电容屏生产流程范文

电容屏生产流程范文

电容屏(Capacitive touch screen)是一种采用电容感应原理实现

触摸操作的显示屏,广泛应用于智能手机、平板电脑、移动终端等电子产

品中。下面将介绍电容屏的生产流程。

第一步:玻璃基板准备

电容屏的主要基材是玻璃基板,通常采用的是高硼硅玻璃或钠钙玻璃。首先,需要将大尺寸的玻璃原料经过切割和打磨等处理,制成所需尺寸的

小玻璃片。

第二步:导电膜涂布

在玻璃基板上涂敷一层导电膜。导电膜是电容屏的关键部分,能够感

应到人体触摸操作。常用的导电材料有氧化铟锡(ITO)等,该材料具有

优异的导电性能和透光性能。导电膜的涂布可以通过溅射、喷涂等方法实现。

第三步:光刻和蚀刻

通过光刻技术,在导电膜上覆盖一层光刻胶,并使用具有不同图案的

掩膜进行曝光。然后,使用蚀刻液将不需要的导电膜部分蚀刻掉,从而得

到所需的电路图案。此过程需要利用光刻机和蚀刻机进行。

第四步:玻璃基板清洗

将经过光刻和蚀刻的玻璃基板进行清洗,去除掉光刻胶残留物和蚀刻

液等杂质。常用的清洗方法包括超声波清洗、电离水清洗等。

第五步:玻璃基板涂布抗指纹涂层

为了减少指纹污染,提高触摸屏的使用寿命,需要在玻璃基板上涂布一层抗指纹涂层。抗指纹涂层具有防水、防油、防污渍等功能。涂布方法通常使用溅射或喷涂。

第六步:感应电极和IC芯片安装

在导电膜上安装感应电极和IC芯片。感应电极负责感应触摸,将触摸操作转化为电信号。IC芯片则负责接收并处理电信号。这一步通常需要使用精密的焊接技术。

第七步:封装模组

将电容屏的各个组件进行封装。包括安装玻璃盖板、连接线路、安装屏幕驱动模块等。最终得到一个封装完成的电容屏模组。

第八步:品质检测和调试

对封装完成的电容屏模组进行严格的品质检测。包括电容性能测试、触摸灵敏度测试、亮度均匀性测试、颜色准确性测试等。同时,需要调试屏幕驱动模块,确保其正常工作。

第九步:成品组装和封装

将电容屏模组与显示屏、背光模块等组件进行组装和封装,形成成品触摸屏模组。

第十步:最终测试和包装

对成品触摸屏模组进行最终的功能测试和外观检查。合格后,对其进行包装,并配备相应的说明书和附件,最终交付给客户。

以上是电容屏的生产流程,其中每个步骤都需要严格控制质量,确保电容屏的性能和可靠性。电容屏的生产需要复杂的制造设备和专业的生产工艺,以满足不同客户对触摸屏的要求。

电子产品生产工艺流程

电子产品生产工艺流程 在现代科技迅猛发展的时代,电子产品已经成为了人们日常生活中 必不可少的一部分。而这些电子产品的生产工艺流程对于产品的品质 和性能起着至关重要的作用。本文将详细介绍电子产品生产工艺流程,包括材料选用、生产流程和质量控制等方面。 一、材料选用 1.主控芯片:主控芯片作为电子产品的核心之一,其选用要根据 产品的功能需求和性能要求来确定。常见的主控芯片有ARM、Intel和AMD等,需要根据不同的产品特点选择适合的主控芯片。 2.元器件及零部件:电子产品中的元器件和零部件种类繁多,如 电容、电阻、晶体管等。在选用材料时,需要考虑其稳定性、可靠性 和兼容性等因素,以确保产品的使用寿命和性能。 3.屏幕和外壳材料:对于电子显示器、手机等产品来说,屏幕和 外壳材料的选用十分重要。需要考虑到防刮擦、抗冲击、防水防尘等 特性,同时也要保证屏幕显示效果和外观美观。 二、生产流程 1.原材料准备:提取和采购各种原材料,包括主控芯片、元器件、屏幕和外壳等。 2.电路板制作:将电路设计图转化为实际的电路板,通过蚀刻、 打孔、焊接等工艺制作出电路板。

3.元器件安装:将各种元器件焊接到电路板上,可以通过手工焊接、贴片式元件等方式进行安装。 4.组装:将电路板与外壳、屏幕等组装在一起,并进行相应的连接和固定,形成完整的电子产品。 5.测试与调试:对产品进行严格的测试和调试,确保产品的正常工作和性能稳定。 6.包装和质检:对产品进行包装,并进行质量检验,确保产品的完整性和质量标准。 7.出厂入库:合格的产品进行出厂入库并记录相关信息,准备发往市场销售。 三、质量控制 1.原材料检验:对所有采购的原材料进行检验,确保其符合产品的质量标准。 2.生产过程控制:在生产过程中,严格执行各项工艺规范和流程控制,确保每一道工序的质量稳定。 3.产品测试:对每一个生产出来的产品进行全面的测试,包括功能测试、性能测试和可靠性测试等,确保产品达到预期要求。 4.质量记录和追溯:对产品的生产过程进行详细记录,并建立完善的追溯体系,以便产品质量的溯源和问题的追溯。

电容生产流程

电容生产流程 电容是一种广泛应用于电子设备中的电子元件,其主要功能是储存和释放电能。电容的生产流程经过多个步骤,包括材料准备、电极制备、电介质制备、组装和封装等过程。下面将详细介绍电容的生产流程。 一、材料准备 电容的制作需要准备多种材料,包括电极材料、电介质材料和封装材料等。电极材料通常使用金属箔或金属粉末,如铝箔或锌粉末。电介质材料可以是涂覆在电极材料上的绝缘层,常见的有聚丙烯薄膜和聚酯薄膜。封装材料一般选用有机胶水或树脂。 二、电极制备 电极是电容的重要组成部分,它是储存和释放电能的关键。电极的制备主要包括金属箔的切割和清洗等步骤。首先,将金属箔按照设计要求进行尺寸切割,然后通过清洗去除表面的杂质,以保证电极的纯净度和导电性能。 三、电介质制备 电介质是电容的绝缘层,起到隔离电极之间的作用。电介质的制备主要包括涂覆和干燥等步骤。先将电介质材料制成液态或溶液状,然后将其均匀地涂覆在电极上,形成一层薄膜。最后,通过干燥过程使电介质变为固态,使其具有良好的绝缘性能。

四、组装 组装是将电极和电介质按照一定的顺序和方式组合在一起,形成电容的关键步骤。首先,将电极和电介质按照设计要求进行叠层组合,确保电介质均匀地分布在电极之间。然后,通过压制或加热等方法将电极和电介质牢固地粘合在一起,以确保电容的稳定性和可靠性。 五、封装 封装是将组装好的电容进行包装,以保护其内部结构和功能。封装一般使用有机胶水或树脂,将电容的组装部分包裹起来,并通过固化或硬化使其具有一定的机械强度和抗冲击能力。封装还可以为电容提供防潮、防尘和防腐蚀等功能,以延长其使用寿命。 六、测试和质检 在电容生产的最后阶段,需要对其进行测试和质检,以确保其质量符合标准要求。测试包括电容的电气性能测试和可靠性测试等,以验证其额定参数和使用寿命。质检则包括外观检查、尺寸测量和包装检验等,以确保电容的外观和尺寸符合要求,并且包装完好。 电容的生产流程经过材料准备、电极制备、电介质制备、组装和封装、测试和质检等多个步骤。每个步骤都有着严格的要求和操作规程,以确保电容的质量和性能。电容作为重要的电子元件,在各种电子设备中发挥着重要的作用,其生产过程的精细化和自动化程度也在不断提高,以满足不断增长的市场需求。

电容屏印刷工艺

电容屏印刷工艺 电容屏是目前主流的手机、平板电脑、笔记本电脑等电子产品的触摸屏技术之一。电容屏印刷工艺是制造这种屏幕的重要流程之一,本文将详细介绍电容屏印刷工艺的原理、材料和过程。 一、电容屏的原理 电容屏的原理是依靠“电容效应”实现的,即当两个电极之间的电位差发生改变时,两个电极之间所储存的电荷量也会发生变化。在电容屏上,触控笔或手指触摸屏幕时,屏幕上的一层透明导电材料收集触摸信号,与另一层导电材料之间产生电容效应,根据电容变化来检测触摸位置。 二、电容屏印刷工艺的材料 电容屏印刷工艺的材料主要包括导电墨、PET基材和ITO 膜等。其中导电墨是印刷过程中最关键的材料之一,其导电性能和光透性能直接关系到触摸屏幕的精度和清晰度。目前市场上常用的导电墨有:银浆导电墨、碳墨导电墨、铜墨导电墨等。 PET基材是电容屏的材料之一,其主要作用是提供支撑和辅助印刷。常用的PET基材厚度为0.1mm至0.25mm,透明性好,机械强度高。

ITO膜是电容屏幕上的导电薄膜,主要作用是收集触摸信号和承载导电墨。目前市场上常用的ITO膜有:ITO玻璃、ITO 膜材等。 三、电容屏印刷工艺的步骤 1. 基材涂布:在PET基材上涂布一层导电胶,使PET基材表面形成一层导电层。 2. 印刷:将导电墨印刷在导电层上。印刷时需要保证导电墨的厚度和平整度,防止出现导电缺陷。 3. 烘干:印刷完成后,会在高温烤箱中进行烘干处理,使导电墨完全固化,以保证导电效果和表面平整度。 4. 贴ITO膜:将ITO膜压贴在导电层上,这一步是将导电墨和ITO膜融合在一起形成导电结构。 5. 硅树脂覆盖:在ITO膜上涂覆一层硅树脂,以保护ITO 膜和导电墨。 6. 成品检验:根据电容屏的规格和要求,对成品进行检验。检查项包括:导电率、透明度、平面度等。 四、电容屏印刷工艺的优缺点 电容屏印刷工艺相对于其他触控技术,具有以下优点: 1. 精度高:印刷电容屏的精度比传统的电阻屏技术要高。 2. 高透明度:电容屏的导电墨具有高透明度,不会影响屏幕的显示效果。

贴片电容生产工艺流程

贴片电容生产工艺流程 《贴片电容生产工艺流程》 随着电子产品的日益普及和技术的不断发展,贴片电容作为一种重要的电子元器件在电子制造 业中扮演着重要角色。贴片电容生产工艺流程是贴片电容从原材料到最终成品的全过程,下面 将对其进行详细介绍。 1. 原材料准备:首先,需要准备贴片电容的原材料,主要包括电介质材料、电极材料和引线材料。电介质材料通常采用聚酰亚胺薄膜、陶瓷薄膜等,电极材料则通常为银、铜或锌等金属, 引线材料可以选择不同的材质如金属线或无铅焊锡球。 2. 薄膜沉积:将电介质材料通过化学气相沉积或物理气相沉积技术,将薄膜层沉积在导电基片上。薄膜的厚度可以通过控制沉积时间和沉积速率来调节,以满足不同型号的贴片电容的要求。 3. 金属覆盖层制备:使用光刻工艺将金属图形定义在薄膜层上,将金属固定在电介质材料上。 金属覆盖层通常由两个电极构成,通过选择不同的金属材料和不同的加工过程,可以制备出具 有不同性能的贴片电容。 4. 切割和分选:使用激光切割或其他切割技术,将金属覆盖层切割成适当大小的单个贴片电容。然后,通过分选机械将贴片电容进行分类和分选,以确保每个贴片电容的质量和尺寸符合要求。 5. 引线焊接:对于需要引线的贴片电容,需要通过焊接技术将引线材料连接到电极上。焊接可 以使用无铅焊接或其他焊接技术,以确保电极和引线之间的良好连接。 6. 测试和包装:对每个贴片电容进行电性能和可靠性测试,以确保其符合规定的标准和规范。 通过将贴片电容进行包装,可以保护其免受外部环境的损害,并方便存储、运输和使用。 以上是贴片电容生产工艺流程的基本步骤,不同的制造商和产品可能会有一些细微的差异。贴 片电容的制造工艺需要高度的自动化和精密的仪器设备来确保产品的质量和稳定性。随着技术 的发展,贴片电容的制造工艺将继续完善和改进,以满足不断变化的市场需求。

电容器生产工艺流程

电容器生产工艺流程 电容器是一种能够储存电能的设备,广泛应用于电子产品和电力系统中。它由两个电极之间的电介质隔离层组成,其中电介质可以是陶瓷、塑料或液体。电容器的生产工艺流程一般包括材料准备、电介质制备、电极制备、装配和测试等步骤。 首先是材料准备。根据电容器的设计规格,准备所需的材料,包括电极材料、电介质材料以及其他辅助材料。电极材料通常是金属片或导电聚合物,电介质材料可以是陶瓷粉末或聚合物薄膜。 接下来是电介质制备。对于陶瓷电容器,制备陶瓷粉末的工艺包括粉末合成、干燥、粉碎和筛分等步骤。而对于聚合物电容器,制备电介质薄膜的工艺包括溶液制备、涂布、成膜和干燥等步骤。这些步骤都需要严格控制各种参数,以确保电介质的性能达到要求。 然后是电极制备。对于金属电极,可以通过压制、切割和地线等步骤将导电材料加工成所需形状和尺寸的电极片。对于导电聚合物电极,可以通过溶液制备、涂布和成膜等步骤将导电聚合物材料制备成电极片。为了提高电极与电介质之间的界面质量,通常会在电极表面进行活化处理。 接着是装配。将制备好的电介质层和电极层按照规定的顺序堆叠在一起,并通过加热、加压或其他方法使其牢固地粘合在一起。此外,还要按照设计要求添加电极引线,并用导线将引线与外部连接器焊接在一起。

最后是测试。对生产好的电容器进行各种电性能测试,包括容量、损耗因子、电压漏率和绝缘电阻等参数的测量。测试结果要与设计要求进行比对,确保电容器的质量符合标准。 电容器生产工艺流程中的每个步骤都需要严格的控制和监督,以确保电容器的质量和性能。同时,还需要根据市场需求和技术发展的趋势不断改进和优化生产工艺,提高生产效率和产品质量,适应电容器应用领域的不断变革和进步。

整理电解电容生产过程

电解电容器生产工艺流程 铝电解电容器主要原材料: 阳极箔、阴极箔、电解纸、电解液、导箔、胶带、盖板、铝壳、华司、套管、垫片等 生产工序 切割、卷绕、含浸、装配、老化、封口、印刷、套管、测量、包装、检验等 电解电容原材料分切 小型电解电容器自动卷绕机

大型电解电容器自动卷绕机 电解电容芯子含浸 电解电容高温老化 电解电容性能测试 铝电解电容制造进程:

第一步:铝箔的腐化。 倘若拆开一个铝电解液电容的外壳,你会看到内里是几多层铝箔和几多层电解纸,铝箔和电解纸贴附在一起,卷绕成筒状的机关,这样每两层铝箔中间便是一层吸附了电解液的电解纸了。 铝箔的制造要领。为了增大铝箔和电解质的战争面积,电容中的铝箔的外观并不是平滑的,而是通过电化腐化法,使其外观形成崎岖不屈的形状,这样不妨增大7〜8倍的外观积。电化腐化的工艺是较量庞杂的,此中涉及到腐化液的种类、浓度、铝箔的外观状态、腐化的速率、电压的动态均衡等等。 第二步:氧化膜形成工艺。 铝箔通过电化腐化后,就要运用化学方法,将其外观氧化成三氧化二铝—一也便是铝电解电容的介质。在氧化之后,要仔细检讨三氧化二铝的外观,看是否有雀斑也许龟裂,将不足格的清除在外。 第三步:铝箔的切割。 这个措施很简单明白。便是把一整块铝箔,切割成几多小块,使其适当电容制造的必要。 第四步:引线的铆接。 电容外部的引脚并不是直连接到电容内部,而是经过内引线与电容内部连结的。因此,在这一步当中我们就必要将阳极和阴极的内引线,与电容的外引线经过超声波键正当连结在一起。外引线通常采纳镀铜

的铁线也许氧化铜线以削减电阻,而内引线则直接采纳铝线与铝箔直接相连。大众注意这些小小的措施无一过错细密加工要求很高。 第五步:电解纸的卷绕。 电容中的电解液并非直接灌进电容,呈液态浸泡住铝箔,而是经过吸附了电解液的电解纸与铝箔层层贴合。这当中,选用的电解纸与平凡纸张的配方有些分歧,是呈微孔状的,纸的外观不及有杂质,不然将影响电解液的身分与性能。而这一步,便是将没有吸附电解液的电解纸,和铝箔贴在一块,然后卷进电容外壳,使铝箔和电解纸形成近似“101010”的隔断状态。 第六步:电解液的浸渍。 当电解纸卷绕完毕之后,就将电解液灌进去,使电解液浸渍到电解纸上。随着电解液配方的革新以及电解纸制造技能的提拔,目前铝电解液电容的ESR值也逐渐得以提拔,酿成往日的几多分之一。 第七步:装配。 这一步便是将电容表面的铝壳装配上,同时连结外引线,电容到这时已经根本成型了。 第八步:卷边。 若是是那种“包皮”电容,就必要通过这一步,将电容表面包覆的PVC 膜套在电容铝壳表面。不外目前运用PVC膜的电容已经越来越少,主要因为在于这种原料并分歧适环保的趋向,而和性能展现没有太大精品文档

铝电解电容器生产工艺流程

铝电解电容器生产工艺流程 (附图片)(2009/12/18 15:19) 铝电解电容器主要原材料: 阳极箔、阴极箔、电解纸、电解液、导箔、胶带、盖板、铝壳、华司、套管、垫片等 生产工序 切割、卷绕、含浸、装配、老化、封口、印刷、套管、测量、包装、检验等 电解电容原材料分切 小型电解电容器自动卷绕机

大型电解电容器自动卷绕机 电解电容芯子含浸 电解电容高温老化 电解电容性能测试 铝电解电容制造进程: 第一步:铝箔的腐化。 倘若拆开一个铝电解液电容的外壳,你会看到内里是几多层铝箔和几多层电解

纸,铝箔和电解纸贴附在一起,卷绕成筒状的机关,这样每两层铝箔中间便是 一层吸附了电解液的电解纸了。 铝箔的制造要领。为了增大铝箔和电解质的战争面积,电容中的铝箔的外观并 不是平滑的,而是通过电化腐化法,使其外观形成崎岖不屈的形状,这样不妨 增大7~8倍的外观积。电化腐化的工艺是较量庞杂的,此中涉及到腐化液的种 类、浓度、铝箔的外观状态、腐化的速率、电压的动态均衡等等。 第二步:氧化膜形成工艺。 铝箔通过电化腐化后,就要运用化学方法,将其外观氧化成三氧化二铝——也 便是铝电解电容的介质。在氧化之后,要仔细检讨三氧化二铝的外观,看是否 有雀斑也许龟裂,将不足格的清除在外。 第三步:铝箔的切割。 这个措施很简单明白。便是把一整块铝箔,切割成几多小块,使其适当电容制 造的必要。 第四步:引线的铆接。 电容外部的引脚并不是直连接到电容内部,而是经过内引线与电容内部连结的。 因此,在这一步当中我们就必要将阳极和阴极的内引线,与电容的外引线经过 超声波键正当连结在一起。外引线通常采纳镀铜的铁线也许氧化铜线以削减电 阻,而内引线则直接采纳铝线与铝箔直接相连。大众注意这些小小的措施无一 过错细密加工要求很高。 第五步:电解纸的卷绕。 电容中的电解液并非直接灌进电容,呈液态浸泡住铝箔,而是经过吸附了电解 液的电解纸与铝箔层层贴合。这当中,选用的电解纸与平凡纸张的配方有些分歧,是呈微孔状的,纸的外观不及有杂质,不然将影响电解液的身分与性能。 而这一步,便是将没有吸附电解液的电解纸,和铝箔贴在一块,然后卷进电容

铝电解电容器生产工艺流程

铝电解电容器生产工艺流程 铝电解电容器主要原资料: 阳极箔、阴极箔、电解纸、电解液、导箔、胶带、盖板、铝壳、华司、套管、垫片等 消费工序 切割、卷绕、含浸、装配、老化、封口、印刷、套管、测量、包装、检验等 电解电容原资料分切 小型电解电容器自动卷绕机

大型电解电容器自动卷绕机 电解电容芯子含浸 电解电容高温老化 电解电容功用测试

铝电解电容制造进程: 第一步:铝箔的蜕化。 倘假定拆开一个铝电解液电容的外壳,你会看到内里是几多层铝箔和几多层电解纸,铝箔和电解纸贴附在一同,卷绕成筒状的机关,这样每两层铝箔中间便是一层吸附了电解液的电解纸了。 铝箔的制造要领。为了增大铝箔和电解质的战争面积,电容中的铝箔的外观并不是平滑的,而是经过电化蜕化法,使其外观构成坎坷不屈的外形,这样无妨增大7~8倍的外观积。电化蜕化的工艺是竞赛庞杂的,此中触及到蜕化液的种类、浓度、铝箔的外观形状、蜕化的速率、电压的静态平衡等等。 第二步:氧化膜构成工艺。 铝箔经过电化蜕化后,就要运用化学方法,将其外观氧化成三氧化二铝——也便是铝电解电容的介质。在氧化之后,要细心检讨三氧化二铝的外观,看能否有雀斑也许龟裂,将缺乏格的肃清在外。 第三步:铝箔的切割。 这个措施很复杂明白。便是把一整块铝箔,切割成几多小块,使其适当电容制造的必要。 第四步:引线的铆接。 电容外部的引脚并不是直衔接到电容外部,而是经过内引线与电容外部连结的。因此,在这一步当中我们就必要将阳极和阴极的内引线,与电容的外引线经过超声波键合理连结在一同。外引线通常采用镀铜的铁线也许氧化铜线以增添电阻,而内引线那么直接采用铝线与铝箔

电容屏Sensor制造流程工艺说明书教案资料

工程顺序:•BM→‚SPT ITO→ƒEtch ITO→…X轴架桥(EOC光阻)→…SPT Mo-Al-Mo→†Etch Mo-Al-Mo→‡保护层(EOC光阻) 以下是各工程制程细部解说: 第一道工程是BM (Black Matrix),制造触控屏的遮光框及后续工程的对位记号。此工程需在黄光微影制程下生产。 设备名称制程名称功能说明 Loader投片机玻璃入料投入SiO2玻璃基板。 UV Cleaner 紫外线洗净 利用紫外线生成臭氧分解基板上的有机物。 药洗机 药液清洁利用碱性药液KOH或清洁剂分解基板上的无机物,也可清洗有机物残骸。 水洗机高压清洁 高压水柱大量冲洗基板药液清洁后的残留物。超音波清洁 超音波震荡出微细缝中的残留物。 纯水清洁 大量超纯水冲洗基板。 液切 风刀吹干基板上的水。 IR/UV IR干燥 以IR加热板高温蒸发水气,达基板表面完全干燥。 Buffer 缓冲区 进入Coater前的缓冲。 Spin Coater光阻涂布利用离心力旋转涂布黑色光阻剂(负型光刻胶)。 软烤炉Pre-bake光阻以IR加热板烤干基板上的黑色光阻薄膜。 曝光机曝光前恒温 板 基板经由软烤炉后需降温至与BM光罩同温,才可进 行曝光。 光阻曝光将光罩设计图面1:1曝光转印在光阻薄膜上。 端面洗净机基板端面洗 净 将基板四个边先做显影。 显像(现象)机光阻显影利用碱性显影药液分解基板上未曝光的黑色光阻薄膜。

显影后洗净大量超纯水冲洗显影药液。 Un-loader收片收片基板收入卡匣。 使用HAPE台车搬运卡匣到硬烤炉 硬烤炉Post-bake 第二道工程是SPT ITO (溅镀ITO导电膜),制造电容式触控屏的X轴Y轴电场。此工程需经过ITO洗净机后,再进入高真空溅镀机中生产。 设备名称制程名称功能说明 Loader投片机基板入料投入硬烤完成的BM基板(或是SiO2玻璃基板)。 水洗机磨刷水洗毛刷刷洗基板上的异物。 中压水洗中高压水柱大量超纯水冲洗基板。风刀风刀吹干基板上的水。 IR段IR干燥以IR加热板高温蒸发水气,达基板表面完全干燥。UV段UV改质利用紫外线改质BM基板表面,有利溅镀成膜。Loader投片机基板收料基板收片入卡匣。 使用HAPE台车搬运卡匣到ITO溅镀机 ITO溅镀机ITO镀膜 在高温高真空炉中,利用高磁场磁控ITO靶材溅镀ITO 膜。 第三道工程是Etch ITO,制造电容式触控屏的X轴Y轴设计图案。 此工程再回到黄光微影制程生产,及ITO蚀刻室。 设备名称制程名称功能说明 Loader投片机玻璃入料投入ITO成膜后的ITO玻璃基板。 UV Cleaner紫外线洗净利用紫外线生成臭氧分解基板上的有机物。 药洗机药液清洁利用碱性药液KOH或清洁剂分解基板上的无机物,也可清洗有机物残骸。 水洗机高压清洁高压水柱大量冲洗基板药液清洁后的残留物。

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