的电源应接地线连接。 操作步骤 1.操作人员必须确认清洗机的电源是否符合要求,电路是否 可靠。 2.确定所需清洗物品,确认清洗物品是否适合通过式超声清 洗机进行清洗。 3.开启清洗机的进水和排水开关,并确保水流畅通。 4.将清洗物品放入清洗机内,并使用合适的清洗溶液。 5.选择合适的清洗模式,并选择合适的清洗时间。 6.清洗完成后,关闭进水和排水开关,将清洗物品取出,擦 干水分。 清洗溶液注意事项 •清洗溶液需遵守国家和地方有关规定,不得超出规定限制。 •清洗溶液要与清洗物品相匹配,避免对清洗物品的腐蚀和损坏。 •清洗用的溶液比例要准确,不得过量泄漏。 •清洗完成后,清洗溶液应妥善处理。

电浆清洗机安全操作及保养规程

电浆清洗机安全操作及保养规程 概述 电浆清洗机是一种常用的精密清洗设备,广泛应用于电子、光电、 航天、光学、半导体等行业。为了保障工作人员和设备的安全,提高 清洗效果和设备寿命,本文将介绍电浆清洗机的安全操作和保养规程。 安全操作 1. 工作人员要接受培训 所有使用电浆清洗机的工作人员应当接受过相关的安全和操作培训,包括设备启动和停止、控制面板操作、清洗样品的准备和放置、设备 检查和维护等。 2. 确保设备处于稳定状态 清洗前,应检查电浆清洗机的状态是否正常,如电源是否开启、门 是否关闭、控制面板是否正确设置等,确保设备处于稳定状态。 3. 做好个人防护 清洗时必须戴上防护眼镜、手套、防护服等个人防护用品,以保障 个人安全。 4. 禁止在设备内放置易燃物品 易燃物品在电浆清洗机内容易引起火灾,因此,严禁在设备内放置 易燃物品。

5. 禁止触碰电缆和电源 在设备工作时,电缆和电源是易导致电击事故的危险元素,因此, 尽量不要触碰电缆和电源,确保个人安全。 6. 停机时进行必要维护 在停机时,应对设备进行必要的维护,包括将清洗样品和针脚清理 干净、清洗室内外清洁等。同时,应切断电源以保障设备和个人安全。 保养规程 1. 定期清洁设备 根据使用频率和清洗样品的情况,定期清洁设备内外表面和管路, 使用软布或吸尘器等清洁工具进行清洁。 2. 定期检查设备 定期检查设备是否正常,包括电源、线路、电机、开关等,同时对 设备进行润滑和清洗管路。 3. 定期更换消耗品 清洗样品和设备的耗材包括过滤器、气压计等,在使用一定时间后 应该及时更换,以保证清洗效果和设备寿命。 4. 定期对设备进行校准 对设备进行定期校准,以保证清洗效果符合要求。

电子半导体清洗机安全操作及保养规程

电子半导体清洗机安全操作及保养规程 1. 前言 为了有效地保证电子半导体清洗机的安全操作和设备寿命,也为了更好地维护设备,我们制定了本规程。本规程主要涵盖了电子半导体清洗机的操作安全和日常保养。请仔细阅读并按规程执行。 2. 操作安全 2.1. 基本操作安全 1.在操作电子半导体清洗机时,务必穿戴干燥、无缝的工作 服,戴上透明眼镜和手套,并配备耐酸碱的长靴。 2.在开始操作之前,必须仔细阅读清洗机操作手册,理解每 个部件的用途和功能。 3.在操作清洗机时,切勿第一时间开启清洗液泵,应先检查 清洗液容器是否已加满清洗液,以免清洗液耗尽导致损坏设备。 4.在清洗机运行期间,切勿将身体靠近机器,以免发生危险 事故。 5.操作完毕后,应及时关机,将设备进行清洁、维护。 2.2. 电气安全 1.在进行操作之前,必须确保插头已经接地。 2.在操作中,切勿用湿手触摸设备,以免发生电击事故。

3.当清洗机遇到故障时,应立即切断电源,并寻找专业人员 进行检修。 3. 设备保养 3.1. 设备常规保养 1.每次操作结束后,都应该清洁设备,防止部件产生腐蚀。 2.定期检查清洗机的各个部件是否齐全,并进行维护。 3.定期清洗液容器的过滤器,以保证过滤器的通畅性。 3.2. 设备维修保养 若设备发生故障,应遵循以下步骤进行处理: 1.关闭电源,并断开插头。 2.确认故障原因,并与厂家联系,确定需要维修或更换的部 件。 3.维修或更换部件后,进行功能测试。 4. 维修记录 若设备发生故障并维修,需要做好维修记录: 1.记录故障的时间、地点和原因。 2.记录维护过程中使用的零部件。 3.记录维护的费用。

半导体清洗机液路系统控制原理

半导体清洗机液路系统控制原理 1. 简介 半导体清洗机是半导体生产中常用的设备,用于清洗半导体芯片表面,确保芯片质量。清洗机的液路系统控制原理是清洗机正常运行的核心之一,下面将对其进行详细介绍。 2. 液路系统结构 液路系统通常由清洗液箱、液泵、管道和喷嘴等部件组成。清洗液箱存放清洗液,液泵负责将清洗液输送至喷嘴,管道将清洗液从液箱输送至喷嘴。 3. 控制原理 液路系统的控制原理主要包括两部分,即液体流动控制和清洗液温度控制。 3.1 液体流动控制 液体流动控制是指在清洗过程中控制清洗液的流速和流量,以确保清洗效果和芯片表面不被过度损伤。液体流动控制通常由PLC控制系统实现,通过控制液泵的工作状态和流量调节阀来实现对液体流动的精确控制。 3.2 清洗液温度控制

清洗液温度控制是指在清洗过程中保持清洗液的温度在一个适宜的范围内,以确保清洗效果和避免对芯片产生热应力损伤。清洗液温度控制通常通过加热器和温度传感器实现,PLC控制系统根据温度传感器的反馈信号控制加热器的工作状态,以维持清洗液的恒定温度。 4. 控制系统 为了实现液路系统的精确控制,通常采用PLC控制系统。PLC控制系统具有响应速度快、精确度高、稳定性好等优点,能够实现对液路系统的精确控制。 5. 实际应用 液路系统控制原理在实际生产中具有重要的应用价值,有效地保障了清洗机的正常运行和芯片清洗效果。通过对液体流动和清洗液温度的精确控制,能够实现对芯片表面的有效清洗,确保芯片质量。 6. 总结 半导体清洗机液路系统控制原理是保障清洗效果和芯片质量的重要因素之一,通过对液体流动和清洗液温度的精确控制,能够确保清洗机的正常运行和芯片表面的有效清洗。采用PLC控制系统能够实现对液路系统的精确控制,具有重要的应用价值。半导体清洗机液路系统控制原理是半导体生产中非常重要的一环。在半导体产业中,半导体芯片的清洗和处理过程对芯片性能和质量有着至关重要的影响。液路系统控制原理的合理设计和有效实施对于确保清洗机的正常运行和芯

半导体槽式清洗机工作原理

半导体槽式清洗机工作原理 一、半导体槽式清洗机工作原理引言概述 1.1 近年来,随着半导体槽式清洗机工作原理技术的不断发展,半导体槽式清洗机工作原理的制备、运输设备的不断更新,传统的半导体槽式清洗机工作原理逐渐被半导体槽式清洗机工作原理板所取代。使用半导体槽式清洗机工作原理半导体槽式清洗机工作原理,使半导体槽式清洗机工作原理的整体性、抗不均匀沉降的能力和结构的安全性均有了很大提高。 1.2 在半导体槽式清洗机工作原理目前经济适用住房和商品住宅迅猛发展的今天,半导体槽式清洗机工作原理的楼面大多采用了半导体槽式清洗机工作原理钢筋混凝土结构。但在半导体槽式清洗机工作原理过程中,也伴随产生了不同因素引起的半导体槽式清洗机工作原理半导体槽式清洗机工作原理问题。而且随着半导体槽式清洗机工作原理结构的大面积推广,楼半导体槽式清洗机工作原理出现半导体槽式清洗机工作原理的机率也逐渐增大。半导体槽式清洗机工作原理钢筋混凝土楼(屋)面板半导体槽式清洗机工作原理,也成了目前施工中较难克服的质量通病之一。当住宅半导体槽式清洗机工作原理半导体槽式清洗机工作原理出现半导体槽式清洗机工作原理后,更成了住户的投诉、索赔,甚至引起纠纷的热点问题之一。因此,我们必须针对半导体槽式清洗机工作原理钢筋混凝土楼(屋)面板半导体槽式清洗机工作原理的成因,在设计、施工阶段就应采取科学、有效的控制措施予以防治,避免在房屋交付后引起不必要的投诉。 二、半导体槽式清洗机工作原理案例正文 2.1 半导体槽式清洗机工作原理简介:该半导体槽式清洗机工作原理为六层框架结构(异型框架柱,局部设置短肢剪力墙)、筏板基础、地上式车库一层,总建筑面积为6321.41㎡,是一较为典型的住宅建筑半导体槽式清洗机工作原理。 该半导体槽式清洗机工作原理自2005年3月开工,2006年5月竣工并交付使用。2006年6月~2006年10月间,分别接到202室、407室、603室三家住户的投诉。半导体槽式清洗机工作原理的主要内容集中在钢筋混凝土楼半导体槽式清洗机工作原理半导体槽式清洗机工作原理问题及由半导体槽式清洗机工作原理引起的渗漏水问题。

半导体半自动清洗机pm作业指导书

作为一名文章写手,我将按照你的要求,为你撰写一篇关于半导体半自动清洗机PM作业指导书的文章。 一、概述 半导体半自动清洗机PM作业指导书是半导体行业的重要文件,它包含了清洗机的日常维护和保养指导,帮助设备操作人员正确、安全地进行清洗机的日常管理工作。半导体半自动清洗机是半导体生产中的重要设备之一,它的正常运行对生产线的稳定性和产品质量有着重要影响。PM作业指导书的编写和执行是非常重要的。 二、清洗机的日常维护和保养指导 在清洗机的日常维护和保养中,需要注意以下几个方面: 1.精确的设备操作流程和参数设置 2.清洗机的日常清洁和维护 3.设备故障的处理和预防 4.安全操作和事故预防 在设备操作过程中,需要按照精确的操作流程进行设备的开启、操作和关闭,同时根据产品的清洗需要进行参数的设置,确保清洗效果达到要求。在日常清洁和维护中,需要注意设备的各部件的清洁和润滑工作,以延长设备的使用寿命。对于设备故障的处理和预防,需要根据清洗机的使用情况进行定期的维护检查,及时发现并处理设备的故障,同时采取预防措施,避免设备出现故障。安全操作和事故预

防是清洗机日常管理工作中的重中之重,设备操作人员需要严格遵守操作规程,正确使用个人防护装备,确保设备操作过程中的安全。三、总结和回顾 通过对半导体半自动清洗机PM作业指导书的深入了解和分析,我们可以清晰地认识到清洗机的日常维护和保养对设备的正常运行和产品质量的保障具有重要意义。遵守PM作业指导书,正确、严谨地执行清洗机的日常管理工作,是确保设备稳定性和产品质量的关键,也是保障生产线运行的重要保障。 四、个人观点和理解 作为一名资深设备操作人员,对于清洗机的日常维护和保养工作有着丰富的经验。我深知清洗机的正确运行对生产的重要性,也深知日常维护和保养工作的重要性。我十分重视PM作业指导书,认真执行其中的相关规定,并总结出了一套适合清洗机的维护和保养经验,确保设备的正常运行和产品质量的稳定。 结语 半导体半自动清洗机PM作业指导书是非常重要的文件,它涵盖了对清洗机的全面管理和保养指导,确保设备的正常运行和产品质量的稳定。作为设备操作人员,我们需要严格遵守PM作业指导书的规定,认真执行其中的每一条指示,做好清洗机的日常管理工作,保障半导体生产线的稳定运行。

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