多晶硅生产的节能减排措施
多晶硅能耗限额标准
多晶硅能耗限额标准
根据国家相关政策规定，多晶硅能源消耗限额标准包含两个方面的要求：一是针对多晶硅的能源消耗总量限制，二是对单位多晶硅产量的能源消耗限额要求。
具体标准如下：
1. 多晶硅能源消耗总量限制：多晶硅生产企业应当按照国家相关政策和法规的要求，严格控制多晶硅生产过程中的总能耗。
能源消耗总量限制一般是以年度或者季度为周期进行限制，企业在该周期内需要确保能源消耗总量不超过规定的限额数值。
2. 单位多晶硅产量的能源消耗限额：针对单位多晶硅的生产情况，也有对能源消耗的限额要求。
一般以度电/吨（或吨标煤/吨）的形式来衡量，规定企业在生产1吨多晶硅时所消耗的能源不得超过规定的限额数值。
以上是一般的多晶硅能耗限额标准，具体的限额数值可能会因地区和政策的差异而有所变化。
多晶硅能耗限额标准
多晶硅能耗限额标准是指对多晶硅生产过程中的能源消耗进行限制的标准。
这些标准通常由政府或相关行业组织制定，旨在促进节能减排、提高能源利用效率和保护环境。
多晶硅能耗限额标准的具体内容可能因国家和地区而异，但通常会涉及以下几个方面：
1. 能耗指标：设定多晶硅生产过程中的能源消耗上限，如单位产量的能耗、单位产品的能耗等。
2. 节能措施：鼓励企业采用先进的节能技术和设备，降低生产过程中的能源消耗。
3. 监测与管理：要求企业建立完善的能源监测和管理体系，定期报告能源消耗情况，确保能耗限额标准得到有效执行。
4. 法律责任：对于违反能耗限额标准的企业，可能会面临罚款、生产许可被撤销等法律责任。
多晶硅生产中能耗的分析及节能的途径
多晶硅生产中能耗的分析及节能的途径就目前發展来说，多晶硅在社会上的应用是非常广泛的，经其加工后生产的很多后期产品如半导体材料、集成电路等在各个领域都有很大的价值，而在多晶硅的制备过程中需要以大量的能源消耗为代价，而多晶硅又是一个需要消耗大量能耗的产业，为了在实际制备过程中节能，我国相关研究人员也进行了很多的尝试。
标签：多晶硅生产；能源损耗；节能途径随着现代社会的发展，人们的节能意识也变得越来越强烈，并且现代化工行业在生产的过程中也十分注重节能，多晶硅的制备工艺也在不断进行改善，希望在其生产过程中能够有效降低能耗，减小能源成本，在国外市场的影响下谋求稳定的发展，本文即对多晶硅生产中的能耗以及节能进行分析。
1 制备工艺及特点当前多晶硅在我国最主要是应用于光伏行业，多晶硅有多种制备的途径，目前市场上主要流传的制备工艺有改良西门子法、冶金法、以及流化床法等。
其中改良西门子法是发展最早的一种制备工艺，发展到现在其技术已经相当成熟了，且具有较好的稳定性和安全性、适合用于多晶硅产业化的生产，接受程度很高，不仅是国内在国外也是最普遍用于多晶硅生产的制备工艺。
还有，因国内的多晶硅发展史较短，大部分是引进、借鉴国外的工艺技术，多是跟随国外的发展脚步，所以导致在多晶硅相关工艺的改进优化上有较大的国内外差距。
另外，多晶硅的制备工艺正在向着节能、环保性的方向发展，在目前自然环境以及社会政策的影响下，实行可持续性的、节能环保的工业化生产是大势所趋，多晶硅的制备工艺也自然地顺着节能、环保的方向发展。
2 能耗及节能途径多晶硅在其制备的流程中，各个环节对能源的消耗都有一定程度的影响，并且想达到节能的效果，就是要根据各环节的能耗情况有针对性的开展的，下面就多晶硅制备工艺中多个环节的能耗进行分析，并探讨节能途径。
2.1 氢气制备环节在多晶硅的制备流程中氢气的制备过程主要是通过其制备的手段来影响能耗的。
氢气在多晶硅的制备中扮演的是还原剂的角色，是多晶硅的制备工艺中很关键的一种原料，并且它对的纯度有较严格的要求、用量也非常大，因此很大程度的牵连着多晶硅的制备成本与品质。
多晶硅生产的节能减排措施
多晶硅生产的节能减排措施摘要：本文将针对多晶硅生产过程中多种副产物具有的特性，列举可行的先进的技术方法对其进行回收再利用，将产物二次转化成生产原材料，在一定程度上降低了生产成本，并且使污染物的排放量得到降低。
关键词：多晶硅节能减排措施一、前言随着科技不断进步，多晶硅的使用范围也不断扩大，不仅成为了信息产业中缺少的基础材料，并且也是太阳能转化为光能的理想介质。
国家十分重视硅产业的发展，2005年时国家发改委将6英寸以上的单晶硅、多晶硅和晶片列为国家重点鼓励发展产业项目，提高大程度的政策支持，极大推动了我国光伏产业和电子信息工程的发展速度，使我国硅材料生产进入新的蓬勃发展阶段。
多晶硅产业属于高新技术产业，但是由于其生产过程中出现大量的氯硅烷副产物，因此导致其生产成本相对较高；同时还会存在部分的氯硅烷和氯化氢进入生产尾气中，不仅增加了尾气的处理难度，而且也会使得环境的污染程度加剧。
在尾气处理排放的废水中Cl的浓度含量甚至高达2500mg/L。
因此，现在多晶硅生产企业面对的重要课题便是怎样采用新型的技术手段有效地控制大量副产物的产生，从而达到降低成本，节能减排的生产要求。
笔者在对多晶硅产业项目工作中总结出了有效回收氯硅烷副产物的综合措施及方法，实现了副产物的成功转化，大幅度降低了生产成本，达到了明显的节能减排的效果。
二、我国多晶硅生产方法和生产特点在我国多晶硅的生产过程主要是使用改良的西门子技术进行生产，其大致过程如下：（一）三氯氢硅的合成。
三氯氢硅又称TCS，通过氯化氢与粗硅粉在300度、0.3兆帕条件下发生一定化学反应，生成三氯化硅。
（二）精馏。
将反映生成的TCS经过精馏，进行提纯，使其纯度达到六个九的程度时，再对其中杂质进行处理，杂质主要包括磷、碳以及金属杂质等。
（三）还原反应。
将已经完成提纯过程的三氯氢硅与制备的高纯度氢气在1150度、0.6兆帕的条件下发生反应，在反应容器内的导电硅芯上沉积生成多晶硅，这时多晶硅的纯度相比之前更高。
“十三五”重点项目-年产3000吨太阳能级多晶硅项目节能评估报告(节能专篇)
“十三五”重点项目-年产3000吨太阳能级多晶硅项目节能评估报告（节能专篇）编制单位：北京智博睿投资咨询有限公司节能评估报告是指在项目节能评估的基础上，由有资质单位出具的节能评估报告书、节能评估报告表或节能评估登记表。
节能评估，是指根据节能法规、标准，对投资项目的能源利用是否科学合理进行分析评估。
根据能源消耗量来划分编制节能评估报告书还是编制节能评估报告表：注：1、年综合能源消费量3000吨标准煤以上（含3000吨标准煤，电力折算系数按当量值，下同），或年电力消费量500万千瓦时以上，或年石油消费量1000吨以上，或年天然气消费量100万立方米以上的固定资产投资项目，应单独编制节能评估报告书。
2、年综合能源消费量1000至3000吨标准煤（不含3000吨，下同），或年电力消费量200万至500万千瓦时，或年石油消费量500至1000吨，或年天然气消费量50万至100万立方米的固定资产投资项目，应单独编制节能评估报告表。
3、上述条款以外的固定资产投资项目，应由项目建设方填写节能登记表。
4、部分地区报告分类与国家分类有不一致的情况，如:北京市固定资产投资审批、核准或备案权限内符合下列条件的项目应进行节能评估和审查：a:建筑面积在2万平方米以上（含）的公共建筑项目;b:建筑面积在20万平方米以上（含）的居住建筑项目；c:其它年耗能2000吨标准煤以上（含）的项目。
年产3000吨太阳能级多晶硅项目节能评估报告编制大纲：前言0.1、分析目的和意义0.2、固定资产投资项目节能分析的程序第一章年产3000吨太阳能级多晶硅项目节能分析总则1.1 节能分析的目的1、通过对项目能源供给的分析，评价能源供给的可靠性；2、项目建筑节能设计方案是否符合国家现行的法律、法规、规章和有关规划；3、项目建筑节能设计方案是否符合**省、**市当地的有关规定；4、项目建筑节能设计方案是否符合建筑节能设计标准、规范以及技术规定和导则。
多晶硅生产尾气的回收再利用工艺概述
多晶硅生产尾气的回收再利用工艺概述摘要：本文综述多晶硅生产尾气回收分离再利用的工艺方法，探讨冷冻法与吸附分离法的优缺点，实现多晶硅的绿色生产。
关键词：多晶硅；尾气；绿色生产多晶硅是单质硅的一种形态，广泛的应用于制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅等，是电子信息产业和太阳能光伏产业的主要的基础功能材料，是硅产业链中一个比较重要的中间产品[1]。
随着全球市场对多晶硅的需求快速增长，科技技术的不段创新，要求多晶硅生产这个高耗能、高污染行业的向环保、节能方向的转型。
尾气回收再利用就是一个比较好的节能减排措施。
在多晶硅生产过程中，尾气主要来源于SiHCl3合成工序、SiHCl3氢还原工序和SiCl4氢化工序。
多晶硅生产尾气的主要成分是H2、HCl、SiH2Cl2、SiHCl3和SiCl4，通过物理和化学的方法使之分离，经过提纯后再应用于生产中实施了闭路循环技术。
多晶硅尾气分离回收工艺主要有冷冻法和吸附分离法。
冷冻法是最早应用于生产过程中，但这种方法存在着不足，现在已经不常用了。
目前尾气回收利用的主流方法是吸附分离法。
通过冷凝、吸收和脱吸，以及吸附等手段，可以将尾气中的主要成分的回收率都提高到98%以上，而且回收得到的H2和HCl的纯度很高，可以直接用于生产过程中。
而SiHCl3和SiCl4则经过精馏提纯后用于生产中。
1 冷冻法冷冻法是利用多晶硅尾气中各组分的沸点差异（表1），通过逐级降温的方式，将不同沸点的组分依次分离开来。
在回收降温过程中，尾气首先经过用大约为-40℃盐水作为制冷剂工序。
在这里，尾气中的沸点较高氯硅烷组分（SiHCl3、SiCl4、SiH2Cl2）被充分冷凝后变成液态被分离出来。
然后将剩余的混合气体（主要成分是H2和HC）进行深冷，采用液态氮作为制冷剂使其温度下降到-180℃左右，此时可以实现HCl与H2分离。
经过一系列的冷却，最终得到的H2经过简单的过滤以及干燥等处理后即可返回原来工序直接使用。
工厂有哪些节能减排措施
工厂有哪些节能减排措施
工厂在生产过程中会产生大量的能源消耗和废气以及废水排放，对环
境造成严重的污染。
为了减少环境污染并节约能源，工厂可以采取以下节
能减排措施：
1.能源管理：建立有效的能源管理系统，监测和记录能源消耗情况，
以便制定合理的节约能源的措施。
2.安装节能设备：替换能耗高的设备，安装节能设备，例如高效照明
设备、节能电机等，以减少能源的消耗。
3.循环利用废热：对工厂产生的废热进行收集和再利用，例如使用余
热发电、余热回收等技术，使废热再利用，减少燃料消耗。
4.废物处理：建立废物分类、回收和处置的系统，尽量减少废物的产生，并通过合理的处理方式减少对环境的污染。
5.净化废气：安装废气净化设备，对排放的工业废气进行净化处理，
以降低废气对大气环境的污染。
6.减少用水量：通过节约用水、循环利用水等方式减少工厂的用水量，减少废水的排放。
7.推广清洁生产技术：采用低污染、低能耗的清洁生产技术，减少有
害物质的生成和排放。
8.建立环境监测系统：建立工厂的环境监测系统，对污染物的浓度、
排放情况等进行实时监测，及时发现并解决环境问题。
9.培训员工：进行环保意识教育，培训员工的环保知识和环保意识，
引导员工在生产过程中注意节能减排。
此外，政府也可以通过出台相关的政策法规，对工厂进行节能减排的
引导和监督，例如设立环保奖励机制、加大对环境违法行为的处罚力度等。
只有在政府和企业的共同努力下，才能实现工厂的节能减排目标，进一步
保护环境和可持续发展。
国家标准取水定额第XX部分多晶硅生产
国家标准《取水定额第XX部分：多晶硅生产》（预审稿）编制说明一、工作简况1、编制多晶硅生产取水定额的意义解决水资源供需缺口的主要途径之一是节约用水。
而实行用水定额管理制度是节约用水的一项基础性工作，其主要目的是为了加强水资源科学管理、节约用水，提高用水效率，减少水污染，保护水环境，实现水资源的优化配置，以缓解水资源的供需矛盾，也是为实施取水许可制度、下达用水计划和编制水资源综合规划等各项工作提供科学依据。
2017年我国多晶硅产量达到24万吨，同比大幅增长23.1%，较2015年更是增长了42.0%。
近年来，随着国家供给侧结构性改革的深入、光伏产业政策的变化，以及多晶硅生产工艺的改造和技术升级，我国多晶硅待业发生了巨大的变化。
多晶硅产能增加，对资金的需求量也逐渐加大，对人类生存环境的影响也日益凸显，清洁生产、节能节水任务艰巨。
按照用水单耗200m3/t计算，每年水消耗量约0.48亿立方。
为实现节水目标，规范和指导多晶硅企业的生产经营，科学、合理、准确的制定多晶硅生产取水定额，对于促进多晶硅企业节水技术进步，不断提高工业用水效率，实现水资源可持续利用，支持经济社会的可持续发展，以及建设节水型社会，均具有重要的现实意义和深远的历史意义。
2、任务来源根据国家标准化管理委员会《关于下达2011年第二批国家标准制修订计划的通知》要求以及全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会标准制修订工作安排，由江苏中能硅业科技发展有限公司承担国家标准《取水定额第X部分多晶硅生产》的制定工作，计划项目编号：XXXXXXXXXX。
3、项目承研单位简况江苏中能硅业科技发展有限公司，系香港上市公司保利协鑫能源控股有限公司（HK3800）全资控股的子公司，2006年3月成立，位于徐州经济技术开发区协鑫大道66号，注册资本70.2亿元，占地2000亩。
截止2017年底，总资产规模287.9亿元，在职职工2263人。
中能硅业主要产品为太阳能级多晶硅，是目前世界单体投资规模最大的高纯多晶硅研发与制造基地，通过持续的技术改造和流程优化，产能不断提升，目前产能7.5万吨/年。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
第37卷 第2期有色金属加工Vo l 37 No 22008年4月NONFERROUS METALS PROCESS I NGAp ril 2008多晶硅生产的节能减排措施苏 维(洛阳有色金属加工设计研究院,河南洛阳471039)摘 要:针对多晶硅生产中氯硅烷副产物的特性,采用先进的回收技术,将大量副产物转化为生产原料,大大降低了生产成本,同时减少了污染物排放量。
关键词:多晶硅;氯硅烷;回收;节能减排中图分类号:TN304.1+1 文献标识码:A 文章编号:1671-6795(2008)02-0057-03收稿日期:2007-12-211 前言多晶硅不仅是信息产业的基础材料,而且也是实现光电转换(如太阳能发电)的理想材料。
为促进我国光伏产业和电子信息产业的持续快速发展,国家发改委将 光伏硅材料的技术开发 列入 可再生资源产业发展指导目录 ;2005年国家发展与改革委员会发布的第40号令 产业结构调整指导目录 将6英寸以上的单晶硅、多晶硅及晶片列入当前国家重点鼓励发展的产品。
这些都为多晶硅的产业化发展提供了强有力的政策支持,使我国硅材料产业跨入一个新的发展时期。
多晶硅生产属于高新科技项目,但多晶硅生产过程中产生大量的S i C l 4、SH i 2C l 2、SH i C l 3等氯硅烷副产物,使生产成本居高不下;部分氯硅烷及HC l 进入尾气,既增加了尾气处理成本,也增大了污染物的排放量,废水中的C l 浓度达1700~2500m g /L 。
如何有效解决氯硅烷副产物的出路是降低多晶硅生产成本、实现节能减排的关键,也是目前多晶硅生产企业面临的重大技术难题。
我们在某多晶硅项目设计中,研究开发出了氯硅烷副产物的先进回收技术,将大量副产物转化为生产原料,使生产成本大幅度降低,同时也实现了节能减排的目的。
2 生产工艺该项目以外购SH i C l 3为原料,生产工艺流程:S H i C l 3提纯 还原成多晶硅 多晶硅除杂。
2.1 SH i C l 3提纯外购的S H i C l 3含少量SH i 2C l 2、Si C l 4,必须通过粗馏和精馏系统进行提纯。
粗馏塔除去大部分低沸物(SH i 2C l 2等)及高沸物(S i C l 4等),然后送精馏系统。
精馏塔除去的低沸物和高沸物返回粗馏系统,精馏塔顶产出高纯SH i C l 3。
粗馏塔除下的为氯硅烷副产物。
2.2 SH i C l 3还原为多晶硅精馏提纯的高纯SH i C l 3与高纯氢气按适宜的摩尔配比进入还原炉,在1050 的硅芯发热体表面上沉积、生成多晶硅:S H i C l 3+H 2=S i+3H C l副反应如下:4SH i C l 3=Si+3Si C l 4+2H 22.3 多晶硅除杂2.3.1 腐蚀为清除产品表面的S i 颗粒及Si O 2杂质,需用浓硝酸和氢氟酸的混合酸进行腐蚀处理。
腐蚀处理在通风柜内进行,生产过程中挥发含H F 、NOx 的有害气体,同时产生含HNO 3、Si 、HF 、H 2S i F 6、S i O 2的废液:4HNO 3+S i+6H F =H 2S i F 6+4NO 2 +4H 2OS i O 2+6H F=H 2S i F 6+2H 2O2.3.2 清洗经腐蚀处理后的硅片送入清洗槽,清除表面粘附的HNO 3、S i 、HF 、H 2S i F 6等物质后进行包装。
清洗废水送污水处理站处理。
3 节能降耗措施分析多晶硅生产存在许多化学反应,产生大量Si C l 4、SH i 2C l 2、SH i C l 3等氯硅烷副产物。
据统计,每生产1吨多晶硅,约产生10吨S i C l 4、0 3吨SH i 2C l 2、1吨有色金属加工第37卷S H i C l 3。
传统的多晶硅生产中均作为副产品外售,既造成大量资源浪费,又使生产成本居高不下;部分氯硅烷及HC l 进入尾气,增加尾气处理成本和污染物排放量。
因此,有效利用氯硅烷副产物是减少资源浪费、降低生产成本、实现节能减排的关键,也是目前多晶硅生产企业面临的重大技术难点。
我们在本项目设计中,采用了先进的回收技术,将大量氯硅烷副产物转化为生产原料,可大幅降低生产成本,减少污染物排放量,达到节能减排的目的。
3.1 还原尾气回收还原尾气中含有HC l 、H 2及氯硅烷等副产物。
传统处理方法,尾气经水喷淋洗涤后排放;或对尾气进行初步分离,分离出的氯硅烷外售,尾气中H C l 、H 2经水喷淋洗涤后排放。
该方法既造成资源浪费,又将污染物转移到水环境中,造成废水中C l -含量很高,污染环境,增加废水处理费用。
实验研究发现,尾气中各种组分的物理性能(露点、沸点)有显著的差异。
利用这一特性,通过加压冷凝、吸收-脱吸、活性炭吸附等技术方法,可将废气中的H 2、H C l 、SH i C l 3、S H i 2C l 2、Si C l 4逐一分开。
S H i C l 3返回还原炉;H 2返回生产系统作原料;HC l 用于制盐酸;S i C l 4、SH i 2C l 2可采取进一步回收措施。
尾气回收工艺流程如图1所示。
3.2 S i C l 4回收措施含杂质的粗S i C l 4经连续提纯后,在温度400~500 的条件下加氢转化成S H i C l 3(S i+3S i C l 4+2H 2=4SH i C l 3),得到氢化产品。
因其中含S i C l 4和S H i 2C l 2等杂质,须送S H i C l 3精馏系统提纯。
3.3 还原炉热能回收多晶硅还原是放热反应,为了充分利用热能,设热能转换站,用导热油将还原炉产生的热导出。
导热油进入蒸汽发生器,将热能转换为蒸汽用于空调、采暖。
热能转换站的热能转化效率为94 2%。
本工程单位产品能耗、物耗指标与目前国内、国际水平比较见表1。
可以看出,在采取节能减排措施后,该工程单位产品能耗、物耗指标接近国际先进水平。
表1 单位(kg )产品能耗、物耗指标比较序号项目国内目前水平国际先进水平本工程1工业硅/kg 3~81.5~1.6 1.172氢气/m 350~600.5~2.0 1.23电/kW.h 500170~3403004水/m 36~101.2~1.81.94 减排措施分析本工程是从工艺入手,通过回收氯硅烷副产物,达到减少C l -等污染物排放的目的。
废水中C l -浓度从1700~2500mg /L 降低至约300mg /L ,节约了大量废水处理费用。
同时,对生产过程中产生的污染物采取相应治理措施,使污染物排放量减少到最低程度。
4.1 气态污染物及治理4.1.1 含H C l 废气S H i C l 3提纯工序产生少量含SH i C l 3、Si C l 4、SH i 2C l 2等氯硅烷不凝尾气,通过淋洗塔淋洗,氯硅烷遇水全部水解为S i O 2、HC ,l 绝大部分HC l 被水吸收,尾气中含少量H C l 。
干法回收得到的H C l 气体采用三级水喷淋吸收塔吸收制取盐酸,但制酸尾气含少量H C l 。
H C l 气体是一种无色且有强烈刺激性气味的气体,对环境、设备都具有较强的腐蚀性。
由于氯化氢在水中的溶解度很大,一个体积的水能溶解450~500个体积的HC ,l 因此用水吸收法(或多次循环吸收)处理含HC l 废气效果较好,是目前处理含H C l 废气的主要方法,其优点是吸收设备及工艺流程简单、净化效率高、操作方便、应用广泛。
4.1.2 含H F 、NOx 废气多晶硅及硅芯料在腐蚀处理时产生含HF 、NOx 的有害气体。
4.1.2.1 HF 的治理HF 为无色、有强刺激性气味和强腐蚀性的有毒气体。
H F 废气的治理主要有吸收法(湿法)及吸附法(干法)。
吸收法(湿法):根据H F 气体易溶于水而成氢氟酸并可与碱性物质反应的特性,可采用水或碱性物质(石灰乳、电石渣、烧碱、纯碱、氨水等)吸收废气中的H F ,从而达到净化回收的目的。
具有设备体积小、连续操作、净化效率高等优点;吸附法(干法):采用石灰石、氧化铝、氟化钠58第2期有色金属加工等吸附剂,将废气中的氟化氢吸附后生成氟的化合物(氟化铝、三氟化铝);或仅将其吸附于吸附剂表面,进一步利用或再生后循环使用。
吸附净化法已成功地用于电解铝工业排放的废气治理上。
它直接以电解铝厂的生产原料氧化铝作吸附剂,将废气中以H F 为主的有害物吸附于其上,达到净化含氟废气的目的,同时也没有水吸收法带来的设备严重腐蚀问题及废水二次污染问题,因而受到铝电解工业的认可,很多厂都采用了此法。
但废气中的杂质会覆盖或堵塞吸附剂表面微孔,影响对H F 的吸附。
4.1.2.2 NOx 的治理废气中NOx 的主要净化方法有催化还原法、液体吸收法、固体吸附法等。
其中,液体吸收法是用水或碱性水溶液吸收废气中的NOx ,按吸收剂的种类可分为水吸收法、碱吸收法、氧化吸收法、还原吸收法等。
由于其吸收剂种类多、来源广、适应性强、易于控制等优点,目前得以广泛应用。
根据H F 、NOx 有害废气的特性及浓度,该项目采用N a OH 溶液作为吸收剂,利用串联的两座BFG -2-10型酸雾净化塔进行处理。
根据国内同类项目的实际监测资料,H F 、NOx 的净化效率分别为99 0%、96 0%,能满足达标排放要求。
4.2 废水4.2.1 酸性废水主要是S H i C l 3提纯尾气淋洗产生的酸性废水,采用石灰乳进行中和+絮凝沉淀处理;根据废水量及废水的pH 值变化情况可随时调整加药量,保证出水水质。
处理后其p H 值可控制在6 5~8 5之间。
石灰具有来源广、价格便宜、适应性强等优点,广泛用于有色金属工业酸性废水的处理。
4.2.2 含氟废水先用石灰乳调节p H 至中性,使大部氟化物形成CaF 2沉淀;沉淀后的废水送入除氟搅拌槽中,加硫酸亚铁进一步去除氟化物;然后将去除氟化物的废水与中和后的酸性废水混合一起,加入絮凝剂进行絮凝沉淀,上清液排放。
该方法具有处理流程简单、操作方便、处理成本低、氟化物去除率高等优点。
5 经济效益及环境效益多晶硅生产过程中产生大量氯硅烷副产物,如何合理利用或有效处置这些副产物是决定企业生产成本的关键,也是生产企业面临的重大技术难点。
而且,部分氯硅烷及H C l 进入尾气,增加尾气处理成本,也增大污染物的排放量。
本项目经科学论证及多次相关实验,利用尾气中各种组分物理性能的显著差异,采用先进回收技术,将大量氯硅烷副产物转化为原料回用于生产,大大降低了生产成本,减少了污染物排放量,达到了节能减排的目的。
参考文献[1]孙效平.化工环境保护设计手册[M ].北京:化学工业出版社,1998.[2]宋文彪.空气污染控制工程[M ].北京:冶金工业出版社,1985.[3]戴耀南.环保工作者实用手册[M ].北京:冶金工业出版社,1984.Measures for Energy Savi n g and Reduci ng Poll uti on i n Pol y sili c on Producti o nS U W ei(Luoyang Eng i neer i ng and R esearch Instit ute for N on f e rrousM eta ls P rocessi ng ,Luoyang ,H enan ,471039,Chi na)Abstract :Acco rd ing to t he cha racter istics o f by -prod uc t s from the po lysili c on production ,a l o t o f ch lorsilane by -p roduc t s have been changed in t o raw ma t e ria ls by adopting advanced recove ry techno l o g ie ,thus reducing production cost and po lu tiong rea tly .Keyw ords :po l y silicon ;ch l o rs il a ne ;recovery ;ene rgy saving and po lu tion reducing59。