IPT6000操作手册_第二章(2-3扫描步骤,2-4调针步骤)

※使用者可自訂針壓上升與下降的基準高度
探針已碰到 3,999500
探針重新計數
1. 設定開始
當指示燈變成綠色，螢幕畫面將會顯示『探針已碰到』， 電腦並 會記憶探針碰到LED的座標位置， 使用者也可 自行設 定針壓上升與下降的基準高度。
探針已碰到 3,999500
探針重新計數
2.
1 .測 試 位 置 高 度 參 數
按下 掃描結果 查看全部晶粒的分佈。
8 .查 看 晶 粒 色 塊 分 布
此 畫 面 可 看 出 全 部L E D的 色 塊 分 佈 。
2-18
■2-3 掃描步驟
9 .查 詢 單 顆 座 標 位 置
座標位置
40,39:3.0960
1 0 .進 入 測 試 結 果
若要 查詢單顆PAD座 標位置，可直接點選 螢幕 上的晶 粒， （已教學 原點 為0,0座標 ），螢幕 上也 會同時顯示 座標 位置，使 用者 也可參照方向鍵上的 座標 指示(詳細 說明 請見第一 章方 向鍵說明)。
＊若指示燈兩邊成為紅色（如左圖），請按照下列 『調針步驟 』調整探針位置，以確保 探針已接 觸LED。
2-22
■2-4 調針步驟
※調針方式可利用兩種方式調整： （1 .） 利 用 以 下 的X、Y、Z三 軸 調 整 探 針L E D觸 碰 的 位 置 。
Z軸 旋鈕 X軸 旋 鈕 Y軸 旋鈕
Z X
Y
FITTECH
2-3 掃 描 步 驟
2-16
■2-3 掃描步驟
※請 注 意 切 割 前 的 晶 圓( WA F E R )並 不 需 要 執 行 『 掃 描 步 驟 』 。 1 .掃 描 畫 面 設 定
2 .選 擇 點 測 範 圍 3 .設 定 完 成 4 .回 到 掃 描 畫 面
按下 掃描結果 ，進入掃描畫面設定
■2-3 掃描步驟
※如何快速分辨『點測畫面』與『掃描畫面』的作業環境？ 『點測畫面』的螢幕畫面顏色為彩色； 『掃描畫面』的螢幕顏色則是黑白的， 注意切換時的顏色，就能快速分辨作業環境（請見下圖說明）。
1 .在 『 點 測 畫 面 』 時 ， 螢 幕 畫 面 顏色為黑白色
2 .在 『 掃 描 畫 面 』 時 ， 螢 幕 顏 色畫面為彩色
■2-3 掃描步驟
5 .執 行 掃 描
掃 描 中. . .
按 下 畫 面 下 方 中 的 『 掃掃 描描 』 鍵 ，
掃 描 中. . . .
執行掃描的動作之後，螢幕便會顯示
6 .掃 描 完 成
掃描完成 共 有8870顆晶 粒
7 .掃 描 結 果 查 詢
掃描完成之後，螢幕會顯示出共有幾顆良好的晶粒， 同時，語音也會同步提醒『掃描已完成』。
查詢完成之後，關掉右上角的
按鍵即可。
點選
測試結果
11 .單 顆 晶 粒 色 塊 分 佈 圖
可直接點選單顆晶粒，螢幕會顯示單顆晶粒的座標 位置。 並可查看左邊的色塊分佈。 1 2 .單 顆 晶 粒 色 塊 分 佈 圖
使用者可選擇『測試項目』 以及 『顏色級距』，之後點選螢幕右 下角 主畫面 按鍵。
2-19
點 測 範 圍 分 為: 全 部:選 擇 測 試 全 部
只 點 影 像 合 格:只 測 試 良 好 完 整 的 晶 粒
點測範圍條件設定完成之後， 將滑鼠移至螢幕右上角，並關 掉 畫 面 （ 箭 頭 處)。
回到點測畫面之後，按下 至點測畫面 的按鍵，螢幕 便會自動切換至 至掃描畫面 的螢幕畫面。
2-17
2.
接下來回到左邊的點測下位按鈕，此時 指示燈均呈紅色。
3.
之後再重複按下左邊點測上位按鈕，若
指示燈兩邊在轉換過程中同時變色，便
代表已 經成功調整探針與LED的接觸 距
離，若在轉換過程中，指示燈若無同時
變色，請再重複上述調針步驟。
2-24
■2-4 調針步驟
※ 在 右 邊Z軸 的 指 示 燈 兩 邊 均 呈 綠 色 時 ， 為 避 免 探 針 太 過 於 接 近LED而 導 致 在 點 測 時 試 探 針 會 直 接 割 破LED， 所 以 在 調 整 高 度 時 ， 若 指 示 燈 變 成 綠 色 就 停 止 往 下 調 ， 之 後 再 檢 查CHUCK TABLE下 位 ， 確 保 探 針 不 會 直 接 劃 破L E D表 面 ， 以 保 持 產 品 的 完 整 性 。
Z： 上 下 移 動
X： 前 後 移 動 Y： 左 右 移 動
（2 .） 利 用 方 向 鍵 來 調 整Z軸 的 高 度 。
Z軸 高 度 往 下 降
INDEX
Z軸 高 度 往 上 升
＊ 當 利 用 方 向 鍵 調 整Z軸 高 度 時 ， 以 下 三 種 變 化 按 鍵 分 別 代 表 三 種 調 整 速 度 ︰
1 .確 認 針 座 使 否 接 觸PA D
無接觸
已接觸
2 .調 整 針 座
請利用滑鼠按下左右兩邊的Z軸觀測畫面，若 探針正常 接觸畫面則為： 按左邊：上方兩邊燈號為紅色。 按右邊：上方兩邊燈號為綠色。 若呈現以上狀態，代表探針以正常接觸，若無出現以上 狀態，請參閱以下調針步驟。
畫 面 跳 至 至掃描畫面 ， 請 先 點 選 螢 幕 上 右 邊Z軸 高 度
的 觀 測 畫 面（ 詳 細 說 明 請 見 下 圖 ）
左邊︰點測下位按鈕
右邊︰點測上位按鈕
代表Z軸離開探針的平行位置 代表TABLE上升後與探針接 觸的點測位置
3 .觀 察 探 針 的 位 置 指示燈
當滑鼠按下右 邊Z軸的觀測畫面 ，請注意 螢幕上方的指示 燈是否成為綠 色?
＊若指示燈兩 邊均成為 綠色，代表探針已正常接觸LE-3針壓上升高度：接觸位置加上此高度為點測時Z軸高度 0.01 自訂
A . 1 - 4下 降 基 準 高 度
0.1 自訂
2-25
點選螢幕右下角的
參數設定
點 選 1.測試位置高度參數 選 項
3. 使用者自訂的點測位置設定： ※詳細點測位置設定請參考第三章的測試資料設定
1 .測 試 位 置 高 度 參 數
點測位置設定
A . 1 - 1掃 描 時, Z軸 之 高 度
1.5 自訂
A.1-2接觸位置：晶粒剛碰觸到探針時,Z軸之座標 3.5 電腦自動記憶
至點測畫面
至掃描畫面
按下『點測畫面』
按下『掃描畫面』
3 .明 暗 度 調 整
在『掃描畫面』裡，螢幕畫面的明暗度可利用 『光源亮度調整』按鈕，調整所需的亮度。
暗明
2-20
2-4 調 針 步 驟
2-21
■2-4 調針步驟
※ 掃 描 完 成 之 後 ， 必 須 確 認 探 針 是 否 接 觸PAD， 以 便 接 下 來 的 點 測 動 作 ， 若 探 針 以 正 確 接 觸PAD， 請 忽 略 調 針 步 驟 此 章 節 ， 並 繼 續 參 閱2 - 5點 測 步 驟 。
x、Y、Z軸 或 方 向 鍵 調 整Z軸 的 高 度 。
當兩邊指示燈有其中一邊有閃爍的狀況， 代 表 探 針 並 無 穩 定 接 觸L E D， 請 持 續 調 整 直到指示燈至穩定。
※ 確 認 探 針 與L E D是 否 正 常 接 觸 ？ 1.
將滑鼠點向左邊的觀測畫面，此時 指示燈兩邊均呈綠色。
快速
INDEX
慢速
慢 速 調 整Z軸 下 降 或 上 升 高 度 中 速 調 整Z軸 下 降 或 上 升 高 度 快 速 調 整Z軸 下 降 或 上 升 高 度
2-23
■2-4 調針步驟
調整前：指示燈兩邊均為紅色
調整後：指示燈兩邊均為藍綠色
※下列為調針步驟常出現的錯誤狀況：
1.
2.
當指示燈兩邊的顏色不一樣時，須利用