各种蓝宝石长晶方法汇整.

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泡生法生长高质量蓝宝石的原理和应用

泡生法生长高质量蓝宝石的原理和应用

万方数据12宝石和宝石学杂志结构,质量欠佳;助熔剂法生长的宝石晶体也很小,且含有助熔剂阳离子,质量也不太好;而熔体法生长的宝石晶体具有较高的纯度和完整性,尺寸较大。

其基本原理是将晶体原料放入耐高温坩埚中加热熔化,然后在受控条件下通过降温使熔体过冷却,从而生长晶体。

由于降温的受控条件不同,因此,从熔体中生长宝石晶体的方法也稍有不同。

目前,世界上主要的熔体法生长技术有4种[5 ̄8]:晶体提拉法、导模法、热交换法和泡生法。

1.1晶体提拉法晶体提拉法(crystalpullingmethod)由J.Czochralski于1918年发明,故又称“丘克拉斯基法”,简称Cz提拉法,是利用籽晶从熔体中提拉生长出晶体的方法,能在短期内生长出高质量的单晶。

这是从熔体中生长晶体最常用的方法之一。

其优点是:(1)在生长的过程中,可方便地观察晶体生长的状况;(2)晶体在熔体表面处生长,不与坩埚接触,能显著地减小晶体的应力,防止坩埚壁的寄生成核;(3)可以方便地运用定向籽晶和“缩颈”工艺,使“缩颈”后籽晶的位错大大减少,降低扩肩后生长晶体的位错密度,从而提高晶体的完整性(图1)。

其主要缺点是晶体较小,直径最多达约51~76mm。

图1提拉法生长的蓝宝石晶体Fig.1S_apphirecrystalproducedbycrystalpuningmethod(fromJHGroupCo.)1.2导模法导模法(edge—definedfilⅡ1-fedgrowth,EFG)是改进型且可控制晶体形状的晶体提拉法。

其工艺特点是:在提拉的过程中生长出模具顶端形状的晶体,可按要求生长出多种形状。

如Saint—Gobain公司采用该技术生长出直径达450~500mm的光学晶片,日本京瓷公司改良该技术后生长出LED衬底使用的C面晶片并获得专利。

但该方法的设备和工艺技术难度较大,不易推广。

1.3热交换法热交换法(heatexchangermethod,HEM)的实质是控制温度,让熔体直接在坩埚内凝固结晶,其主要技术特点是以He为冷却源,依靠He的循环带走热量而使晶体生长。

蓝宝石项目晶体生长技术研究报告

蓝宝石项目晶体生长技术研究报告

蓝宝石项目晶体生长技术研究报告蓝宝石是一种非常珍贵且重要的宝石,具有很高的价值和美观度。

为了满足市场需求,并提高蓝宝石的生产效率和质量,不断进行研究和开发新的晶体生长技术。

本报告将介绍蓝宝石项目晶体生长技术的研究进展。

首先,晶体生长技术是指通过控制晶体生长条件,使蓝宝石在合适的环境中快速生长。

目前,常见的蓝宝石晶体生长技术有几种,分别是六角晶体生长法、上升法和束流法。

这些技术在实践中都取得了很好的效果。

第一种技术是六角晶体生长法。

这种方法是在合适的高温和高压条件下,通过溶液中的蓝宝石种子使晶体从上部逐渐生长。

这种方法的优点是可以获得较大尺寸的蓝宝石晶体,同时还能控制其形状和质量。

然而,这种方法的缺点是生长周期较长,且由于生长过程中溶液中杂质的存在,会对晶体的纯度造成一定的影响。

第二种技术是上升法。

这种方法是通过在熔融的混合溶液中加入蓝宝石种子,然后逐渐降低温度使晶体从下部生长。

相对于六角晶体生长法,这种方法的优点是生长周期短,且晶体纯度较高。

然而,这种方法也有其缺点,即在晶体生长过程中易产生内部应力,导致晶体不稳定。

第三种技术是束流法。

这种方法是通过将精细制备的蓝宝石晶体放在真空室中,然后利用电子束照射或离子束轰击的方式促进晶体生长。

这种方法的优点是生长周期较短,同时可以控制晶体的形状和分布。

然而,这种方法的缺点是依赖于高成本的设备和技术,且需要更多的研究和改进。

总结来说,蓝宝石项目晶体生长技术的研究取得了一定的进展。

不同的生长技术各有优缺点,需要根据具体需求选择适合的方法。

未来还需要继续深入研究,提高蓝宝石晶体生长的效率和质量,以满足市场的需求。

蓝宝石晶体生长技术

蓝宝石晶体生长技术

整理课件
5
Al2O3分子结 构
蓝宝石晶体结构图 (其中黑点为氧离子,白点为铝离子)
整理课件
6
基本性质
蓝宝石单晶是一种简单配位型氧化物晶体,呈各向异性,属六方 晶系,晶格参数a=b=0.4758nm,c=1.299 1 nm,α=β=90°, γ=120°。
蓝宝石单晶的透光范围为0.14-6.0μm,覆盖真空紫外、可见、 近红外到中红外波段,且在3-5μm波段具有很高的光学透过率;具 有高硬度(仅次于金刚石)、高强度、高热导率、高抗热冲击品质因 子的力学及热学性能;具有耐雨水、沙尘、盐雾等腐蚀的稳定化学 性能;具有高表面平滑度、高电阻率及高介电性能。
Ti:Al2O3激光器还应用于非线性物理、太赫兹产生、时间分辨光谱 学、频标计量学、多光子显微镜及生物医学成像等基础研究方面。
Ti:Al2O3激光器在军事与工程方面也应用广泛。如激光测距、光电 干扰、红外对抗、致盲武器等军事领域,以及激光通信、海洋探测、 大气环境监测、激光手术及微加工等诸多领域。
整理课件
(1)高温超导薄膜的衬底,如Tl系薄膜TlBa2Ca2Cu3Oy、 Tl2Ba2CaCu2O8;
(2)红外光学材料的衬底,如近红外材料的碲镉汞晶体(HgCdTe), Ⅲ-Ⅴ族化合物的砷化镓(GaAs)、磷化镓(GaP)、氮化镓(GaN),Ⅱ-Ⅵ 族化合物的硫化锌(ZnS)、硒化锌(ZnSe)、碲化镉(CdTe)、氧化锌 (ZnO)、SiO2及金刚石等;
这些优良的光学、力学、热学、化学及电学性能决定了它在军事 及民用领域中的重要地位和作用。
整理课件
7
(1)化学稳定性:蓝宝石具有高度的化学稳定性,在绝大多数 化学反应过程中不会被腐蚀。
(2)机械特性:蓝宝石单晶因其高硬度和高强度,可以在温度 范围从超低温至1500℃高温之间的不同环境中保持高强度、耐磨耗 与高度的稳定性。同时是目前已知的硬度最高的氧化物晶体材料, 仅次于金刚石达莫氏9级。

各种蓝宝石长晶方法汇整

各种蓝宝石长晶方法汇整
总之,B-S法的最大优点是能够制造大直径的晶体(直径达 200mm),其主要缺点是晶体和坩埚壁接触容易产生应力或 寄生成核。它主要用于生长碱金属和碱土金属的卤族化合 物(例如CaF2、LiF、NaI等)以及一些半导体化合物 (例如 AgGaSe2、AgGaS2、CdZnTe等)晶体
热交换法(HEM)
坩埚下降法
该方法的创始人是P.W.Bridgman,论文发表于1925年。 D.C.Stockbarger曾对这种方法的发展作出了重要的推 动,因此这种方法也可以叫做布里奇曼-斯托克巴杰 方法,简称B-S方法。
该方法的特点是使熔体在坩埚中冷却而凝固。坩埚可 以垂直放置,也可以水平放置(使用“舟”形坩埚), 如下图所示。生长时,将原料放入具有特殊形状的坩 埚里,加热使之熔化。通过下降装置使坩埚在具有一 定温度梯度的结晶炉内缓缓下降,经过温度梯度最大 的区域时,熔体便会在坩埚内自下由上地结晶为整块 晶体。
1) 由于可以把原料密封在坩埚里,减少了挥发造成的 泄漏和污染,使晶体的成分容易控制
2) 操作简单,可以生长大尺寸的晶体。可生长的晶体 品种也很多,且易实现程序化生长
3) 由于每一个坩埚中的熔体都可以单独成核,这样可 以在一个结晶炉中同时放入若干个坩埚,或者在一个 大坩埚里放入一个多孔的柱形坩埚,每个孔都可以生 长一块晶体,而它们则共用一个圆锥底部进行几何淘 汰,这样可以大大提高成品率和工作效率
2) 晶体直径的控制 提拉法生长的晶体直径的控制 方法很多,有人工直接用眼睛观察进行控制,也有自 动控制。自动控制的方法目前一般有利用弯月面的光 反射、晶体外形成像法、称重等法
提拉法生长晶体的优点
1) 在生长过程中,可以直接观察晶体的生长状况,这 为控制晶体外形提供了有利条件

蓝宝石各种生长方法

蓝宝石各种生长方法

一、蓝宝石生长1.1 蓝宝石生长方法1.1.1 焰熔法Verneuil (flame fusion)最早是1885年由弗雷米(E. Fremy)、弗尔(E. Feil)和乌泽(Wyse)一起,利用氢氧火焰熔化天然的红宝石粉末与重铬酸钾而制成了当时轰动一时的“ 日内瓦红宝石”。

后来于1902年弗雷米的助手法国的化学家维尔纳叶(Verneuil)改进并发展这一技术使之能进行商业化生产。

因此,这种方法又被称为维尔纳叶法。

1)基本原理焰熔法是从熔体中生长单晶体的方法。

其原料的粉末在通过高温的氢氧火焰后熔化,熔滴在下落过程中冷却并在种晶上固结逐渐生长形成晶体。

2)合成装置与条件、过程焰熔法的粗略的说是利用氢及氧气在燃烧过程中产生高温,使一种疏松的原料粉末通过氢氧焰撒下焰融,并落在一个冷却的结晶杆上结成单晶。

下图是焰熔生长原料及设备简图。

这个方法可以简述如下。

图中锤打机构的小锤7按一定频率敲打料筒,产生振动,使料筒中疏松的粉料不断通过筛网6,同时,由进气口送进的氧气,也帮助往下送粉料。

氢经入口流进,在喷口和氧气一起混合燃烧。

粉料在经过高温火焰被熔融而落在一个温度较低的结晶杆2上结成晶体了。

炉体4设有观察窗。

可由望远镜8观看结晶状况。

为保持晶体的结晶层在炉内先后维持同一水平,在生长较长晶体的结晶过程中,同时设置下降机构1,把结晶杆2缓缓下移。

焰熔法合成装置由供料系统、燃烧系统和生长系统组成,合成过程是在维尔纳叶炉中进行的。

A.供料系统原料:成分因合成品的不同而变化。

原料的粉末经过充分拌匀,放入料筒。

如果合成红宝石,则需要Al2O3粉末和少量的 Cr2O3参杂,Cr2O3用作致色剂,添加量为 1-3%。

三氧化二铝可由铝铵矾加热获得。

料筒:圆筒,用来装原料,底部有筛孔。

料筒中部贯通有一根震动装置使粉末少量、等量、周期性地从筛孔漏出。

震荡器:驱动震动棒震动,使料筒不断抖动,以便原料的粉末能从筛孔漏出。

B.燃烧系统氧气管:从料筒一侧释放,与原料粉末一同下降;氢气管:在火焰上方喷嘴处与氧气混合燃烧。

数种蓝宝石晶体生长方法

数种蓝宝石晶体生长方法

蓝宝石晶体的生长方法自1885年由Fremy、Feil和Wyse利用氢氧火焰熔化天然红宝石粉末与重铬酸钾而制成了当时轰动一时的“日内瓦红宝石”,迄今人工生长蓝宝石的研究已有100多年的历史。

在此期间,为了适应科学技术的发展和工业生产对于蓝宝石晶体质量、尺寸、形状的特殊要求,为了提高蓝宝石晶体的成品率、利用率以及降低成本,对蓝宝石的生长方法及其相关理论进行了大量的研究,成果显著。

至今已具有较高的技术水平和较大的生产能力,为之配套服务的晶体生长设备——单晶炉也随之得到了飞速的发展。

随着蓝宝石晶体应用市场的急剧膨胀,其设备和技术也在上世纪末取得了迅速的发展。

晶体尺寸从2吋扩大到目前的12吋。

低成本、高质量地生长大尺寸蓝宝石单晶已成为当前面临的迫切任务。

总体说来,蓝宝石晶体生长方式可划分为溶液生长、熔体生长、气相生长三种,其中熔体生长方式因具有生长速率快,纯度高和晶体完整性好等特点,而成为是制备大尺寸和特定形状晶体的最常用的晶体生长方式。

目前可用来以熔体生长方式人工生长蓝宝石晶体的方法主要有焰熔法、提拉法、区熔法、导模法、坩埚移动法、热交换法、温度梯度法、泡生法等。

而泡生法工艺生长的蓝宝石晶体约为目前市场份额的70%。

LED蓝宝石衬底晶体技术正属于一个处于正在发展的极端,由于晶体生长技术的保密性,其多数晶体生长设备都是根据客户要求按照工艺特点定做,或者采用其他晶体生长设备改造而成。

下面介绍几种国际上目前主流的蓝宝石晶体生长方法。

图9 蓝宝石晶体的生长技术发展1 凯氏长晶法(Kyropoulos method)简称KY法,中国大陆称之为泡生法。

泡生法是Kyropoulos于1926年首先提出并用于晶体的生长,此后相当长的一段时间内,该方法都是用于大尺寸卤族晶体、氢氧化物和碳酸盐等晶体的制备与研究。

上世纪六七十年代,经前苏联的Musatov改进,将此方法应用于蓝宝石单晶的制备。

该方法生长的单晶,外型通常为梨形,晶体直径可以生长到比坩锅内径小10~30mm的尺寸。

蓝宝石长晶

蓝宝石长晶

一、蓝宝石生长1.1 蓝宝石生长方法1.1.1 焰熔法Verneuil (flame fusion)最早是1885年由弗雷米(E. Fremy)、弗尔(E. Feil)和乌泽(Wyse)一起,利用氢氧火焰熔化天然的红宝石粉末与重铬酸钾而制成了当时轰动一时的“ 日内瓦红宝石”。

后来于1902年弗雷米的助手法国的化学家维尔纳叶(Verneuil)改进并发展这一技术使之能进行商业化生产。

因此,这种方法又被称为维尔纳叶法。

1)基本原理焰熔法是从熔体中生长单晶体的方法。

其原料的粉末在通过高温的氢氧火焰后熔化,熔滴在下落过程中冷却并在种晶上固结逐渐生长形成晶体。

2)合成装置与条件、过程焰熔法的粗略的说是利用氢及氧气在燃烧过程中产生高温,使一种疏松的原料粉末通过氢氧焰撒下焰融,并落在一个冷却的结晶杆上结成单晶。

下图是焰熔生长原料及设备简图。

这个方法可以简述如下。

图中锤打机构的小锤7按一定频率敲打料筒,产生振动,使料筒中疏松的粉料不断通过筛网6,同时,由进气口送进的氧气,也帮助往下送粉料。

氢经入口流进,在喷口和氧气一起混合燃烧。

粉料在经过高温火焰被熔融而落在一个温度较低的结晶杆2上结成晶体了。

炉体4设有观察窗。

可由望远镜8观看结晶状况。

为保持晶体的结晶层在炉内先后维持同一水平,在生长较长晶体的结晶过程中,同时设置下降机构1,把结晶杆2缓缓下移。

焰熔法合成装置由供料系统、燃烧系统和生长系统组成,合成过程是在维尔纳叶炉中进行的。

A.供料系统原料:成分因合成品的不同而变化。

原料的粉末经过充分拌匀,放入料筒。

如果合成红宝石,则需要Al2O粉末和少量的 Cr2O3参杂,Cr2O3用作致色剂,添加量为 1-3%。

三氧化3二铝可由铝铵矾加热获得。

料筒:圆筒,用来装原料,底部有筛孔。

料筒中部贯通有一根震动装置使粉末少量、等量、周期性地从筛孔漏出。

震荡器:驱动震动棒震动,使料筒不断抖动,以便原料的粉末能从筛孔漏出。

B.燃烧系统氧气管:从料筒一侧释放,与原料粉末一同下降;氢气管:在火焰上方喷嘴处与氧气混合燃烧。

蓝宝石长晶技术简介

蓝宝石长晶技术简介

藍寶石單晶生長方法介紹藍寶石單晶的長晶方法有很多種,其中最常用的主要有九種,介紹如下:1凱氏長晶法(Kyropoulos method)簡稱 KY 法,中國大陸稱之為泡生法。

其原理與柴氏拉晶法(Czochralski method)類似,先將原料加熱至熔點後熔化形成熔湯,再以單晶之晶種(Seed Crystal,又稱籽晶棒)接觸到熔湯表面,在晶種與熔湯的固液界面上開始生長和晶種相同晶體結構的單晶,晶種以極緩慢的速度往上拉升,但在晶種往上拉晶一段時間以形成晶頸,待熔湯與晶種界面的凝固速率穩定後,晶種便不再拉升,也沒有作旋轉,僅以控制冷卻速率方式來使單晶從上方逐漸往下凝固,最後凝固成一整個單晶晶碇,凱氏長晶法是利用溫度控制來生長晶體,它與柴氏拉晶法最大的差異是只拉出晶頸,晶身部分是靠著溫度變化來生長,並在拉晶頸的同時,調整加熱電壓,使熔融的原料達到最合適的長晶溫度範圍,讓生長速度達到最理想化,因而長出品質最理想的藍寶石單晶。

國外許多生長藍寶石的廠商,也是採用此方法以生長藍寶石單晶,凱氏長晶法在生長過程中,除了晶頸需拉升外,其餘只需控制溫度的變化,就可使晶體成型,少了拉升及旋轉的干擾,比較好控制製程,因而可得到較佳的品質。

所以生長的藍寶石單晶具有以下的優點: 1.高品質(光學等級)。

2.低缺陷密度。

3.大尺寸。

4.較快的生長率。

5.高產能。

6.較佳的成本效益。

凱氏長晶法原理示意圖2柴氏拉晶法(Czochralski method)簡稱 CZ 法。

柴氏拉晶法之原理,先將原料加熱至熔點後熔化形成熔湯,再利用一單晶晶種接觸到熔湯表面,在晶種與熔湯的固液界面上因溫度差而形成過冷。

於是熔湯開始在晶種表面凝固並生長和晶種相同晶體結構的單晶。

晶種同時以極緩慢的速度往上拉升,並伴隨以一定的轉速旋轉,隨著晶種的向上拉升,熔湯逐漸凝固於晶種的液固界面上,進而形成一軸對稱的單晶晶棒。

在拉升的過程中,透過控制拉升速度的快慢的調配,分別生長晶頸(Neck)、晶冠(Shoulder)、晶身(Body)以及晶尾。

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提拉法生长晶体的缺点
1) 一般要用坩埚作容器,导致熔体有不同程度的污染 2) 当熔体中含有易挥发物时,则存在控制组分的困难 3) 适用范围有一定的限制。例如,它不适于生长冷却 过程中存在固态相变的材料,也不适用于生长反应性 较强或熔点极高的材料,因为难以找到合适的坩埚来 盛装它们 总之,提拉法生长的晶体完整性很高,面其生长速率 和晶体尺寸也是令人满意的。设计合理的生长系统、 精确面稳定的温度控制、熟练的操作技术是获得高质 量晶体的重要前提条件
单晶蓝宝石长晶方法
蓝宝石单晶的制备工艺路线较多,其中比较典 型有以下几种 提拉法(CZ) 坩埚下降法 热交换法(HEM) 泡生法(KY) 除了以上几项主流的方法外,还有温度梯度法 (TGT)、焰熔法、导模法(EFG)、水平结晶法 (HDC)„等
提拉法(CZ)
柴氏拉晶法(Czochralski method),简称CZ法.先将原 料加热至熔点后熔化形成熔汤,再利用一单晶晶种接触 到熔汤表面,在晶种与熔汤的固液界面上因温度差而形 成过冷。于是熔汤开始在晶种表面凝固并生长和晶种相 同晶体结构的单晶。晶种同时以极缓慢的速度往上拉升, 并伴随以一定的转速旋转,随着晶种的向上拉升,熔汤 逐渐凝固于晶种的液固界面上,进而形成一轴对称的单 晶晶锭.
熔体
直径的晶体。整个生长装置安放在一个外
罩里,以保证生长环境有所需要的气体和 压力。
坩埚
炉内保温系统剖面图
有关工艺参数控制
1) 加热方式 提拉法生长晶体的加热方法一般采用 电阻加热和高频感应加热,在无坩埚生长时可采用激 光加热、电子束加热、等离子体加热和弧光成像加热 等加热方式 电阻加热的优点是成本低,可使用大电流、低电压的 电源,并可以制成各种形状的加热器;高频加热可以 提供较干净的环境,时间响应快,但成本高
为了充分利用几何淘汰规律,提高成 品率,人们设计了各种各样的坩埚。 如左图所示。其目的是让坩埚底部通 过温度梯度最大的区域时,在底部形 成尽可能少的几个晶核,而这几个晶 核再经过几何淘汰,剩下只有取向优 异的单核发展成晶体。经验表明,坩 埚底部的形状也因晶体类型不同而有 所差异。
坩埚下降法的优点
坩埚下降法
该方法的创始人是P.W.Bridgman,论文发表于1925年。 D.C.Stockbarger曾对这种方法的发展作出了重要的推 动,因此这种方法也可以叫做布里奇曼-斯托克巴杰 方法,简称B-S方法。
该方法的特点是使熔体在坩埚中冷却而凝固。坩埚可 以垂直放置,也可以水平放置(使用“舟”形坩埚), 如下图所示。生长时,将原料放入具有特殊形状的坩 埚里,加热使之熔化。通过下降装置使坩埚在具有一 定温度梯度的结晶炉内缓缓下降,经过温度梯度最大 的区域时,熔体便会在坩埚内自下由上地结晶为整块 晶体。
蓝宝石衬底
各种蓝宝石长晶方法介绍
内部文件V1.0
为何使用蓝宝石当 LED衬底材料
可用于LED衬底的材料主要有硅、碳化硅、蓝宝石、氮 化镓等。由于硅单晶和氮化镓晶格匹配太差无无法商业 化应用;碳化硅单晶成本价格较高,目前市价约是蓝宝 石晶体的5倍以上,且只有美国科瑞公司掌握成熟技术, 目前占市场应用不到10%;氮化镓单晶制备更是困难, 虽然同质外延质量最好,但价格是蓝宝石晶体的数百倍。 综上所述,预计在未来10到30年范围,蓝宝石单晶是 LED衬底材料的理想选择
提拉法生长方式示意图
坩埚上方有一根可以旋转和升降的 提拉杆,杆的下端有一个夹头,其上装有 一根籽晶。降低提拉杆,使籽晶插入熔体
中,只要熔体的温度适中,籽晶既不熔解,
也不长大,然后缓慢向上提拉和转动籽晶
杆,同时缓慢降低加热功率,籽晶逐渐长
射频线圈
粗。小心地调节加热功率,就能得到所需
熔体
直径的晶体。整个生长装置安放在一个外
坩埚下降法示意图
坩埚下降法原理
下降法一般采用自发成核生长晶体,其获得单晶体的 依据就是晶体生长中的几何淘汰规律,原理如下图所 示。在一根管状容器底部有三个方位不同的晶核A、B、 C,其生长速度因方位不同而不同。假设晶核B的最大 长速度方向与管壁平行,晶核A和C则与管壁斜交。 由图中可以看到,在生长过程中,A核和C核的成长空 间因受到B核的排挤而不断缩小,在成长一段时间以后 终于完全被B核所湮没,最终只剩下取向良好的B核占 据整个熔体而发展成单晶体,这一现象即为几何淘汰 规律
1) 由于可以把原料密封在坩埚里,减少了挥发造成的 泄漏和污染,使晶体的成分容易控制 2) 操作简单,可以生长大尺寸的晶体。可生长的晶体 品种也很多,且易实现程序化生长 3) 由于每一个坩埚中的熔体都可以单独成核,这样可 以在一个结晶炉中同时放入若干个坩埚,或者在一个 大坩埚里放入一个多孔的柱形坩埚,每个孔都可以生 长一块晶体,而它们则共用一个圆锥底部进行几何淘 汰,这样可以大大提高成品率和工作效率
2) 晶体直径的控制 提拉法生长的晶体直径的控制 方法很多,有人工直接用眼睛观察进行控制,也有自 动控制。自动控制的方法目前一般有利用弯月面的光 反射、晶体外形成像法、称重等法
提拉法生长晶体的优点
1) 在生长过程中,可以直接观察晶体的生长状况,这 为控制晶体外形提供了有利条件 2) 晶体在熔体的自内表面处生长,而不与坩埚相接触, 能够显著减小晶体的应力并防止坩埚壁上的寄生成核 3) 可以方便地使用定向籽晶的和“缩颈”工艺,得到 不同取向的单晶体,降低晶体中的位错密度,减少镶 嵌结构,提高晶体的完整性 提拉法的最大优点在于能够以较快的速率生长较高质 量的晶体。例如,提拉法生长的红宝石与焰熔法生长 的红宝石相比,具有效低的位错密度,较高的光学均 匀性,也没有镶嵌结构。
罩里,以保证生长环境有所需要的气体和 压力。
坩埚
提拉法生长方式示意图
坩埚上方有一根可以旋转和升降的 提拉杆,杆的下端有一个夹头,其上装有 一根籽晶。降低提拉杆,使籽晶插入熔体
中,只要熔体的温度适中,籽晶既不熔解,
也不长大,然后缓慢向上提拉和转动籽晶
杆,同时缓慢降低加热功率,籽晶逐渐长
射频线圈
粗。小心地调节加热功率,就能得到所需
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