2012_02_26100958_JEM-200CX 透射电镜使用说明
透射电子显微镜操作指南
JEM-2100F型透射电子显微镜操作指南电镜日常初始状态：加速电压160KV (Stand by 模式)1.加电压：点击电脑主程序Normal按钮，高压由160KV升至200KV，一般需要15分钟左右。
2.将样品（一定是干燥，洁净的样品!）放入样品杆，将样品杆送入样品室：分两步进行，先放入预抽室，打开预抽开关。
进行预抽，等待10分钟后将样品杆进一步送入样品室。
（注：操作时一定要轻，在感觉有阻碍时切勿强行放入，要及时与老师沟通！）3.打开CCD冷却机开关，打开CCD电脑，打开ITEM程序。
4.打开左控台左上角的Beam按钮，V1阀开启。
5.调节Brightness（顺时针光散开，逆时针光汇聚）观察是否有聚光镜像散（无像散时光圈呈圆形，且反复调节Brightness时光圈始终中心放大缩小。
否则则需要进行聚光镜消象散：将聚光镜光阑加入光路，使用光阑调节旋钮将光阑位置调正（与荧光屏呈同心圆），顺时针旋动Brightness 使光圈汇聚成小圆盘，COND STIG 按下，调节DEF使中心点变为均匀的圆形（无拖尾现象）。
弹起COND STIG 按钮。
6.合轴(使用前的简单合轴，在40K左右进行)1）按下右控制面板上的STD FOCUS，即恢复到标准的聚焦电压（在拍摄过程中也需要及时的使用STD FOCUS，按下它后软件对话框上面的defocus 就归零）。
2）调节SHIFT旋钮将光圈中心调到荧光品中心。
顺时针调节Brightness将光散开。
3）样品高度的确定：当物镜的焦距确定后，随后就需要来确定样品的高度，否则无法得到清晰的图像。
方法：调整样品台的高度(Z)，使观察样品的图像正焦。
(按下IMAGE WOBBLER调节样品高度使样品的晃动最小（此时接近正焦位置）。
调整结束后弹起IMAGE WOBBLER按钮。
)4）电压中心的确认（在拍摄高分辨照片时必须进行的步骤）：在放大倍数为100K以上时调整，按下右侧面板上的HT WOBBLER，观察光斑是否中心放大缩小，如果不是，则按下左侧面板上的BRIGHT TILT，调节DEF旋钮，使样品中心放大缩小。
透射电镜基本操作
注意事项
遵守实验室规定，不要超越权限； 严格遵照操作规定进行操作； 操作必须小心，进行每个操作步骤前，都问问自己是否对； 没有把握的步骤，不盲目尝试，确认后再操作； 记住每台设备的特性； 多练习，多交流，自己不断总结。
熟悉电镜 准备工作 装样品 插拔样品杆 调光路 寻找样品 调焦、拍摄 倾转 电子衍射 明暗场 高分辨
液氮对真空的影响
如果停机后，镜筒真空度下降后，重新开机抽真 空时，如果能谱的杜瓦瓶没有液氮，需要加入液 氮，这对抽真空有利。 而此时，不能对ACD冷阱加液氮，否则不利于抽 真空，等离子泵指示灯亮后，往ACD冷阱加液氮 ，这时有利于抽真空。
加液氮注意点
做好防护措施（手套、面具等），防止冻伤； 尽量不要使用塑料水壶； 加液氮时，容器口不要对着人； 加液氮过程不要急，液流平稳，不要外溢。
主要内容
熟悉电镜
硬件
(1)电子枪，(2)聚光镜光阑，(3)ACD (Anti-Contamination Device) 冷 阱，(4)测角台，(5)物镜光阑，(6)选区光阑，(7)双目镜，(8)观察室， (9)左控制面板，(10)小荧光屏拨杆，(11)电子束遮挡器拨杆，(12)右 控制面板，(13)控制面板，(14) 能谱杜瓦瓶，(15) 电镜控制电脑， (16)CCD电脑 ，(17) 控制柜，(18)高压箱
插拔样品杆步骤示意图
开始观察
打开灯丝
1. 确认离子泵（SIP）的真空（<2.0×10-5Pa）和样品台预抽室的 真空（绿灯亮），确保已将样品杆放入测角台中、观察室隔离阀 （isolation valve）V2 已开。 2. 在高压控制窗口中设置灯丝电流值（60%，不能超过最大限值， 最大限值为出厂设置、不能修改）。 3. 确认 FILAMENT READY 灯亮。 4. 按下 Filament ON 按钮（或控制面板上 Beam 按钮，L1-①）， 等电子束发射稳定。最终的Beam Current 比不加灯丝电流时上升不 超过 3μA。 5. 可以通过调节偏压调节灯丝发射量。（勿动）
透射电镜操作程序
JEM-100CXⅡ透射电镜操作说明一、开机程序1、首先打开房间空调，冷却循环水房温度21度，操作室25度2、开启冷却水循环装置，一个独立的小的控制器，先将开关打至ON，再将按下POWER键3、启动稳压电源，稳定于220V；查看电源箱供电指示灯亮4、用钥匙启动主机，从OFF档位旋到START位，松开后钥匙自动回到ON位置。
仪器自动抽真空，等待约40分钟。
5、直至DP绿灯亮，HIGH绿灯亮，READY绿灯亮（若不亮的话，将LENS LIGHT打至ON档位）。
二、电子枪合轴（1-3合轴）1、确认READY绿灯亮2、把样品拨出，物镜光栏拨出至0档位3、加高压：按下HT键后，依次按下40-60-80-100KV键，并注意观察束流表是否正常，每次都要等电流表显示稳定之后再进行下一步，一般调到80KV就行了。
4、加灯丝：将FILAMENT EMIISSION旋钮缓慢旋至锁定位置5、一般在SCAN（5300倍）条件下调节，调节CONDENSER钮，得到光斑。
6、SPOT SIZE调到3档，调节CONDENSER钮聚光，得到最小最亮光斑，然后用左右ALIGNMENT：TRANS（小的）将光斑拉至最中心位置（中心位置有一黑点）。
7、SPOT SIZE调到1档，调节CONDENSER钮聚光，得到最小最亮光斑，然后用GUNALIGNMENT：TRANS（X、Y）将光斑拉至中心位置。
8、再重复6、7步骤，使束流不偏离中心。
三、调灯丝相（每次开机都需要检查）1、在SCAN模式下，SPOT SIZE调到1档2、将FILAMENT EMIISSION旋钮稍稍往回调，到看到灯丝欠饱和像，即车轮像（鱼眼像），若车轮像不对称，则进行下面调节。
3、缓慢旋转GUN ALIGNMENT：TILT（X、Y），使灯丝像对称。
4、然后调节FILAMENT EMIISSION旋钮至灯丝饱和（即刚好全亮，没有阴影），并锁定该位置。
四、粗对焦（该步很重要）1、关灯丝（FILAMENT EMIISSION旋钮至OFF）后，插入样品，插入物镜光栏（2档）2、开灯丝（FILAMENT EMIISSION旋钮至ON）后，放大光斑至满屏（以免烧坏铜网）3、找到样品，并选中一目标为参照4、将IMAGE WOBBLER打至ON，此时看到样品会有一定的晃动，调节FOCUS旋钮（有大中小三个，一般只用到中和小）至图像清晰没有重影。
透射电子显微镜JEM2100PLUS的使用方法
透射电子显微镜（JEM2100 PLUS）的使用方法一、操作规程1、开机顺序：（1）检查各仪表的读数是否正常（一般一个月检查一次）；a. 离子泵（SIP）：开灯丝前应保证真空压力小于4*10-5Pa；b. 高压箱：未开高压时，高压箱SF6气压表0.47MPa；电子枪SF6气压表0.28-0.32，该压力值不能低于0.28，低于该值不能启动，当前指针在0.3左右；（2）升高压（慢点好）：a.点HT ON，高压自动升到120KV；b.程序升高压，Target HT 160KV，间隔0.1KV，1sec，约6.7min，点START；c.程序升高压，Target HT 180KV，间隔0.1KV，2sec，约6.7min，点START；d.程序升高压，Target HT 200KV，间隔0.1KV，3sec，约10min，点START；（3）放样品：样品杆中放入待观察样品，单倾杆是铜网正面向上，双倾杆是铜网反面向上。
在软件上选择合适的样品杆名称，放样品杆可与升高压过程同时进行。
（4）开灯丝：电脑屏幕上显示HT ON，Filament ready 状态下，点击Filament ON，开始观察。
2、关机程序（可以快）：（1）关灯丝Filament OFF.（2）软件上手动（步长10KV）降高压到120KV，关高压（点OFF）。
（3）如加过液氮，样品杆要拔出，用ACD程序烘烤。
插入烘烤加热管。
二、注意事项1、注意开机、关机的顺序；2、注意主机上高压部位，防止触电；3、仪器的工作环境，应避免阳光直射、避免强电场、避免与较大功率的电器设备共电、避开腐蚀性气体、避免震动；4、制样时注意样品干燥，请勿将挥发性物质放入电镜测试以免污染镜筒5、开灯丝前真空压力必须小于4*10-5Pa；。
透射电镜使用说明
透射电镜使用说明1、由管理员开启透射电镜，调好仪器状态，安装样品。
2、在荧光屏状态下观察样品，通过轨迹球选择观察区域，通过Brightness调节画面亮度（*逆时针旋转调亮，顺时针旋转调暗）。
3、选择好观察区域后，调弱光强，确保CCD界面上的光强度（screendensity(A/cm2)）在10-12数量级，然后切换到CCD模式进一步调整。
*一定记得调弱光（顺时针）后才能切换至CCD界面，否则会打坏CCD。
4、通过Mag旋钮进一步增大放大倍数，选定好拍照区域后通过Brightness调整光强，使CCD界面中的波峰在中部比较好。
*若要增大放大倍数，直接顺时针旋Mag；若要减小放大倍数，要先顺时针旋Brightness减弱光强，然后逆时针旋Mag，否则会打坏CCD。
5、点击面板上的Focus键自动聚焦，然后使用Focus旋钮将图像调整清晰。
如果肉眼不好判断是否聚好焦，可点面板上的WOB键，用Focus调至画面不晃动即可，关WOB，准备拍照。
6、在CCD 界面点击Freeze进行拍照之后点击Save进行存储图像。
*一定要点Save，否则图像不会自动保存。
7、切换至荧光屏状态，继续寻找观察区域，然后重复步骤2-6。
*若在小范围内继续观察，可以在步骤6后调弱光强（Brightness顺时针）后，直接点击Run打开CCD继续观察拍照。
8、一个样品观察完毕后，在Stage Operation中选择下一个样品，然后重复步骤2-6。
备注：请勿自行更改任何仪器设置和参数，如需换样或有任何疑问，请联系管理员：肖媛，135********。
谢谢！2013年10月15日。
透射电镜基本操作课件
测角台
• ①黄灯亮表示正在抽测角台内真空； • ②绿灯亮表示真空已抽好，可以插入样品杆； • ③pump/air 开关：指向 pump 档时，抽测角台内真空（黄灯亮）；
指向 air 档时，向测角台内通 N2；拨动本开关时需将开关拔出一 点后方可拨动。 • ④双倾台连接头：插连接头一般样品杆插入后，拔连接头一般在 拔样品杆前。插入连接头前，先对准连接头的齿。
透射电镜基本操作
控制面板
• ①Arrow switches（X/Y 方向，速度适中，方向易于控制）； • ②Trackball（轨迹球，速度最快）； • ③CRS； • ④PIEZO（按下之后为超级微调，速度极慢，目前无此功能）
透射电镜基本操作
左控制柜
透射电镜基本操作
左控制柜
• ①EM STOP（紧急关机） • ②HT STOP（关闭高压） • ③POWER（电源开关） • ④RESET • ⑤GUN AIR • ⑥GUN LIFT • ⑦COL AIR • ⑧LENS（透镜开关） • ⑨BRIGHTNESS 注：一般不允许普通用户对该面板进行操作
透射电镜基本操作
透射电镜基本操作
注意事项 • 遵守实验室规定，不要超越权限；
• 严格遵照操作规定进行操作； • 操作必须小心，进行每个操作步骤前，都问问自己是否对； • 没有把握的步骤，不盲目尝试，确认后再操作； • 记住每台设备的特性； • 多练习，多交流，自己不断总结。
透射电镜基本操作
主要内容
透射电镜基本操作
ACD冷阱及加热器
透射电镜基本操作
ACD冷阱及加热器
透射电镜基本操作
左控制面板 • ①Beam 开关：灯丝电流开关（和 High Voltage Control 中 Filament 开关功能 相同）；
透射电镜实验Word版
实验二透射电镜结构原理及明暗场成像一、实验内容及实验目的1．结合透射电镜实物介绍其基本结构及工作原理，以加深对透射电镜结构的整体印象，加深对透射电镜工作原理的了解。
2．选用合适的样品，通过明暗场像操作的实际演示，了解明暗场成像原理。
二、透射电镜的基本结构及工作原理透射电子显微镜是一种具有高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器，被广泛应用于材料科学等研究领域。
透射电镜以波长极短的电子束作为光源，电子束经由聚光镜系统的电磁透镜将其聚焦成一束近似平行的光线穿透样品，再经成像系统的电磁透镜成像和放大，然后电子束投射到主镜简最下方的荧光屏上而形成所观察的图像。
在材料科学研究领域，透射电镜主要可用于材料微区的组织形貌观察、晶体缺陷分析和晶体结构测定。
透射电子显微镜按加速电压分类，通常可分为常规电镜(100kV)、高压电镜(300kV)和超高压电镜(500kV以上)。
提高加速电压，可缩短入射电子的波长。
一方面有利于提高电镜的分辨率；同时又可以提高对试样的穿透能力，这不仅可以放宽对试样减薄的要求，而且厚试样与近二维状态的薄试样相比，更接近三维的实际情况。
就当前各研究领域使用的透射电镜来看，其主要三个性能指标大致如下：加速电压：80～3000kV分辨率：点分辨率为0.2～0.35nm、线分辨率为0.1～0.2nm最高放大倍数：30～100万倍尽管近年来商品电镜的型号繁多，高性能多用途的透射电镜不断出现，但总体说来，透射电镜一般由电子光学系统、真空系统、电源及控制系统三大部分组成。
此外，还包括一些附加的仪器和部件、软件等。
有关的透射电镜的工作原理可参照教材，并结合本实验室的透射电镜，根据具体情况进行介绍和讲解。
以下仅对透射电镜的基本结构作简单介绍。
1．电子光学系统电子光学系统通常又称为镜筒，是电镜的最基本组成部分，是用于提供照明、成像、显像和记录的装置。
整个镜筒自上而下顺序排列着电子枪、双聚光镜、样品室、物镜、中间镜、投影镜、观察室、荧光屏及照相室等。
透射电镜的使用
透射电镜的使用一、实验目的(1) 了解透射电镜的基本结构和工作原理；(2) 学习透射电镜的样品制备方法；(3) 学习透射电镜的操作；(4) 掌握透射电镜图像的分析二、透射电镜的基本结构和工作原理透射电镜主要作用是研究微米级到纳米级尺度上物质的微观形貌、晶体结构、成分分析，探索围观上比均匀性与物质性能的关系。
I ）固体表面形貌观察；II ）颗粒大小、形状、粒度分析；III）固体显微结构分析（形态、成分、物相）；IV ）原子排列、晶体缺陷分析。
2.1 概述在光学显微镜的完善和发展过程中，人们发现：不管如何完善光学显微镜的透镜和结构，其放大倍数和分辨率总是被限定在1000多倍和几百纳米的水平，不可能再有所新的突破。
后来，人们终于发现：是显微镜所使用的光源限制了光学显微镜的放大倍数和分辨率的进一步发展。
因为，可见光的波长在390纳米到760纳米之间，而显微镜的分辨率最多也只能是其所使用光源的半波长的大小，所以光学显微镜的理论极限分辨本领也就在200纳米左右。
2.2 透射电镜的发展史1931年，第一台透射电镜在德国柏林诞生；1934年，电镜的分辨率可达50nm；1939年，西门子公司投放第一台商品电镜，分辨率优于10nm；60s、70s，提高分辨率，东京大学拍出第一张高分辨的原子像照片；80s，提高高压水平，100kv→200kv；90s，计算机技术，提高自动化程度，CCD成像，远程同步观察等。
目前世界主流的大型电镜，分辨本领为2~3 埃，电压为100～500kV，放大倍数50~1200,000倍。
由于材料研究强调综合分析，电镜逐渐增加了一些其它专门仪器附件，使其成为微观形貌观察、晶体结构分析和成分分析的综合性仪器，即分析电镜。
高分辨透射电子显微镜提高透射电子显微镜分辨率的关键在于物镜制造和上下极靴之间的间隙，舍弃各种分析附件可以使透射电子显微镜的分辨率进一步提高。
但是近年来随着电子显微镜制造技术的提高，高分辨透射电子显微镜也在增加各种分析附件，完善其分析功能。
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JEM-200CX透射电镜使用说明
操作要点
1.双倾台严格使用φ3mm样品。
2.改变操作电压、更换样品时，应使灯丝束流降至OFF。
3.更换灯丝时，除特殊情况外，应两人以上在场，并尽量缩短安装时间。
4.每个操作者应为下一个操作者至少留10张未曝光底片，并保证予抽室中有待用底片；更换底片盒和装卸底片时必须带手套。
5.上机者不得随便更换束斑尺寸，不能变动B操作盘最右端旋钮；注意勿动各TILT钮；不许触动下列键：
VACUUM SYSTEM下GUN 和COLUMN，EMERGENCY STOP，操作盘G中GUN LIFT。
6.更换灯丝后必须进行对中，以保证仪器处于良好的使用状态
7.注意察看循环水流量。
8.详细填写工作记录，仪器出现故障要及时报告负责人。
9.使用空调机保持进气口过滤板的清洁。
操作规程
一、开机程序
1.确认下列开关和部位在正常位置：
●READY 绿灯亮
●AIRLOCK OPEN 绿灯亮
●ACCELERATING VOLTAGE：HT--- OFF
●FILAMENT EMISSION： OFF
●物镜光栏位置---0
●选区光栏位置---0
●样品台倾转角---0
2.开机：
●开启冷却水循环装置；
●启动稳压电源，稳定于220V；查看电源箱供电指示灯亮；
●用钥匙启动主机：从OFF位快旋到START位，松手后钥匙自动回至ON位。
等待约20分钟，仪器自动抽空（表现为：面板灯亮--压缩机工作--机械泵工作--水循环开始--真空系统DP绿灯亮--真空系统HIGH绿灯亮、READY绿灯亮）。
二、找电子束
1.确认READY和AIRLOCK OPEN绿灯亮；
2.样品台已插入镜筒；
3.加高压：按下HT键后，80－100－120－160－200KV依次缓慢按键，并注意观察束流表指示是否正常，200KV下束流在95～115μA。
4.加灯丝：将FILAMENT EMISSION 钮慢旋至锁定位置。
在LOW MAG或MAG＜1万倍下，调节大小CONDENSER钮，得到光斑。
（若无光，则移动样品或样品台退出光路后找亮）。
5.用CONDENSER钮将光斑大小改变，若光斑偏离荧光屏中心，
6.用左右ALIGNMENT：TRANS将光斑拉回
三、聚光镜光栏（一般不动）
1.确认电子束流已聚于屏中心（无样品挡光）；
2.SCAN模式下，将聚光镜光栏顺旋插入（常用2号）；
3.用CONDENSER改变光斑大小，调节聚光镜光栏小旋钮，使光以屏中心同心扩展、收缩，即得同心圆。
四、1－3合轴（一般勿调）
1.SPOT SIZE 2，调出亮斑并会聚、移至屏中心。
2.MAG模式，＜1万倍, SPOT SIZE 1。
3.束流聚小于屏中心，若偏离中心，用GUN ALIGNMENT：TRANS （X、Y）拉回。
4.SPOT SIZE 3 ，聚小光斑，若不在屏中心，用左右ALIGNMENT：TRANS拉回；若光斑消失，则改用SPOT SIZE 2，将束流调至屏中心后，再改为SPOT SIZE 3 调节。
5.反复3、4步，使束流不偏离中心。
6.返回常用束斑尺寸：SPOT SIZE 2。
五、聚光镜消像散
1.MAG模式，＜1万倍, COND STIGMATOR 开关置ON；
2.SPOT SIZE 2；
3.插入聚光镜光栏并调正（一般已在2号位，勿动）；
4.光斑聚至最小，用小会聚钮使光斑欠亮和过亮扩大，光斑较圆且不变形，则说明无像散；若光斑变椭圆，则进行下步调节；
5.慢旋COND STIGMATOR：X、Y钮，使光斑变圆；
6.反复步骤4、5，直至像散消除。
六、调灯丝像（非管理人员勿调）
1.MAG模式，～5000倍。
2.SPOT SIZE 2。
3.CONDENSER 聚光，使光斑最小，并移至中心。
4.缓慢逆转灯丝发射钮（FILAMENT EMISSION），至看到灯丝欠饱和像，即车轮像。
若车轮像对称，则省略步骤5，若车轮像不对称，则进行下面调节。
5.慢旋GUN ALIGNMENT：TILT（X、Y），使灯丝像对称。
6.慢顺旋灯丝发射钮至车轮像消失并锁住；若光斑不在屏中心，则用左右ALIGNMENT：TRANS拉回中心。
七、电压中心调节（大于10万倍照像或高分辨工作时做）
1.确认SPOT SIZE 2，束流已对中，聚光镜无像。
2.样品位置适当，＞2.7万倍, 双目镜找一小点为参照物并移至屏中心，聚焦。
3.HV WOBBLER 置于ON，若参照物不偏离中心而四周同心振动，则电压中心良好，
省略步聚6，若参照物漂移，则进行下列调节。
4.用左右ALIGNMENT：TILT 调节，使参照物不偏离中心。
5.HV WOBBLER 置于OFF。
八、物镜消像散（大于10万倍照像或高分辨工作时做）
1.确认仪器对中状态良好，电压中心对中，无聚光镜像散，光栏位置正确。
2.加物镜光栏（提高图像衬度）
●光斑调正后，找到合适的样品位置；
●SA DIFF 模式下，相机长度240cm，调节衍射聚焦钮，得到零级放大光斑；
●顺旋插进物镜光栏（视样品衬度而选择光栏大小），并用其手柄上小旋钮调正。
●换到MAG模式。
3.在＞10万倍下，找一小圆孔或非晶膜薄区。
4.倾斜小荧光屏，用双目镜观察。
5.MEDIUM、FINE钮改变焦距，观察边沿条纹是否均匀或非晶小颗粒是否变形。
若有像散，则进行如下调节。
6.用OBJ STIGMATOR：X、Y钮和FOCUS 钮配合调节，消像散。
九、选区衍射
1.将欲分析区域移至屏中心，并聚焦。
2.加选区光栏
●MAG模式下，找到感兴趣的样品位置，移至屏中心，并聚焦；
●顺旋插进选区光栏（依样品位置大小而选相应光栏号）,用选区光栏小调节钮调正；
3.SA DIFF 模式。
4.撤出物镜光栏。
5.选择合适相机长度，并用CAMERA LENGTH 小钮聚焦到中心斑最小。
●物镜光栏、选区光栏、聚光镜光栏退出与插入操作动作相反。
十、明暗场像
1.在键BRIGHT 亮状态下，用左右ALIGNMENT ：TRANS 将光斑移至屏中心。
2.在键DARK 亮状态下，用左右DARK FIELD：TRANS 将光斑移至屏中心。
3.反复步骤1、2，至光斑不偏离屏中心。
4.BRIGHT 亮状态下选区衍射，并用左右ALIGNMENT：TILT 将透射斑移至中心。
5.DARK 亮状态下选区衍射，用左右DARK FIELD：TILT将透射光斑移至屏中心。
6.用左右DARK FIELD：TILT将某一衍射斑移至屏中心。
7.加物镜光栏。
8.DARK 亮，MAG模式，观察暗场像。
9.BRIGHT 亮，MAG模式，看明场像。
●明、暗场像操作结束后，DARK 亮，SA DIFF 模式下，将透射斑移至屏中心。
十一、样品台操作
1.确认样品台装卸时的状态：
样品台位置回零，倾转回零；物镜光栏、选区光栏退出；灯丝发射至OFF；
2.卸下样品台：
握住样品台手柄，直外拉到拔不动，逆旋90度至不动，直拔出。
3.装上样品台：
检查样品台“O”型环上是否有细毛等脏物。
握住样品台手柄，使销钉对准槽直插入，手指稍用力顶住手柄后端，至阀门开启，红色指示灯亮后松手，等待约5 分钟，指示灯灭后，握手柄顺90度（切勿松手），随着吸力慢送样品台入镜筒。
4.倾转样品台：
用脚踏板倾转样品过程中动作要轻，并注意查看倾转角度，且勿已倾斜至限定角度后仍继续踩，而应立即反踩。
十二、关机程序
1.放大倍数降至小于1万倍，光斑满荧光屏。
2.退灯丝至OFF。
3.按高压键HT（灯灭）。
4.退出物镜光栏、选区光栏，样品台倾转角回零，样品位置移至中心。
5.LENS、HV至OFF。
6.下面为全停机时做：
钥匙旋至OFF，等约15分钟后面板灯自动熄灭，机械泵停止工作，稍等，关稳压电源，关水。
十三、应急处理
若有特殊情况需立即停机或停水时，切断束流和高压，按EMERGENCY STOP 键，之后按关机要求操作；若突然停电，则将所有旋钮或开关置于关机状态要求的位置。