金属微纳结构中的光热效应及其相关应用

３．２１３剥离工艺…………………………………………………………………………………．４２３．２．４感应耦合等离子体刻蚀…………………………………………………………………．４３３．３人工超材料光吸收器制备工艺……………………………………………………………４５３．４集成ＭＩＭ光吸收器的硅光子器件制备工艺……………………………………………．４８３．４．１祸合光栅与波导制备工艺………………………………………………………………４８３．４．２ＭＩＭ光吸收器集成工艺………………………………………………………………．５０３．４．３器件结构图………………………………………………………………………………５１３．５表征方法……………………………………………………………………………………５２３．５．１材料表征…………………………………………………………………………………．５２３．５．２器件／结构性能表征………………………………………………………………………５３３．６小结………………………………………………………………………………………………………………………．６０４基于光热效应实现金属纳米颗粒的转移……………………………………………………６１４．１ＬＩＦＴ实验系统………………………………………………………………………………６１４．２ＬＩＦＴ实验结果与讨论………………………………………………………………………６４４．３／Ｊ、结………………………………………………………………………………………………………………………．７３５基于光热效应的硅光电子开关………………………………………………………………７４５．１全刻蚀ＭＺＩ光热开关结构设计…………………………………………………………一７５５．２全刻蚀ＭＺＩ光热开关特性表征…………………………………………………………一７８５．３半刻蚀ＭＺＩ光热开关结构设计…………………………………………………………．．８１５．４半刻蚀ＭＺＩ光热开关特性表征…………………………………………………………一８２５．５性能对比……………………………………………………………………………………．８４５．６小结………………………………………………………………………………………………………………………．８６６总结与展望……………………………………………………………………………………８７参考文献…………………………………………………………………………………………８９作者简历及在学期间所取得的科研成果……………………………………………………．１０３

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