新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus
sentaurus work bench用法
sentaurus work bench用法Sentaurus Workbench是Synopsys公司开发的一款集成化的半导体器件和工艺模拟平台。
它具有强大的功能和灵活的使用方式，可以用于半导体器件的设计、优化和验证。
本文将逐步介绍Sentaurus Workbench的使用方法。
第一步，安装和启动Sentaurus Workbench。
首先，从Synopsys官方网站下载Sentaurus Workbench安装文件，并按照说明进行安装。
安装完成后，双击桌面上的快捷方式，启动Sentaurus Workbench。
第二步，创建新工程。
在Sentaurus Workbench的欢迎界面，点击“New Project”按钮。
在弹出的对话框中，选择工程的存储位置和名称，然后点击“OK”按钮。
一个空白的工程将被创建。
第三步，导入设计文件。
选择“Project”菜单，然后点击“Add Existing Design Files”。
在弹出的对话框中，选择要导入的设计文件，例如SPICE 文件或者Layout文件。
导入完成后，设计文件将显示在工程的文件列表中。
第四步，设置工艺参数。
选择“Process”菜单，然后点击“Edit Process”.在弹出的对话框中，设置工艺参数，例如材料赝势模型、离子注入参数和金属堆叠信息等。
这些参数将影响到后续的器件模拟和分析。
第五步，配置仿真设置。
选择“Simulation”菜单，然后点击“Edit Simulation Settings”。
在弹出的对话框中，设置仿真的相关参数，例如仿真类型（DC、AC、Transient等）、分析范围和步长等。
这些参数将决定仿真的精度和效率。
第六步，设计器件模型。
选择“Device”菜单，然后点击“Edit Device Models”。
在弹出的对话框中，定义和编辑所需的器件模型，例如MOS、BJT和二极管等。
通过选择合适的模型参数，可以快速搭建起准确的器件模型。
sentaurus使用手册
Sentaurus使用手册一、简介Sentaurus是一款高性能的有限元分析软件，广泛应用于航空航天、汽车、船舶、电子等领域。
它提供了丰富的建模工具和强大的求解器，可以用于进行结构分析、热分析、流体分析等多种类型的仿真。
本手册将指导您如何安装、配置和使用Sentaurus软件，帮助您充分利用其强大的功能。
二、系统安装与配置1.确定系统要求：请根据您的计算机硬件配置，确保满足Sentaurus的系统要求。
2.下载安装程序：从官方网站或授权渠道下载最新版本的Sentaurus安装程序。
3.安装过程：按照安装程序的指引，逐步完成软件的安装过程。
4.配置环境变量：根据安装路径，设置相关环境变量，确保软件能够正常运行。
5.许可证激活：根据您的许可证类型，完成许可证的激活和配置。
三、用户界面与操作1.启动Sentaurus：打开软件后，您将看到主界面。
2.菜单栏：菜单栏包含了所有可用的命令和操作。
3.工具栏：工具栏提供了常用命令的快捷方式。
4.模型树：显示了当前模型的结构，方便您进行模型管理和操作。
5.属性查看器：用于查看和修改模型的属性。
6.结果查看器：用于查看和分析仿真结果。
7.视图控制工具：提供多种视图控制功能，方便您进行模型查看和编辑。
8.自定义工具箱：根据您的需求，您可以添加、删除或重命名工具箱中的命令和工具。
四、建模流程与实例1.建立模型：使用建模工具，创建所需的分析模型。
2.设置材料属性：为模型添加所需的材料属性，如弹性模量、泊松比等。
3.网格划分：对模型进行网格划分，以便进行数值计算。
4.边界条件和载荷：根据实际情况，为模型添加边界条件和载荷。
5.求解设置：选择合适的求解器和求解参数，进行求解计算。
6.结果后处理：查看和分析仿真结果，验证模型的正确性和有效性。
7.导出模型和结果：将模型和结果导出为所需的格式，以便于进一步的分析和评估。
五、高级特性与优化1.并行计算：利用多核处理器进行并行计算，提高求解效率。
工艺仿真软件
半导体器件工艺仿真软件选择ISE TCAD还是MEDICI，Tsuprem42009年04月11日星期六 12:40在介绍ISE TCAD，MEDICI，Tsuprem4之前先介绍Sentaurus吧，介绍完Sentaurus，也许就不需要再介绍ISE TCAD和MEDICI，Tsuprem4了。
Sentaurus Process介绍Synopsys Inc.的Sentaurus Process 整合了：⑴Avanti 公司的TSUPREM系列工艺级仿真工具（Tsupremⅰ，Tsupremⅱ，Tsupremⅲ只能进行一维仿真，到了第四代的商业版Tsuprem4能够完成二维模拟）；⑵Avanti公司的Taurus Process 系列工艺级仿真工具；⑶ISE Integrated Systems Engineering公司的ISE TCAD工艺级仿真工具Dios（二维工艺仿真）FLOOPS-ISE（三维工艺仿真）Ligament（工艺流程编辑）系列工具，将一维、二维和三维仿真集成于同一平台。
在保留传统工艺级仿真工具卡与命令行运行模式的基础上，又作了诸多重大改进：⑴增加、设置了模型参数数据库浏览器（PDB），为用户提供修改模型参数及增加模型的方便途径；⑵增加、设置了一维模拟结果输出工具（Inspect）和二维、三维模拟结果输出工具（Tecplot SV）。
Inspect 提供了一维模拟结果的交互调阅。
而Tecplot SV 则实现了仿真曲线、曲面及三维等输出结果的可视化输出。
（ISE TCAD的可视化工具Inspect和tecplot的继承）此外，Sentaurus Process 还收入了诸多近代小尺寸模型。
这些当代的小尺寸模型主要有：⑴高精度刻蚀模型及高精度淀积模型；⑵基于Crystal-TRIM 的蒙特卡罗（Monte Carlo）离子注入模型、离子注入校准模型、注入解析模型和注入损伤模型；⑶高精度小尺寸扩散迁移模型等。
sentaurus sde语法详解
sentaurus sde语法详解Sentaurus SDE是一种用于半导体器件仿真的软件工具，在电路和设备级别上提供了准确和稳定的仿真结果。
本文将详细介绍Sentaurus SDE的语法和使用方法。
首先，Sentaurus SDE使用一种基于命令行的界面来实现仿真。
用户可以通过输入特定的命令来执行不同的任务，例如建立模型、运行仿真和分析结果等。
Sentaurus SDE的语法十分丰富和灵活，可以支持多种不同类型的半导体器件仿真。
以下是一些常用的语法元素：1. 设备建模：Sentaurus SDE使用一套丰富的语法来建立器件模型。
用户可以定义材料、掺杂、结构和物理参数等。
例如，使用"Doping"关键字来定义掺杂参数，使用"Structure"关键字来定义器件结构。
2. 边界条件：用户可以通过设置边界条件来模拟器件的工作环境。
例如，可以定义电压源、电流源或恒定电场等。
使用"Boundary"关键字和相应的语法来定义边界条件。
3. 物理模型：Sentaurus SDE支持多种物理模型，用于描述器件内部的物理行为。
例如，可以使用Drift-Diffusion模型来描述电流输运，使用Shockley-Read-Hall 模型来描述载流子复合等。
4. 网格和网格细化：在仿真过程中，Sentaurus SDE使用网格来离散器件空间。
用户可以定义网格尺寸、细化策略和边界条件等，以获得理想的仿真结果。
5. 结果分析：完成仿真后，用户可以使用Sentaurus SDE的语法来分析仿真结果。
例如，可以绘制电势分布图、流线图或载流子分布图等。
使用"Plot"关键字和相应的语法来执行结果分析。
总结：Sentaurus SDE是一种强大的半导体器件仿真工具，具有丰富的语法和灵活的使用方式。
通过学习和熟悉Sentaurus SDE的语法，用户可以轻松建立模型、运行仿真并分析结果。
新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus培训讲学113页PPT
新一代工艺及器件仿真工具Sentaurus 培训讲学
6
、
露
凝
无
游氛Βιβλιοθήκη ，天高风
景
澈
。
7、翩翩新 来燕，双双入我庐 ，先巢故尚在，相 将还旧居。
8
、
吁
嗟
身
后
名
，
于
我
若
浮
烟
。
9、 陶渊 明（ 约 365年 —427年 ），字 元亮， （又 一说名 潜，字 渊明 ）号五 柳先生 ，私 谥“靖 节”， 东晋 末期南 朝宋初 期诗 人、文 学家、 辞赋 家、散
文 家 。汉 族 ，东 晋 浔阳 柴桑 人 （今 江西 九江 ） 。曾 做过 几 年小 官， 后辞 官 回家 ，从 此 隐居 ，田 园生 活 是陶 渊明 诗 的主 要题 材， 相 关作 品有 《饮 酒 》 、 《 归 园 田 居 》 、 《 桃花 源 记 》 、 《 五 柳先 生 传 》 、 《 归 去来 兮 辞 》 等 。
1
0
、
倚
南
窗
以
寄
傲
，
审
容
膝
之
易
安
。
66、节制使快乐增加并使享受加强。 ——德 谟克利 特 67、今天应做的事没有做，明天再早也 是耽误 了。——裴斯 泰洛齐 68、决定一个人的一生，以及整个命运 的，只 是一瞬 之间。 ——歌 德 69、懒人无法享受休息之乐。——拉布 克 70、浪费时间是一桩大罪过。——卢梭
tcad sentaurus仿真计算原理
tcad sentaurus仿真计算原理TCAD Sentaurus仿真计算原理介绍TCAD（Technology Computer-Aided Design）是一种基于计算机的半导体工艺和器件设计工具。
Sentaurus是TCAD的一种常用软件，用于模拟半导体器件的行为特性。
仿真计算原理概述Sentaurus通过一系列的物理模型和数值计算方法，对半导体器件进行仿真计算。
其基本原理如下：1. 几何和网格划分在仿真计算之前，需要将半导体器件的几何形状转化为离散的网格。
常用的方法是使用有限元、有限差分或有限体积等技术进行网格划分。
通过划分网格，将器件的各个区域离散化，为后续的物理模型计算提供基础。
2. 物理模型Sentaurus内置了多种物理模型，用于描述半导体器件中的物理现象。
常见的物理模型包括电子传输、电子能带结构、能量传输、载流子输运、电场和电势分布等。
根据具体需要，选择适合的物理模型进行仿真计算。
3. 边值条件和初始条件在仿真计算中，需要设置合适的边值条件和初始条件。
边值条件是指在器件的边界上施加的电压、电流等参数，用于模拟器件与外部环境的交互。
初始条件是指仿真计算起始时各个区域的初始状态。
4. 数值计算方法Sentaurus使用数值计算方法求解物理模型的方程组。
常见的数值计算方法包括有限差分、有限元、有限体积等。
通过迭代求解，得到近似的数值解。
5. 结果分析与后处理仿真计算完成后，可以对计算结果进行分析和后处理。
常见的分析方法包括绘制电流-电压特性曲线、分析载流子分布等。
后处理技术包括数据处理、数据可视化等，用于对计算结果进行更深入的理解和展示。
使用案例以下是一些TCAD Sentaurus的应用案例：•载流子输运仿真：利用Sentaurus模拟载流子在半导体器件中的输运特性，分析电流分布、电阻和电导率等。
•器件特性优化：通过修改器件的几何形状、材料参数等，以及优化边值条件和初始条件，利用Sentaurus进行仿真计算，找到使器件性能最优化的设计参数。
Sentaurus_Process介绍及使用
§17-1 新一代集成工艺仿真系统Sentaurus Process随着集成电路制造工艺技术的迅速发展和日趋成熟，集成电路的集成度迅速攀升，制造流程及工艺步骤也日趋复杂。
当前，硅集成电路制造工艺技术已经达到了纳米级水平，纳米电子学不断深入发展的前提是基于能够达到纳米精度的制造技术【1】。
反过来，纳米级器件的设计与研发则必须有相应的高精度工艺级仿真软件来支持。
通常，对于大尺寸器件（通常特指分立器件），由诸多工艺因素造成的层间界面应力、杂质分布蠕动、空间量子效应及载流子非线性输运等小尺寸效应[2]均可被忽略。
而对于小尺寸（泛指超大规模集成电路中的集成化器件）器件，准确地预期及评价工艺制程后的良品率、实现其所谓的工艺级可制造性设计，则必须充分地考虑小尺寸效应。
新一代集成工艺设计工具Sentaurus Process恰恰解决了纳米尺度的可制造性设计技术难题，成为当前最为先进的集成电路工艺级仿真工具。
§17-1-1 Sentaurus Process工艺级仿真工具简介[3]Sentaurus Process是Synopsys Inc.最新推出的新一代TCAD工艺级仿真工具，被业界誉为第五代集成电路制程级仿真软件，是当前最为先进的纳米级集成工艺仿真工具。
Sentaurus Process是迄今为止集成电路制程级仿真软体中最为全面、最为灵活的多维（一维、二维、三维）工艺级仿真工具。
Sentaurus Process面向当代纳米级集成电路工艺制程，全面支持小尺寸效应的仿真与模拟，用于实现甚大规模（ULSI）集成电路的工艺级虚拟设计，可显著地缩短集成电路制造工艺级设计、工艺级优化乃至晶圆芯片级产品的开发周期。
Sentaurus Process整合了Avanti的TSUPREM系列工艺级仿真工具、Taurus Process系列工艺级仿真工具及ISE的Dios系列工艺级仿真工具，将一维、两维和三维仿真集成于同一平台，在保留传统工艺级仿真工具卡命令行运行模式的基础上，又作了诸多重大改进：1.增加、设置了模型参数数据库浏览器（PDB），为用户提供修改模型参数及增加模型的方便途径；2. 增加、设置了一维模拟结果输出工具（Inspect）和二维、三维模拟结果输出工具（Tecplot SV）。
sentaurus例子
sentaurus例子
一个可能的Sentaurus例子如下：
假设我们要模拟一个MOSFET器件的电流-电压特性。
假设该MOSFET的结构和材料已经确定，我们需要对其进行建模并计算器件的特性曲线。
以下是一些可能的步骤：
1. 使用Sentaurus TCAD的结构编辑器构建MOSFET的几何结构。
这涉及设置晶体管的各个层（如Gate、Source、Drain）的几何形状和厚度，并将不同的材料分配给这些层。
2. 在Sentaurus Workbench中设置模拟选项，例如模拟的温度、初始条件等。
这些选项可以根据具体情况进行调整。
3. 使用Sentaurus Process模拟工具来模拟材料生长过程。
这可以帮助我们了解有关MOSFET制造过程中每个材料层的性质和缺陷的更多信息。
4. 使用Sentaurus Medici模拟工具对晶体管进行电学建模并设置边界条件。
这会生成器件的初始估计值，并计算器件的DC和AC特性。
5. 运行在Sentaurus Device TCAD工具中，模拟特定条件下的电流-电压特性曲线，例如不同的晶体管偏置电压。
6. 通过Sentaurus Post-Processing工具，将模拟结果可视化，并生成特性曲线图表和其他有用的统计数据。
这只是一个可能的Sentaurus例子，具体实现取决于特定问题的细节。
总的来说，Sentaurus TCAD工具套件支持各种不同的物理和工程建模和仿真应用，包括半导体器件、太阳能电池、发光二极管、微电子系统等。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
Synopsys公司简介
3/110
Synopsys公司总部设在美国加利福尼亚州 Mountain View，有超过60家分公司分布在北美、 欧洲与亚洲。
2002年并购Avant公司后，Synopsys公司成为提供前 后端完整IC设计方案的领先EDA工具供应商。
Sentaurus是Synopsys公司收购瑞士ISE(Integrated Systems Engineering)公司后发布的产品，全面继承 了ISE TCAD,Medici和Tsuprem4的所有特性及优势。
Building Multiple Experiments
19/110
Parameter在cmd文件中的定义与使用:D
T4 / Medici Sentaurus ISE Silvaco
sprocess *_bnd.tdr *_fps.tdr sde
*_msh.tdr sdevice
Creating Projects 主菜单
11/110
仿真工具菜单
项目编辑环境
Creating Projects
12/110
Creating Projects
13/110
新建文件夹和项目
Creating Projects
14/110
构造仿真流程
SP 工艺仿真
SE 网格策略和 电极定义
SD 器件特性 仿真
TCAD概述
5/110
TCAD
T4 / Medici Sentaurus ISE Silvaco
sprocess *_bnd.tdr *_fps.tdr sde
*_msh.tdr sdevice
*.plt *.tdr
*_fps.cmd *_dvs.cmd *_des.cmd
Workbench (SWB)
Getting Started
9/110
安装在137服务器下 利用putty软件在137中取得端口号：
vncserver –geometry 1280x960
利用VNC软件登陆137服务器
Getting Started
10/110
打开软件指令：source /opt/demo/sentaurus.env GENESISe&
SE 器件绘制以 网格定义
SD 器件特性 仿真
Creating Projects
15/110
Building Multiple Experiments
16/110
Building Multiple Experiments
17/110
Building Multiple Experiments
18/110
TCAD概述
4/110
TCAD
T4 / Medici Sentaurus ISE Silvaco
sprocess *_bnd.tdr *_fps.tdr sde
*_msh.tdr sdevice
*.plt *.tdr
*_fps.cmd *_dvs.cmd *_des.cmd
Workbench (SWB)
TCAD概述
2/110
什么是 TCAD？
TCAD计算机辅助技术(Technology Computer Aided Design) Process Simulation；Device Simulation
TCAD工具有哪些？
Sentaurus Workbench (SWB) Sentaurus Process (sprocess) Sentaurus Structure Editor (sde) Sentaurus Device (sdevice) Tecplot SV/Inspect
SWB的工具特征
8/110
SWB被称为“虚拟的集成电路芯片加工厂” SWB环境科集成Synopsys公司的系列化TCAD仿真
工具，使用户在集成环境下实现TCAD仿真及优 化。
SWB基于现代实验方法学和现代实验设计优化 的建模。用户可根据进程进行实验结果的统计 分析、工艺及器件参数的优化。
SWB支持可视化的流程操作，用户可方便地安 排和检测仿真的动态过程。
Sentaurus Workbench介绍与使用
6/110
Getting Started
Creating Projects
Building Multiple Experiments
SWB的工具特征
7/110
Workbench基于集成化架构模式来组织、实施 TCAD仿真项目的设计和运行，为用户提供了图 形化界面，可完成系列化仿真工具软件以及诸 多第三方工具的运行，以参数化形式实现TCAD 项目的优化工程。
课程内容
1/110
Sentaurus TCAD介绍与概述 Sentaurus Workbench介绍与使用 Sentaurus Process Simulator介绍与使用 Sentaurus Structure Editor介绍与使用 Sentaurus Device Simulator介绍与使用 Sentaurus其他工具介绍
Avanti公司的Taurus Process 系列工艺级仿真工具； ISE Integrated Systems Engineering公司的ISE TCAD工艺级
*.plt *.tdr
*_fps.cmd *_dvs.cmd *_des.cmd
Workbench (SWB)
Sentaurus Process Simulator
21/110
Synopsys Inc.的Sentaurus Process 整合了：
Avanti 公司的TSUPREM系列工艺级仿真工具 （Tsupremⅰ，Tsupremⅱ，Tsupremⅲ只能进行一维仿 真，到了第四代的商业版Tsuprem4能够完成二维模拟）
重装license指令
su - （进入root，密码向机房管理员索取） /opt/sentaurus09/linux/bin/lmdown –c
/opt/license/synopsys.dat (关闭license) /opt/sentaurus09/linux/bin/lmgrd –c
/opt/license/synopsys.dat （安装license） exit (退出root权限)