真空氦质谱检漏原理与方法综述

孙开磊;孙新利

【期刊名称】《真空电子技术》

【年(卷),期】2007(000)006

【摘要】介绍了真空氦质谱检漏技术的工作原理,综述了检漏技术的新方法,分别列举了测定漏点型和测定漏率型两种类型的真空检漏方法和实际应用.较全面地总结了真空氦质谱检漏技术的原理与方法.

【总页数】4页(62-65)

【关键词】检漏;氦质谱检漏仪;真空;试件

【作者】孙开磊;孙新利

【作者单位】第二炮兵工程学院,陕西,西安,710025;第二炮兵工程学院,陕西,西安,710025

【正文语种】中文

【中图分类】TN107

【相关文献】

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