惯性传感器及发展
2惯性技术发展趋势及应用前景解析

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2.3 MEMS技术在惯性技术领域的应用
图4 Micro-IMU的侧面 图3 Micro-IMU的正面 Micro-IMU结合了IMU应用于嵌入式计算机系统的目标,改善了大小,重 量和功率消耗的指标,而性能仍然是比较先进的可商用化的IMU。通过对 MEMS传感器使用超大规模集成电路使之成为可能。 现代的具有三轴机械 特性的加速度计和陀螺仪和带有自动温度补偿的集成模数转换都集成在一 个芯片上。这种设计虽然去除了模拟转换器,高精密电压参考等一些内容, 但成功的将所有的传感器和微控制器继承在一个四层的PCB板上。
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11技术在惯性技术领域的应用 微电子机械系统(micro electro mechanical systems)代表了一 种未来将改变整个工业和带来下一次技术革命的技术。
MEMS是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的 21世纪前沿技术,使之对微米/纳米材料进行设计、加工、制造和控 制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统、数字 处理系统集成为一个整体单元的微型系统。应用MEMS技术可以把微 加速度计和微陀螺仪组合在一起,构成一个惯性测量单元,使其在体 积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命等方面都具有很大优势。从而 形成了微惯性技术的基础。 应用实例:无线微型惯性测量单元(A Wireless Micro Inertial Measurement Unit (IMU))
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2.1 陀螺仪
环形激光陀螺(RLG)利用光程差的原理来测量角速度。两束光波沿着同一 个圆周路径反向而行,当光源与圆周均发生旋转时,两束光的行进路程不同 ,产生了相位差,通过测量该相位差可以测出激光陀螺的角速度。 低成本、小体积的激光陀螺以honeywell的GG1308为代表,通过镜片、电 极整体烧结工艺一次成形,总体积小于2立方英寸,其精度可达1º /h,重量为 60克,能承受20g的振动,每个仅为1000美元。由于这种激光陀螺体积小, 重量轻,成本低,所以在武器装备上得到广泛应用。 honeywell的另一种低 成本陀螺为GG1320,其精度为0.1 º /h,重量为100克,输入速率可达+800 度。
2惯性技术发展趋势及应用前景

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2.3 MEMS技术在惯性技术领域的应用
惯性测量传感器未来发展的主要目标是降低器件的成本、体积/重量 和功耗等,具体包括以下几个方面: ① 材料和工艺:生产厂商采用低劳动密集型生产模式和批量处理技 术,选用硅片、石英、或结合光电材料(如铌酸锂)等新型材的批量生 产,惯性传感器成本在大幅下降。 ③ 体积:惯性测量传感器在不断向轻量化、小型化、微型化方向发 展;未来一些新型的惯性传感器将无法用肉眼识别,如:MEMS。 ④ 研究热点:一方面集中在小型化MEMS惯性器件的性能提高和有 效封装上,另一方面集中在光学传感器上,尤其是对采用集成光学的 FOG的研究。
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3 惯性导航系统的发展趋势
3 惯性导航系统的发展趋势 INS(nertial Navigation System 惯性导航系统)是一种自主的、不 对外辐射信号、不受外界干扰的导航系统,根据陀螺的输出建立导航 坐标系,根据加速度计输出解算出运载体在导航坐标系中的速度和位 置。它以适宜的方式满足用户的导航需求。随着在军用和商业等领域 导航需求的增长,惯性导航技术不断拓展新的应用领域。其范围已由 原来的舰艇、船舶、航空飞行器、陆地车辆等,扩展到航天飞机、星 际探测、制导武器、大地测量、资源勘测、地球物理测量、海洋探测 、铁路、隧道等方面,甚至在机器人、摄像机、儿童玩具中也被广泛 应用。
(3) 地面车辆导航等民用市场发展迅速,价格低廉的一体化、小型化 、多模式组合导航设备成为市场发展的三个重要方向,这既是惯性导 航系统发展的机遇,也是挑战。
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4 惯性技术在生活中的应用
4 惯性技术在生活中的应用 惯性技术应用实例1:体感游戏及手机 Wii主机是任天堂公司于2006年发行的主机,从此“体感”成为了家 用机发展的趋势,微软,SNOY也先后推出了自己的体感主机和周边 。 wii手柄里面采用了一个三轴加速度传感器,当我们挥动手柄时,加 速度传感器通过感应玩家施加在手柄上面的力和地球引力等多方面因 素,来计算出手柄的运动轨迹, 再将这些数据通过蓝牙传送到主机 上 由主机在相应的游戏画面中表现出手柄的移动轨迹和移动速度, 这就形成了电视机里面的人会做和电视机外面的人一样的动作的效果 ,就是所谓的“体感”。
惯性技术在航空领域的发展与应用

惯性技术在航空领域的发展与应用惯性技术是一种利用惯性原理和数学计算方法测量、控制和导航物体位置和运动状态的技术。
它广泛应用于航空、导航、航天等领域,为飞行安全和精确导航提供重要支持。
在航空领域,惯性技术的发展与应用也随着时代的发展逐渐成熟。
在20世纪初,航空工业正处于起步阶段,此时惯性技术的应用主要集中于机械式陀螺仪和气压高度是仪等作为导航仪器来使用。
随着时代的发展,惯性技术的应用也随之进一步发展。
在20世纪50年代,机械陀螺仪逐渐被电子陀螺仪和加速度计取代,这些新型惯性传感器具有体积小、重量轻、精度高、运动响应时间短等特点,被广泛应用于航空飞行中。
20世纪60、70年代,惯性导航技术得到进一步推广。
当时惯性导航系统以其高精度、自主性、安全性等优势,成为现代航空器上的必备装备。
随着计算机技术的发展,惯性导航系统的应用不断扩大,逐渐进入民用机领域,成为现代民航飞机的基本控制、导航设备之一。
近年来,随着惯性传感器技术、导航系统技术的快速发展,其应用范围和功能不断拓展,包括:1. 惯性导航系统:惯性导航系统由加速度计和陀螺仪等惯性传感器和微机测控系统组成,可以实现超高精度的导航、定位和精确的飞行控制。
2. 惯性引导系统:惯性引导系统是一种以惯性传感器测量机体运动状态为基础,利用计算机技术来改变飞行器航向、飞行速度等参数的周期性或连续性控制系统。
3. 惯性测量系统:惯性测量系统包括陀螺仪、加速度计、惯性测量单元等,可以用于飞机动态特性测试、控制系统仿真试验、军事航空兵器姿态稳定控制等领域。
4. 惯性导弹制导控制:惯性导弹制导控制技术是一种以加速度计和陀螺仪为核心,借助数据处理和瞄准算法进行制导,实现高精度打击目标的导弹系统技术。
总体来看,惯性技术在航空领域的发展与应用是历经多年沉淀和整合的结果,随着技术的不断进步,现代航空器已经可以使用高精度、完善的惯性技术来实现全面可靠的控制、导航、定位和监控功能,有效提升了航班的安全性和高效性。
微机电系统惯性传感器技术研究

微机电系统惯性传感器技术研究微机电系统(MEMS)惯性传感器技术,是一种将微纳米技术应用于惯性传感器制造的方法。
MEMS惯性传感器技术已经成为一种主流技术,用于生产便携式设备、智能手机、车用安全系统等领域。
在本文中,我们将深入探讨MEMS惯性传感器技术的原理、应用和未来发展。
一、MEMS惯性传感器技术的原理MEMS惯性传感器技术是利用微纳米加工技术对传感器的导电板进行微加工、刻蚀、膜压和结构组装,以形成一种微小结构,从而实现对惯性参数的测量。
MEMS惯性传感器技术通常包括两种类型的惯性传感器:加速度传感器和陀螺仪。
对于加速度传感器,其工作原理基于牛顿第二定律:F = ma。
传感器将精细制作的微腔室中的振动源通过弹性支撑件与外壳连接。
当传感器受到加速度的作用时,微腔室中的质量将产生微小的向下或向上偏转,其中向下移动时获得一定的能量,在传感器内部会转化成一个电信号。
对于陀螺仪,其主要原理基于角动量守恒定律和科里奥利效应。
在陀螺仪的内部结构中,配有两个重叠的振动源。
当陀螺仪在一定角速度下旋转时,在陀螺仪内的振动源会发生转化,这时会产生一个趋向于全局旋转方向的电信号。
二、MEMS惯性传感器技术的应用MEMS惯性传感器技术被广泛应用于生产便携式设备、智能手机、车用安全系统等领域。
这些应用涵盖了以下几种:1.汽车控制系统:MEMS惯性传感器技术已经被用于车载安全气囊、雨刷、行车稳定控制等方面,因为精确测量车辆运动的惯性参数和空气动力参数对于汽车行驶的安全非常重要。
2.手持设备光学防抖:MEMS惯性传感器技术可以帮助减轻拍摄过程中手发抖的影响,从而提高手持设备的图像稳定性。
3.空气导航:MEMS惯性传感器技术可以用于身体移动、手势操控,也可以用于空气导航、飞行器和卫星导航等方面。
4.医疗保健:MEMS惯性传感器技术的应用还包括医疗器械,如注射器、血糖仪和手术设备等。
三、 MEMS惯性传感器技术的未来发展纳米技术的兴起和新材料的发现,为MEMS惯性传感器技术的未来发展提供了更多的可能性。
MEMS惯性传感器的背景及发展现状

MEMS惯性传感器的背景及发展现状MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)是指集机械元素、微型传感器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。
MEMS惯性传感器可构成低成本的INS/ GPS 组合导航系统,是一类非常适合构建微型捷联惯性导航系统的惯性传感器。
MEMS惯性传感器的突出特点使其在众多的民用和军用领域具有广阔的应用前景。
MEMS惯性传感器的背景状况MEMS技术最早由Richard Pfeynman(1965年获得诺贝尔物理奖),在1959年提出设想。
1962年硅微型压力传感器问世。
1979年Roylance和Angell开始压阻式微加速计的研制。
1991年Cole开始电容式微加速度计的研制。
惯性传感器包括加速度计(或加速度传感计)和角速度传感器(陀螺)以及它们的单、双、三轴组合IMU(惯性测量单元),AHRS(包括磁传感器的姿态参考系统)。
MEMS加速度计是利用传感质量的惯性力测量的传感器,一般由标准质量块(传感元件)和检测电路组成。
根据传感原理不同,主要有压阻式、电容式、压电式、隧道电流式、谐振式、热电耦合式和电磁式等。
1998年,美国CSDL设计研制了最早的MEMS陀螺。
同年,Drapor实验室研制了另一种形式的MEMS陀螺。
MEMS陀螺是利用震动质量块被基座(壳体)带动旋转时的哥氏效应来传感角速度的原理制成。
主要形式有框架驱动式(内、外框架两种)梳状驱动式、电磁驱动式等。
IMU由于是MEMS技术组合的微型惯性测量单元,所以很多地方称为MIMU。
主要由三个MEMS加速度传感器及三个陀螺及解算电路组成。
AHRS则为包括三个磁传感器的IMU,并且依据四元素法进行了解算,直接可输出一个运动体的俯仰角、横滚角和航向角。
低精度MEMS惯性传感器作为消费电子类产品主要用在手机、游戏机、音乐播放器、无。
惯性导航技术的新进展及其发展趋势

惯性导航技术的新进展及其发展趋势惯性导航技术是一种利用惯性传感器(如加速度计和陀螺仪)来测量和跟踪设备位置、方向和速度的技术。
它被广泛应用于航空航天、汽车导航、无人机、船舶、军事设备等众多领域。
随着科技的不断发展和创新,惯性导航技术也在不断取得新的进展,同时也呈现出了一些新的发展趋势。
一、新进展1. 惯性导航芯片的发展目前,惯性导航技术的发展主要受制于惯性导航芯片的性能和精度。
近年来,随着微电子技术和纳米技术的发展,惯性导航芯片的性能得到了极大的提升,其精度和稳定性也得到了显著的改善。
新一代的惯性导航芯片不仅体积更小、功耗更低,而且精度更高,能够更好地适应各种环境和应用场景。
2. 多模态融合技术的应用随着传感器技术的进步,多模态融合技术在惯性导航领域的应用也日益广泛。
通过将惯性传感器与其他类型的传感器(如GPS、视觉传感器、激光雷达等)进行融合,可以有效弥补惯性传感器存在的漂移和累积误差问题,提高导航系统的精度和稳定性。
3. 数据处理算法的优化随着人工智能和大数据技术的不断发展,各种先进的数据处理算法也被应用到了惯性导航技术中。
基于深度学习的惯性导航数据处理算法能够更加准确地识别和修正传感器数据中的噪声和误差,从而提高了导航系统的性能和稳定性。
二、发展趋势1. 更高精度、更高稳定性随着航空航天、自动驾驶、无人机等领域对导航精度和稳定性的要求越来越高,惯性导航技术也将朝着更高精度、更高稳定性的方向发展。
未来的惯性导航系统将会更加精准地测量和跟踪位置、方向和速度,以满足各种复杂环境下的导航需求。
2. 多传感器融合多传感器融合技术是未来惯性导航技术发展的重要趋势之一。
通过融合惯性传感器和其他类型的传感器,可以有效地提高导航系统的精度和可靠性,实现全天候、全地形的导航和定位。
3. 智能化、自适应未来的惯性导航系统将更加智能化和自适应,能够根据实际环境和应用场景自动调整参数和算法,提高系统的适应性和鲁棒性。
MEMS惯性传感器简介演示

04
MEMS惯性传感器的应 用领域
消费电子领域
1 2
移动设备
MEMS惯性传感器在智能手机、平板电脑等移动 设备中发挥重要作用,用于屏幕旋转、游戏控制 以及虚拟现实等功能的实现。
可穿戴设备
惯性传感器在可穿戴设备如智能手表、手环中, 用于计步、姿态识别、定位等功能的实现。
3
智能家居
在智能家居领域,MEMS惯性传感器可用于智能 遥控器的姿态控制、电视等家电设备的自动定向 等。
新型材料在MEMS传感器中的应用
碳纳米管
碳纳米管具有优异的力学、电学和热学性能,可以作为MEMS传感器的敏感材料,提高传 感器的灵敏度、响应速度和稳定性。
二维材料
如石墨烯等二维材料具有超高的载流子迁移率和机械强度,可用于制造高性能、柔性的 MEMS传感器。
复合材料
采用金属、陶瓷与聚合物等复合材料制造MEMS传感器,可以综合各材料的优点,实现传 感器的高性能、低成本和批量化生产。
通过本次PPT演示,我们将 深入探讨MEMS惯性传感器 的技术挑战、市场前景及发 展趋势,希望能够对这一领 域有一个更为全面、深入的 了解,并为相关企业和研究 机构提供有价值的参考。
THANKS
感谢观看
AI算法在传感器中的应用
01
02
03
自适应校准
利用AI算法对传感器进行 自适应校准,实时修正误 差,提高传感器的测量精 度和线性度。
故障诊断与预测
结合传感器数据和AI算法 ,实现传感器的故障诊断 与预测,提前发现潜在问 题,提高系统的可靠性。
智能传感器网络
运用AI算法优化传感器网 络的布局和数据传输,降 低能耗,提高网络整体性 能。
。
惯性传感器定义
惯性导航技术的新进展及其发展趋势

惯性导航技术的新进展及其发展趋势
惯性导航技术是一种利用惯性测量装置组合(IMU)进行导航的技术,它不依赖于外部信号源,而是通过测量加速度和角速度来推算位置、方向和速度。
这种技术是在没有GPS 信号或者GPS信号受限的环境下进行导航的重要手段,比如在城市谷隘、高楼大厦密集区域、地下车库、山区等环境下,惯性导航技术都能够发挥其独特优势。
近年来,随着MEMS 技术的快速发展,惯性导航技术也取得了一些新的进展,并且有一些发展趋势也值得关注。
关于惯性导航技术的新进展。
随着微机电系统(MEMS)技术的不断进步,惯性传感器的精度和稳定性得到了显著提高。
MEMS陀螺仪和加速度计的体积和功耗逐渐减小,精度和稳定性逐渐提高,这为惯性导航技术的发展提供了有力支持。
随着人工智能和深度学习技术的日益成熟,利用惯性传感器数据进行状态估计和航迹重建的算法也取得了一些突破。
这些算法能够通过处理传感器测量数据来估计车辆或者移动设备的位置、速度和方向,进而实现导航和定位功能。
关于惯性导航技术的发展趋势。
可以预见,随着MEMS技术的不断进步,惯性导航技术的传感器将变得更加小型化、低成本和高性能。
这将大大扩展惯性导航技术在汽车、航空航天、无人机、移动设备等领域的应用范围。
随着5G和物联网技术的快速发展,惯性导航技术也将逐渐与其他传感器(比如摄像头、激光雷达等)和通信设备进行融合,进一步提高导航和定位的精度和稳定性。
由于环境地图的不断丰富和更新,惯性导航技术将能够通过地图匹配和路标识别等技术与地图数据进行融合,进一步提高导航和定位的精度和鲁棒性。
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➢定轴性的相对性(二):章动 (Nutation)现象
陀螺受冲击力矩时,自转轴将在原来的空 间方位附近作锥形振荡运动
二自由度陀螺 运动方程:初步分析
从定性到定量:引入坐标系 ➢外、内框架和转子坐标系
➢任 务 : 描 述 当 沿 着 内 外 框 架 轴 施加力矩时,陀螺框架角α、β的 变化规律
➢改写分母项
J x J ys2
H2
J x J y (s2
H2 JxJy
)
JxJ
y
(s 2
2 0
)
固有振荡频率
二自由度陀螺 脉冲响应:输入输出
J x y x
➢以上称变态欧拉动力学方程
Mx My Mz
Mz = 0,因此
J z ( z ) 常量
➢对前两式,忽略 角速度高阶小量, 得到简化方程
Jx
d x
dt
H y
Mx
➢实际的陀螺中,一般赤道转动 惯量 Jx = Jy,由第三式可得
Jy
d y
dt
H x
My
Jz
d ( z )
dt
Mz
➢关于框架角速度和 外加力矩的方向
dH dH~ H M
dt dt
M H
此即二自由度陀螺仪的进动方程
进动角速度的方向和大小
➢进动角速度的方向:最短路径法则 (H 沿最短路径趋向 M)
➢进动角速度的大小:根据 M = ω×H,写成标量形式:
M = ω·H·sinθ
因此
ω = M /(H·sinθ)
进动角速度大小与外力矩的大小成正比,与转子的动量矩的大小 成反比。
J y y z
( z ) x
]i
] j
[J y x y J x x y ]k
二自由度陀螺 运动方程:合并简化
➢对每个坐标分量,分别写出方程
➢陀螺稳态工作时,
Jx
d x
dt
J z ( z
) y
J y y z
Jy
d y
dt
J z ( z
) x
J x x z
Jz
d ( z )
dt
J y x y
力矩起耦合作用
二自由度陀螺 系统模型:传递函数
➢由拉氏变换方程求解两个框架角α、β ,得到
(s)
Jy JxJys2
H
2
M
x1 (s)
H s(J x J y s2
H
2)
M
y (s)
(s)
Jx JxJys2
H
2
M
y (s)
H s(J x J y s2
H
2)
M x1 (s)
➢由此可以得到从 Mx1、My 分别到α和β的四个传递函数
➢方法:动量矩定理 + 苛氏定律
二自由度陀螺 运动方程:矢量表示
➢转子的绝对角速度:分解表示
内框架坐标系的牵连角速度:
xi y j zk
转子相对内框架的角速度:
s ·k
转子的绝对角速度:
' xi y j
( z
)k
➢转子的动量矩:
H J x xi J y y j J z ( z )k
J x H M x1 J y H M y
➢上式称为陀螺仪的技术方程。
➢技术方程的物理意义(惯性力 矩和进动力矩)
二自由度陀螺 系统模型:拉氏变换
二自由度陀螺仪的技术方程
J x H M x1 J y H M y
拉氏变换
J x s 2 (s) s 0 0 H s (s) 0 M x1 (s)
J y s 2 (s) s0 0 H s (s) 0 M y (s)
整理
J x s 2 (s) Hs (s) M x1 (s) J x s 0 0 H 0
J y s 2 (s) Hs (s) M y (s) J y s 0 0 H 0
当初始条件都为零,得到
陀螺动力效应:陀螺力矩
外加力矩
M H
陀螺力矩(Gyro Torque): 反作用力矩
M g H H
陀螺力矩的方向判断 陀螺力矩的作用对象
陀螺动力(稳定)效应,对外框架有效
陀螺动力(稳定)效应,对内框架无效
定轴性;漂移、章动
➢二自由度陀螺仪的定轴性
二自由度陀螺仪具有抵抗干 扰力矩,力图保持其自转轴 相对惯性空间方位不变的特 性(定轴性、或稳定性)。
二自由度陀螺 系统模型:系统方块图
➢拉氏变换方程
J x s 2 (s) Hs (s) M x1 (s) J y s 2 (s) Hs (s) M y (s)
➢改写方程,画出系统方块图
M
x1
(s)
Hs
(s)
J
1 xs
2
(s)
M y (s) Hs (s)
1 J ys2
(s)
➢每个力矩都同时引起陀 螺仪的两种运动,陀螺
二自由度陀螺仪进动性
➢进动性(Proceeding)
转子没有旋转时, 给陀螺悬挂重物
进动的规律
➢进动性:陀螺仪受到外力矩时, 转子自转轴的转动方向与外力矩 方向相垂直的现象 ➢进动、进动角速度
用动量矩定理解释进动:近似推导
➢动量矩定理
dH M dt
➢H 的近似表示:
H J z k
➢动量矩定理 + 苛氏定律
二自由度陀螺 运动方程:角速度投影
x cos y z sin
➢代入简化方程,得到
两种角速度的关系
➢内框架坐标系 x y z 的ω等
于 两 个 欧 拉 角 速x度i 的矢y量j 和
z
k
➢根据投影
Jx J
d (
d
y dt
cos ) H M
dt
H cos M y
x
➢求导式展开,忽略高阶 小量,得到
J x cos H M x J y H cos M y
二自由度陀螺 运动方程:力矩投影
J x cos H M x J y H cos M y
➢力矩的变换
M x1 M x cos
➢代入上式,得到
J x cos
H
M x1
cos
J y H cos M y
➢实际β角很小,上式简化成
二自由度陀螺 运动方程:推导
➢根据动量矩定理和苛氏定律 dH dH~ H M
dt dt
➢其中
dH~ dt
Jx
d x
dt
i Jy
d y
dt
j Jz
d ( x
)
k
dt
i
j
k
H x y
z
ห้องสมุดไป่ตู้
J x x J y y
[J z ( z ) y
[J x x z J z
J z ( z )
第二章 惯性传感器
机械转子式陀螺仪的概述
➢陀螺的基本部件 陀螺转子(Rotator) 内、外框架(Gimbal)(支承部件) 附件(电机、力矩器、传感器等)
➢陀螺的分类(机械转子式) 二自由度(Two-Degree-of-Freedom) 单自由度(Single-Degree-of-Freedom)(速率 、积分)