第11 12讲 压电式传感器
压电式力传感器
石英晶体的压电效应演示
当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压 的频率与动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电 荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。
4
压电效应是可逆的 在介质极化的方向施加电场时，电介质会产生 形变，将电能转化成机械能，这种现象称
“逆压电效应”。 •压电元件可以将机械能——转化成电能 也可以将电能——转化成机械能。
Z
Z
Y Y
X X
(a ) (b)
石英晶体
(a)理想石英晶体的外形 (b)坐标系 8
Y -
Y +
X
+
+
(b)
X
(a)
硅氧离子的排列示意图
(a) 硅氧离子在Z平面上的投影 （b）等效为正六边形排列的投影
石英晶体具有压电效应，是由其内部结构决定的。 组成石英晶体的硅离子 Si4+和氧离子 O2- 在 Z平面投影， 如图 ( a ) 。为讨论方便，将这些硅、氧离子等效为图 ( b ) 中正六边形排列，图中“＋”代表 Si 4 + ，“－”代表 2O2-。 9
2．压电陶瓷压电效应产生的机理
压电陶瓷属于铁电体一类的物质，是人工制造的多晶压电材料， 它具有类似铁磁材料磁畴结构的电畴结构。电畴是分子自发形成 的区域，它有一定的极化方向，从而存在一定的电场。在无外电 场作用时，各个电畴在晶体上杂乱分布，它们的极化效应被相互 抵消，因此原始的压电陶瓷内极化强度为零，见图（a）。
直流电场E 剩余极化强度
电场作用下的伸长 (a)极化处理前 (b)极化处理中
剩余伸长 (c)极化处理后
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但是，当把电压表接到陶瓷片的两个电极上进行测量时，却无 法测出陶瓷片内部存在的极化强度。这是因为陶瓷片内的极化强 度总是以电偶极矩的形式表现出来，即在陶瓷的一端出现正束缚 电荷，另一端出现负束缚电荷。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片 的电极面上吸附了一层来自外界的自由电荷。这些自由电荷与陶 瓷片内的束缚电荷符号相反而数量相等，它起着屏蔽和抵消陶瓷 片内极化强度对外界的作用。所以电压表不能测出陶瓷片内的极 化程度，如图。
压电式传感器的工作原理
压电式传感器的工作原理压电式传感器是一种常用的传感器，它通过压电效应来实现对压力、力、加速度等物理量的测量。
压电效应是指某些晶体在受到机械应力时会产生电荷，这种效应被应用在压电式传感器中，使其能够将机械量转换为电信号，从而实现对物理量的测量。
压电式传感器的工作原理可以简单地分为两个步骤，压电效应和电信号输出。
首先，当压电晶体受到外部机械应力时，晶体内部的正负电荷分布会发生改变，从而产生一个电势差。
这个电势差可以被连接在晶体上的电极捕获，并输出为电信号。
这样，通过测量电信号的大小，就可以确定外部机械应力的大小，从而实现对物理量的测量。
在实际应用中，压电式传感器通常由压电晶体、电极、外壳和连接线组成。
当外部机械应力作用在压电晶体上时，电极捕获到的电荷会通过连接线传输到外部的测量设备中，从而实现对物理量的测量。
压电式传感器的工作原理简单而又有效，使其在工业控制、医疗设备、汽车电子等领域得到了广泛的应用。
值得注意的是，压电式传感器的工作原理虽然简单，但在实际应用中还是需要考虑一些因素。
例如，压电晶体的材料、结构和制作工艺都会影响传感器的灵敏度和精度。
此外，外部环境的温度、湿度等因素也会对传感器的性能产生影响。
因此，在选择和使用压电式传感器时，需要综合考虑这些因素，以确保传感器能够准确可靠地工作。
总的来说，压电式传感器通过压电效应将机械量转换为电信号，实现对物理量的测量。
它的工作原理简单而又有效，使其在各个领域得到了广泛的应用。
然而，在实际应用中仍需要考虑材料、结构、环境等因素对传感器性能的影响。
通过对这些因素的综合考虑，可以更好地选择和使用压电式传感器，从而实现对物理量的准确测量。
压电式速度传感器工作原理
压电式速度传感器工作原理传感器由压电材料制成，压电材料的两个相对面上分别涂有导电粘接剂，形成电极。
当物体靠近或经过传感器时，其速度会引起压电材料的收缩或膨胀，使电极之间产生电压，从而实现速度的测量。
传感器的工作原理主要包括以下几个步骤：1.压电材料收缩/膨胀：当物体靠近或经过传感器时，物体的速度会作用于压电材料上，使其发生收缩或膨胀的变形。
2.电压产生：压电材料的两个电极分别连接到测量电路上，形成闭合电路。
压电材料的变形引起电极之间的距离变化，从而产生电荷。
3.电信号放大：由于压电材料产生的电荷通常较小，需要通过电信号放大器来放大电信号的振幅，以便后续处理和分析。
4.速度计算：通过测量传感器产生的电压信号的振幅和频率变化，可以计算出物体的速度。
较大的电压振幅和频率变化对应较大的速度。
1.精度高：压电材料的压电效应稳定可靠，能够实现高精度的速度测量。
2.频率响应宽：压电材料的转换效率和响应速度高，能够测量较宽范围内的速度变化。
3.体积小：压电材料可以用细小的片状形式制作，因此传感器的体积相对较小，适用于空间有限的场景。
4.抗干扰性好：压电材料产生的电信号具有较高的信噪比，能够抵抗电磁干扰等外部干扰因素。
压电式速度传感器在许多领域都有广泛的应用，包括机械工程、航空航天、汽车工业等。
例如，在汽车行业中，压电式速度传感器常用于测量车辆的速度，以便控制车辆的刹车和加速系统。
在航空航天领域，压电式速度传感器可以测量飞机的空气速度，以便飞行员准确地掌握飞行状态。
总之，压电式速度传感器通过应用压电效应，利用压电材料的形变和电荷产生之间的关系，实现对物体速度的测量。
其优点包括高精度、频率响应宽、体积小和抗干扰性好。
压电式速度传感器在许多应用领域有重要的作用。
传感器原理及应用 第五章 磁电式与压电式传感器
8/2/2023
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5.1.3磁电式感应式传感器的测量电路
磁电感应式传感器是速度传感器，若要获取被测位移 或加速度信号，则需要配用积分或微分电路。下图为测量 电路方框图。
磁电式传感器虽然配用积分电路可以测量位移，但它 只能测量位移随时间的变化，即动态位移，不能测静态位 移。
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（1）在有效载荷作用下测得最低频率时，位移的振幅为 5mm，试计算这时的输出电压值。
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[例题1]图（a）磁电式传感器和图（b）自感式传感器有 何 异同？为什么后者可测量静态位移或距离而前者却不能？
解：相同点：二者都有线圈和活动衔铁。不同点：（a）
磁电式传感器的线圈是绕在永久磁钢上，磁电式传感器有永久
磁铁。自感式传感器的线圈是绕在不带磁性的铁心上。（b）
自感式传感器的自感取决于活动衔铁与铁心的距离，磁电式传
当传感器的工作温度发生变化或受到外界磁场干扰、机械振动或 冲击时，其灵敏度将发生变化而产生测量误差。 相对误差为
dsI dB dL dR sI B L R
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1.非线性误差
主要原因是：由于传感器线圈内有电流I流过时， 将产生一定的交变磁通ΦI，此交变磁通叠加在永久
磁铁所产生的工作磁通上，使恒定的气隙磁通变化 如右图所示。
如图所示可见，在磁电感应式传感器后面接积分电路可 以测量位移，后面接微分电路可以测量加速度。因为位移是 速度的积分，而加速度是速度的微分。
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[例题3]已知磁电式速度传感器的技术参数如下：频率范围 5~100Hz，位移幅值范围为5mm（峰-峰值），加速度幅值 范围为0.1~30g（g=9.8m/s2），无阻尼固有频率为5Hz，线 圈电阻为600Ω，横向灵敏度最大为20%，灵敏度为 4.88V/(m/s),质量为170g。假设测量的振动是简谐振动。
压电式压力传感器原理及应用资料讲解
压电式压力传感器原理及应用压电式压力传感器原理及应用自动化研1302班王民军压电式压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器。
而我们通常使用的压力传感器主要是利用压电效应制造而成的，这样的传感器也叫压电式压电传感器。
压电式压力传感器可以用来测量发动机内部燃烧压力的测量与真空度的测量。
也可以用于军事工业，例如用它来测量枪炮子弹在膛中击发的一瞬间的膛压的变化和炮口的冲击波压力。
它既可以用来测量大的压力，也可以用来测量微小的压力。
一、压电式传感器的工作原理1、压电效应For personal use only in study and research; not for commercial use 某些离子型晶体电介质（如石英、酒石酸钾钠、钛酸钡等）沿着某一个方向受力而发生机械变形(压缩或伸长)时，其内部将发生极化现象，而在其某些表面上会产生电荷。
当外力去掉后，它又会重新回到不带电的状态，此现象称为“压电效应”。
压电式传感器的原理是基于某些晶体材料的压电效应。
2、压电式压力传感器的特点压电式压力传感器是基于压电效应的传感器。
是一种自发电式和机电转换式传感器。
它的敏感元件由压电材料制成。
压电材料受力后表面产生电荷。
此电荷经电荷放大器和测量电路放大和变换阻抗后就成为正比于所受外力的电量输出。
压电式压力传感器用于测量力和能变换为力的非电物理量，如压力、加速度等(见压电式压力传感器、加速度计)。
压电式压力传感器是利用压电材料的压电效应将被测压力转换为电信号的。
由压电材料制成的压电元件受到压力作用时产生的电荷量与作用力之间呈线性关系：Q=k*S*p。
For personal use only in study and research; not for commercial use 式中 Q为电荷量；k为压电常数；S为作用面积；p为压力。
通过测量电荷量可知被测压力大小。
压电式压力传感器的工作原理与压电式加速度传感器和力传感器基本相同，不同的是弹性元件是由膜片等把压力转换成集中力，再传给压电元件。
传感器课件-压电式传感器与超声波传感器
（ 3 ） 铌 镁 酸 铅 Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3 压 电 陶 瓷 （PMN）
具有较高的压电系数，在压力大至700kg/cm2仍能 继续工作，可作为高温下的力传感器。
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1. 压电元件的等效电路
压电传感器在受外力作用时，在两个电极 表面将要聚集电荷，且电荷量相等，极性相 反。这时它相当于一个以压电材料为电介质 的电容器，其电容量为
Ca
r0S
ε0为真空介电常数；ε为压电材料的相对介电常数； δ为压电元件的厚度；S为压电元件极板面积。
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Ca
s
h
r0s
h
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U Q Ca
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压电式传感器的等效电路
(a)等效为一个电荷源Q与一个电容Ca并联的电路 (b) 等效成一个电源U = Q/Ca 和一个电容Ca的串联电路
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两个压电片的联结方式
（a） “并联”，Q’=2Q，U’=U，C’=2C 并联接法输出电荷大，本身电容大，时间常数大， 适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的地方， （b） “串联” Q’=Q，U’=2U，C’=C/2 而串联接法输出电压大，本身电容小。 适宜用于以电压作输出信号，且测量电路输入阻抗很高的地方。
（1+K）Cf>>（Ca+Cc+Ci）
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电荷放大器能将压电传感器输出的电荷
转换为电压（Q/U转换器），但并无放大 电荷的作用，只是一种习惯叫法。
压电传感器的工作原理
石英的d11系数相对于20℃ 的d11温度变化特性
石英在高温下相对介电常数的 温度特性
石英晶体的切片
石英晶体片及封装 石英晶体薄片
双面镀银并封装
天然石英晶体的x、y轴向受力产生电荷比较
1.在晶体的弹性限度内，在x轴方向上施加压力Fx时，在x面 上产生的电荷为：Q=d11Fx
式中 的 d11称为压电常数。 2.在y轴方向施加压力Fy时，仍然在x面上产生电荷：
天然石英晶体外形（续）
天然石英晶体的结构及剖面
天然石英晶体的三个轴
在晶体学中，可用三根相互垂直的轴来表示。其中
纵向轴称为光轴，也称z轴，有折光效应，没有压电效 应。
经过正六面体棱
线，并垂直于光轴
的轴线称为电轴，
也称x轴；经过正六
面体的棱面且垂直
于光轴的轴线称为
机械轴，也称y轴。
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1－正电荷等效中心 2－负电荷等效中心
晶体沿x面受压力时的带电情况分析
石英晶体的正负电荷中心分离，宏观上看， x面的上表面带正电，下表面带负电
Q=d11Fx
1－正电荷等效中心 2－负电荷等效中心
晶片沿x面受拉力时，或是所受压力消失后，弹性体反弹时， 也能导致石英晶体的正负电荷中心分离, x面的上表面带负电,
压电式压力传感器工作原理
压电式压力传感器工作原理
压电式压力传感器是一种常用的传感器，广泛应用于工业控制、机械设备和汽车等领域。
其工作原理是利用压电晶体材料的特性。
压电晶体材料具有压电效应，即受到外力作用时会产生电荷。
常用的压电材料有石英、铅锆钛酸钽等。
压电材料通常以石英片或圆盘的形式存在。
当外部施加压力时，压电材料会发生微小的形变，从而改变了材料中的电荷分布。
这个电荷的改变可以被连接在材料两端的电极感知到，并转换成电压信号。
传感器的结构中通常有一个压电材料圆盘，两侧分别接上金属电极。
当外界施加压力时，压电材料圆盘发生微小形变并产生电荷，在电极上产生电位差。
这个电位差通过连接在电极上的导线传输到电路中。
在电路中，可以使用放大器对信号进行放大处理，并转换成标准的电压或电流输出。
这样，我们就可以通过测量输出的电压或电流值来间接测量外界的压力大小。
需要注意的是，压电式压力传感器在使用时要注意避免过大的压力，以免损坏压电材料。
此外，还要注意传感器与被测量物体的垂直压力方向，以确保测量的准确性。
总结起来，压电式压力传感器通过利用压电材料的压电效应来
实现对外界压力的测量。
它具有结构简单、响应速度快、精度高等优点，在各个领域中都有广泛的应用。
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电荷量与外力的关系：
q d33 F
d33——压电陶瓷的压电系数。
• 钛酸钡的压电系数是石英的50倍，但居里 温度点只有115℃，使用温度不超过70℃， 温度稳定性和机械强度都不如石英。 • 目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅， 居里温度点300℃，性能稳定，有较高的介 电常数和压电系数。
• 压电陶瓷可以按受力和变形的不同形式制 成各种形状的压电元件。
• 2.电荷放大器
由运算放大器的特性，可求出电荷放大器的输出：
Aq u0 Ca Cc Ci (1 A)C f
当（1+A）Cf>>Ca+Cc+Ci时，
q Uo Cf
电荷放大器的输出电压只取决于输入电荷与反馈电容，与电缆电容无关， 且与q成正比，因此通常与压电传感器配合使用。
6.2
压电式传感器的测量电路
一、压电式传感器的等效电路 • 由压电元件的工作原理可知，压电传感 器可以看作一个电荷发生器。同时，它 也是一个电容器，晶体上聚集正负电荷 的两表面相当于电容的两个极板，极板 间物质等效于一种介质，则其电容量为：
Ca
r 0 A
d
压电元件的等效电路
q Ua Ca
当受到Y方向的压力作用时，P1增大，P2,P3减小，在X轴 正方向出现正电荷。
ห้องสมุดไป่ตู้
• 二、压电陶瓷
– 是一种人工制造的多晶压电材料，它由无数 个细微的单晶组成。材料内部的晶粒有许多 自发极化的电畴，在无电场作用时，电畴在 晶体中杂乱分布，它们的极化效应被相互抵 消，因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压 电性质。 – 必须对压电陶瓷进行极化处理，在陶瓷上施 加外电场。 – 在压电传感器中多采用钛酸钡及锆钛酸铅压 电陶瓷作为压电元件。
• 一、石英晶体（SiO2） – 优点： • 绝缘性能好，机械强度高； • 压电温度系数小，居里温度点高； – 缺点： • 资源少，价格较贵； • 压电系数低。
– 只在标准传感或精度要求较高的传感器 中使用。
石英晶体是一个正六面体，各个方向的特性是不同的。
Z—光轴
X—电轴
Y—机械轴
纵向压电效应：沿电轴X方向施加力的作用产生 的压电效应称为纵向压电效应。
压电传感器的测量电路
• 1.电压放大器
U im
dFmR 1 R (Ca Cc Ci )
2 2 2
当
30 时，
就可以认为Uim与频率无关，0表示测量电路 时间常数的倒数。
0 1/[ R(Ca Cc Ci )]
结论：压电传感器具有很好的高频响应，但当作用于压电元件 的力为静态力时，前置放大器的输入电压等于零，因为电荷会 通过放大器的输入电阻和传感器本身漏电阻漏掉，所以压电传 感器不能用于静态力的测量。
qx d11Fx
横向压电效应：沿机械轴Y方向施加力的作用产 生的压电效应称为横向压电效应。
a q y d12 Fy b
d11---x方向受力的压电系数；
d12---y方向受力的压电系数；
当石英晶体不受力时，正负电荷重心重合，电偶极矩的 矢量和等于零。P1+P2+P3=0.
当受到X方向的压力作用时，P1减小，P2,P3增大，在X轴 正方向出现负电荷；
2. SAW 振荡器 它由一组 SAW 发射、接收 IDT 和反馈放大器 组成，如图 6.3 所示。
收
发
图 6.3 SAW 振荡器
3. SAW 谐振器（SAWR） 它由IDT 和栅格反射器组成，如图 6.4 所示。
6.4.2 SAW 压力传感器
图6.5 SAW 压力传感器示意图
图6.6 SAW 压力传感器压力敏感流程图
其中k=EA/l，E，A，l 分别是压电晶体的杨氏 模量、电极面面积和晶片厚度。
二、压电式加速度传感器的几种结构 有压缩式、剪切式和弯曲式三种： 压缩式结构简单，装配较方便，也最常见； 剪切式灵敏度高，能减小基座应变的影响，容易 小型化，频响范围宽，适于测量高频振动。但 装配较为困难； 弯曲式固有频率低，灵敏度高，适于低频测量。 缺点是体积大，机械强度较前两种差。 见图6-15
6.4.5 SAW 电力传感器 当电场作用于SAW 传播的路径上时，压电基片 将发生应变，使延迟时间发生变化。在一定 范围内，此变化与施加电压呈线性关系，即 可构成电位-频率转换器。 还有一种电流传感器：在 SAW 延迟线中间安 装一个随输入电流而发热的电阻，它和放大 器、移相器一起构成振荡电路。传感器的输 入电流引起 SAW 传播路径上温度上升，从 而导致振荡频率改变。
• 晶体受作用力产生的电荷量与外力的大 小成正比，这种机械能转换为电能的现 象称为正压电效应。 • 反之，如果给晶体施加以交变电场，晶 体本身则产生机械变形，这种现象称为 逆压电效应，又称电致伸缩效应。 • 压电效应具有可逆性。
压电材料
• 具有压电效应的材料称为压电材料，压 电材料能实现机—电能量的相互转换。 • 在自然界中大多数晶体具有压电效应， 但压电效应十分微弱，随着对材料的深 入研究，发现石英晶体、钛酸钡、锆钛 酸铅(PZT)等材料是性能优良的压电材料。 • 压电材料分为：压电晶体、压电陶瓷、 高聚物和复合材料（压电陶瓷和高聚物 复合）。
图 6.2 IDT 下某一瞬间的电场分布
(膨胀)位移，Ev 则产生垂直于表面的切变位移。 这种周期性的应变就产生沿 IDT 两侧表面传 播出去的 SAW，其频率等于所施加电信号 的频率。一侧无用的波可用一种高损耗介质 吸收，另一侧的 SAW 传播至接收 IDT，借 助于正压电效应将 SAW 转换为电信号输出。 SAW 传感器分为两类：延迟型（也称振荡器） 和谐振型。
三、金属加工切削力的测量
四、玻璃破碎报警器
BS-D2压电式玻璃破碎传感器
压电式玻璃破碎报警器电路框图
五、压电引信
六、煤气灶电子点火器
§6.4 声表面波传感器（SAW）
声表面波（Surface Acoustic Wave) 是英国物理 学家瑞利在19世纪80年代研究地震波过程中发 现的一种能量集中于地表面传播的声波。 1965年，美国的 R.M.White 和 F.M. Voltmov 发 明了在压电材料表面激励 SAW 的金属叉指换 能器(简写IDT-InterDigit Transducer)之后，大大 加速了声表面波技术的发展，相继出现了许多 各具持色的 SAW 器件。
6.4.6 SAW 加速度传感器
声表面波加速度传感器的工作机理 当外界加速度作用到敏感质量上，根据牛顿 第二定律：P＝ ma ，由敏感质量将加速度 转换成力作用到悬臂梁或膜片上，从而使梁 或膜片上各处的应力发生变化。如若在梁或 膜片上制备有 SAW 谐振器，那么，应力的 变化会改变SAW的传播速度，从而改变 SAW 振荡器的谐振频率。外界加速度越大， 谐振频率变化就越大。通过频率的测量，就 可以知道外界加速度的大小。
第6章 压电式传感器
• 压电传感器是典型的无源传感器。 • 又称自发电式传感器及电势式传感器。 • 压电传感器的工作原理是基于某些晶体 受力后在其表面产生电荷的压电效应。 • 特点：
– 体积小、重量轻、结构简单、工作可靠； – 适合动态力学测量，不能测量静态量。
压电式传感器
– 目前多用于加速度和动态力学或压力的测量。 – 压电传感器是一个机电转换元件。
• 应用：
– 拾音器、压电引信、燃气点火具。
6.1 压电效应及压电材料
一、压电效应 • 一些晶体结构的材料，当沿着一定方向受 到外力作用时，内部产生极化现象，同时 在某两个表面上产生符号相反的电荷； • 而当外力去掉后，又恢复不带电的状态； • 当作用力方向改变时，电荷的极性也随着 改变。
压电传感器
6.4.4 SAW 气敏传感器
图6.7 SAW 气敏传感器结构示意图
SAW 气敏传感器的敏感机理随吸附膜的不同而 不同。当薄膜是绝缘材料时，它吸附气体引 起密度的变化，进而引起 SAW 振荡器振荡 频率改变；当薄膜是导体或金属氧化物半导 体时，则主要是电导率的变化引起 SAW 振 荡器振荡频率的改变。 目前使用的吸附膜主要有三乙醇胺（敏感 SO2）、Pd 膜（敏感 H2）、WO3（敏感 H2S)、酞箐膜（敏感 NO2）等。
图 6.1 IDT 的基本结构
指周期 T＝2( a+b)。两相邻电极构成一电极对， 其相互重叠的长度为有效指长，即称换能器 的孔径，记为W。若换能器的各电极对重叠 长度相等，则叫等孔径(等指长)转能器。 1DT 既可用作发射换能器，用来激励SAW，又 可作接收换能器，用来接收SAW，因而这类 换能器是可逆的。在发射 IDT 上施加适当频 率的交流电信号后，压电基片内所出现的电 场分布如图 6.2 所示。该电场可分解为垂直 与水平两个分量(Ev 和 Eh)。由于基片的逆 压电效应，这个电场使指条电极间的材料发 生形变(使质点发生位移)，Eh 使质点产生平 行于表面的压缩
高分子材料压电传感器 • 高分子材料聚偏氟乙烯（PVF2）具有压电 特性。 • 特点：
– 压电系数大，频率响应宽，机械强度好，质量 轻，耐冲击。
• 应用：
– 压电薄膜制成的称重传感器； – 高分子压电薄膜制成机器人触觉敏感元件。
压电材料的主要特性参数
• （1）压电常数：是衡量材料压电效应强弱的 参数，它直接关系到压电输出的灵敏度。 • （2）弹性常数：压电材料的弹性常数、刚度 决定着压电器件的固有频率和动态特性。 • （3）介电常数：对于一定形状、尺寸的压电 元件，其固有电容与介电常数有关；而固有电 容又影响着压电传感器的频率下限。
§6.4.1 SAW传感器的基本原理
一般是使待测量作用于SAW 的传播路径，引起 SAW 的传播速度发生变化，从而使振荡频 率发生变化，通过频率的变化来检测被测量。
1. SAW IDT 其基本结构形式如图 6.1 所示。 IDT 由若干淀积在压电衬底材料上的金属膜 电极组成。这些电极条互相交叉配置，两端 由汇流条连在一起。它的形状如同交叉平放 的两排手指，故称为叉指电极。电极宽度a 和间距相等的IDT称均匀(或非色散)IDT。叉