扫描电子显微镜 SEM
扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)
二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。
扫描电子显微镜（SEM）
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扫描电镜的优点：有较高的放大倍数，20-200000倍之间连续可调；有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；试样制备简单，目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析（即SEM-EDS），因此它是当今十分重要的科学研究仪器之一。
扫描电子显微镜（SEM）工作原理
透射电子显微镜（TEM）：
透射电子显微镜可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构，就必须选择波长更短的光源，以提高显微镜的分辨率。
1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜，电子束的波长要比可见光和紫外光短得多，并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比，也就是说电压越高波长越短。目前TEM的分辨力可达0.2nm。
扫描电子显微镜下，细胞（粉色、蓝色）上培养出来的新冠病毒（黄色）
学习感悟：生命科学的发展离不开技术，显微镜的发明推动了生命科学的发展。要观察病毒就需要特殊的显微镜。
扫描电子显微镜（SEM）：
扫描电子显微镜是1965年发明的主要用于细胞生物学研究电子显微镜，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子。
扫描电镜sem
扫描电镜（SEM）简介扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种利用电子束对样品表面进行扫描的显微镜。
相比传统的光学显微镜，SEM具有更高的分辨率和更大的深度视野，使得它成为材料科学、生命科学和物理科学等领域中常用的研究工具。
SEM通过利用电子多次反射，将样品表面的形貌细节放大数千倍，可以观察到微观结构，比如表面形态、粗糙度、纳米级颗粒等。
SEM通常需要真空环境下操作，因为电子束在大气压下很快会失去能量而无法达到高分辨率。
工作原理SEM的工作原理可以简单地分为以下几步：1.电子发射：SEM中，通过热发射或场发射的方式产生电子束。
这些电子被加速器加速，形成高速的电子流。
电子束的能量通常在10-30 keV之间。
2.样品照射：电子束通过一个聚焦系统照射到样品表面。
电子束与样品原子发生相互作用，从而产生各种现象，比如电子散射、透射和反射。
3.信号检测：样品与电子束发生相互作用后，产生的信号会被探测器捕获。
常见的SEM信号检测器包括二次电子检测器和反射电子检测器。
这些探测器可以测量电子信号的强度和性质。
4.信号处理和图像生成：SEM通过对探测到的信号进行处理和放大，生成图像。
这些图像可以显示出样品表面的微观结构和形貌。
应用领域SEM在许多科学领域中都有广泛的应用。
以下是一些常见的应用领域：材料科学SEM可以用于研究材料的结构和形态。
它可以观察微观缺陷、晶体结构、纳米颗粒等材料细节。
这对于材料工程师来说非常重要，可以帮助他们改进材料的性能和开发新的材料。
生命科学SEM可以用于观察生物样品的微观结构。
比如，它可以观察细胞的形态、细胞器的分布和细胞表面的纹理。
这对于生物学家来说非常重要，可以帮助他们了解生物体的结构和功能。
纳米科学SEM在纳米科学领域中也有广泛的应用。
通过SEM可以对纳米材料进行表面形貌和结构的观察。
它可以显示出纳米结构的细节，帮助科学家研究纳米颗粒的组装、层析和相互作用等现象。
SEM扫描电子显微镜
线扫描分析：
电子探针
将谱仪〔波、能〕固定在所要测量的某一元素特征X射线信 号〔波长或能量〕的位置，把电子束沿着指定的方向作直线轨 迹扫描，便可得到这一元素沿直线的浓度分布状况。转变位置 可得到另一元素的浓度分布状况。
面扫描分析〔X射线成像〕：
电子束在样品外表作光栅扫描，将谱仪〔波、能〕固定在 所要测量的某一元素特征X射线信号〔波长或能量〕的位置，此 时，在荧光屏上得到该元素的面分布图像。转变位置可得到另 一元素的浓度分布状况。也是用X射线调制图像的方法。
征X射线，分析特征X射线的波长〔或能量〕可知元素种类； 分析特征X射线的强度可知元素的含量。
➢ 其镜筒局部构造和SEM一样，检测局部使用X射线谱仪。
电子探针
X射线谱仪是电子探针的信号检测系统，分为: 能量分散谱仪〔EDS〕，简称能谱仪，用来测定X射线特征能量。 波长分散谱仪〔WDS〕，简称波谱仪，用来测定特征X射线波长。
对于纤维材料，用碳胶成束的粘接在样品台上即 可。
样品制备
粉末样品：留意粉末的量，铺开程度和喷金厚度。 粉末的量：用刮刀或牙签挑到双面导电胶〔2mm宽，8mm长〕，
均匀铺开，略压紧，多余的轻叩到废物瓶，或用洗耳球吹， 后者易污染。 铺开程度：粉末假设均匀，很少一点足矣，否则易导致粉末在 观看时剥离外表。喷金集中在外表，下面样品易导电性不佳， 观看比照度差，建议承受分散方式。
定量分析精度不如波谱仪。
电子探针
波谱仪
➢ 波谱仪主要由分光晶体和X射线检测系统组成。 ➢ 依据布拉格定律，从试样中发出的特征X射线，经过确定晶面间距的晶
体分光，波长不同的特征X射线将有不同的衍射角。通过连续地转变θ， 就可以在与X射线入射方向呈2θ的位置上测到不同波长的特征X射线信 号。 ➢ 依据莫塞莱定律可确定被测物质所含有的元素 。
化学中sem
化学中semSEM（扫描电子显微镜）是一种在化学研究中广泛应用的仪器，它通过使用电子束对样品进行扫描，然后根据样品表面反射的电子的能量、电子的发射能量以及电子的散射能量等信息来观察并分析样品的形貌、成分和结构等。
SEM的工作原理是利用高能电子束对样品表面进行扫描。
电子束与样品表面的原子和分子相互作用，产生次级电子、反射电子、散射电子、透射电子等不同种类的电子。
这些电子被收集并转换成电子束之外的其他形式，例如光信号、电流信号等。
通过控制电子束扫描的速度和方向，可以得到样品表面的形貌信息。
通过收集和分析不同种类的电子，可以获得样品的结构和成分信息。
这些信息是通过SEM形成的图像和光谱进行观察和分析的。
SEM具有许多优点，使它在化学研究中扮演重要的角色。
首先，SEM具有很高的分辨率。
由于电子具有更短的波长，因此SEM具有比光学显微镜更高的分辨率。
这使得SEM可以观察到更小的细节和结构。
其次，SEM具有较大的深度。
电子束穿透样品的能力使得SEM可以观察到样品的内部结构和深度信息。
此外，SEM还具有非常高的灵敏度和检测能力，可以检测到非常低浓度的元素和物质。
在化学研究中，SEM被广泛应用于材料科学、纳米科学、表面科学、环境科学等领域。
例如，在材料科学中，SEM可以用于研究材料的微观形貌、晶体结构、材料之间的相互作用等。
在纳米科学中，SEM可以用于观察和测量纳米材料的大小、形状、分布和聚集情况。
在环境科学中，SEM可以用于分析和检测环境污染物、微生物、化学物质等。
除了形貌观察和成分分析外，SEM还可以进行电子探针分析、样品制备和表面处理等操作。
例如，通过在SEM中加入X射线能谱仪（EDS）或电子能谱仪（EELS），可以对样品进行定性和定量分析，以确定样品的化学成分和元素分布。
此外，通过SEM可以进行样品的金属蒸发、碳膜覆盖、切割和离子注入等处理，以便更好地观察和分析样品。
综上所述，SEM是一种在化学研究中不可或缺的仪器。
扫描电子显微镜(SEM)简介
完成观察后，关闭扫描电子显微镜主机和计 算机，清理样品台，保持仪器整洁。
注意事项
样品求
确保样品无金属屑、尘埃等杂质，以 免损坏镜体或影响成像质量。
避免过载
避免长时间连续使用仪器，以免造成 仪器过载。
保持清洁
定期清洁扫描电子显微镜的镜头和样 品台，以保持成像清晰。
操作人员要求
操作人员需经过专业培训，了解仪器 原理和操作方法，避免误操作导致仪 器损坏或人员伤害。
操作方式
有些SEM需要手动操作，而有 些型号则具有自动扫描和调整 功能。
适用领域
不同型号的SEM适用于不同的领 域，如材料科学、生物学等，选
择时应考虑实际应用需求。
04
SEM的操作与注意事项
操作步骤
01
02
03
开机与预热
首先打开电源，启动计算 机，并打开扫描电子显微 镜主机。预热约30分钟， 确保仪器稳定。
场发射电子源利用强电场作用下的金属尖端产生电子，具有高亮度、低束流的优点， 但需要保持清洁和稳定的尖端环境。
聚光镜
聚光镜是扫描电子显微镜中的重 要组成部分，它的作用是将电子 束汇聚成细束，并传递到样品表
面。
聚光镜通常由两级组成，第一级 聚光镜将电子束汇聚成较大直径 的束流，第二级聚光镜进一步缩
小束流直径，提高成像质量。
生态研究
环境SEM技术可以应用于生态研究中， 例如观察生物膜、土壤结构等，为环 境保护和治理提供有力支持。
THANKS
感谢观看
样品放置
将样品放置在样品台上， 确保样品稳定且无遮挡物。
调整工作距离
根据样品特性，调整工作 距离（WD）至适当位置， 以确保最佳成像效果。
操作步骤
扫描电子显微镜
扫描电子显微镜的简称为扫描电镜，英文缩写为SEM（Scanning Electron Microscope）. SEM与电子探针的功能和结构基本相同，但SEM一般不带波谱仪。
它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子，背散射电子等对样品表面或断口相貌将行观察和分析。
现在SEM都与能谱组合，可以进行成分分析。
所以，SEM也是显微结构分析的主要仪器，已经广泛用于材料，冶金，矿物，生物学等领域。
扫描电镜结构原理1．扫描电镜的工作原理及特点2．扫描电镜的工作原理与闭路电视系统相似2.扫描电镜的主要结构主要包括有电子光学系统，扫描系统，信号检测放大系统，图像显示和记录系统，电源和真空系统等透射电镜一般由电子光学系统（照明系统），成像放大系统，电源和真空系统三部分组成扫描电镜扫描电镜图像及衬度1.二次电子象2.背散射电子象二次电子象入射电子与样品相互作用后，使样品原子较外层电子电离产生的电子，称二次电子。
二次电子能量较低，习惯上把能量小于50ev电子成为二次电子，仅在样品表面5nm-10nm的深度内才能逸出表面，这是二次电子分辨率高的重要原因之一。
1.二次电子象二次电子象使表面形貌衬度，它是利对样品表面形貌变化敏感的物理信号作为调节信号得到的一种象衬度。
因为二次电子信号的主要来处样品表层5-10NM的深度范围，它的强度与原子序数没有明确的关系，便对微区表面相对于入射电子束的方向却十分敏感，二次电子象分辨率比较高，所以适用于显示形貌衬度。
凹凸不平的样品表面所产生的二次电子，用二次电子探针器很容易全部被收集，所以二次电子象无阴影效应，二次电子易受电场和磁场的影响背散射电子像背散射电子像使指入射电子与样品相互作用之后，再次逸出样品表面的高能电子，其能量接近与入射电子能量。
背射电子大的产额随样品的原子序数增大而增加，所以背散射电子信号大的的强度与样品的化学组成有关，即与组成样品的各元素平均原子序数有关。
仪器分析SEMTEM
仪器分析SEMTEMSEM（扫描电子显微镜）和TEM（透射电子显微镜）是两种常用的仪器分析方法，用于观察材料的微观结构和成分。
它们都利用电子束与样品的相互作用来获取信息。
下面将分别介绍SEM和TEM的工作原理和应用。
SEM利用高能电子束与样品表面的相互作用来观察样品的表面形貌和成分。
其工作原理如下：电子枪产生的聚焦电子束通过透镜系统形成一个细小的电子束，并聚焦引导到样品表面上。
与样品表面相互作用的电子束导致了反射、散射或吸收，其中部分电子通过接收器收集到形成信号。
这些信号被转换成图像，并在显微镜屏幕上显示出来。
SEM可以提供高分辨率、大深度以及大视场的表面形貌图像，并且可以通过能谱分析系统对样品的元素组成进行表征。
SEM广泛应用于材料科学、生物科学、纳米科学等领域。
在材料科学中，SEM可以用于观察材料的晶体形态、纹理、表面缺陷等。
在生物科学中，SEM可以用于观察细胞、组织和生物材料的形貌和结构。
在纳米科学中，SEM可以用于研究纳米材料的形貌、尺寸和形状。
此外，SEM还可以用于分析样品的成分和化学组成。
相比之下，TEM是一种通过透射电子束与样品相互作用来观察材料的内部结构和成分的方法。
其工作原理如下：电子枪产生的电子束经过透镜系统形成一个细小的电子束，并聚焦到样品上。
样品上的一部分电子透过样品，并通过设备上的透射电子探测器来检测。
这些透射电子被转换成图像，并在显微镜屏幕上显示出来。
TEM具有高分辨率的优点，可以提供关于样品内部结构和成分的详细信息。
TEM广泛应用于材料科学、生物科学、纳米科学等领域。
在材料科学中，TEM可以用于观察材料的晶格结构、晶界、层状结构等。
在生物科学中，TEM可以用于观察细胞、组织和病毒等的内部结构。
在纳米科学中，TEM可以用于观察纳米材料的结构、尺寸和形貌。
此外，TEM还可以用于分析样品的成分和化学组成。
综上所述，SEM和TEM是常用的仪器分析方法，用于观察材料的微观结构和成分。
sem扫描电镜
景深
景深是指一个透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个能力范围。 扫描电镜的物镜采用小孔视角、长焦距，可以获得很大的景深 。 扫描电镜的景深为比一般光学显微镜景深大100-500倍，比透射电镜的景深 大10 倍。 由于景深大，扫描电镜图像的立体感强，形态逼真。对于表面粗糙的端口试 样来讲，光学显微镜因景深小无能为力，透射电镜对样品要求苛刻，即使用 复型样品也难免出现假像，且景深也较扫描电镜为小，因此用扫描电镜观察 分析断口试样具有其它分析仪器无法比拟的优点。
图5 各种检测器的示意图
图6 信号处理的流程示意图
真空系统和电源系统
真空系统：包括机械泵和扩散泵。 作用：为保证电子光学系统正常工作，提供高的真空度，防止 样品污染，保持灯丝寿命，防止极间放电。 电源系统：包括启动的各种电源（高压、透镜系统、扫描电 圈），检测−放大系统电源，光电倍增管电源，真空系统和成 像系统电源灯。还有稳压、稳流及相应的安全保护电路。
主要内容
SEM的工作原理 SEM的主要结构 SEM的组成部分 SEM的主要性能参数 SEM的优点 应用举例
SEM的工作原理
电子枪发射电子束（直径50μm）。电压加速、磁透镜系统汇 聚，形成直径约5nm的电子束。 电子束在偏转线圈的作用下，在样品表面作光栅状扫描，激发 多种电子信号。 探测器收集信号电子，经过放大、转换，在显示系统上成像 （扫描电子像）。 二次电子的图像信号动态地形成三维图像。 简单概括起来就是“光栅扫描，逐点成像”。
扫描电镜技术在木材工业领域的应用
木质人造板研究 北京林业大学母军等人进行了废弃人造板
炭化产物分析的研究，通过微观扫描电镜观察发现，炭化产物 的微观表面平滑，纹孔开放，沉积物减少。
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扫描电镜实物图
JSM-6700F场发射扫描电镜
原理概述
激发源：电子束轰击样品表面原子 二次信号：激发二次电子、X射线 和返回入射空间的背散射电子 收集散射电子并成像
激发源：入射电子束与样品的作用
电子束经会聚透镜在试样表面聚焦成几纳米的束斑
反射电子 (形貌·成份)
X线 (元素)
电子束 (0.2～30kV)
扫描电镜的优点
➢ 高分辨率。由于超高真空技术的发展，场发射电子枪 的应用得到普及，现代先进的扫描电镜的分辨率已经 达到1纳米左右；
➢ 有较高的放大倍数； ➢ 有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观
察各种试样凹凸不平表面的细微结构； ➢ 试样制备简单； ➢ 配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形
SEM制样准则 尽可能保持样品本来的形貌和结构 在样品的干燥过程尽可能减少样品变形 样品表面应有良好导电性能和二次电子发射率
SEM制样技术
纳米颗粒样品制备
基片：玻璃片，硅片，铜片 一般情况下将纳米颗粒的溶液滴到基片上，干燥。 SEM图显示颗粒分布不均 基片不干净 纳米颗粒不干净：可以用多种溶剂反复洗，超纯水，乙
Carbonaceous Nanofiber Membranes for Selective Filtration and Separation of Nanoparticles By Hai-Wei Liang , Lei Wang , Pei-Yang Chen , Hong-Tao Lin , Li-Feng Chen , Dian He , and Shu-Hong Yu* Adv. Mater. 2010, 22, 4691–4695
醇，丙酮等。
硅片的清理方法
除油：硅片先后在丙酮、甲醇中超声20min 碱性过氧化氢溶液中进行氧化10min，溶液成分比为
NH4OH H2O2 H2O（1：1：4），以除去表面氧化物 将硅片放入PH值为5.0的HF溶液中刻蚀10min，其目的是
除去表面的氧化物、移去表面的破损层并得到平整的表面 将硅片放入酸性过氧化氢溶液中进行氧化10min，溶液成
也没有经过两相界面的状态，对样品的破坏程度小。
生物样品的制备
玫瑰花瓣表面的SEM照片 (850X)，CPD干燥
玫瑰花瓣表面的SEM照片 (850X)，风干凝固
扫描电子显微镜的应用
1 无机材料制备工程 2 材料和冶金工业
3
晶体生长
4 生物材料观察
USTC
粉体的表征
掺杂氧化铈(doped ceria)粉体的SEM照片
扫描电子显微镜概述
提纲
原理部分 SEM基本原理
• SEM成像参数 • SEM成像影响因素
样品制备和一般性应用 样品制备
• 一般性应用
在纳米材料领域的应用 文献讲述
引言
扫描电镜（SEM）是一种大型精密仪器，为微 观世界的探测提供了一种新的研究手段，不仅 用于植物学、医学、微生物学、古生物学、考 古学、材料学、化学、物理学、电子学、地质 矿物学、食品科学等领域，而且还广泛地应用 于半导体工业、陶瓷工业、化学工业、石油工 业等生产部门。随其普及和发展，SEM已经成 为广泛的测试手段，并且在基础研究和应用研 究上取得了显著成果。
萤光 (化学结合状态)
二次电子(试样的表面形貌) 俄歇电子（元素）
电子散射区域
试样
背散射电子
在深度100~1000nm，横向100nm×100nm体范围内激发 横向分辨率低，景深大，立体感强
能量接近于入射电子
产额与试样原子大小相关：
从而背景散射电子成像的衬 度可以反映试样中原子序数的差异
二次电子
貌的观察和微区成分分析。
扫描电镜的发展历程1
➢ 1924年，法国科学家De.Broglie证明任何粒子在高速运 动时都会发射一定波长的电磁辐射。
➢ 1926年，德国科学家Garbor和Busch发现用铁壳封闭的 铜线圈对电子流能折射聚焦，即可以作为电子束的透 镜。
➢ 1935年，Knoll提出了扫描电镜的设计思想并制成了扫 描电镜的原始模型。
影响分辨率的因素： 入射电子束束斑直径 入射电子束在样品中的扩展效应 所用的调制信号及成像方式
SEM的主要性能3
景深 景深是指一个透镜对高低不平的试样各部位能同时聚 焦成像的一个能力范围。 SEM的景深为比之一般光学显微镜大100-500倍，比之 TEM大10 倍。
景深D=2r/a，a=R/WD，r为电子束直径 假设CRT光点大小为0.1mm=100um 2r=0.1/M（放大倍率） D=100um/（M*a）=（100um*WD/M*R）
Facile fabrication of triple-layer (Au@Ag)@polypyrrole core–shell and (Au@H2O)@polypyrrole yolk–shell nanostructures Shuangxi Xing, Li Huey Tan, Tao Chen, Yanhui Yang and Hongyu Chen* Received (in Cambridge, UK) 25th November 2008, Accepted 19th January 2009 First published as an Advance Article on the web 17th February 2009
电子束
CRT
扫描(X方向) 扫描(Y方向)
A
试样
CRT的电子束 扫描(X方向)
扫描(Y方向)
SEM的主要性能2
分辨率 分辨率是扫描电镜的主要性能指标。对成分分析而言， 它是指能分析的最小区域；对成像而言，它是指能分辨 两点之间的最小距离。一般二次电子像的分辨率约为510nm，背反射电子像的分辨率约为50-200nm。
ESEM原理
气体放大原理：
➢ 入射电子束1从样品5表 面激发信号电子: 二次 电子4和背散射电子3
➢ 入射电子和信号电子将 空气电离化
➢ 在样品和电极板2之间 加一个稳定电场, 电子、 离子定向加速,能量足 够大则电离气体分子, 如此反复倍增
ESEM信号探测系统
SEM的主要性能1
放大倍数 SEM的放大倍率=L/A
入射电子与试样核外层电子作用，在10nm深度内激发 出的约几十eV的电子
产生范围与入射斑点相当
产额比背散射电子大得多， 是SEM成像的主要部分
产额与入射角相关：
二次电子成像机理
样品斜放，样品表面起伏造成入射角不同，从而二次电 子散射的角度和 产额均不同
其他激发产物
入射电子使试样原子电离成为不稳定态，其外层电子 向内层跃迁时发射的射线为X射线 同时跃迁释放的能量激发另一层的电子跃迁则得到俄 歇电子 配备X射线波谱仪、能谱仪 则可确定试样的成分（XPS） 也可以利用俄歇电子 研究试样的表面结构形貌 还包括：吸收电子，散射 荧光、声子激发、等离子震荡 等等
材料拉伸测试
另一个世界的探索
扫描电镜观察生物样本
独居蜂幼虫
扫描电镜观察生物样本
哥布林蜘蛛
扫描电镜观察生物样本
撒克逊黄蜂的颚齿
扫描电镜观察生物样本
发育成熟的蜜蜂幼虫
扫描电镜观察生物样本
苍蝇的复眼
扫描电镜观察生物样本
苍蝇的复眼
扫描电镜观察生物样本
苍蝇的复眼
扫描电镜观察生物样本
苍蝇的复眼
SEM在纳米材料领域的应用
纳米材料独特的物理化学性质主要源于它的超微尺寸及超 微结构。因此对纳米材料表面形态的观察成为对其研究和 应用的基础。
扫描电子显微镜(SEM)在纳米级别材料的形貌观察和尺寸检 测方面依靠其高分辨率．良好的景深简易的操作等优势被 大量采用。
.
SnC2O4·2H2O was mixed with poly(vinylpyrrolidone) (PVP) in ethylene glycol (EG), followed by refluxing at 195 °C for 3 h.
生物样品的制备 三、干燥：
临界点干燥法：利用二氧化碳超临界流体
生物样品的制备
临界点干燥法：
低温（5～10℃）时，将样品加到液体CO2中，液体CO2 取代有机溶剂，当温度升高到临界温度31.3℃，液体 CO2转化成CO2气体，从加压池中把CO2气体放出，同 时干燥了样品
优点： 由于超临界流体没有液相和气相的界面，因此样品干燥
分比为HCl H2O2 H2O（1：1：4），其作用是络合表面 的金属离子
以上每一步完成后都用大量的超纯水冲洗，最后置于超纯 水中。
生物样品的制备 一、固定：
固定剂：甲醛、戊二醛、四氧化锇 固定温度：0~37℃ 固定时间：10分~几小时
生物样品的制备
二、脱水：
50%~100%乙醇或丙酮脱水
乙醇、丙酮另一个作用： 用表面张力小的乙醇取代表面张力很大的水 使干燥过程对样品表面产生的影响较少
Thank you!
A Soution-Phase,Precursor Route to Polycrystalline SnO2 Nanowires That Can Be Used For Gas Sensing Under Ambiebt Conditions
Yuliang Wang,Xuchuan Jiang,and Younan Xia* Department of Chemistry, UniVersity of Washington, Seattle, Washington 98195 J. AM. CHEM. SOC. 2003, 125, 16176-16177
5、加速电压
e-
高分辨率高电压
更自然低电压 被检测器吸收 6、像散
像散是由于SEM的磁场轴向