电子显微镜技术2011.9.20
电子显微镜技术
电子显微镜技术电子显微镜是一种利用电子束来观察和分析样品结构的高分辨率成像技术。
与传统光学显微镜相比，电子显微镜具有更高的分辨率和更强的成像能力，能够对物质内在结构进行更深入的研究。
电子显微镜技术的基本原理是将高速照射样品的电子束汇聚到一个小的焦点上，根据样品的反射、散射和透射等情况获得图像信息。
电子显微镜可以分为透射电子显微镜和扫描电子显微镜两种。
透射电子显微镜是在真空中使用液氮冷却的电子枪产生电子束，并在样品中透过产生图像的电子透射。
其分辨率可以高达0.1纳米，是目前最高分辨率的显微镜之一。
扫描电子显微镜则通过扫描电子束在样品表面上的反射来形成图像。
这种方法具有更强的深度和表面过程信息的功能，可以实现针对特定样品的成像。
电子显微镜技术在材料科学、生命科学、物理学、化学、纳米科技和半导体技术等领域中都得到广泛应用。
在材料科学领域，电子显微镜技术可以实现对材料结构和物理性质的直接观察和分析，为材料结构与性能研究提供了强有力的工具。
在纳米科技领域，电子显微镜可以直接观察到纳米材料的微观结构，为研究纳米材料的性质和应用提供了基础。
在生命科学领域，透射电子显微镜被广泛应用于细胞结构和细胞器的研究。
通过电子显微镜的成像，可以获得细胞和分子的三维结构信息，为深入了解生命机制提供了基础。
除了成像外，电子显微镜还可以通过成分分析、晶体学等技术对样品进行分析。
利用电子显微镜与X射线衍射技术的结合，可以对晶体结构和材料相变等问题进行深入研究。
总之，电子显微镜技术在科学研究、新材料与新技术开发和工业生产等领域中扮演着重要的角色。
随着技术的不断进步，电子显微镜将进一步发挥其在研究和创新中的重要作用。
电子显微镜技术的原理及其应用
电子显微镜技术的原理及其应用电子显微镜技术是一种利用电子束而非光束来成像的一种高分辨率显微镜。
与传统的光学显微镜不同，电子显微镜不仅可以看到更小的物体，而且可以观察到更细微的细节和结构。
电子显微镜技术的原理和应用于本文中进行介绍，以便更深入的了解电子显微镜及其应用领域。
一、原理电子显微镜主要由电子枪、电子透镜、样品台、检测器等组成。
与光学显微镜使用的是光线不同，电子显微镜使用的是电子束。
电子束的波长比可见光的波长短很多倍，这使得电子显微镜可以看到比光学显微镜更小的物体。
电子枪负责产生电子束，而电子透镜负责聚焦和操纵电子束。
然后电子束通过样品的薄片，与样品中的原子碰撞时，可放出内壳层的电子，并使样品表面的原子重新排布，从而产生信号。
这个信号被检测器收集，然后转换成图像。
电子显微镜的分辨率取决于电子束的波长，以及电子透镜的质量。
二、应用电子显微镜可以获得高分辨率、高清晰度的图像，因此在科学研究领域得到了广泛的应用。
以下介绍了电子显微镜的几个主要应用领域：1. 材料科学电子显微镜主要应用于材料学、固态物理学和化学等领域。
其高分辨率使其可以精细地观察到原子甚至分子级别的微观结构，从而获得材料的详细信息。
此外，电子显微镜还可以研究材料的晶体缺陷、变形等现象，并观察到材料在电场、磁场、温度等情况下的行为，以及物相变化等相关的细节。
2. 生物学电子显微镜是生物学中重要的工具之一。
在生物学中，电子显微镜通常用于研究细胞、细胞器、细胞膜、分子等生物组织中的细节和结构。
使用电子显微镜还可以研究细菌、病毒和其他微生物的细节，以及其动力学过程等。
这对于研究生物分子的结构和功能有着重要的意义。
3. 半导体工业电子显微镜在半导体工业中得到了广泛应用。
电子显微镜可以观察到芯片内部的细节，以确定芯片是否满足生产标准。
电子显微镜还可帮助诊断设备故障，并提高生产效率。
半导体工业的进步离不开电子显微镜技术的不断发展和改进。
4. 环境科学电子显微镜还可以用于环境科学和地球科学的研究。
电子显微镜技术的原理及应用
电子显微镜技术的原理及应用随着科学技术的不断发展，各种分析和检测仪器也越来越精密。
电子显微镜便是其中一种技术应用广泛的仪器。
本篇文章将会探讨电子显微镜技术的原理及应用。
一、电子显微镜的原理电子显微镜简称电镜，是一种高分辨率的显微镜，采用的是电子束而不是光线。
电子束是由电子枪产生的，具有很高的能量和短波长，可以穿透物质的表面，再由电镜中的透射电子显微镜将其反射到显微镜的荧光屏上，从而形成高分辨率的图像。
电子束有束缚效应，因此需要电子镜的真空环境，可以将电子镜分为透射电子显微镜和扫描电子显微镜两种。
透射电子显微镜通过样品制备薄片，并透过物质表面直接对内部结构进行拍照。
而扫描电子显微镜是通过扫描样品表面产生的二次电子信号进行成像。
由于有很高的分辨率和深部探测能力，在材料科学、生物学、化学以及地球科学中都得到了广泛的应用。
二、电子显微镜的应用1. 材料科学在材料科学的研究中，电子显微镜广泛用于制备和研究，可以精确地观察材料的微观结构。
电子显微镜的高分辨率特点可以精确地显示材料的晶格结构、界面、缺陷、成分以及在同一晶体中不同区域的微观结构。
2. 生物学电子显微镜在生物学中的应用可以揭示生物系统复杂的细胞和组织结构。
在生物学研究中，电子显微镜被用来研究细胞器、细胞膜、细胞核、细胞分裂和细胞膜运输，可以为研究生物系统和疾病提供重要的信息。
3. 化学在化学研究中，电子显微镜可以对材料的表面和组织结构进行研究。
电子显微镜的高分辨率可以精确地显示表面分子、配合物、晶格结构以及各种化学特征，可以为分子识别和分子作用研究提供有力的工具。
4. 地球科学在地球科学研究中，电子显微镜被广泛应用于研究矿物的晶体结构、成分、晶体缺陷和反应。
电子显微镜可以提供各种分析技术，如能谱分析、点分析和高分辨率成像，可以在矿物学、矿物资源开发、环境地球化学等领域提供各种诊断工具。
三、总结在本文中，我们讨论了电子显微镜技术的原理及其在材料科学、生物学、化学和地球科学等领域的应用。
生命科学中的电子显微镜技术研究
生命科学中的电子显微镜技术研究生命科学是一个庞大而广泛的领域，涉及生物大分子结构的组成和功能、生命现象的调节和平衡、疾病的诊断和治疗、新药的开发和测试等多个方面。
而电子显微镜技术作为最重要的生命科学研究工具之一，已经成为一项不可或缺的先进技术。
本文将探讨生命科学中的电子显微镜技术的发展和应用。
一、电子显微镜技术的基本原理电子显微镜技术（electron microscopy, EM）是一种利用电子束取代可见光照明来观察物质形态和性质的技术。
这种技术可以突破光学显微镜的分辨极限，可以大大提高显微镜的分辨率。
电子显微镜技术主要包括透射电子显微镜（transmission electron microscopy, TEM）和扫描电子显微镜（scanning electron microscopy, SEM）。
其中，TEM主要用于观察样本薄片，SEM主要用于观察表面结构。
二、电子显微镜技术在生命科学中的应用1.高分辨率成像技术TEM技术可以实现纳米级别的高分辨率成像，可以观察生物大分子（如蛋白质、DNA）的形态、结构和亚细胞级的细胞组成。
此外，用TEM技术还可以观察病毒、细胞器和细胞分子结构，并对其进行分析和研究，对于疾病诊断和治疗提供了重要的信息。
2.电子衍射技术电子衍射技术可以制备成分复杂的生物材料、生物样品和重要的蛋白质结晶体系，并可以进行高质量的结晶学和晶体学分析。
电子衍射技术在生命科学中的应用，可以帮助研究人员解决生物大分子结构的复杂问题。
3.单粒子分析技术生物大分子结构的复杂性，对于生命科学研究提出了巨大的挑战。
单粒子分析技术可以通过对生物大分子进行成像和分析，来研究这些复杂体系。
其原理是采用冷冻电子显微镜技术对生物大分子进行成像，然后对成像结果进行计算处理，便可获得复杂的结构信息。
4.电子能谱技术电子能谱技术可以定量地检测生物样品表面附着的元素，并确定元素的化学价态和化学状态。
这个技术可以分析生物分子的化学组成和分子功能，以及分子与细胞间的相互作用。
电子显微镜技术详细介绍
分辨率（resolution）
表示人眼和光学仪器能够辨别两点 之间最小距离的标志。
两点间的距离越小，表示： 分辨率 ？ 仪器所能分清被观察物体的细节 ？
分辨率是衡量电镜性能的重要指标
分辨率（resolution）
人眼分辨率 光镜分辨率 电镜分辨率
0.2毫米（mm） 0.2微米（µm） 0.2毫微米（nm）
电子显微镜的基本类型
✓透射电子显微镜(sransmission electron microscopy) ✓扫描电子显微镜(scanning electron microscopy) ✓分析电子显微镜 (analytic electron microscopy) ✓高压电子显微镜 (high voltage electron microscopy) ✓冷冻电子显微镜 (cryo- electron microscopy)
血管灌注固定速度快，固定均匀，可减少离体 或死亡后缺氧引起自发性的变化影响。
特别是对脑、心肌、肾脏等对 缺氧比较敏感的组织尤为重要
不同动物、不同组织对灌注中压力和速度的要求不同
灌注压力 灌注流量 （mmHg） （毫升/分）
肾
120～140
9～10
睾丸
200～220
单颗粒技术
电子断层成像技术
（Single Particle Technique ） （Electron tomography）
单颗粒技术 （Single Particle Technique ）
单颗粒技术（Single Particle Technique ） 膜蛋白TRPV1颗粒
电子断层成像技术（Electron tomography）
电子显微镜技术 （electron microscope）
电子显微镜的原理
电子显微镜的原理
电子显微镜是一种利用电子束来成像的高分辨率显微镜，其原理是利用电子的波粒二象性和电子与物质相互作用的特性来观察微观结构。
相比光学显微镜，电子显微镜具有更高的分辨率，可以观察到更小尺度的物体结构。
首先，电子显微镜的原理基于电子的波动性。
根据德布罗意波长公式，电子的波长与其动量呈反比关系，因此具有较高速度的电子具有较短的波长。
相比之下，可见光的波长在几百纳米数量级，而电子的波长可以达到亚埃数量级，因此可以观察到更小尺度的物体结构。
其次，电子显微镜的原理还涉及电子与物质的相互作用。
当高速电子束射向样品时，电子与样品中的原子发生相互作用，产生散射、透射、吸收等现象。
这些相互作用导致电子束的能量发生变化，通过检测这些能量变化，可以获取样品的结构信息。
另外，电子显微镜还利用电磁透镜来聚焦电子束。
电子束通过电磁透镜后，会发生折射和聚焦，从而形成清晰的样品影像。
电子显微镜通常包括物镜、中间透镜和目镜，通过这些透镜的组合，可以实现对样品的高分辨率成像。
此外，电子显微镜的原理还涉及样品的制备和处理。
由于电子束对样品的要求较高，通常需要对样品进行薄片处理，以减小散射和吸收效应，从而获得清晰的影像。
同时，样品的导电性也是电子显微镜观察的重要考量因素，通常需要对非导电性样品进行金属涂层处理。
综上所述，电子显微镜的原理基于电子的波动性、电子与物质的相互作用、电磁透镜的聚焦以及样品的制备处理。
通过这些原理的综合作用，电子显微镜能够实现对微观结构的高分辨率成像，为科学研究和工程技术提供了重要的观察手段。
电子显微镜成像技术与分析方法
电子显微镜成像技术与分析方法引言：电子显微镜（Electron Microscope）是一种利用电子束而非光线来成像样品的仪器。
相较于光学显微镜，电子显微镜具有更高的分辨率，能够突破光学显微镜的极限，观察更小尺寸和更细节的微观结构。
本文将从电子显微镜的原理、成像技术以及分析方法三个方面进行详细介绍，并探讨其在科学研究和工业应用中的重要性。
一、电子显微镜的原理电子显微镜的原理是利用电子的物理性质，通过放大和聚焦电子束，使其通过样品并收集散射或透射的电子，从而形成样品的图像。
其与光学显微镜的差别在于采用的是电子束而非光束。
二、电子显微镜的成像技术1. 透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，TEM）透射电子显微镜常用于观察材料的内部结构和原子尺度的细节。
在 TEM 中，电子束穿过样品并透射到投影平面，由此产生高分辨率的图像。
通过亮场成像和暗场成像两种模式，可以观察样品的表面形貌、晶体结构以及原子排列等信息。
2. 扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）扫描电子显微镜常用于分析物质的形貌和表面特征。
它通过扫描电子束在样品表面上的反射或散射来获取信息。
相较于 TEM，SEM 具有更大的深度，能够提供更高的表面分辨率和更好的深部成像能力，广泛应用于材料科学、生物学和纳米技术等领域。
三、电子显微镜的分析方法1. 能谱分析能谱分析是电子显微镜中常用的方法之一，它可以通过检测透射或散射电子的能量和数量，确定样品中的元素组成和化学信息。
能谱分析具有高灵敏度、高分辨率和定性定量分析的优势，可广泛应用于材料科学、地质学和环境科学等领域。
2. 衍射分析衍射分析是利用电子束与样品相互作用的过程中，由于样品中原子的散射效应而产生的衍射图样，来推测样品的晶体结构。
通过解读衍射图样中的峰位和强度，可以获得样品的晶体结构信息，如晶胞常数、晶面取向等。
实验2电子显微镜的原理及使用
实验2电子显微镜的原理及使用摘要：电子显微镜（electron microscope，简称EM）是一种利用电子束而不是可见光作为照射源来观察样品的显微技术。
本实验将介绍电子显微镜的原理，包括扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）和透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM）的使用方法。
一、电子显微镜的原理电子显微镜原理是基于波粒二象性原理，即电子具有波粒二重性。
在电子显微镜中，聚焦电子束被用来照射样品，并与样品上的原子发生相互作用。
感应到的信号可用于构建样品的高分辨率图像。
1.扫描电子显微镜（SEM）原理：SEM主要用于观测样品表面的形貌和表面物质的分布情况。
工作原理如下：（1）在SEM中，电子源产生的电子束被聚焦到极小的直径上。
（2）扫描线圈在样品表面扫描，与样品表面的电子发生相互作用。
（3）感应到的二次电子、反射电子、辐射X射线等信号被接收和放大。
（4）通过对接收到的信号进行处理和解释，形成具有表面形貌特征的样品图像。
2.透射电子显微镜（TEM）原理：TEM主要用于观测样品内部的结构和成分分布情况。
工作原理如下：（1）在TEM中，电子源产生的电子束被透射到极薄样品中。
（2）样品与电子束相互作用，透射电子被形成一个投影图像。
（3）通过透射电子图像的探测和记录，可观察到样品内部的结构和成分。
二、电子显微镜的使用方法1.SEM的使用方法：（1）打开SEM系统并预热，确定系统已处于真空状态。
（2）调节电子束的亮度和聚焦，以获得清晰的图像。
（3）将样品安装在样品台上，并通过调整样品台的位置以及倾斜角度来获得所需的视角。
（4）调整工作距离和放大倍数以获得最佳的图像质量。
（5）选择合适的探测器用于接收来自样品的信号。
（6）观察图像，必要时进行图像处理和分析。
2.TEM的使用方法：（1）打开TEM系统并预热，确保系统已处于真空状态。
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1982年比尼格和罗雷尔发明第一台扫描隧道电子 显微镜，使放大倍数可达数千万倍。
扫描隧道显微镜
扫描隧道显微镜拍摄的7个铀原子团
第七节 电子显微镜的类型及特点
1.类型： 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 扫描隧道电子显微镜 原子力电子显微镜
激光扫描共聚焦显微镜
透射扫描电子显微镜
扫描电子显微镜
鲁斯卡(1906～1988) 德国物理学家
1939年,德国Siemens生产了第一台商品用的透射电镜，分 辨率为10nm
50年代初到60年代末，电镜分辨率达到1nm
60～80年代，电镜的性能已达到了完善的程度，在分 辨率和超高压方面发展极快。分辨率提高为0.1nm。
最新产品的分辨率已达到0.07nm。
阴极荧光
样品
俄歇电子
吸收电流
透射电子 （弹性散射）
透射电子（含有多量 非弹性散射电子）
电子束与物质的相互作用
电子 探针
入 射 电 子 束
X射线 轫致辐射 阴极发光 俄歇电子
二次电子 反射电子 吸收电子
扫描 电镜
样 品
透射电子
衍射电子
俄歇电 子谱仪
透射 电镜
第六节 电子显微镜的发展过程
1938年，卢斯卡和诺尔根据磁场可以会聚电子束这一原理发明 了世界上第一台电子显微镜。放大倍数可达1200倍
不稳定，说明真空度不够。
2.加灯丝电流：一般高压加到75～80kV并
稳定后，可以慢慢旋转灯丝钮，直到使灯
品架。
（二）物镜：是电镜最主要，也是最关键的部件。 1.构成：由带铁壳的线圈和具有高导磁率材料 制成的极靴构成 2.特点： 1.物镜为浸没透镜，焦距仅为1mm
2.改变线圈中电流的强度，就能获得不同的焦距
（三）中间镜和投影镜 作用：控制总的放大倍率，调节范围比较大， 100倍到几十万倍。气结构与物镜相似，但精度 要求低于物镜。 小结：成像系统各级放大的倍率：
二、色差：不同波长的光通过光学系统时， 将在不同的点上聚焦，因而物点的像是一个 半径为r的多色模糊圆斑。这种现象称为色差。 电镜中色差分三种：轴上色差，放大色差， 旋转色差
三、像散：极靴的精细加工产生的机械不对称 或极靴材料导磁率不够均匀而引起的透镜磁场 不均匀对称引起两条聚焦线不能聚焦在一点。 如图：
极靴：位于透镜的中央，形状为中间空心的锥状体
线圈：位于极靴的外部，通电产生磁场，改变电 流来改变磁场强度 屏蔽外壳：线圈外包的一层屏蔽材料，为了防止 外部磁场的干扰及增加透镜的聚焦能力
第四节 电子透镜的特性
像差：电子光学成像中，实际像与理论像间的 偏离，叫做像差。分为几何像差、像差、色差 和像散。
第二章 透射电子显微镜原理和结构
透射电镜的基本原理 透射电镜的组成结构 透射电镜基本操作
第一节 透射电镜的基本原理
入射电子束
样品
吸收电流
小角度弹性散射电子 透射电子（含有多量 非弹性散射电子） 透射电子 （弹性散射）
基本原理：在真空条件下，电子束经高压加 速后形成极细的快速电子束流，为入射电子 射线。当它与样品发生作用时，由于样品的 厚度和质量有差异，能产生多种带有样品信 息的讯号。与透射电镜成像密切相关的是透 过样品的透射电子。其中最主要的是弹性散 射电子。带有样品信息的电子经多级电磁透 镜放大后，最终激发荧光屏，产生强度不同 的光，形成能用肉眼观察的电子显微图像。
透 射 电 子 显 微 镜
激光扫描共焦显微镜
2.特点:
①电镜的价格昂贵、维护、使用均要求有较高的技术
②由于电子束穿透力弱，因而标本必须置于真空中。 ③电镜样品的制备技术上的限制是其应用发展受限 ④电镜样品取材及制备存在局限性 ⑤电镜的观察视野较小，只有 6m 9m
1mm2标本信息，需要6cm 9cm标中照片18500张
四、景深和焦深
景深：就是在保持像清晰的前提下，可允
许物面在轴上的移动距离。
景深长的优点：容易聚焦，拍摄立体照片， 电镜的景深大大超过切片的厚度。
焦深：为了得到清晰度相同的像，可允许
的图像显示或记录平面的轴向位移量。
第五节 电子束射入样品而激发出的各种信号
入射电子束
特征X射线
连续X射线
反射电子大值为1.5，根据 公式其极限分辩率约为0.5 ,即所用光源的一 半。 2. 可见光的波长为400—800nm，其极限分辨 率约为200nm。 3.由于光波波长的局限，光学显微镜的分辨 率在理论上不能优于0.2um。既光镜的最大放大 倍数约为1000倍。因此要提高分辩率，只有采 用短波长的光源。
真空测量装置：潘宁管，利用气体的导电率， 换算成压力，显示在压力分度电表上。
三 电子系统
高压发生器，电子枪灯丝加热电源
电 子 系 统
透镜稳流电路
稳压电路
安全自控电路 计算机控制电路
1.高压发生器
装置：为电镜提供高压的装置，由一个高压 油箱或氟里昂和高压电缆组成。 作用：为发射的电子提供加速能量。 高压分档：35、75、100、150、175、200kV 2.灯丝加热电源 灯丝加电流使其产生高热，然后促使电子由 灯丝尖端逸出，形成电子束
电子显微镜学
第一章 电子显微镜的基础知识
显 微 镜
光学显微镜(light microscopy, LM)其分辨率为0.2μ m，放大倍数 约为1000倍 透射显微镜 电子显微镜(electron microscopy,EM) 其分 辨率为0.2nm，比光 镜高1000倍，可放 大几万倍到几十万 倍。
例如：当加速电压V是50kV时，则电子束的 波长为： ＝0.0055nm
二、电子束在磁场或电场中的性质
1.电子束受力方向：服从右手定则
2.电磁场满足轴对称条件：电子就具有可被 聚焦的特性
三、电子束的穿透力
电子束的穿透力很弱，需要达到两个条件：
a.高真空条件， b.观察的标本必需很薄（100kV以下，厚度 不可超过100nm)
显微镜工作目标是对样品得到一个放大像， 分辨率和最有效放大倍数是两个基本的性能指标 。
分辨率：是分辩物体细节的最小极限，通 常以能否分辩两个物体的最小间距来衡量。 与光的性质，即衍射、干涉及透镜色差、 球差有关。
＝0.6/n Sin
n ：物体所处媒介的折射率； ：孔径角； ：发射光波长
作用：采用计算机对调试电镜、测量工作数 据等进行程序化管理。使电镜的操作更为简 化。
第三节 透射电镜的操作程序
一、开机 1.接通总电源 2.打开循环水阀门 3.打开抽真空开关，抽20～30分钟 4.打开COL开关。等待表示电压系统和照 相系统正常的绿色指示灯亮。
二、调试照明系统 1.加高压：从低到高，如电压加不上去或
c. 1926年，H.Busch发现了轴对称分布的电、 磁场对带电粒子的透镜作用
一、电子束的主要特征
电子束的定义：真空中相对集中而高速 运动着的电子流。同光波一样具有粒子 性和波动性。
＝h/mV运动
e V=1/2mV2运动
＝1.226/ (V)1/2
：波长； h：普朗克常数；m:粒子质量；
V运动：粒子运动的速度;V:加速电压
缺点：像差大，易在镜体内发生电击穿和弧光放 电，现代电镜仅用来提供高能电子束。
二、磁透镜：轴对称弯曲磁场对电子束有聚焦 作用，因而可以得到电子光学像。我们称这种 具有轴对称弯曲磁场装置构成的电子透镜为电 磁透镜。
1.磁浸没透镜：物放在焦点附近（焦点位于磁 场中）的电磁透镜。现代电镜常用。
2. 极 靴 强 磁 透 镜
底片室：用电子射线使照相底片曝光成像。
二 真空系统
一般电镜抽真空系统包括几个机械泵和一个 油扩散泵，场发射型还需离子泵或涡轮分子 泵。 抽真空的步骤： 1.机械泵抽低真空，从大气抽到1.33～0.133Pa 2.油扩散泵抽高真空，抽到13.33 10-4～10-5Pa 3.场发射型抽到13.33 10-9Pa
真空系统 电子系统
一、电子光学系统 透射电镜的光学系统全部包括在镜筒中， 它主要有照明系统、成像放大系统和观察记录 系统三大部分组成。
（一）照明系统：主要有电子枪和聚光镜两部分组成
1.电子枪 类型：热发射、 冷发射 场发射
性能： 三种电子枪的性能比较
最小交叉截 面的半径m 电子能量分 散度（eV） 总束流 A
3.透镜稳流电路 电流稳定性直接影响到成像的分辨率与放大倍 数的精确值。透镜电流不稳定，透镜的磁场强 度将发生变化，造成图像的不稳定。 4.安全自控电路
作用：当突然出现断流、断水、真空漏气等 因素影响仪器工作时，安全自控电路切断电 源或关闭必要的阀门并发出警告，提醒工作 人员注意。
5.计算机控制电路
扫描显微镜
第一节 光学显微镜的局限
人类对机体的认识是从宏观到微观不断深化的。 三个世纪前，Hook和Van Leeuwenhock发明的显微镜 延伸了我们的视野。依靠光学显微镜，人们发现了机 体的基本组成单位——细胞以及许多微生物。
1878年，Abbe和Zernike阐明了近代光学的成像原理：
电子显微镜最核心的部件之一，高放大倍 数，高分辨率就是通过它获得的。 样品室 成 像 放 大 系 统
物镜
二级中间镜 投影镜
（一）样品室：位于聚光镜和物镜之间，用以安 放载有样品的载网。 样品室应具备下列特性：
1. 有同心测角台，可以使载物台旋转。
2. 样品室应处于高真空状态。因而样品室有
一气锁装置 。 3. 应有液氮装置。以减少样品的辐照损伤和 感应污染。 4. 有便于快速更换而用于不同研究目标的样
放大倍数（magnification)
M=眼/镜
M： 放大倍数， 眼：人眼的分辩本领 镜：镜的分辩本领
眼：0.2mm
光镜：200nm 电镜：0.1nm
第二节 电子显微镜的产生基础