磁控溅射操作流程

开循环冷却水（仅供参考，具体需根据实际）

起降温作用，避免腔体在高温下工作；

摁下按钮，两绿灯发亮，表示工作正常。

开电源（左边）

相序，循环水两灯亮时，表示供电正常。依次打开样品转动控制电源。靶挡板电机控制电源和电脑软件。

开腔体（开V2，开N2（气压计），到大气压，关N2，开腔，关V2）先开V2（与空气相同）使腔内气压与大气压平衡，再摁升腔按钮打开腔体。这时便可以进行装取靶材和基片。装完后检查样品与靶位是否正对，以及转盘与靶位是否正对（如果出现偏移，则需关闭软件以及样品转动控制电源和靶挡板电机控制电源的开关，将彼此位置手动调整为正对）

关闭V2

关腔体

摁降腔关闭腔体，注意：此过程中避免发生任何碰撞。

腔体关闭后，确认与电流源A、B、C、D、E对应的靶位是否正确。

第二部分：抽真空

进行此步骤前要确保V1、V2、V3、V4、和G都已关闭

旁抽:1 打开复合真空计

2 摁下机械泵开关

3 打开旁抽阀V1，逆时针开两圈，10秒后再开5圈（缓慢打开V1，防止油泵返油，污染腔室，损坏高真空计）

4 观察气压，当腔内气压低于5Pa时，可进行主抽。

主抽:1 关V1

2 开电磁阀：气压示数会增大，当气压计示数变化缓慢时可进行下一步

3 启动分子泵（绿灯由闪亮变为常亮，若出现红灯则工作不正常）；屏幕上会依次显示‘▽’，‘▽▽’，‘▽▽’，当出现‘▽▽’时表示分子泵已处于较高速度，出现‘▽▽’表示分子泵已达到最高转速（约49000 rad/min）.

4 打开闸板阀G时，要特别注意平衡阀门两侧的气压（若真空计示数超过10Pa，则应该关闭电磁阀，打开V1，使腔内真空度降低，而后关闭V1，打开电磁阀，再打开闸板阀），当两侧气压相差不大时，出现‘▽▽’时即可打开闸板阀，开闸板阀时转到底后回转两圈。等待约6小时，完成抽真空。

如需升温则进行此步骤：先将加热控温模块调至所需温度，长摁run至相应绿灯亮，再调节电流至合适大小（2A）开始进行升温，升温完成后关闭闸板阀G（）。

进行起辉

压强调节：

1 打开流量显示仪预热3分钟（将设定流量调到零，待零点稳定后）。

2 开V4（将管中的不干净气体抽出）。

3 打开Ar气瓶总阀（减压阀减压表压力应小于0.3MPa）

4 把质量流量计打到“阀控”档，调节至所需流量。

若是混合气体，则不开V4。

1 先开V3再开V5、V6，一会后关闭V3、V5、V6。

2 开V6，开Ar气瓶总阀，将Ar气流量计打到“阀控”档，调节至所需流量。

3 开V5，开H气瓶总阀，将H气流量计打到“阀控”档，调节至所需流量。

4 开V3

5 适当调节闸板阀关闭的大小来调节工作压强。

功率调节：（确保电源线和相应的靶材连接正确，以及电源旋转开关转到相应的电源，再下一步）

1 使靶材挡板处于打开状态

2 开电源总开关

3 开直流电源开关，调节所需功率，按下“on”按钮。

开射频电源开关，调节至所需功率

4 观察起辉

程序控制进行镀膜：修改（工艺，时间（位置），托盘，启动）程序所需值，开始镀膜直至完成。

第四部分：关机

关机步骤

1 将电源中的功率调至0，关闭电源。

2 关闭闸板阀G

3 关闭流量计：将流量计旋钮调0后，将阀控调至关闭状态

4 关V4后再关Ar气

若是混合气体：

1 将H气流量计旋钮调0后，将阀控调至关闭状态，关V5，关H气瓶总阀门

2 将Ar气流量计旋钮调0后，将阀控调至关闭状态，关V6，关Ar气瓶总阀门

3 关V3。

5 （进行降温，将电流调为0后再长按run至绿灯熄灭，待温度降至100摄氏度以后，）关闭分子泵。待分子泵转速降为0时，关闭电磁阀，再关闭机械泵，关闭电源，最后关闭循环水，拔掉插头。