1.7 位移、加速度传感器
加速度传感器测振动位移
加速度传感器测振动速度与位移方案1. 测量方法（基本原理）设加速度传感器测量振动所得的加速度为：()a t （单位：m/s 2） 对加速度积分一次可得速率： 11()()[]2Ni i i a a v t a t dt t -=+==∆∑⎰ (单位：m/s) 对速率信号积分一次可得位移：11()()[]2N i i i v v s t v t dt t -=+==∆∑⎰ (单位：m) 其中：()a t 为连续时域加速度波形()v t 为连续时域速率波形 ()s t 为连续位移波形 i a 为i 时刻的加速度采样值 i v 为i 时刻的速率值0a =0；0v =0t ∆为两次采样之间的时间差2. 主要误差分析误差主要存在以下几个方面： 1）零点漂移所带来的积分误差由于加速度传感器的输出存在固定的零点漂移。
即当加速度为0g 时传感器输出并不一定为0，而是一个非零输出error A 。
传感器的输出值为：()a t +error A 。
对error A 二次积分会产生积分累计效应。
2）积分的初始值所带来的积分误差0a 和0v 的值并不为零，同样会产生积分累计效应。
3）高频噪声信号所带来的误差高频噪声信号会对瞬时位移值测量精度带来影响，但积分值能相互抵销而不会带来累计。
3. 解决办法1）零点漂移和积分初始值不为零可以加高通滤波器的方法滤除。
2）高频噪声信号的影响并不大，为了达到更高的精度，可以加一个低通滤波器。
选择高通滤波器和低通滤波器合理的截至频率，可以得到较理想的结果。
（注：高通滤波即去除直流分量；低通滤波即平滑滤波算法）。
4. 仿真研究4.1 问题的前提背景1.本课题研究的对象是桥梁振动的加速度()a t ，速度()v t 和位移()s t ，可以认为桥梁的加速度，速度，位移的总和为0。
即：0()0a t dt ∞=⎰0()0v t dt ∞=⎰()0s t dt ∞=⎰其离散表达式为：00()Ni i a N ===∞∑0()Nii vN ===∞∑0()Nii sN ===∞∑2.加速度传感器测量值存在误差，它主要是在零点漂移和测量噪声两个方面。
加速度传感器原理及应用
加速度传感器原理及应用《加速度传感器原理及应用》你有没有想过，当你拿着手机玩游戏的时候，手机是怎么知道它是横着还是竖着的呢？或者当你跑步的时候，智能手环是怎么精确地记录下你跑了多少步的呢？这就不得不提到一个很厉害的小部件——加速度传感器啦。
就拿我的朋友小李来说吧。
小李是个运动达人，特别喜欢跑步。
他最近买了一个新的智能运动手表。
有一天，我们一起出去跑步。
他一边跑，一边兴奋地看着手表上显示的各种数据，像跑的距离、速度，甚至还有跑步的节奏。
我好奇地凑过去问他：“这小手表怎么这么神奇，啥都能知道呢？”小李得意地晃了晃手腕，说：“这可多亏了加速度传感器呀。
就好像这个传感器是一个超级敏感的小侦探，能感知到手表的每一个动作。
”那这个加速度传感器到底是个啥原理呢？简单来说，它就像一个小小的平衡仪。
想象一下，你把一个小球放在一个盒子里，如果盒子突然加速往前移动，小球就会往后滚，对吧？加速度传感器里也有类似的结构。
它里面有一个质量块，当有加速度的时候，这个质量块就会因为惯性而产生位移。
这个位移会被传感器转化成电信号，然后设备就能知道加速度的大小和方向啦。
这就像是我们能通过小球滚动的方向和距离，来判断盒子移动的情况一样。
再回到小李的运动手表上。
当他跑步的时候，每一步的抬腿、落地都会产生加速度的变化。
这个加速度传感器就能准确地捕捉到这些变化，然后经过计算，就得出了步数。
这就好比是传感器在默默地数着：“一步、两步、三步……”而且它还能根据加速度的变化情况，算出小李跑步的速度。
如果加速度大，那就说明跑得比较快；加速度小，那就是跑得慢一点。
这难道不神奇吗？加速度传感器的应用可不仅仅局限于运动设备哦。
在汽车里也有它的身影。
比如说安全气囊系统。
当汽车突然发生碰撞，那一瞬间会产生巨大的加速度。
加速度传感器就像一个忠诚的卫士，马上察觉到这个危险信号，然后迅速把信号传给安全气囊控制系统，让安全气囊在最短的时间内弹出来保护驾驶员和乘客。
传感器在振动分析中的应用
传感器在振动分析中的应用振动分析是一项重要的工程实践，可以用来检测、监测以及分析机械系统的振动情况。
而在振动分析中，传感器的应用起着关键作用。
本文将探讨传感器在振动分析中的应用，并重点介绍几种常见的传感器及其特点。
一、加速度传感器加速度传感器是最常用的振动测量传感器之一。
它能够测量物体在单个方向上的加速度，并通过集成技术将加速度信号积分为速度和位移信号。
加速度传感器广泛用于诸如机械设备监测、汽车安全系统、航空航天等领域。
在振动分析中，加速度传感器能够提供具体的振动参数，如加速度曲线、频谱图等，从而帮助工程师评估机械系统的振动状况，并识别潜在的故障。
二、位移传感器位移传感器是另一种常用于振动分析的传感器。
其主要功能是测量振动物体在特定方向上的位移或变形。
相较于加速度传感器，位移传感器能够提供更直观、精确的振动数据。
通过位移传感器获取的信息，工程师可以更准确地观察和分析振动物体的运动轨迹以及变形情况，进而进行更精细的故障诊断和预测。
三、压电传感器压电传感器是一种通过压电效应实现信号转换的传感器。
在振动分析中，压电传感器常常被用于测量和分析高频振动信号。
其高灵敏度和广泛的频率响应范围使其成为检测高频振动的理想选择。
压电传感器常用于振动控制、结构监测和故障诊断等领域，为工程师提供了宝贵的数据支持。
四、光纤传感器光纤传感器是近年来振动分析领域中广泛应用的一种新型传感器。
其优势在于其高精度、无电磁干扰和抗腐蚀等特点。
光纤传感器通过光学原理实现振动信号的测量和分析，极大地拓展了振动分析的应用领域。
光纤传感器既可以测量结构的振动状态，也可以用于监测振动信号的传播路径和损耗情况，从而提供更丰富的振动分析数据。
总结：传感器在振动分析中具有不可替代的重要作用。
通过加速度传感器、位移传感器、压电传感器和光纤传感器等的应用，工程师们可以全面了解机械系统的振动情况，包括加速度、速度、位移等重要参数。
这些传感器不仅提供了数据支持，还为故障诊断和预测、振动控制等工作提供了可靠的技术手段。
加速度传感器_G-sensor_重力传感器(accelerometer)原理
1 MID中的传感器 2 加速计 3 陀螺仪 4 地磁传感器
MID中的传感器——已商用的传感器
触摸屏 摄像头 麦克风（ST：MEMS microphones……） 光线传感器 温度传感器 近距离传感器 压力传感器（ALPS：MEMS气压传感器……）
陀螺仪（MEMS） 加速度传感器（MEMS） 地磁传感器（MEMS）
MID中的传感器——MEMS传感器厂商
1、陀螺仪（角速度传感器）厂商： 欧美：ADI、ST、VTI、Invensense、sensordynamics、sensonor 日本：EPSON、Panasonic、MuRata、konix 、Fujitsu、konix、SSS 国产：深迪 2、加速度传感器（G-sensor）厂商： 欧美：ADI、Freescale、ST、VTI、Invensense、Sensordynamics、Silicon Designs 日本：konix、Bosch、MSI、Panasonic、北陆电气 国产：MEMSIC（总部在美国） 3、地磁传感器（电子罗盘）厂商： 欧美：ADI、Honeywell 日本：aichi、alps、AsahiKASEI、Yamaha 国产：MEMSIC（总部在美国）
由检测质量（也称敏感质量）、 支承、电位器、弹簧、阻尼器和壳 体组成。检测质量受支承的约束只 能沿一条轴线移动，这个轴常称为 输入轴或敏感轴。当仪表壳体随着 运载体沿敏感轴方向作加速运动时， 根据牛二定律，具有一定惯性的检测质量力图保持其原来的运动状态不变。它与壳体之 间将产生相对运动，使弹簧变形，于是检测质量在弹簧力的作用下随之加速运动。当弹 簧力与检测质量加速运动时产生的惯性力相平衡时，检测质量与壳体之间便不再有相对 运动，这时弹簧的变形反映被测加速度的大小。电位器作为位移传感元件把加速度信号 转换为电信号，以供输出。
加速度传感器的使用方法
加速度传感器的使用方法加速度传感器是一种常见的传感器，它可以检测和测量物体的加速度。
在很多领域中，加速度传感器都被广泛应用，例如智能手机、汽车、工业设备等。
本文将介绍加速度传感器的使用方法。
使用加速度传感器前需要了解其工作原理。
加速度传感器基于微机电系统（MEMS）技术，内部包含微小的质量和弹簧系统。
当物体加速度发生变化时，质量会受到力的作用而发生位移，传感器可以测量这个位移并转换成电信号输出。
接下来，我们来讨论加速度传感器的安装和连接。
通常情况下，加速度传感器会通过引脚连接到主控制器或数据采集设备。
在安装时，需要注意将传感器的引脚正确连接到相应的接口上，确保传感器与主控制器的通信正常。
在实际应用中，加速度传感器通常需要进行校准。
校准可以提高传感器的准确性和稳定性。
校准的过程包括确定传感器的零点偏移和灵敏度。
零点偏移是指在没有加速度作用下传感器输出的值，需要将其调整到零位。
灵敏度是指单位加速度变化引起的传感器输出变化，可以通过标定和校准来确定。
在使用加速度传感器时，还需要注意传感器的安装位置和方向。
传感器应尽可能与物体的加速度方向垂直安装，这样可以获得最准确的测量结果。
此外，传感器还需要避免受到外界干扰，如震动、温度变化等，这些干扰可能会影响传感器的测量结果。
在进行数据采集和处理时，可以使用相应的软件或编程语言来读取和解析传感器输出的数据。
通过分析传感器输出的数据，可以获取物体的加速度信息。
在某些应用中，还可以通过进一步处理和计算，获取物体的速度和位移等相关信息。
需要注意的是，在实际应用中，加速度传感器的测量范围和精度是很重要的指标。
不同的应用场景可能需要不同范围和精度的传感器。
在选择传感器时，需要根据具体需求来确定合适的型号和规格。
总结一下，加速度传感器是一种常用的传感器，可以用于测量物体的加速度。
在使用加速度传感器时，需要了解其工作原理，并正确安装和连接传感器。
校准和安装位置也是使用加速度传感器时需要注意的问题。
加速度传感器原理
加速度传感器原理加速度传感器是一种用于测量物体加速度的装置，常用于汽车、航空航天、医疗设备等领域。
本文将介绍加速度传感器的原理、工作方式以及应用。
一、原理加速度传感器的原理基于牛顿第二定律，即物体的加速度与作用在物体上的力成正比。
加速度传感器通过测量物体受到的力，从而间接地计算出物体的加速度。
二、工作方式加速度传感器通常由质量块与一些弹簧组成。
当物体加速度发生变化时，质量块会受到力的作用，从而发生位移。
弹簧的伸缩程度与位移成正比，从而产生一个电信号。
该电信号经过处理后，可以被转化为相应的加速度数值。
三、应用1. 汽车领域：加速度传感器可用于汽车的安全气囊系统。
当车辆发生碰撞时，加速度传感器会检测到车辆的突然减速，并迅速触发气囊充气，保护乘客安全。
2. 航空航天领域：在飞机或宇航器中，加速度传感器用于测量飞行器的姿态和动力学参数，从而帮助驾驶员控制飞行器的稳定性。
3. 医疗设备领域：加速度传感器广泛应用于助听器、人工肢体和运动检测设备等医疗设备中。
通过测量患者的运动状态，医生可以根据传感器提供的数据进行精确的诊断和治疗。
4. 智能手机领域：现代智能手机中内置了加速度传感器，用于自动旋转屏幕、计步器功能等。
此外，一些游戏也利用加速度传感器实现了更加真实的交互体验。
总结：加速度传感器是一种通过测量物体受力来计算加速度的装置。
它的工作原理基于牛顿第二定律，通过质量块的位移与弹簧的伸缩程度来产生电信号。
加速度传感器在汽车、航空航天、医疗设备和智能手机等领域具有广泛的应用。
通过使用加速度传感器，我们能够实时获取物体的加速度数据，从而为各种应用场景提供更精确的测量和控制。
加速度传感器测试原理
加速度传感器测试原理
加速度传感器是一种用于测量物体加速度的装置。
它基于物体受到的力的变化来计算加速度。
加速度传感器的测试原理是利用传感器内部的微机电系统（MEMS）技术。
在加速度传感器中，一般会有一个微小的质量块，称为质量阻尼系统。
当传感器受到外力作用时，质量块会发生位移，导致电容或电感值发生变化。
这种变化可以通过电路进行测量和分析。
具体地说，加速度传感器中通常使用微机电系统的结构，如微小的弹簧和质量块。
当物体在加速度作用下发生运动时，质量块会受到惯性力的作用产生位移，弹簧会对其进行相应的恢复力。
这样，质量块和弹簧之间的相互作用会导致一个共振频率的变化。
传感器会通过调整质量块和弹簧的特性，使其在特定的频率范围内具有最佳的灵敏度和准确度。
一般来说，加速度传感器可以测量从几赫兹到几千赫兹的频率范围内的加速度信号。
测试加速度传感器时，可以通过提供已知的加速度值来验证传感器的准确性。
例如，可以将传感器固定在一个旋转的转盘上，转盘上的半径和角速度已知。
通过测量传感器输出的加速度信号，并结合已知的半径和角速度，可以计算出传感器的输出是否与实际加速度值一致。
此外，为了验证加速度传感器的灵敏度，还可以使用振动台等
设备来进行测试。
通过在不同频率和幅度下施加振动，并测量传感器的输出信号，可以评估传感器的灵敏度和响应特性。
总结起来，加速度传感器的测试原理是基于通过微机电系统的结构，测量由物体受到的加速度引起的质量块位移和弹簧恢复力变化。
通过与已知的加速度值进行比较或者通过施加振动进行测试，可以验证传感器的准确性和灵敏度。
加速度传感器的工作原理
加速度传感器的工作原理加速度传感器是一种用于测量物体在空间中加速度的设备，广泛应用于汽车、航空航天、工业生产等领域。
它能够准确地检测物体的加速度变化，并将其转化为电信号输出。
本文将介绍加速度传感器的工作原理及其应用。
一、工作原理加速度传感器的工作原理基于质量与力的关系。
通常使用微机电系统（MEMS）技术制造的加速度传感器，它由质量块、弹簧和电容组成。
具体原理如下：1. 弹簧系统加速度传感器的核心是一个微小的质量块，质量块通过弹簧与传感器的外壳相连。
弹簧负责将质量块与外壳保持相对静止状态，使质量块不受环境振动干扰。
2. 加速度作用当物体受到加速度的作用时，质量块与外壳之间产生相对运动。
根据牛顿第二定律，物体所受的力与其质量和加速度成正比。
因此，加速度的增加将导致质量块受到更大的力。
3. 电容变化质量块上安装有一对电极，与外壳上的电极形成电容。
当质量块发生位移时，外壳上相应的电极也会随之移动，导致电容值发生变化。
电容值的变化与质量块的位移量成正比。
4. 电信号输出通过对电容的测量，传感器能够将位移量转化为电信号输出。
通常使用谐振电路或差分电路来测量电容值的变化。
最终，加速度传感器将测得的加速度值输出到外部设备，如数据采集模块或控制系统。
二、应用领域加速度传感器因其高灵敏度和广泛的应用需求，在众多领域中得到了应用。
下面介绍几个常见的应用场景：1. 汽车安全系统在汽车中，加速度传感器被广泛用于安全系统。
例如，车辆碰撞时，传感器可以检测到突发的加速度变化，并触发气囊的部署。
此外，加速度传感器还可以用于检测车辆倾斜角度，以提供车身稳定控制。
2. 航空航天领域在航空航天领域中，加速度传感器被用于飞行器姿态控制和导航系统。
传感器能够测量飞行器在各个方向上的加速度变化，确定姿态角度，从而实现飞行控制和导航定位。
3. 工业生产加速度传感器在工业生产中的应用非常广泛。
它可以用于监测机器的振动和震动情况，判断设备是否正常运行。
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电容式 传感器
4 电 容 式 位 移 传 感 器
a)测振幅
电容式 传感器
被测轴
b)测轴回转精度和轴心偏摆
电容式角位移传感器
当θபைடு நூலகம்0时
C0
当θ≠0时
0 r s0
d0
0 r (1 ) C C C 0 0 d0
传感器电容量C与角位移θ间呈线性关系
二、加速度传感器
当质量块感受加速度而产生惯性力Fa时，在力Fa的作用 下，悬臂梁发生弯曲变形，其应变为
Fa ma
粘贴在梁两面上的应变片分别感受正(拉)应变和负 (压)应变而电阻增加和减小，电桥失去平衡而输出与 加速度成正比的电压U0，即
压电式加速度传感器
压 缩 式 压 电 加 速 度 传 感 器 结 构
当传感器感受振动时，质量块感受与传感器基座相 同的振动，并受到与加速度方向相反的惯性力的作 用。这样，质量块就有一正比于加速度的交变力作 用在压电片上。由于压电片压电效应，两个表面上 就产生交变电荷，当振动频率远低于传感器的固有 频率时，传感器的输出电荷（电压）与作用力成正 比，亦即与试件的加速度成正比。
（1）铁心位于线圈中间 （2）铁心向上移动 （3）铁心向下移动
u0 u2 u3 0
u0 u2 u3 0
u0 u2 u3 0
优点：无摩擦（移动铁心与线圈不存在物理接触）； 无限的机械寿命（因无接触、无摩擦导致无磨损）； 分辨率高；零位重复性好；输入/输出隔离。 应用：在动态偏移和高弹性材料的振动测量、高增益闭环控制系 统的零位指示测量中、其他各种工业控制中得到了广泛的应 用。
常用幅值为3～15V的均方根值、频率为60～2000Hz的正弦 电压激励初级线圈，感应的次级输出电压也是与激励信号同 频率的正弦信号，但幅值随铁心位置的变化而变化。测量铁 心位移对输出的影响时，需通过检波将LVDT中信号的交流 成分滤除。一般检波器不能判断铁心运动方向的不同。
检波
可鉴别位移方向的LVDT 半导体桥式检波器电路
加速度是表征物体在空间运动本质的一个基本物理量。可 以通过测量加速度来测量物体的运动状态。例如，惯性导 航系统就是通过飞行器的加速度来测量它的加速度、速度 (地速)、位置、已飞过的距离以及相对于预定到达点的方 向等。通常还通过测量加速度来判断运动机械系统所承受 的加速度负荷的大小，以便正确设计其机械强度和按照设 计指标正确控制其运动加速度，以免机件损坏。对于加速 度，常用绝对法测量，即把惯性型测量装置安装在运动体 上进行测量。 分为惯性加速度与倾角传感器和振动加速度传感器。
霍尔式加速度传感器
在固定在传感器壳体上的弹性悬臂梁的中部装有一感受加速 度的质量块m，梁的自由端固定安装着测量位移的霍尔元件H。 在霍尔元件的上下两侧，同极性相对安装着一对永久磁铁， 以形成线性磁场。当质量块感受上下方向的加速度而产生与 之成比例的惯性力使梁发生弯曲变形时，自由端就产生与加 速度成比例的位移，霍尔元件就输出与加速度成比例的霍尔 电势UH。
输出电量由传感器输出端引出，输入到前置放大器 后就可以用普通的测量仪器测出试件的加速度，如 在放大器中加进适当的积分电路，就可以测出试件 的振动速度或位移。
（压电）石英加速度传感器
石英加速度传感器的反馈电流正比于因外力作用而引起 的质量m的加速度。
u0 ucd uba
u0 ucd uba 0 u0 ucd uba 0
u0 ucd uba 0
3 电位器式位移传感器
通过滑动触点把位移转换为电阻丝的长 度变化，从而改变电阻值大小，进而再 将这种变化值转换成电压或电流的变化 值。
振动 被测物
惯性加速度与倾角传感器 －－基于“摆”的工作原理
当传感器壳体相对于地球重 心方向产生倾斜时，由于重力 的作用，摆力图保持垂直方向， 从而使摆相对于壳体形成一个 角度的倾斜，只要通过敏感元 件测出这个角度，或将与摆相 连的敏感元件的应变量转换成 为电量的输出，即可知因倾斜 这个力所引入的加速度的大小。
这类基于测量质量块相对位移的加速度传感器一 般灵敏度都比较低，所以当前广泛采用基于测量 惯性力的加速度传感器，例如电阻应变式、压阻 式和压电式加速度传感器。它们的工作原理是: 敏感质量块感受加速度，而产生与之成正比的惯 性力F＝ma，再通过弹性元件把惯性力转变成应 变、应力，或通过压电元件把惯性力转变成电荷 量，然后通过测量应变、应力或电荷来间接测量 加速度。
当前测量加速度的传感器基 本上都是基于图所示的基本 结构。通常是由质量块m、 弹簧k和阻尼器c所组成的惯 性型二阶测量系统。
质量块通过弹簧和阻尼器与 传感器基座相连接。传感器 基座与被测运动体相固连， 因而随运动体一起相对于运 动体之外惯性空间的某一参 考点作相对运动。
位移式加速度传感器
是一种变磁阻式加速度 传感器，它是以通过弹 簧片与壳体相连的质量 块m作为差动变压器的衔 铁。当质量块感受加速 度而产生相对位移时， 差动变压器就输出与位 移(也即与加速度)成近 似线性关系的电压，加 速度方向改变时，输出 电压的相位相应地改变 180。。
第一章
传感器及其应用
—位移/加速度传感器—
位移/加速度传感器用于将“位移”
和物体受重力作用而产生的“加速
度”这两个非电量转换为电量输出。
一 位移传感器
分 类
角度位移
线性位移
电阻式 电容式 差分电感式 振弦式 差分变压器式 电感式 电感调频式 编码式 电涡流式 光栅式 磁栅式 光电式 感应同步式
电位器式 电阻应变片式
1 电阻应变片位移传感器
动态范围：1～300mm， 线性度：0.1%-0.5%，分辨力：1um
金属 半导体
2 线性可变差分变压器式（LVDT） 位移传感器－电感式 u u u
0 2 3
磁阻
uo正比于磁芯在线圈中的位移
LVDT差动变压器式位移传感器的原理
LVDT的结构由铁心、衔铁、初级线圈、次级线圈组成，初 级线圈、次级线圈分布在线圈骨架上，线圈内部有一个可 自由移动的杆状衔铁。当衔铁处于中间位置时，两个次级 线圈产生的感应电动势相等，这样输出电压为0；当衔铁在 线圈内部移动并偏离中心位置时，两个线圈产生的感应电 动势不等，有电压输出，其电压大小取决于位移量的大小。 为了提高传感器的灵敏度，改善传感器的线性度、增大传 感器的线性范围，设计时将两个线圈反串相接、两个次级 线圈的电压极性相反，LVDT输出的电压是两个次级线圈的 电压之差，这个输出的电压值与铁心的位移量成线性关系。 LVDT工作过程中，铁心的运动不能超出线圈的线性范围， 否则将产生非线性值，因此所有的LVDT均有一个线性范围。
应变式加速度传感器
1—等强度梁
2—质量块
3—壳体
4—电阻应变片
在低频（10~60Hz）振动测量中得到广泛的应用,但不 适用于频率较高的振动和冲击。
应变式加速度传感器的具体结构形式很多，但都可简化 为图示形式。等强度弹性悬臂梁固定安装在传感器的基 座上，梁的自由端固定一质量块m，在梁的根部附近两面 上各贴一个(成两个)性能相同的应变片，应变片接成对 称差动电桥。
LVDT特点
1.结构简单，工作可靠，寿命长，线性度好，重复性好，性能价格比高。 2.精度：最高精度可达0.05%，一般为0.25%、0.5% 3.绝对误差：最高可达1μm 4.重复性：好，最高可达1μm 5.灵敏度：高，一般每mm位移输出为数百 mv, 最高可达几伏 6.分辨率：高，一般为0.1 μm ，最高可达10-4 μm 。 7.测量范围：宽，±0.1mm ~ ±500mm甚至更大 8.工作温度范围：大，一般为-55℃~ +150℃可扩展到+220℃，传感器或 变送器分为三级： 商业级：0℃ ~ +70℃ 工业级：-20℃ ~ +85℃ 军 级：-55℃ ~ +125℃ 9.时间常数小，动态特性好，频带宽一般为200HZ(5ms)最高可 500HZ(2ms)。 10.毛利率高：可达60% ~ 70%
电容式加速度传感器
4 5 A面 3 6
以通过弹簧片支 承的质量块作为 差动电容器的活 动极板。 电容式加速度传 感器的特点是频 率响应范围宽， 测量范围大。
Cx1 Cx2 1 B面
2
1、5 －固定极板 2－壳体 3－簧片 4 －质量块 6－ 绝缘体 精度较高，频率响应范围宽，量程大，可以测很高的加速度