单晶寿命测定规程

样片处理：

3.1 目前使用的切片机有外圆切片机和内圆切片两种，所切的样片的厚度为2mm左右。

3.2 用混酸腐蚀10分钟（一次腐蚀的样片的数为6—8片），保证样片表面层去除量大于200μm.。

3.3 用腐蚀槽旁边的纯水冲洗30秒。（纯水的电导率为2MΩ.cm

3.4 然后用液流槽里的纯水液流3分钟。（纯水的电导率为10 MΩ）

3.5 用10%的HF酸漂30

样片位置确定后，点击测试画面左上角的“AUTOSET ”，自动进入测试状态，几秒钟后屏幕上方显示测试结果即

载流子寿命和衰减曲线。如下图所示：

把测试结果记录在《单晶寿命测试台帐Ⅱ》里。测试完毕后同电脑一样关闭测试设备。）异常处理

测试结果出现为“NA ”时请向上长反映。）安全事项

测4英寸

测3英寸