半导体甩干机操作规范
甩干机安全操作指导书

甩干机安全操作指导书
电源指示灯 脱水开关 加热器开关
文件编号 :WI-GCSB-0007 版本/版次:A/2 页 次:2/2
脚踏开关
图1
4.3 日常保养及注意事项 4.3.1 脱水前要先清干净脱水桶底部散落夹具及积水; 4.3.2 加入待脱水夹具不能超过脱水桶容积的 3/4;坏电机; 4.3.4 机器在开启状态或停机未踩下脚踏开关下严禁打开机器盖子; 4.3.5 经过培训合格后的操作员才可以操作设备; 4.3.6 如有发现设备异常请及时停止设备并通知设备维护人员。
甩干机安全操作指导书
1.目的:使设备操作规范化,避免安全事故发生 2.适用范围:公司甩干机 3.职责:设备使用部门的设备操作员负责甩干机的日常使用 4.操作程序
文件编号 :WI-GCSB-0007 版本/版次:A/2 页 次:1/2
4.1 开机 4.1.1 接能外部进控制箱电源(长时间停机时会关闭电源开关); 4.1.2 用脚踩住脚踏开关打开盖子,往脱水桶里加入待脱水夹具(夹具不能超过容积的 3/4) ,合 上盖子,松开脚踏开关; 4.1.3 根据工艺需要把加热器旋钮开关从 O 档打到 I 档(顺时针旋转 90 度)(如图 1 示); 4.1.4 把脱水旋钮开关从 O 档打到 I 档(顺时针旋转 90 度),脱水电机开始转动(如图 1 示); 4.1.5 如在脱水过程中出现任何事故请及时停机断开电源并通知相关人员。
4.2 关机 4.2.1 把脱水旋钮开关从 I 档打到 O 档(逆时针旋转 90 度),脱水电机停止转动(如图 1 示); 4.2.2 把加热器旋钮开关从 I 档打到 O 档(逆时针旋转 90 度)(如图 1 示); 4.2.3 用脚踩住脚踏开关待脱水桶停止转动后打开盖子,取出脱水桶,倒出夹具后把脱水桶放回 原位置,合上盖子(如图 1 示); 4.2.4 断开外部进机器电源(长时间停机时要关闭电源开关); 4.2.5 做好机台 5S 工作。
甩干机的操作规程

甩干机的操作规程标题:甩干机的操作规程引言概述:甩干机是一种常见的家用电器,用于快速甩干衣物,提高衣物的干燥效率。
正确操作甩干机可以延长其使用寿命,提高效率。
本文将介绍甩干机的操作规程,帮助用户正确使用甩干机,避免不必要的损坏。
一、准备工作1.1 确认电源和插座:首先要确保甩干机的电源线和插座没有损坏,避免发生安全事故。
1.2 清洁甩干机:在使用甩干机之前,要确保甩干机内部干净整洁,避免因脏污影响使用效果。
1.3 检查衣物:在放入衣物之前,要检查衣物是否有金属物品,以免损坏甩干机。
二、操作步骤2.1 放入衣物:将要甩干的衣物均匀放入甩干机内,不要过量放入,以免影响甩干效果。
2.2 选择甩干模式:根据衣物的材质和甩干程度选择合适的甩干模式,避免因选择错误导致衣物损坏。
2.3 启动甩干机:关闭甩干机门,调整好甩干时间和转速,按下启动按钮开始甩干。
三、注意事项3.1 避免过载:不要在甩干机内过量放入衣物,以免影响甩干效果和甩干机寿命。
3.2 定期清洁:定期清洁甩干机的过滤网和内部,避免灰尘堆积影响甩干效果。
3.3 防止震动:在使用过程中,要确保甩干机处于平稳的地面上,避免震动影响甩干效果和寿命。
四、维护保养4.1 定期检查:定期检查甩干机的电源线、插座和机身是否有损坏,及时修复或更换。
4.2 润滑轴承:定期给甩干机的轴承部分添加适量的润滑油,保持轴承的灵活性。
4.3 注意温度:在使用过程中,要注意甩干机的温度,避免因过热损坏甩干机。
五、故障排除5.1 甩干效果不佳:检查衣物是否过量,是否有金属物品,是否选择了正确的甩干模式。
5.2 甩干机发出异常声音:检查甩干机是否处于平稳地面上,是否有异物卡住甩干机内部。
5.3 甩干机无法启动:检查电源线和插座是否正常,是否选择了正确的甩干模式,是否关闭了门。
结论:正确操作甩干机可以延长其使用寿命,提高效率。
用户在使用甩干机时,应该严格按照操作规程进行操作,定期维护保养,及时排除故障,以确保甩干机的正常使用和安全。
甩干机的操作规程

甩干机的操作规程引言概述:甩干机是一种常见的家用电器,用于干燥洗涤后的衣物。
正确操作甩干机可以提高其效率和使用寿命,同时确保用户的安全。
本文将介绍甩干机的操作规程,包括准备工作、操作步骤、注意事项等内容。
一、准备工作:1.1 清洁准备:在使用甩干机之前,应确保机器内部干净,并清除任何可能影响甩干效果的杂物。
同时,检查并清洁过滤器和排水孔,确保畅通。
1.2 衣物准备:将需要甩干的衣物分类,根据材质、颜色和大小等因素进行分组。
避免将过多的衣物放入甩干机,以免超负荷运转。
1.3 预备能源:确保甩干机有足够的电源供应,并确保插座与机器连接稳定可靠。
同时,检查电源线是否完好无损。
二、操作步骤:2.1 将衣物放入机器:打开甩干机的盖子或门,将准备好的衣物逐一放入机器内部。
注意不要过度堆积衣物,以免影响甩干效果。
2.2 选择甩干模式:根据衣物的材质和需要,选择合适的甩干模式。
常见的模式有标准、轻柔、快速等,根据衣物的要求进行选择。
2.3 启动甩干机:关闭机器的盖子或门,并将电源插头插入插座。
根据机器的操作指南,启动甩干机并设置甩干时间。
注意不要设置过长的时间,以免衣物过度甩干。
三、注意事项:3.1 安全操作:在使用甩干机时,确保周围环境干燥、通风良好,并保持机器稳定。
避免将手或其他物体伸入机器内部,以免发生意外伤害。
3.2 防止过度甩干:根据衣物的材质和需要,合理设置甩干时间,避免过度甩干导致衣物变形、损坏或起毛。
3.3 定期清洁保养:定期清洁甩干机的内部和过滤器,以保持机器的正常运转和甩干效果。
同时,注意定期检查机器的各个部件是否正常,如发现异常及时维修或更换。
四、操作常见问题及解决方法:4.1 甩干效果不佳:可能是衣物过多或过少导致的。
适量放置衣物,并选择合适的甩干模式。
4.2 甩干机噪音过大:可能是机器不稳定或零部件松动导致的。
检查机器底座是否平稳,紧固零部件。
4.3 甩干机无法启动:可能是电源故障或其他原因导致的。
半导体甩干机操作规范

甩干机操作规范
兼职广告任务网
文件代码: SNS-WI-S2-501 编写人员:晏小平
审核人员:
批准人员: 保密等级:
1、目的:规范甩干机正确安全操作,保证安全生产。
2、设备操作和使用
1)设备操作说明
A:严禁用紫外线照射液晶屏幕;
B:每次关机后重新启动的时间间隔应大于1分钟;
C:操作中用力要适中,不可用力过大,以免损伤本机屏幕;
3、操作流程图如下:
4、标准操作程序
A:通气源、水源、调节各参数以确保氮气压力(清洗机在80±5psi,甩干机在40±5psi 内)
B:打开本机电源,系统自动进入设备初始界面
C:进行参数设置
D:将需旋干之晶片装在甩干机专用卡塞中,并置于甩干机工作腔体内,
E:按动启动按钮,开始工作
F:一次工作结束后按返回键客返回编辑状态,按启动按钮,重新开始工作。
5、注意事项
1)设备运行时,腔体内必须放卡塞,否则由于平衡破坏造成设备损坏或精度降低
2)晶片必须均匀放置在卡塞内,尽量保证首尾重力平衡
3)卡塞放置在腔体内时,片子正面应朝向观察窗一侧
4)设备运行中不得试图打开密封门盖,否则会造成人体伤害或机器损坏
5)关机重启后,时间间隔1分钟以上,否则可能会造成电气损坏
6)设备运行中,主意去离子水流量不得超过允许值,否则可能由于排放受阻而造成机器损坏
7)每次运行完毕后取出片子时,主意卡塞口是否朝上,纠正后再取出,否则片子会掉出来
8)一旦发现水路关联件出现“漏水”、“滴水”现象应立即关机,检修后再运行。
半导体设备使用操作指南

半导体设备使用操作指南第1章设备概述与安全操作准则 (3)1.1 设备简介及主要功能参数 (3)1.1.1 设备简介 (3)1.1.2 主要功能参数 (4)1.2 安全操作注意事项 (4)1.2.1 操作前准备 (4)1.2.2 操作过程中注意事项 (4)1.2.3 操作后注意事项 (4)1.3 紧急情况处理 (4)1.3.1 电气火灾 (4)1.3.2 化学品泄漏 (5)1.3.3 设备故障 (5)1.3.4 人员伤害 (5)第2章设备开机与关机操作 (5)2.1 开机前准备 (5)2.2 开机操作流程 (5)2.3 关机操作流程 (6)第3章设备基本操作与调整 (6)3.1 设备操作界面介绍 (6)3.2 设备运行模式选择 (6)3.3 参数调整与优化 (7)第4章芯片装载与卸载 (7)4.1 芯片装载操作步骤 (7)4.1.1 准备工作 (7)4.1.2 装载芯片 (8)4.1.3 检查芯片 (8)4.2 芯片卸载操作步骤 (8)4.2.1 准备工作 (8)4.2.2 卸载芯片 (8)4.2.3 检查设备 (8)4.3 芯片装载与卸载注意事项 (8)第5章设备维护与保养 (8)5.1 设备日常清洁与保养 (8)5.1.1 日常清洁 (9)5.1.2 日常保养 (9)5.2 设备关键部件的检查与更换 (9)5.2.1 关键部件检查 (9)5.2.2 关键部件更换 (9)5.3 设备故障排除与维修 (9)5.3.1 故障排除 (9)5.3.2 设备维修 (10)第6章晶圆加工操作流程 (10)6.1 晶圆加工基本步骤 (10)6.1.1 载入晶圆 (10)6.1.2 清洗晶圆 (10)6.1.3 晶圆预处理 (10)6.1.4 光刻 (10)6.1.5 刻蚀 (10)6.1.6 离子注入 (10)6.1.7 化学气相沉积 (10)6.1.8 平坦化 (10)6.1.9 镀膜 (11)6.1.10 光刻、刻蚀(重复步骤) (11)6.1.11 去胶 (11)6.1.12 检验 (11)6.1.13 取出晶圆 (11)6.2 晶圆加工参数设置 (11)6.2.1 设备参数 (11)6.2.2 工艺参数 (11)6.2.3 光刻参数 (11)6.2.4 刻蚀参数 (11)6.2.5 离子注入参数 (11)6.2.6 化学气相沉积参数 (11)6.3 晶圆加工质量控制 (11)6.3.1 设备维护 (11)6.3.2 工艺监控 (11)6.3.3 晶圆检测 (12)6.3.4 数据记录与分析 (12)6.3.5 质量反馈机制 (12)第7章腐蚀与清洗工艺操作 (12)7.1 腐蚀工艺操作步骤 (12)7.1.1 准备工作 (12)7.1.2 腐蚀操作流程 (12)7.2 清洗工艺操作步骤 (12)7.2.1 准备工作 (12)7.2.2 清洗操作流程 (12)7.3 腐蚀与清洗工艺参数优化 (13)7.3.1 腐蚀参数优化 (13)7.3.2 清洗参数优化 (13)第8章光刻工艺操作 (13)8.1 光刻工艺基本步骤 (13)8.1.1 清洗硅片 (13)8.1.2 涂覆光刻胶 (13)8.1.3 前烘 (14)8.1.4 曝光 (14)8.1.5 显影 (14)8.1.6 蚀刻 (14)8.1.7 去胶 (14)8.2 光刻胶涂覆与曝光操作 (14)8.2.1 光刻胶涂覆 (14)8.2.2 曝光操作 (14)8.3 显影与蚀刻工艺操作 (14)8.3.1 显影操作 (14)8.3.2 蚀刻操作 (15)第9章焊接与封装工艺操作 (15)9.1 焊接工艺操作步骤 (15)9.1.1 准备工作 (15)9.1.2 焊接操作 (15)9.1.3 焊接后处理 (15)9.2 封装工艺操作步骤 (15)9.2.1 准备工作 (15)9.2.2 封装操作 (16)9.2.3 封装后处理 (16)9.3 焊接与封装质量检测 (16)9.3.1 焊接质量检测 (16)9.3.2 封装质量检测 (16)第10章设备数据备份与恢复 (16)10.1 数据备份操作步骤 (16)10.1.1 准备工作 (16)10.1.2 启动备份程序 (16)10.1.3 选择备份内容 (16)10.1.4 设置备份参数 (17)10.1.5 开始备份 (17)10.1.6 完成备份 (17)10.2 数据恢复操作步骤 (17)10.2.1 准备工作 (17)10.2.2 启动恢复程序 (17)10.2.3 选择恢复内容 (17)10.2.4 设置恢复参数 (17)10.2.5 开始恢复 (17)10.2.6 完成恢复 (17)10.3 数据备份与恢复注意事项 (18)第1章设备概述与安全操作准则1.1 设备简介及主要功能参数1.1.1 设备简介本文所指半导体设备,主要是指用于半导体制造领域的各类设备,如清洗设备、涂胶设备、显影设备、蚀刻设备和掺杂设备等。
半导体设备操作指南及维护规范

半导体设备操作指南及维护规范第1章设备操作基础 (4)1.1 设备操作安全规程 (4)1.1.1 操作人员要求 (4)1.1.2 安全防护措施 (4)1.1.3 操作环境要求 (4)1.1.4 应急处理 (4)1.2 设备操作前的准备工作 (5)1.2.1 检查设备状态 (5)1.2.2 确认物料及工具 (5)1.2.3 检查设备控制系统 (5)1.3 设备开机及关机操作 (5)1.3.1 开机操作 (5)1.3.2 关机操作 (5)1.4 设备运行状态的监测与调整 (5)1.4.1 监测设备运行参数 (5)1.4.2 检查设备运行状况 (5)1.4.3 调整设备运行参数 (5)1.4.4 故障处理 (5)第2章设备操作流程 (6)2.1 芯片装载与卸载操作 (6)2.1.1 装载前准备 (6)2.1.2 芯片装载 (6)2.1.3 芯片卸载 (6)2.2 设备工艺参数设置 (6)2.2.1 参数设置原则 (6)2.2.2 参数设置步骤 (6)2.3 设备运行过程中的监控 (6)2.3.1 设备状态监控 (6)2.3.2 工艺参数监控 (6)2.4 异常情况的处理与排除 (6)2.4.1 异常情况识别 (7)2.4.2 异常情况处理 (7)2.4.3 异常情况排除 (7)第3章设备维护基础 (7)3.1 设备维护的基本概念 (7)3.2 设备维护的分类与周期 (7)3.2.1 预防性维护 (7)3.2.2 改正性维护 (7)3.2.3 预测性维护 (7)3.3 设备维护的工具与材料 (8)3.3.1 工具 (8)3.4 设备维护注意事项 (8)第4章设备机械部分维护 (8)4.1 机械结构的检查与调整 (8)4.1.1 检查要求 (8)4.1.2 调整方法 (8)4.2 传动系统的维护与润滑 (9)4.2.1 维护要求 (9)4.2.2 润滑方法 (9)4.3 装载机构的检查与维护 (9)4.3.1 检查要求 (9)4.3.2 维护方法 (9)4.4 气动系统的检查与保养 (9)4.4.1 检查要求 (9)4.4.2 保养方法 (9)第5章电气控制系统维护 (9)5.1 电源系统的检查与维护 (9)5.1.1 检查项目 (9)5.1.2 维护措施 (10)5.2 电机及驱动器的检查与维护 (10)5.2.1 检查项目 (10)5.2.2 维护措施 (10)5.3 控制器及传感器的检查与更换 (10)5.3.1 检查项目 (10)5.3.2 维护措施 (10)5.4 电气连接部分的检查与紧固 (10)5.4.1 检查项目 (10)5.4.2 维护措施 (11)第6章仪表及传感器部分维护 (11)6.1 压力传感器的检查与校准 (11)6.1.1 检查步骤 (11)6.1.2 校准步骤 (11)6.2 温度传感器的检查与校准 (11)6.2.1 检查步骤 (11)6.2.2 校准步骤 (11)6.3 流量传感器的检查与校准 (11)6.3.1 检查步骤 (12)6.3.2 校准步骤 (12)6.4 分析仪器及检测设备的维护 (12)6.4.1 日常维护 (12)6.4.2 故障处理 (12)6.4.3 定期校准 (12)第7章设备软件系统维护 (12)7.1 软件系统的备份与恢复 (12)7.1.2 备份方法 (13)7.1.3 恢复方法 (13)7.2 系统参数的检查与调整 (13)7.2.1 检查方法 (13)7.2.2 调整方法 (13)7.3 软件升级及兼容性测试 (13)7.3.1 升级原则 (13)7.3.2 兼容性测试 (14)7.4 软件故障的排除与修复 (14)7.4.1 故障诊断 (14)7.4.2 故障排除 (14)7.4.3 修复方法 (14)第8章液路系统维护 (14)8.1 液路管道的检查与清洗 (14)8.1.1 检查频率 (14)8.1.2 检查内容 (15)8.1.3 清洗方法 (15)8.1.4 清洗周期 (15)8.2 泵及阀门的状态检查与维护 (15)8.2.1 检查频率 (15)8.2.2 检查内容 (15)8.2.3 维护方法 (15)8.2.4 阀门保养 (15)8.3 液位传感器的检查与校准 (15)8.3.1 检查频率 (15)8.3.2 检查内容 (15)8.3.3 校准方法 (15)8.4 液路系统泄漏处理及预防 (16)8.4.1 泄漏处理 (16)8.4.2 预防措施 (16)8.4.3 应急预案 (16)第9章真空系统维护 (16)9.1 真空泵的检查与维护 (16)9.1.1 检查频率 (16)9.1.2 检查内容 (16)9.1.3 维护方法 (16)9.2 真空阀门及管道的检查 (16)9.2.1 检查频率 (16)9.2.2 检查内容 (16)9.2.3 维护方法 (17)9.3 真空计的校准与更换 (17)9.3.1 校准频率 (17)9.3.2 校准方法 (17)9.4 真空泄漏的检测与处理 (17)9.4.1 检测方法 (17)9.4.2 处理方法 (17)9.4.3 预防措施 (17)第10章设备功能检测与优化 (18)10.1 设备功能指标及测试方法 (18)10.1.1 功能指标 (18)10.1.2 测试方法 (18)10.2 设备功能检测的周期与要求 (18)10.2.1 检测周期 (18)10.2.2 检测要求 (19)10.3 常见设备功能问题的分析与解决 (19)10.3.1 产量问题 (19)10.3.2 良率问题 (19)10.3.3 稳定性问题 (19)10.3.4 可靠性问题 (19)10.3.5 功耗问题 (19)10.4 设备功能优化策略与实践 (19)10.4.1 优化策略 (19)10.4.2 实践措施 (20)第1章设备操作基础1.1 设备操作安全规程1.1.1 操作人员要求操作半导体设备的人员需具备相应的专业技能和操作经验。
甩干机的操作规程

甩干机的操作规程一、引言甩干机是一种用于去除衣物、毛巾等物品中多余水分的设备。
为了确保甩干机的正常运行和使用安全,制定本操作规程,详细介绍甩干机的操作步骤和注意事项。
二、设备概述甩干机是一种电动机械设备,主要由机壳、电机、甩干筒、控制面板等组成。
其工作原理是通过电机驱动甩干筒高速旋转,使物品中的水分被离心力甩离。
三、操作步骤1. 准备工作a. 确保甩干机周围没有其他物品阻碍,保持通风良好。
b. 检查电源线是否完好,插头是否接地良好。
c. 检查甩干筒内是否有异物,如有需要清理。
2. 装载物品a. 打开甩干筒盖子,将待甩干的衣物均匀分布放入甩干筒中,不要超过甩干筒的额定容量。
b. 注意不要将过重的物品放入甩干筒,以免损坏设备。
3. 设置甩干时间a. 根据衣物的种类和湿度选择合适的甩干时间。
b. 通过控制面板上的时间调节按钮,设置甩干时间。
4. 启动甩干机a. 确保甩干筒盖子已经关闭好,确保安全。
b. 将电源插头插入电源插座。
c. 按下启动按钮,甩干机开始工作。
5. 观察甩干过程a. 在甩干过程中,注意观察甩干机的运行状态,确保其正常运转。
b. 如发现异常情况(如异响、异味等),应立即停止使用,并联系维修人员进行检修。
6. 完成甩干a. 在设定的甩干时间结束后,甩干机会自动停止运行。
b. 打开甩干筒盖子,取出甩干的衣物。
四、安全注意事项1. 使用前请仔细阅读甩干机的用户手册,了解设备的特点和使用方法。
2. 严禁将手或其他物品伸入甩干筒内,以免发生意外伤害。
3. 使用过程中,不要将甩干机放置在不稳定的地面上,以免设备晃动。
4. 严禁在甩干机运行期间拔掉电源插头,以免发生电击事故。
5. 长时间使用甩干机时,应定期检查设备的电源线和插头是否磨损,如有损坏应及时更换。
6. 如发现甩干机有异常情况,如发热、冒烟等,应立即停止使用,并断开电源,联系维修人员进行检修。
7. 定期清洁甩干机的甩干筒和过滤器,以保持设备的正常运行。
甩干机操作指导书

1.0 目的确保设备的正常运转、产品的加工精度与加工的合理性,提高生产效率和产品质量;规范安全操作,杜绝安全隐患以达到安全生产。
2.0 适用范围适用于甩干机所有操作人员。
3.0 权责3.1 设备使用及日常保养:操作人员。
3.2 设备维修:专业技术人员。
3.3 技术指导及正确操作方法的监督:组长、主管。
4.0 工作流程:4.1 充分了解设备的性能、结构,遵守安全生产的规程。
4.2 开机前,首先检查设备状态,确认好后才能开启设备。
4.2.1 做好日常保养检点确认;4.2.2 确认设备是否有异常;4.2.3 确认设备清洁状况;4.2.4 确认来料种类。
4.3 设备加工操作步骤如下:4.3.1 将研磨、清洗过的待转工序产品以5000PCS/袋的数量装入网袋内,加工完成待电镀的产品以8000PCS/袋的数量装入网袋内;4.3.2 清理干净滚筒内的遗留产品;4.3.3 将装好产品的网袋放入滚筒内;4.3.4 关好甩干机盖子;4.3.5 将脚踏板下压使设备内的滚筒上升;4.3.6 按下启动按钮,设备启动进行甩干加工;4.3.7 两分钟后设备停止;4.3.8 打开盖子将网袋拿出并将产品倒入指定的胶框;4.3.9 脱水处理完成后须对处理后的产品进行检查,确认是否达到处理要求的效果。
4.4 设备不使用时须将温度调节开关调到刻度“0”位置,以确保使用安全、避免能源浪费。
4.6 下班前整理工作。
4.6.1 将处理好的产品整理清楚摆放到指定区域,并做好防氧化防护;4.6.2 将未处理的产品整理清楚摆放到指定区域,并做好防氧化防护;4.6.3 关闭设备总电源;4.6.4 关闭好车间的供水设施、照明设施;4.6.5 关闭好风扇、空调等设施电源;4.6.6 锁好车间门窗。
5.0 注意事项5.1 操作人员必须熟悉设备性能,上岗前必须经培训考核合格后方可上岗操作。
5.2 设备运转中,要注意安全操作,不可依靠设备,不可触碰设备运动部件。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
甩干机操作规范
兼职广告任务网
文件代码: SNS-WI-S2-501 编写人员:晏小平
审核人员:
批准人员: 保密等级:
1、目的:规范甩干机正确安全操作,保证安全生产。
2、设备操作和使用
1)设备操作说明
A:严禁用紫外线照射液晶屏幕;
B:每次关机后重新启动的时间间隔应大于1分钟;
C:操作中用力要适中,不可用力过大,以免损伤本机屏幕;
3、操作流程图如下:
4、标准操作程序
A:通气源、水源、调节各参数以确保氮气压力(清洗机在80±5psi,甩干机在40±5psi 内)
B:打开本机电源,系统自动进入设备初始界面
C:进行参数设置
D:将需旋干之晶片装在甩干机专用卡塞中,并置于甩干机工作腔体内,
E:按动启动按钮,开始工作
F:一次工作结束后按返回键客返回编辑状态,按启动按钮,重新开始工作。
5、注意事项
1)设备运行时,腔体内必须放卡塞,否则由于平衡破坏造成设备损坏或精度降低
2)晶片必须均匀放置在卡塞内,尽量保证首尾重力平衡
3)卡塞放置在腔体内时,片子正面应朝向观察窗一侧
4)设备运行中不得试图打开密封门盖,否则会造成人体伤害或机器损坏
5)关机重启后,时间间隔1分钟以上,否则可能会造成电气损坏
6)设备运行中,主意去离子水流量不得超过允许值,否则可能由于排放受阻而造成机器损坏
7)每次运行完毕后取出片子时,主意卡塞口是否朝上,纠正后再取出,否则片子会掉出来
8)一旦发现水路关联件出现“漏水”、“滴水”现象应立即关机,检修后再运行。