几种典型的晶体生长方法

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晶体生长方法

晶体生长方法

晶体生长方法一、提拉法晶体提拉法的创始人是J. Czochralski,他的论文发表于1918年。

提拉法是熔体生长中最常用的一种方法,许多重要的实用晶体就是用这种方法制备的。

近年来,这种方法又得到了几项重大改进,如采用液封的方式(液封提拉法,LEC),能够顺利地生长某些易挥发的化合物(GaP等);采用导模的方式(导模提拉法)生长特定形状的晶体(如管状宝石和带状硅单晶等)。

所谓提拉法,是指在合理的温场下,将装在籽晶杆上的籽晶下端,下到熔体的原料中,籽晶杆在旋转马达及提升机构的作用下,一边旋转一边缓慢地向上提拉,经过缩颈、扩肩、转肩、等径、收尾、拉脱等几个工艺阶段,生长出几何形状及内在质量都合格单晶的过程。

这种方法的主要优点是:(a)在生长过程中,可以方便地观察晶体的生长情况;(b)晶体在熔体的自由表面处生长,而不与坩埚相接触,这样能显著减小晶体的应力并防止坩埚壁上的寄生成核;(c)可以方便地使用定向籽晶与“缩颈”工艺,得到完整的籽晶和所需取向的晶体。

提拉法的最大优点在于能够以较快的速率生长较高质量的晶体。

提拉法中通常采用高温难熔氧化物,如氧化锆、氧化铝等作保温材料,使炉体内呈弱氧化气氛,对坩埚有氧化作用,并容易对熔体造成污杂,在晶体中形成包裹物等缺陷;对于那些反应性较强或熔点极高的材料,难以找到合适的坩埚来盛装它们,就不得不改用其它生长方法。

二、热交换法热交换法是由D. Viechnicki和F. Schmid于1974年发明的一种长晶方法。

其原理是:定向凝固结晶法,晶体生长驱动力来自固液界面上的温度梯度。

特点:(1) 热交换法晶体生长中,采用钼坩埚,石墨加热体,氩气为保护气体,熔体中的温度梯度和晶体中的温度梯度分别由发热体和热交换器(靠He作为热交换介质)来控制,因此可独立地控制固体和熔体中的温度梯度;(2) 固液界面浸没于熔体表面,整个晶体生长过程中,坩埚、晶体、热交换器都处于静止状态,处于稳定温度场中,而且熔体中的温度梯度与重力场方向相反,熔体既不产生自然对流也没有强迫对流;(3) HEM法最大优点是在晶体生长结束后,通过调节氦气流量与炉子加热功率,实现原位退火,避免了因冷却速度而产生的热应力;(4) HEM可用于生长具有特定形状要求的晶体。

最全的材料晶体生长工艺汇总

最全的材料晶体生长工艺汇总

最全的材料晶体生长工艺汇总材料晶体生长是一种重要的制备材料的方法,它可以获得具有优良性能的晶体材料,广泛应用于各个领域。

下面是一个最全的材料晶体生长工艺汇总,详细介绍了各种常用的生长方法和工艺步骤。

1.物质熔融法物质熔融法是最常用的晶体生长方法之一、它适用于高熔点物质的晶体生长,通过将材料加热到熔融状态,然后缓慢冷却,使晶体从熔融液中生长出来。

这种方法包括Czochralski法、Bridgman法等,它们的主要过程是将熔融物质加热至适当温度,然后撇去熔融液表面的杂质,然后用适当的速度慢慢降低温度,使晶体在逐渐凝固过程中从熔融液中生长出来。

2.溶液法溶液法是一种常用的低温晶体生长方法。

它适用于低熔点材料的晶体生长,通过将溶解了材料的溶液缓慢蒸发或者用化学反应生成晶体。

溶液法包括坩埚法、溶液蛹法、溶液冷温法等。

其中,坩埚法是将溶解到溶剂中的物质加热至溶解温度,然后慢慢冷却,使晶体从溶液中生长出来。

3.气相法气相法是一种高温高真空条件下进行晶体生长的方法。

它适用于高熔点、不易溶解或化学反应性强的材料的晶体生长。

气相法包括化学气相沉积法(CVD)和物理气相沉积法(PVD)等。

这些方法通过将气体或蒸汽中的原料转化成固态晶体,然后在衬底上生长出晶体。

4.熔盐法熔盐法是一种利用熔盐作为溶剂和晶体生长培养物质的方法。

它适用于高温高熔点材料的生长和掺杂晶体的制备。

熔盐法包括坩埚熔盐法和区域熔盐法等,其中坩埚熔盐法是将晶体原料和熔盐混合,加热至溶解温度,然后通过缓慢冷却使晶体从熔盐中生长出来。

5.拉伸法拉伸法是一种通过拉伸单晶将其变成纤维或片状晶体的方法。

这种方法适用于一些难以获得大尺寸单晶的材料,通过拉伸使晶体在拉应力下断裂,形成纤维或片状晶体。

总结:以上是最全的材料晶体生长工艺汇总,介绍了物质熔融法、溶液法、气相法、熔盐法和拉伸法等常用的生长方法和工艺步骤。

不同方法适用于不同的材料和应用领域,科学家可以根据具体情况选择最适合的生长方法,以获得优质晶体材料。

长晶体的方法

长晶体的方法

长晶体的方法长晶体是指在某个方向上具有较大尺寸的晶体。

其生长方法主要有几种:单晶生长、多晶生长和晶体生长。

单晶生长是指在特定条件下,使晶体在单一晶核的基础上生长,从而得到具有高度有序排列的晶体结构。

单晶生长的方法有许多种,常见的有液相法、气相法和固相法。

液相法是指利用溶液中的溶质经过适当的操作,使溶质在溶液中重新结晶,从而生长出单晶。

液相法的优点是操作简单,适用范围广,但也存在一些问题,比如晶体生长速度较慢,晶体质量难以控制等。

气相法是指利用气体中的溶质通过气相扩散、气相反应等途径,在适当的温度和压力条件下进行晶体生长。

气相法的优点是可以获得高纯度的晶体,但其操作条件较为苛刻,且晶体生长速度较慢。

固相法是指利用固相反应或固相扩散等方式,在固体物质中进行晶体生长。

固相法的优点是可以通过控制反应条件和固相的组成来调控晶体生长速度和质量,但也存在一些问题,比如反应条件较为复杂,晶体生长速度较慢等。

多晶生长是指在特定条件下,使多个晶核同时生长,从而得到具有多个晶体结构的晶体材料。

多晶生长通常采用的方法有凝固法、凝胶法和溶胀法。

凝固法是指将溶液或熔体冷却至一定温度,使其凝固成固体晶体。

凝固法的优点是操作简单,可以大规模生产,但晶体质量较差。

凝胶法是指利用溶胶在溶胶-凝胶转变过程中产生的凝胶网络结构,来控制晶体生长。

凝胶法的优点是可以得到高纯度的晶体,但晶体生长速度较慢。

溶胀法是指在溶胶中加入溶剂,使溶剂浸润溶胶,通过溶剂的蒸发或混合,使溶胶凝胶并生长成晶体。

溶胀法的优点是操作简单,可以得到高质量的晶体,但也存在一些问题,比如晶体生长速度较慢,晶体尺寸难以控制等。

晶体生长是一门复杂而精细的科学,不同的生长方法适用于不同的晶体材料。

通过选择合适的生长方法,可以获得具有良好性能的晶体材料,进而推动相关领域的发展。

晶体生长技术

晶体生长技术
对于具有负温度系数或其溶解度温度系数较小的材料,可以使溶液保持恒温,并且不断地从育晶器中移去溶 剂而使晶体生长,采用这种办法结晶的叫蒸发法。很多功能晶体如磷酸二氢钾、β碘酸锂等均由水溶液法生长而 得。
在高温高压下,通过各种碱性或酸性的水溶液使材料溶解而达到过饱和进而析晶的生长晶体方法叫水热生长 法。这个方法主要用来合成水晶,其他晶体如刚玉、方解石、蓝石棉以及很多氧化物单晶都可以用这个方法生成。 水热法生长的关键设备是高压釜,它是由耐高温、高压的钢材制成。它通过自紧式或非自紧式的密封结构使水热 生长保持在200~1000°C的高温及1000~10000大气压的高压下进行。培养晶体所需的原材料放在高压釜内温度 稍高的底部,而籽晶则悬挂在温度稍低的上部。由于高压釜内盛装一定充满度的溶液,更由于溶液上下部分的温 差,下部的饱和溶液通过对流而被带到上部,进而由于温度低而形成过饱和析晶于籽晶上。被析出溶质的溶液又 流向下部高温区而溶解培养料。水热合成就是通过这样的循环往复而生长晶体。
气相外延 材料在气相状况下沉积在单晶基片上,这种生长单晶薄膜的方法叫气相外延法,气相外延有开管 和闭管两种方式,半导体制备中的硅外延和砷化镓外延,多半采用开管外延方式。
液相外延 将用于外延的材料溶解在溶液中,使达到饱和,然后将单晶基片浸泡在这溶液中,再使溶液达到 过饱和,这就导致材料不断地在基片上析出结晶。控制结晶层的厚度得到新的单晶薄膜。这样的工艺过程称为液 相外延。这方法的优点是操作简单,生长温度较低,速率也较快,但在生长过程中很难控制杂质浓度的梯度等。 半导体材料砷化镓的外延层,磁泡材料石榴石薄膜生长,多半用这种方法。
这个方法是指在高温下把晶体原材料溶解于能在较低温熔融的盐溶剂中,形成均匀的饱和溶液,故又称熔盐 法。通过缓慢降温或其他办法,形成过饱和溶液而析出晶体。它类似于一般的溶液生长晶体。对很多高熔点的氧 化物或具有高蒸发气压的材料,都可以用此方法来生长晶体。这方法的优点是生长时所需的温度较低。此外对一 些具有非同成分熔化(包晶反应)或由高温冷却时出现相变的材料,都可以用这方法长好晶体。BaTiO3晶体及 Y3Fe5O12晶体的生长成功,都是此方法的代表性实例,使用此法要注意溶质与助熔剂之间的相平衡问题。

晶体生长方法

晶体生长方法

溶解度曲线
溶解度曲线是选择从溶液中生长晶体的方法和生长温度区间的重要依据。 对于溶解度温度系数很大的物质,采用降温法比较理想,但对于溶解度 温度系数较小的物质则宜采用蒸发法,对于具有不同晶相的物质则须选择 对所需要的那种晶相是稳定的合适生长温度区间。
饱和与过饱和
从溶液中生长晶体过程的最关键因素是控制溶液的过饱和度。 主要途径有: (1)根据溶解度曲线,改变温度。 (2)采取各种方式(如蒸发、电解)移去溶剂.改变溶液成分。 (3)通过化学反应来控制过饱和度。
2. 坩埚下降法
优点:与提拉法比较,它可以把熔体密封在坩埚内,熔体 挥发很少,成分容易控制。由于它生长的晶体留在坩埚中
因而适于生长大块晶体,也可以一炉同时生长几块晶体。
由于该法工艺条件容易掌握,易于实现程序化、自动化, 广泛用于生长闪烁晶体、光学晶体和其他一系列晶体,生 长晶体的直径和高度都可达几百毫米。近年来也用来生长 分解压力较大的半导体单晶。
4.退玻璃化再结晶
退玻璃化作用:大多数玻璃在加热时发生局部的再结晶。 微晶玻璃:是玻璃和晶体均匀分布的材料,利用退玻璃化 再结晶技术制得,通常在玻璃制造过程中增加加热处理晶 体工序。 总生产流程: 配料 熔融 玻璃 成型 加工 晶化 处理 再加 工
微晶玻璃的学名叫做玻璃陶瓷。具有玻璃和陶瓷的双 重特性,普通玻璃内部的原子排列是没有规则的,这 也是玻璃易碎的原因之一。而微晶玻璃象陶瓷一样, 由晶体组成。所以,微晶玻璃比陶瓷的亮度高,比玻 璃韧性强。
LCB(La2CaB10O19)
♥ 闪烁晶体:BGO (Bi4Ge3O12)、PbWO3
♥ 磁性材料:R3Fe5O12、(Te,Dy)Fe2
♥ 半导体材料:Si、Ge、GaAs、GaN

晶体生长方法之溶液法

晶体生长方法之溶液法

晶体生长方法简介不同晶体根据技术要求可采用一种或几种不同的方法生长。

这就造成了人工晶体生长方法的多样性及生长设备和生长技术的复杂性。

以下介绍现代晶体生长技术中经常使用的几种主要方法一熔体生长法这类方法是最常用的,主要有提拉法(又称丘克拉斯基法)、坩埚下降法、区熔法、焰熔法(又称维尔纳叶法)等。

提拉法此法是由熔体生长单晶的一项最主要的方法,被加热的坩埚中盛着熔融的料,籽晶杆带着籽晶由上而下插入熔体,由于固液界面附近的熔体维持一定的过冷度、熔体沿籽晶结晶,并随籽晶的逐渐上升而生长成棒状单晶。

坩埚可以由高频感应或电阻加热。

半导体锗、硅、氧化物单晶如钇铝石榴石、钆镓石榴石、铌酸锂等均用此方法生长而得。

应用此方法时控制晶体品质的主要因素是固液界面的温度梯度、生长速率、晶转速率以及熔体的流体效应等。

坩埚下降法将盛满材料的坩埚置放在竖直的炉内炉分上下两部分,中间以挡板隔开,上部温度较高,能使坩埚内的材料维持熔融状态,下部则温度较低,当坩埚在炉内由上缓缓下降到炉内下部位置时,材料熔体就开始结晶。

坩埚的底部形状多半是尖锥形,或带有细颈,便于优选籽晶,也有半球形状的以便于籽晶生长。

晶体的形状与坩埚的形状是一致的,大的碱卤化合物及氟化物等光学晶体是用这种方法生长的。

区熔法将一个多晶材料棒,通过一个狭窄的高温区,使材料形成一个狭窄的熔区,移动材料棒或加热体,使熔区移动而结晶,最后材料棒就形成了单晶棒。

这方法可以使单晶材料在结晶过程中纯度提得很高,并且也能使掺质掺得很均匀。

区熔技术有水平法和依靠表面张力的浮区熔炼两种。

焰熔法这个方法的原理是利用氢和氧燃烧的火焰产生高温,使材料粉末通过火焰撒下熔融,并落在一个结晶杆或籽晶的头部。

由于火焰在炉内形成一定的温度梯度,粉料熔体落在一个结晶杆上就能结晶。

焰熔法的生长原理如下,小锤敲击料筒震动粉料,经筛网及料斗而落下,氧氢各自经入口在喷口处,混合燃烧,结晶杆上端插有籽晶,通过结晶杆下降,使落下的粉料熔体能保持同一高温水平而结晶。

晶体生长方法综述

晶体生长方法综述
晶体生长方法

溶液生长 熔体生长 气相生长 固相生长
晶体生长方法 溶液法:方法简单,生长 速度慢,晶体应 力小,均匀性好 降温法 恒温蒸发法 循环流动法 温差水热法
熔体法:生长速度快,晶体的 纯度及完整性高 凝固析晶法 坩埚下降法 提拉法 泡生法 浮区法 焰熔法 助熔剂法 导模法
气相法:生长速度慢,晶体 纯度高、完整性好,宜于薄 膜生长
升华法 反应法 热解法
固相法:主要靠固体材料中的扩 散使非晶或多晶转变为单晶,由 于扩散速度小,不宜于生长大块 晶体 高压法、再结晶法
溶液法生长晶体
溶液和溶解度
溶液——由两种或两种以上物质所组成的均匀混合体 系称为溶液。 一定量溶液中含有溶质的量称为溶液的浓度。
几种表示方式: 1、体积摩尔浓度(mol):一升溶液中所含溶质的摩尔数 2、重量摩尔浓度(mol): 1000g溶剂中所含溶质的摩尔数 3、摩尔分数(x):溶质摩尔数对溶液总摩尔数之比 4、重量百分数:100g(或1000g)溶液中所含溶质的克数 5、重量比:100g(或是1000g)溶剂中所含溶质的克数
溶液法生长晶体
溶液分成稳定区、不稳定区和亚温区。稳定区是不饱和区,在这个区域里晶体 不能生长。亚温区是过饱和区,在这里不发生自发结晶,若有外来颗粒(包括 籽晶)投入,晶体就围绕它生长。不稳定区也是过饱和区,不过它的过饱和度 比亚温区大,会自发结晶。
溶液生长的过程必需控制在亚温区内进行,若在不稳定区内生长就会出现多晶。
溶液法生长晶体
溶解度——在一定温度和压力下,一定量的 溶剂候中能溶解溶质的量叫溶解度。 固体溶解度一般以一定温度下100g溶剂中能 溶解溶质的量。溶解度大小与温度有密切关 系。 根据溶解度曲线选择生长方法,溶解度温度 系数很大时,可采用降温法(如磷酸铝铵); 若溶解度温度系数小,则采用蒸发法(如氯 化钠)

最全的材料晶体生长工艺汇总

最全的材料晶体生长工艺汇总

最全的材料晶体生长工艺汇总提拉法提拉法又称直拉法,丘克拉斯基(Czochralski)法,简称CZ法。

它是一种直接从熔体中拉制出晶体的生长技术。

用提拉法能够生长无色蓝宝石、红宝石、钇铝榴石、钆镓榴石、变石和尖晶石等多种重要的人工宝石晶体。

提拉法的原理:首先将待生长的晶体的原料放在耐高温的坩埚中加热熔化,调整炉内温度场,使熔体上部处于过冷状态;然后在籽晶杆上安放一粒籽晶,让籽晶下降至接触熔体表面,待籽晶表面稍熔后,提拉并转动籽晶杆,使熔体处于过冷状态而结晶于籽晶上,并在不断提拉和旋转过程中,最终生长出圆柱状的大块单晶体。

提拉法的工艺步骤可以分为原料熔化、引晶、颈缩、放肩、等径生长、收尾等几个阶段。

具体过程如示意图。

提拉法晶体生长工艺有两大应用难点:一是温度场的设置和优化;二是熔体的流动和缺陷分析。

下图为提拉法基本的温度场设置以及五种基本的熔体对流模式。

在复杂的工艺条件下,实际生产需要调整的参数很多,例如坩埚和晶体的旋转速率,提拉速率等。

因此实际中熔体的温度场和流动模式也更复杂。

下图是不同的坩埚和晶体旋转速率下产生的复杂流动示意图。

这两大应用难点对晶体生长的质量和效率都有很大影响,是应用和科研领域中最关心的两个问题。

通常情况下为了减弱熔体对流,人为地引入外部磁场是一种有效办法,利用导电流体在磁场中感生的洛伦兹力可以抑制熔体的对流。

常用的磁场有横向磁场、尖端磁场等。

下图是几种不同的引入磁场类型示意图。

引入磁场可以在一定程度上减弱对流,但同时磁场的引入也加大了仿真模拟的难度,使得生长质量预测变的更难,因此需要专业的晶体生长软件才能提供可靠的仿真数据。

晶体提拉法有以下优点:(1)在晶体生长过程中可以直接进行测试与观察,有利于控制生长条件;(2)使用优质定向籽晶和“缩颈”技术,可减少晶体缺陷,获得优质取向的单晶;(3)晶体生长速度较快;(4)晶体光学均一性高。

晶体提拉法的不足之处在于:(1)坩埚材料对晶体可能产生污染;(2)熔体的液流作用、传动装置的振动和温度的波动都会对晶体的质量产生影响。

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包括有提拉法、坩埚下降法、区熔法、基座 法、冷坩埚法与焰熔法等。
⑴ 提拉法生长技术及改进
由 J.Czochralski 于1917 年首先提出,
亦称恰克拉斯基法。是从熔体中生长晶体应 用最广的方法,许多重要的实用晶体都是用 此方法生长的。该技术控制晶体品质的主要 因素是固液界面的温度梯度、生长速率、晶 转速率以及熔体的流体效应等。
第二章 几种典型的晶体生长方法
主要知识点:
• 晶体生长的技术要求 • 几种典型晶体生长方法简介 • 提拉法生长技术特点及新进展 • 选择生长方法的基本原则 • 人工晶体发展之趋势
问题提出:
随着科技进步和社会发展,人们对于功能晶体 需求的数量越来越大,对性能要求也越来越高, 自然界中出产的各种天然晶体已远远不能满足人 们的要求: • 天然晶体作为地球亿万年来逐渐积累的自然资 源,其储量是有限的。 • 由于自然条件的自发性,天然晶体不可避免有 较多的各种缺陷,其纯净度和单晶性也远不能和 人工晶体相比。 • 由于地球在演化过程中条件属于自然条件,不 可能生长出那些只有极端条件下才能生长的晶体。
蒸发法育晶装置示意图
⑸ 高温溶液法
将晶体的原成分在常压高温下溶解于低熔点 助熔剂溶液内,形成均匀的饱和溶液;然后通 过缓慢降温或其他方法,形成过饱和溶液而使 晶体析出。
良好的助熔剂需要具备下述物理化学性质: • 应具有足够强的溶解能力,在生长温度范围内, 溶解度要有足够大的变化; • 在尽可能宽的范围内,所要的晶体是唯一的稳 定相。最好选取与晶体具有相同离子的助熔剂, 而避免选取性质与晶体成分相近的其他化合物;
缺点:
设备比较复杂,调节各槽之间适当的温度梯度 和溶液流速之间的关系需要有一定的经验。
溶液法的特点:
• 在远低于熔点温度下生长,避开了可能 发生的分解和晶型转变;
• 热源、生长容器、控制系统容易选择;
• 降低了黏度,使高温冷却时不易形成晶 体的物质形成晶体;
• 温场分布均匀,宜于生长小应力、大尺 寸和均匀性好的晶体;
☺ 可方便、精确地控制和调整生长条 件;
☺ 可使用定向籽晶、“回熔”和“缩 颈”等工艺,提高晶体完整性并得 到所需结构取向的晶体;
☺ 观察方便,控温精度高,可以较快 的生长速率生长高质量的晶体;
☺ 晶体不与坩埚接触,显著减小晶体的应力和 坩埚壁寄生成核的影响;
15~25 ℃为宜。
⑷ 蒸发法
基本原理:
将溶剂不断蒸发,通过控制蒸发量来控 制溶液过饱和度,使溶液始终保持在一定过
饱和状态,从而使晶体不断生长。 特点:
比较适合于溶解度较大而溶解度温度系 数很小或者是具有负温度系数的物质。与流 动法一样也是在恒温条件下进行的,适用于 高温(>60 ℃ )晶体生长。
晶体生长
气相 结晶固相 液相 结晶固相
过冷或过饱和
非晶固相 结晶固相
可自发进行
一种结晶固相 另一种结晶固相
温度或压力 发生变化
总的趋势是使体系的自由能降低
提拉法
坩埚下降法
熔体法生长 焰熔法
区熔法
冷坩埚熔壳法



低温(水)溶液法

方Leabharlann 溶液法生长 高温溶液法法
水热与溶剂热法
气相法生长
物理气相沉积 (PVD) 化学气相沉积 (CVD)
细小的颈部难以承受太大的拉力; 大直径导致晶体内外温差增大; 晶体中心与外周电阻率与氧浓度的不均
一性; 对石英坩埚的品质有更高要求(更高强
度、更高纯度和低的制造成本); 其他。
生长大直径晶体的机械手
红宝石晶体
Y3Al5O12 : Nd 晶体
硅酸镓镧(LGS)晶体
KDP 晶体
提拉法的特点:
只要采取适当的措施,可生长比熔体法生长的 晶体热应力更小、更均匀和完整;
生长速度慢,生长周期较长,晶体尺寸较小; 助熔剂往往带有腐蚀性或毒性; 由于采用的助熔剂往往是多种组分的,各组分
间的相互干扰和污染是很难避免的。
遇到的主要问题是:
如何有效地控制成核数目和成核位置; 如何提高溶质的扩散速度和晶体的生长
• 晶体的自范性得以充分体现;
• 多数情况下,生长过程易观察,设备也 较简单;
• 生长速度慢、周期长,对设备的稳定性 要求高;
• 组分多,影响的因素也较多。
§⒉ 熔体法生长
使原料在高温下完全熔融,然后采用不同技 术手段,在一定条件下制备出满足一定技术 要求的单晶体材料。熔体必须在受控制的条 件下的实现定向凝固,生长过程是通过固-液界面的移动来完成的。熔体法生长是制备 大单晶和特定形状单晶最常用的和最重要的 一种方法,具有生长快、晶体的纯度和完整 性高等优点。
温差水热法
天然生长的水晶多为成簇状的六方柱形,而人工“生长” 的水晶,根据生长水晶所用的籽晶的取向,以及生长方向、 生长温度分布、溶液浓度分布、过冷度等条件的不同,可 以有不同的宏观外形。 透过人工生长的多面体水晶的璀璨 的表面,有时候还还可以看见作为晶体生长的“种子”的 籽晶。
KTP 晶体
小压力釜(容积20 C.C)
dA f
d 趋肤深度 f频率
电阻率 磁导 率 A常数
定向籽晶和独特工艺
籽晶实际上就是提供了一个晶体继续生长的 中心,其选材的好坏,对晶体的质量影响极大。 籽晶应无位错、无应力、无嵌镶结构且没有切 割损伤等。
决定晶面的生长机制 影响生长工艺参数 决定晶体的物理性质 影响晶体的质量
♣ 有利于晶体的后加工和器件化;
♣ 有利于晶体生长的重复性和产业化;
没有“最好的”,只有“最适合 的”
§⒈ 溶液法生长
溶液法的基本原理是将原料(溶 质)溶解在溶剂中,采取适当的措施 造成溶液的过饱和状态,使晶体在其 中生长。包括有水溶液法、水热法与 助熔剂法等。
水溶液法一般是在常压和较低温度 (100℃以下)下进行。
人工晶体
根据结晶物质的物理化学特性,在掌握了晶 体的生长规律与生长习性的基础上,运用人类 所创建的各种单晶生长技术或方法以及生长设 备,生成或合成出符合人类意愿的并具有重大 应用价值的晶体材料。此晶体可以是自然界存 在的,也可以是自然界不存在的。
人工晶体是近代晶体学的重要分支学科, 是材料科学的重要组成部分及其研究、探索与 发展的前沿领域,更是多学科、多领域通力合 作的结果和集体智慧的结晶。
intensity(a.u.) 10 11 10 200 112
14000
f
12000
10000 e
8000 d
6000
c
4000
b
2000
0a
10不同2反0 应条30件下4Z0 nO的50 SEM60照 70
片 2degree)
水热法制备 NaY晶F体4
祖母绿晶体
绿柱石族宝石
化学成分:Be3Al2Si6O18 (其中Be、Al可被不同元素所替代)
选择何种生长技术,取决于晶体的物理、 化学性质和应用要求。一般原则为:
♣ 满足相图的基本要求;
♣ 有利于快速生长出具有较高实用价值、 符合一定技术要求的晶体;
♣ 有利于提高晶体的完整性,严格控制晶 体中的杂质和缺陷;
♣ 有利于提高晶体的利用率、降低成本。 生长大尺寸的晶体始终是晶体生长工作 者追求的重要目标;
人工晶体研究
晶体结构 晶体生长 性能与表征研究 晶体材料应用
晶体制备技术研究
晶体生长理论研究
生长 技术 与方 法研 究
设备 自动 化研 究
晶体结构、 缺陷、生 长形态与 生长条件 的关系研 究
界面结构、 界面热、质 输运、界面 反应动力学 研究
人工晶体研究的内容
人工晶体的优势:
具有较高的完整性,包括结构完整性和 组成完整性等;
饱和曲线和过饱和曲线
⑶ 降温法
基本原理: 利用物质大的溶解度和较大的正溶解
度温度系数,在晶体生长过程中逐渐降低温度, 使析出的溶质不断在晶体上生长。
关键:晶体生长过程中掌握适合的降温速度,使
溶液始终处在亚稳态区内并维持适宜的过饱和 度。
要求:物质溶解度温度系数不低于1.5g/kg℃;
生长温度一般在50~60 ℃ ,降温区间
籽晶培养
切割好的籽晶 籽晶杆
回熔工艺:
保证熔体与籽晶接触部 分凝固时,其原子排列由 于受到籽晶中原子规则排 列的引导而按同样的规则 排列起来,并且保持籽晶 的晶向。
籽 晶
熔体
缩径工艺:
可最大限度地减少位 错和嵌镶结构等缺陷, 提高晶体的完整性。
嵌 镶 结 构
位 错 线
下籽晶
缩颈
放肩
等径
大直径化带来的技术问题
可分为温差法、等温法和降温法等。
特点:
❖ 适于生长熔点很高,具有包晶反应或非同成
分熔化而在常温常压下又不溶于各种溶剂或 溶解后即分解,且不能再结晶的晶体材料。 ❖ 反应温度相对较低,可以制备其他方法难以 制备的物质低温同质异构体。 ❖ 可以制备其他方法难以制备的具有多型性的 相变材料。 ❖ 生长区基本处于恒温和等浓度状态,温度梯 度小,晶体热应力小。 ❖ 宏观缺陷少、均匀性和纯度高。
提拉炉
打开炉门后的提拉炉
后热器 石英桶 加热器
熔体 保温材料
坩埚
提拉法生长示意图
籽晶定位 装料
升温
化料
过热处理 下籽晶
热处理
出炉
降温 等径生长
回熔、洗晶 提拉
放肩 提拉
提拉法晶体生长流程
当感应器(线圈)中通入一定频率的交变电流时,周 围即产生交变磁场。交变磁场的电磁感应作用使导 体(坩埚)内产生封闭的感应电流--涡流,感应电 流在导体截面上的分布很不均匀。导体表层高密度 电流的电能转变为热能而使导体的温度升高。
Seed holder View port
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