日本电子透射电镜操作和使用要点
JEM-2100高分辨透射电子显微镜的使用注意事项
透射 电子显微镜简称透射电镜 ，是电子显微镜的一种 。透 射电镜是一种高分辨率 、高放大倍数的显微镜 ，能直接观察并 研究材料 的内部结构 、相组成 、分布以及晶体 中位错 、层错晶 界 、空位 等缺 陷 ，是研究材料微观组织最有 力的工具之一 。其 可进行形貌观察 、选区 电子衍射 以及能谱分析 ，广泛应用于物 理 、化学 、材料科学 、矿物学 、地质 、冶金等领域 。 Ｊ Ｅ Ｍ一 ２ １ ０ ０ 透射 电镜是 日本 电子株式会社生产的高分辨型电
空气压缩机是 电镜的重要组 成部分，空压机一般是将大 气 压缩成压强较大 的气体以推动电镜 内气体 阀门的运动 ，由于 大 气 中含有水分 ，故在压缩机底部会有 存水 ，当存水不能 及时排 放时就 会腐蚀仪 器 ，放 水周期可 根据不 同区域和季 节进行调 整 ，但 是最好每周放水一次 ，放水时要关 闭灯丝和高压 。另外 空压机的吸气过滤网要定期除尘。
路 板 上 从 而 烧 毁 电路板 。开 机 前 一 般 先查 看循 环 水 屋 的 空 调 是
否正常工作 ，循环水的温度是否正常。循 环水最好是三次水 ， 循环水的水面要 高于水漂低于 出水 口，因此隔几个月需查看循
环 水 是 否 减 少 以 及是 否干 净 ，水 减 少 时及 时添 加 ，若 循 环 水 脏 应 及时 更 换循 环水 ，宜 半 年到 一年 更换 一 次 。 ３ 空气 压缩 机 的要 求
镜 ，此 电镜 的 点分 辨 率 为０ ． １ ９ ４ ａ ｍ， 晶格 分 辨 率 为 ０ ． １ ４ ｎ ｍ，最 大 放 大 倍 数为 １ ５ ０ 万 倍 ，是 非 常 贵重 和 精 密 的设 备 ，因此 正 确使
透射电镜使用说明
透射电镜使用说明1、由管理员开启透射电镜，调好仪器状态，安装样品。
2、在荧光屏状态下观察样品，通过轨迹球选择观察区域，通过Brightness调节画面亮度（*逆时针旋转调亮，顺时针旋转调暗）。
3、选择好观察区域后，调弱光强，确保CCD界面上的光强度（screendensity(A/cm2)）在10-12数量级，然后切换到CCD模式进一步调整。
*一定记得调弱光（顺时针）后才能切换至CCD界面，否则会打坏CCD。
4、通过Mag旋钮进一步增大放大倍数，选定好拍照区域后通过Brightness调整光强，使CCD界面中的波峰在中部比较好。
*若要增大放大倍数，直接顺时针旋Mag；若要减小放大倍数，要先顺时针旋Brightness减弱光强，然后逆时针旋Mag，否则会打坏CCD。
5、点击面板上的Focus键自动聚焦，然后使用Focus旋钮将图像调整清晰。
如果肉眼不好判断是否聚好焦，可点面板上的WOB键，用Focus调至画面不晃动即可，关WOB，准备拍照。
6、在CCD 界面点击Freeze进行拍照之后点击Save进行存储图像。
*一定要点Save，否则图像不会自动保存。
7、切换至荧光屏状态，继续寻找观察区域，然后重复步骤2-6。
*若在小范围内继续观察，可以在步骤6后调弱光强（Brightness顺时针）后，直接点击Run打开CCD继续观察拍照。
8、一个样品观察完毕后，在Stage Operation中选择下一个样品，然后重复步骤2-6。
备注：请勿自行更改任何仪器设置和参数，如需换样或有任何疑问，请联系管理员：肖媛，135********。
谢谢！2013年10月15日。
透射电子显微镜的使用教程
透射电子显微镜的使用教程透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM）是一种高分辨率的显微镜，它能够通过电子束穿透样品，观察样品内部的结构和成分。
本文将介绍透射电子显微镜的使用教程，让读者了解如何正确操作这一仪器。
1. 仪器准备使用透射电子显微镜前，首先需要进行仪器的准备工作。
确保仪器处于良好的工作状态，例如检查电源、真空系统等。
同时，还应检查样品台、样品支架等配件是否完好。
此外，为了获得更好的成像效果，还需准备适当尺寸的透射电镜样品。
2. 样品制备将待观察的样品制备成符合要求的样品是使用透射电子显微镜的重要一步。
通常情况下，需要将样品制备成薄片，以保证电子束能够穿透样品。
这可以通过机械剥离、石墨化学剥离等方式实现。
制备好的样品应该放置在电镜网格上，并确保样品无尘、无气泡等。
同时，样品可以根据需要进行涂覆、染色等处理，以突出样品的特定结构。
3. 调试仪器参数在开始观察之前，需要根据样品的特点和使用需求调试透射电子显微镜的参数。
首先，根据样品的特性选择合适的加速电压和操作模式。
其次，通过调整透射电子显微镜的对焦系统和磁镜，确保电子束可以准确地聚焦在样品上。
此外，还需要适当调整透射电镜的亮度和对比度，以获得清晰的图像。
4. 开始观察调试好仪器参数后，就可以开始观察样品了。
将样品放置在样品台上，确保样品与电子束之间的距离适当。
随后，可以通过透射电子显微镜的视野调整系统选择感兴趣区域进行观察。
可以使用不同的放大倍数和透射电子干涉仪等设备来进一步细分样品，探寻内部结构和成分。
观察过程中，可以使用仪器自带的捕捉功能，记录感兴趣区域的图像和视频。
5. 数据处理和分析观察完成后，可以进行数据处理和分析。
透射电子显微镜通常配备了一些图像处理工具，可以进行图像的增强、滤波等操作。
此外，还可以使用电子衍射、原子能谱等技术，对样品进行更深入的分析。
通过数据处理和分析，可以得到关于样品结构、成分和性质的详细信息。
透射电镜的使用方法及应用
透射电镜的使用方法及应用
透射电镜是一种能够将电子束穿透到物质内部的高分辨率成像技术，可用于研究纳米级结构和材料的微观结构。
使用方法：
1. 样品制备：首先需要准备物质样品，制备要求与透射电子显微镜(TEM)相似，即需要制备一定的薄片或纤维，通常使用离子蚀刻等技术来制备样品。
2. 接入样品：将样品放置于透射电镜样品架上，并通过真空系统移除样品表面的气体，使样品与电子束之间的相互作用减少。
3. 选择显微镜参数：设置合适的照射电压和电流，以及透射电镜的透镜系统，以确保电子束在穿过样品时能够正确地被聚焦。
4. 数据采集：观察样品，通过检测经过样品的电子束所受到的散射，从而获得有关样品的微观结构信息。
可以使用高分辨率成像，衍射和能谱分析等技术，以获得不同的信息。
应用：
1. 纳米材料研究：透射电镜可以用于研究各种纳米材料的形状，大小和结构，
例如奈米管和纳米颗粒等。
2. 生物医学研究：透射电镜可以用于研究组织细胞等生物样品的微观结构，可以用于细胞的超高分辨率成像，包括细胞核、细胞质和细胞器等。
3. 材料科学研究：透射电镜可以用于研究材料的晶体结构、缺陷和表面形貌等重要信息，这对材料科学的研究和设计非常有用。
4. 能源材料研究：透射电镜可以用于研究各种电池、太阳能电池、燃料电池和催化剂等能源材料的结构和性能，对于能源材料的开发和利用具有重要意义。
总之，透射电镜是一个非常强大的工具，对于研究材料学，生物医学和能源材料等领域具有广泛的应用价值。
透射电镜操作过程
透射电镜操作过程一．开机准备1.读真空度，旋钮调至×10-5 Pa档，读中圈蓝色的数值，应确保<2.5×10-5 Pa，然后调至10KV进行操作。
2.读偏压（屏幕左下角coarse/fine）3. Filament 状态读暗电流（Bearm current），应确保其为101左右，过高不稳定。
4.开灯丝点击屏幕上Filament （或者左面板上的beam），等待运行完毕，此时电流为发射电流。
▲注：①以上数值均需记录。
②若光线很暗，说明被样品挡住，应找一个无样品区域进行调光。
二．将光斑调至中心1.调节Mag旋钮至mag=40K（MAG1状态），点按按钮归零，然后调Brightness旋钮【顺散逆聚】至光斑最小，通过将光斑调至中心。
2.将光散开，通过聚光镜①（通常选择一级光栏，大白点）将光斑调至中心，使其可以与光屏同心圆。
三．1-5合轴（mag=40K）1.，光斑至最小，，通过平移光斑至中心，退出。
2.，光斑至最小，，通过平移光斑至中心，退出。
3.重复1，2步骤，至1，5电子束都在荧光屏中心，完成后，将。
四．聚光镜消像散（圆形无像散，椭圆有像散）1.mag 〉100K（这样才可以看出有无像散，选个120K就好），光斑至较小（中等偏小即可），，通过多功能键将光斑调圆，退出。
2.LOW MAG下找到样品，mag=40K（MAG1状态），光斑至最小，这时候如果出现晕（若为一点则无需再调节）则调节将衍射斑汇于一点。
3.振荡消像散，mag=120K，找一个样品尖置于光屏中心，，通过使样品尖不动，退出。
4.电压中心调整，+，通过多功能键使样品尖不动，退出和。
五．物镜消像散1.找非晶区（样品边界，微栅上的碳膜），点击抬屏，点击start view，在显示屏上看到样品。
（确认Auto Survey及Camera Insertet均为√）2.选取虚线框，Alt+□，选取方形区域。
3.Process →Live →FFT ，通过（边移动样品边调节）使得图像清晰。
简述透射电镜的基本结构、操作步骤及注意事项。
简述透射电镜的基本结构、操作步骤及注意事项。
透射电镜是一种高分辨率的电子显微镜，广泛用于材料科学、生物学、化学等领域的研究中。
本文将简述透射电镜的基本结构、操作步骤及注意事项。
一、基本结构透射电镜的基本结构包括电子源、准直系统、样品舞台、成像系统和探测器等部分。
电子源：透射电镜使用的电子源通常是热阴极，其工作原理是通过加热使钨丝发射电子。
准直系统：准直系统主要包括透镜和光阑，其作用是将电子束聚焦并限制其直径。
样品舞台：样品舞台通常由两部分组成，一部分用于支撑样品，另一部分用于调节样品的位置和角度。
成像系统：成像系统由物镜和投影仪组成，其作用是将电子束通过样品后的信息转换为图像。
探测器：透射电镜使用的探测器通常是荧光屏或CCD相机，其作用是记录成像系统成像的图像。
二、操作步骤1. 准备样品：样品需要制备成薄片，并在样品舞台上固定好。
2. 调节准直系统：调节准直系统，使其能够将电子束聚焦并限制其直径。
3. 调节样品位置：调节样品位置和角度，使其能够被电子束扫描到。
4. 调节成像系统：调节成像系统，使其能够将电子束通过样品后的信息转换为图像。
5. 开始成像：通过探测器记录成像系统成像的图像。
6. 分析图像：对成像得到的图像进行分析和处理，得出所需的信息。
三、注意事项1. 样品制备：样品需要制备成薄片，厚度通常在几纳米到几百纳米之间。
2. 样品固定：样品需要被固定在样品舞台上，以避免样品在扫描过程中移动或晃动。
3. 准直系统调节：准直系统需要在使用前进行调节，以确保电子束能够被聚焦并限制其直径。
4. 调节样品位置：在调节样品位置和角度时，需要小心操作，以避免损坏样品或样品舞台。
5. 成像系统调节：成像系统需要在使用前进行调节，以确保能够将电子束通过样品后的信息转换为图像。
6. 安全操作：在使用透射电镜时，需要注意安全操作，避免电子束对人体产生伤害。
总之，透射电镜是一种高分辨率的电子显微镜，其基本结构包括电子源、准直系统、样品舞台、成像系统和探测器等部分。
透射电镜使用流程
透射电镜使用流程样品准备：首先，需要准备符合透射电镜观察要求的样品。
对于动物组织标本，应在取样后的短时间内（如1-3分钟内）立即投入电镜固定液中以固定组织，然后切成适当大小的块状。
固定液的渗透能力有限，超出特定尺寸后组织可能无法完全固定，因此务必注意控制取样组织的体积。
取样后，组织应在室温下避光固定一段时间，然后转移至低温保存，以待后续处理。
抽真空与加高压：打开透射电镜前，需要先接通总电源，打开冷却水，并接通抽真空开关进行抽真空。
待真空度达到指定值后，可以开始上机工作。
接着，接通镜筒内的电源，给电子枪和透镜供电，并给电子枪加高压至所需值。
观察与调整：在荧光屏状态下，通过操作工具选择观察区域，并调整画面亮度。
选定观察区域后，需要调弱光强，确保光强度在适当的范围内，然后切换到CCD模式进行进一步调整。
通过调节旋钮可以增大或减小放大倍数，选定拍照区域后，再次调整光强使图像清晰。
完成这些步骤后，点击面板上的聚焦键进行自动聚焦，并使用聚焦旋钮将图像调整至最清晰。
拍照与记录：在图像清晰并调整到最佳状态后，可以进行拍照操作。
务必注意，在拍照前点击保存按钮，否则图像不会自动保存。
卸载样品与清理：观察完成后，需要按照特定的步骤卸载样品，包括拔出样品杆、取出样品等。
然后，进行真空低温处理，以确保设备处于良好的工作状态。
请注意，透射电镜是一种高精密度的科研仪器，使用时必须严格遵循操作规程，以确保设备的安全和实验的准确性。
同时，由于透射电镜的使用涉及复杂的物理和化学原理，操作人员应具备一定的专业知识和技能。
在进行透射电镜操作时，建议由经验丰富的专业人员或在专业人员的指导下进行。
透射电镜的注意事项
透射电镜的注意事项透射电镜是一种高精度的电子显微镜，能够观察样品的原子结构。
在使用透射电镜时，需要注意以下事项，以确保实验结果的准确性和仪器的安全。
1.样品准备样品是透射电镜观察的对象，因此样品准备是透射电镜使用中至关重要的一步。
以下是样品准备过程中需要注意的事项：（1）了解样品性质和厚度：在准备样品前，需要了解样品的性质（如金属、半导体、陶瓷等）和厚度，以便选择合适的制备方法和参数。
（2）确保样品有足够的支撑：透射电镜观察的是薄膜样品，因此需要将样品附着在足够的支撑上，如铜网、碳膜等。
（3）避免在样品中留下痕迹：制备样品时需要小心操作，避免在样品表面留下划痕、颗粒等影响观察的标记。
2.操作规范透射电镜操作需要严格遵守操作规程，以下是操作过程中需要注意的事项：（1）确保操作台表面整洁：操作台表面应保持干净整洁，避免放置杂物，以免影响实验结果。
（2）遵守设备使用规程：使用透射电镜前需要认真阅读设备使用手册，了解设备的使用方法和注意事项。
（3）佩戴防护设备：操作透射电镜时需要佩戴必要的防护设备，如手套、实验服、眼镜等，以避免受到辐射和污染的伤害。
3.真空系统透射电镜需要在高真空环境下工作，因此真空系统的状态对实验结果和仪器安全都有重要影响。
以下是使用透射电镜时需要注意的真空系统方面的事项：（1）定期检查真空度：使用透射电镜前需要检查真空腔体内的真空度，确保其达到工作要求。
（2）保持气密性：真空系统需要保持良好的气密性，防止外界气体进入真空腔体内。
（3）定期更换真空部件：为了保持真空系统的稳定性和可靠性，需要定期更换易损件和老化部件。
4.电子束稳定性透射电镜的电子束稳定性是保证实验结果准确性的关键因素之一。
以下是使用透射电镜时需要注意的电子束稳定性方面的事项：（1）保证电子光学系统稳定：电子光学系统是透射电镜的核心部分，需要确保其稳定工作。
在操作过程中需要注意控制电压、电流等参数，避免对电子光学系统造成影响。
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不同模式下聚光镜光阑选择 EDS：＃1，2，3 NBD： ＃4 会聚束模式合轴：常规合轴三步曲和聚光镜像散
不同模式电子衍射
HRTEM SAED
HRTEM
NBD#1
NBD#2
100 nm
SAED
NBD#3
10 nm
NBD#1 NBD#2 NBD#3
内容： 1、由TEM构造到TEM操作 2、由平行电子束到会聚电子束 3、由TEM模式到STEM模式 4、总结
光阑部分：光阑合轴 聚光镜光阑：光阑孔选择， ＃1常规图像与选区衍射 ＃2高分辨观察， ＃3纳米束分析 ＃4纳米电子束衍射 物镜光阑作用-提高图像衬度，选择合适衍射信息成像 TEM-BF/DF TILT/SHIFT 中间镜光阑作用：选区尺寸大约2um-100nm 选区衍射：SAMG模式
小结： 常规合轴 （模式改变调节） 1. 电子束中心（beam shift） 2. CL 光阑校正 3. HT 中心调整 亚常规合轴 1. 电子枪合轴 （一周一次） 2. Tilt 联动比调节（很少） 3. Shift联动比调节（很少） 合轴数据存储 TEM模式 照明角 (Alpha selector) 1. Alpha 3 ≤ 40KX 2. Alpha 2 介于40kx 与 100kx之间 3. Alpha 1 ＞ 100kx Spot size 选择 1 或者2 Alpha转变时需要合轴三步曲
内容： 1、由TEM构造到TEM操作 2、由平行电子束到会聚电子束 3、由TEM模式到STEM模式 4、总结
试样
TEM EDS NBD CBD 光路图不同
EDS模式 TEM模式 CBD模式
NBD模式
不同的模式下 illumination angle (Alpha selector)选择 EDS模式：Alpha 5 NBD模式：Alpha 1 CBD模式：Alpha1-9选择
日本电子 透射电镜的操作与使用
捷欧路（北京）科贸有限公司 透射电镜应用工程师 孙莉
内容： 1、由TEM构造谈TEM操作 2、由平行电子束模式到会聚电子束模式 3、由TEM模式到STEM模式 4、总结
以上内容适用于：2100F/2100,2010F/2010电子枪Fra bibliotek分光阑部分
透镜部分
TEM基本构造
ASID-STEM合轴 1、合光斑位置 目的类似于1-5合轴，具体操作见手册 2、合束斑-最佳束斑 聚光镜像散 试样高度 PLA合轴 Ronchigram像
Ronchigram像
试样
电子源
非晶Ronchigram
电磁透镜
荧光屏
晶体Ronchigram
利用Ronchigram调节聚光镜像散
a
b
c
入射电子束
试样
入射电子束
试样
物镜 后焦面
暗场探测器
像平面
明场探头 TEM成像原理
STEM成像原理
电子源
第一聚光镜
第二聚光镜 扫描线圈
ASID提前准备工作： 1、物镜标准电流值 2、试样高度 3、TEM常规合轴
物镜前场 试样
ASID-STEM合轴 1、合光斑位置 2、合束斑-最佳束斑
STEM模式示意图
电子枪类型：热电子发射型电子枪 场发射型电子枪 电子枪合轴： LaB6/W，检查灯丝像对称亮度，饱和度与偏压 FEG，调ANODE WOBBLER 1-5合轴：电子枪发射电子束与聚光镜系统同轴 建议调节周期1周一次，放大倍数100KX
W
LaB6
FEG
透镜部分：电磁透镜存在像差，像散调节 聚光镜像散调节，使照明光斑对称， 透射电镜心脏：物镜标准电流值STD FOCUS/DV=0 HT，改变照明条件（放大倍数，束斑尺寸，照明模式等） 电流中心 物镜像散，高倍观察图像是否与有方向性拉长 （非晶碳FFT）400KX 中间镜像散：衍射模式下透射斑是否为圆形 投影镜合轴
内容： 1、由TEM构造到TEM操作 2、由平行电子束到会聚电子束 3、由TEM模式到STEM模式 4、总结
总结： 1、HT重要性，常规合轴三步曲 2、会聚束模式使用 3、HRSTEM与STEM EDS analysis
a) 欠焦模式下像散 b) 欠焦模式下无像散 c) 正焦模式下无像散
红色圆圈内代表球差最小 Ronchigram像，应该用聚 光镜光阑选择此部分
利用Ronchigram像调节样品高度
过焦
正焦
欠焦
样品不同焦距下的Rochigram像
过焦
正焦
欠焦
1、STEM+EDS MAPPING 大束斑低分辨率，AMAG模式， 聚光镜光阑＃2或3号 2、HRSTEM 0.2nm束斑，STEM合轴，样品因素 ＃3聚光镜光阑必须的
相机常数选择
Camera length 12cm 10cm 8cm HAADF1(11.26cm) HAADF2(9.8cm) HAADF3(7.8cm) HAADF4(5.6cm) HAADF5(4.2cm) Inner(mrad) 52 61 73 56 67 92 120 167
Detection angle HAADF detector at upper position Outer(mrad) 140 163 194 149 168 228 228 228